I nd o ne s ia n J o urna l o f   E lect rica l En g ineering   a nd   Co m p u t er   Science   Vo l.   10 ,   No .   1 ,  A p r il   2 0 1 8 ,   p p .   84 ~ 9 3   I SS N:  2 5 0 2 - 4752,   DOI : 1 0 . 1 1 5 9 1 /i j ee cs.v 1 0 . i1 . p p 84 - 9 3          84       J o ur na l ho m ep a g e :  h ttp : //ia e s co r e. co m/jo u r n a ls /in d ex . p h p / ijeec s   Verific a tion  of  Q ua rt z  Crys tal M i c ro ba la nce Arr a y   U sing   Vect o r  Netw o rk   Ana ly z er  and  O p enQ CM       Ah m a d Anw a r  Z a i nu d din 1 ,   Anis   Nura s hi kin   No rdin 2   ,   Ro s m ina zui n Ab.   Ra hi m 3 ,   Aliza   Aini M d.  Ra lib 4 ,  Sh er o z  K ha n 5 ,  Cy ril  G uin e s 6 ,  M a t t hieu Cha t ra s 7 ,   Arna ud   P o t h ier 8   1 , 2, 3, 4 , 5  De p a rtm e n t  o f   El e c tri c a l  a n d   Co m p u ter E n g in e e rin g ,   Ku l li y y a h   o f   En g in e e rin g ,     In tern a ti o n a l  Isla m ic Un iv e rsit y   M a la y sia ,   Ku a la L u m p u r,   M a lay s ia   6, 7, 8  X L IM   Re se a rc h   In stit u te,  UM R  CNRS  7 2 5 2   Un iv e rsité d e   L imo g e s,  L i m o g e s C e d e x ,   F ra n c e       Art icle  I nf o     AB ST RAC T     A r ticle  his to r y:   R ec eiv ed   J an   13 ,   2 0 1 8   R ev i s ed   Mar   15 ,   2 0 1 8   A cc ep ted   Mar   30 ,   2 0 1 8       Qu a rtz  Cry sta l  M icro b a lan c e   (QCM)  is  a   d e v ice   th a t  a ll o w s  n o n - d e stru c ti v e   m e a su re m e n ts  o f   r  in   situ   re a c ti o n   a c ti v it ies .   In   th is  a rti c le,   a n   a rra y   c o m p risin g   o f   six   3 M Hz   QCM  se n so rs  i n   a n   a rra y   w e re   c h a ra c t e riz e d   u sin g   a   v e c to r  n e tw o rk   a n a l y z e r  a n d   Op e n QCM,   a   p o rta b le  m e a su rin g   in stru m e n t  th a t  m e a su re s  c h a n g e   in   re so n a n c e   f re q u e n c y .   M e a su re m e n ts  o f   S 2 1   tran sm issio n   c h a ra c teristics   u sin g   th e   v e c to r  n e tw o rk   a n a l y z e r  p ro v id e s  th e   re so n a n c e   f re q u e n c y   a n d   c a n   a lso   b e   u se d   t o   d e riv e   th e   RL C  e q u iv a len t   e lec tri c a l  c ircu it   v a lu e s  o f   a   r e so n a n t  tw o - p o rt  n e tw o rk   b a se d   o n   t h e   Bu tt e rw o rth - V a n   Dy k e   m o d e l.   In   th is  w o rk ,   R m , L m , C m   a n d   C o  w e r e   o b tain e d   v ia  c u rv e - f it ti n g   o f   th e   m e a su re m e n t  re su lt s  to   th e   sim u late d   re su lt s.  M e a su re m e n ts  w e r e   d o n e   in   tri p li c a tes   to   v e rify   re p ro d u c ib il i ty   f o r  a ll   6   se n so rs.  F o r  c o m p a riso n ,   m e a su re m e n ts  w e re   a lso   d o n e   u sin g   a   p o rtab le,   o p e n - s o u rc e   in str u m e n t,   Op e n Q CM .   T h e   Op e n QCM   in str u m e n t  d irec tl y   m e a su re s  c h a n g e s  in   re so n a n c e   fre q u e n c ies ,   m a k in g   it   id e a l  f o r  b io se n si n g   e x p e ri m e n ts,   w h ich   c o rre late   c h a n g e s  in   m a ss   w it h   c h a n g e s   in   re so n a n c e   f re q u e n c ies .   Co m p a riso n   b e tw e e n   re so n a n c e   f re q u e n c y   m e a su re m e n ts  u sin g   V NA   a n d   Op e n QCM  e x h i b it   l o w   p e rc e n ta g e   d iff e r e n c e   0 . 2 % .     T h is  QCM   se n so r  a rra y   h a s   th e   p o ten ti a l  o f   c o n d u c ti n g   re a l - ti m e ,   p o in t - of - c a re   a n a l y s e s   f o r  d e tec ti o n   o f   b io l o g ica l  m o lec u les .   K ey w o r d s :   Qu ar tz  C r y s tal  M icr o b alan ce   P o in t - of - C ar e   Q - F ac to r   Sen s o r   A r r a y   Op en QC M   E q u iv ale n t  C ir cu it   Co p y r ig h t  ©   2 0 1 8   In stit u te o f  A d v a n c e d   E n g i n e e rin g   a n d   S c ien c e .    Al l  rig h ts  re se rv e d .   C o r r e s p o nd ing   A uth o r :   An is   N u r as h i k i n   No r d in ,    Dep ar t m en t o f   E lectr ical  an d   C o m p u ter   E n g in ee r i n g ,   K u lli y y ah   o f   E n g in ee r i n g ,     I n ter n atio n al  I s la m ic  U n iv er s it y   Ma la y s ia,     Ku ala   L u m p u r ,   Ma la y s ia .   E m ail:  a n is n n @ iiu m . ed u . m y       1.   I NT RO D UCT I O N     Ov er   t h e  p ast  t w o   d ec ad es,  in te n s i v e  r esear c h   o n   b io s en s o r s   h av e   b ee n   ca r r ied   o u t  i n   t h e   d ev elo p m en t  o f   lab el - f r ee   q u an ti f icatio n   an d   p o in t - of - ca r e   m ed ical  d iag n o s tic s   [ 1 ] – [ 4 ] .   B io s en s o r s   ca n   b e  d ef in ed   as  a n al y tical  d ev ice s   th at  ca p tu r e  b io lo g ical  r esp o n s es  as s o ciate d   w ith   a  p ar ti cu lar   d is ea s e  ( b io - r ec o g n itio n   ele m en t)   i n   t h e   f o r m   o f   d etec tib le  elec tr ic al  s ig n al s   ( tr an s d u ctio n   m e t h o d ) .   So m e  t y p ical   ex a m p le s   o f   b io - r ec o g n itio n   ele m e n ts   ar e  ce lls ,   e n z y m e s ,   b io m o lec u les,  ap ta m er s ,   an d   an tib o d ies  [ 5 ] .   T h e   tr an s d u ct io n   m eth o d   ca n   tr a n s late  th e s e  b io - r ec o g n itio n   ele m en ts   i n to   q u an t if iab le  s ig n al s .   Sev er al  t y p e s   o f   tr an s d u ce r s   h a v e  b ee n   e m p lo y ed   o v er   th e  y ea r s   as  b io s e n s o r s ;  e. g .   elec tr o ch e m ical  [ 6 ] , [ 7 ] ,   m ass - s e n s in g   ( m ec h a n ical)   [ 8 ] , [ 9 ] ,   o p tical  [ 10 ] , [ 11 ] ,   an d   f ield - e f f ec t tr an s is to r s   [ 12 ] .     T h er e  is   an   in cr ea s i n g   d e m a n d   f o r   s p ec if ic,   lo w   co s t,  p o r tab le  an d   h ig h l y   s en s iti v e  b io s en s o r s .   P o in t - of - ca r e  ( P OC )   b io s e n s o r   s y s te m s   p r o v id es  a  co m p r eh e n s i v e  s o lu t io n   a s   it   p r o v id es  l ab el  f r ee   d etec tio n ,   r ea l - ti m e  m o n ito r in g ,   th at  is   ea s il y   p o r tab le  w h ich   i s   also   r elativ el y   c h ea p   [ 1 ], [ 13 ] – [ 22 ] .   T ec h n icall y ,   P OC   d ev ices  ca n   b e  class if ied   as  p o r tab le  s y s te m s   th at   ar e  s ep ar ate  f r o m   o t h er   m in ia tu r ized   p l atf o r m s   d u e  to   t h eir   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci     I SS N:  2502 - 4752       V erif ica tio n   o f Q u a r tz   C r ys ta l Micro b a la n ce   A r r a y  Usi n g   V e cto r   N etw o r k  . . . .   ( A h ma d   A n w a r   Za in u d d in )   85   ab ilit y   to   p er f o r m   an al y s e s   in   th e  f ield .   T h ese  s y s te m s   ca n   also   b e  im p le m e n ted   s u c h   th a t  it  in teg r ate s   w it h   th e  m u ltip le  ex is ti n g   lab   p r o ce s s es  u s in g   m icr o f l u id ic  s y s te m s   th at  a llo w s   d etec tio n   u s i n g   v ar io u s   t y p es  o f   tr an s d u ct io n   m eth o d s   a n d   r ea l - ti m e  r es u lt a cq u i s itio n s   [ 23 ] .     Am o n g   t h e  d if f er en t  t y p e s   o f   tr an s d u c tio n   m eth o d s ,   o p tical  m et h o d s   s u c h   as  s u r f ac e - p las m o n   r eso n an ce   o r   SP R ,   f l u o r escen ce ,   an d   o p tical  ca v it y   r e s o n ato r s   w er e  r ep o r ted   to   b e  s o m e  o f   t h e  m o s t  s en s iti v e   [ 10 ] , [ 11 ] , [ 21 ] .   SP R s   m ea s u r e  s u r f ac e - b ased   c h e m ical  r ea cti o n s   t h at  co r r esp o n d   to   r e f r ac tiv e  i n d ex   ch a n g es ,   th u s   g i v i n g   ch an g e  to   th e  o p tical  s ig n al.   SP R s   ar e  h o w ev er ,   im p r ac tical  f o r   P OC   ap p licatio n s   d u e  to   its   ex p en s iv e  eq u ip m e n t  w h ic h   al s o   r eq u ir e  s p ec if ic  tech n ical  e x p er tis e  to   o p er ate  [ 1 3 ] .   R ec e n t  w o r k   h a v e  s h o wn   in ter est   o n   a n al y s es   o f   o t h er   tr an s d u c tio n   m et h o d s   s u c h   as   el ec tr o ch e m ical   d etec tio n   a n d   m ass - s e n s i n g .   T h ese  m et h o d s   h av e  e x h ib ited   s ev er al  ad v an ta g es  f o r   in s ta n ce ,   ea s e  o f   o p er atio n ,   lo w   co s t,  a n d   m in i m al  o p er atin g   p r o ce d u r es  [ 6 ] - [ 9 ] .   Fu r th er m o r e ,   elec tr o ch em ica l  d etec tio n   lik e  elec tr o ch e m ical  i m p e d an ce   s p ec tr o s co p y   ( E I S)  an d   cy clic  v o lta m m etr y   ( C V)   u tili ze s   s cr ee n   p r in ted   el ec tr o d es  ( SP E s )   w h ich   ar e  co m m o n l y   u s ed   in   th e   b io s en s i n g   f ie ld   [ 24 ] – [ 28 ] .   T h is   m e th o d   d etec ts   i m p ed an ce   o r   cu r r en t  ch a n g e s   i n   elec tr o d e  s u r f ac e  o w in g   to   tr an s p o r t  o r   s u r f ac e  r ea ctio n s   [ 23 ] .   H o w ev er ,   th is   m et h o d   is   p r in cip all y   ca te g o r ized   as  a  d estru cti v e  p r o ce s s   s in ce   i t  ap p lies   d ir ec t  cu r r e n t   ( DC )   an d   alter n ate  c u r r en t  ( AC )   th r o u g h   a  s y s te m ,   h e n c e  d eter io r atin g   t h e  elec tr o d e  s u r f ac e,   s p ec i f icall y   in   SP E   ap p licatio n s .   A lt h o u g h   t h e  p er m an e n t  c h a n g e   o n   t h e  elec tr o d e  s u r f ac e  is   i n   n a n o - r an g e  s ca le,   it  s t ill  d estab ilizes  t h e  c u r r en t  o r   i m p ed an ce   o f   t h e  s y s te m .   Hen ce ,   n o n - u n i f o r m   r e s u l t s   ar e  o b s er v ab le  if   t h e  s a m e   S P E   is   u s ed   i n   a n o th er   ap p lica tio n .   Fo r   th is   r ea s o n ,   m o s t  S P E s   ar e  d is p o s ab le,   w h er e  t h e  elec tr o d e s   ar e  o n l y   m ea n t  f o r   s i n g le - u s e  ap p li ca tio n s   f o r   s p ec if ic   tar g et   d e tectio n   a n d   s p ec i f ic   tr an s d u ct io n   m et h o d s   li k e  E I S  an d   C V   [ 29 ] .   A lt h o u g h   S P E s   ar e  lo w - co s t   P OC   d ev ic es,  it  w i ll  i n cr ea s e   o p er atio n al  co s t a n d   ti m e  esp e ciall y   w h en   i t in v o lv e s   estab li s h i n g   m u ltip le  te s ti n g   o r   r esu l t s   v er i f icatio n .   A p ar t  f r o m   t h e  e lectr o ch e m i ca l  m et h o d s ,   m as s - s en s i n g   o r   Qu ar tz  C r y s tal  Mic r o b alan ce   s en s o r s   ( QC Ms)   ar e  also   w id el y   u s ed   as  it  i s   a  n o n - d estru ct iv e  a n d   u ltra s e n s itiv e   s e n s o r .   T h ese  s en s o r s   o n l y   ap p l y   v er y   lo w   a m p lit u d e  alter n at e  cu r r en ts   ( A C )   to   t h e  to p   an d   b o tto m   elec tr o d e  s u r f ac es  o f   p iezo elec tr ic  s u b s tr ate s ,   t y p ical l y   A T - c u t  Qu ar tz  cr y s tals .   T h is   r esu lts   in   a  s u b s ta n tial l y   lo w   c u r r en t  b ein g   ap p lied   to   m ea s u r e  t h e  c h e m ical  i n ter ac ti o n s   o n   t h e  elec tr o d e’ s   s u r f ac e   w it h o u t  p h y s icall y   m o d i f y in g   it,  e n s u r i n g   lo n g er   u s a g e  a n d   r ep r o d u cib ilit y   o f   r esu lt s .   Fo r   ce r tain   e x p er i m e n ts ,   Q C M s   ca n   a ls o   b e  clea n ed   u s i n g   c h e m i s tr y   s o lu tio n s   o r   u ltra s o n ic  tr ea t m en t,  allo w i n g   it  to   b e  r eu s ed .   Du e  to   th is ,   Q C Ms   h a v e  b e en   w id el y   u s ed   f o r   b io ch e m i s tr y   d etec tio n   [ 30 ] – [ 37 ] .   QC M  s e n s o r s   ca n   ev a lu a te  th e   c h an g es   i n   m as s   a n d   d en s it y - v is co s it y   o f   co m p le x   b io lo g ical  r e s p o n s es  o n   th e  s u r f ac e  o f   its   cr y s tal  s e n s o r   b ased   o n   ch a n g e s   in   t h e  r eso n an ce   f r eq u e n c y   [ 38 ] .   T h e  r eso n an ce   f r eq u e n c y   o f   t h e  p r o p ag atin g   ac o u s tic  wav e  t h r o u g h   t h e  s u r f ac e  o f   t h e  q u ar tz  w ill  r ed u ce   d u e  to   m a s s   ch a n g e  [ 39 ] – [ 41 ] .     I n   m o s t c o m m o n   ca s es,  t h e s e  s en s o r s   ca n   ev e n   d etec t  f r eq u en c y   s h i f ts   o f   1   H z   b y   u s i n g   h i g h   f r eq u en c y   o s cil lato r s   ( in   th e  MH z  r an g e)   [ 42 ]   allo w in g   it   to   d etec t  m a s s e s   in   th e  s u b - n g   lev el.   T h e  QC Ms  g en er all y   h a v e  lo w   s p u r io u s   b u l k   s i g n a ls   an d   g o o d   tem p er atu r e  s tab ili t y .   T h e  w a v e  m o d e  in   a   QC M  i s   b u l k   t h ic k n e s s   s h ea r   m o d e  ( T SM) ,   w h ic h   allo w s   f o r   o p er atio n   in   b o th   d r y   a n d   l iq u id   en v ir o n m e n ts .   T h e  m as s - s e n s i n g   m eth o d   h a s   b ee n   u s ed   ( v ia   Sa u er b r e y   t h eo r y )   i n   v ar io u s   f ield s   s u ch   as  e n v ir o n m en ta l   an al y s es,  s ec u r it y   m o n ito r in g ,   f o o d   s af et y   a n d   m ed ical  d ia g n o s tics   [ 3 1 ] , [ 43 ] .   I n   r ec en t  y ea r s ,   an   i n cr ea s i n g   am o u n t  o f   liter atu r e  h as  b ee n   r ep o r ted   o n   th e  d ev elo p m e n t  o f   QC M   ar r ay s   in   b io s en s in g   ap p licat io n s   [ 44 ] – [ 46 ] .   T h ese  w o r k s   aid   u s er s   to   ex ec u te  p ar allel  an d   s i m u lta n eo u s   m u lti - tar g et   a n al y s e s .   I t  w ill  s ig n i f ica n tl y   s i m p li f y   ted io u s   p r o ce d u r es  o f   m an ip u lati n g   co n ce n tr atio n s ,   d ata  r an g e,   an d   d if f er e n t  tar g et  m o lecu les  b y   h av i n g   m u lt ip le  ar r ay s   o n   a  s i n g le  d is k .   F u r t h er m o r e,   it  ca n   b e  in te g r ated   w it h   m icr o f lu id ic   s y s te m s   f o r   co n ti n u o u s   r eal - t i m e  e x p er i m e n t s   w it h o u t  s ig n i f ican t  er r o r   i n   q u al it y   f ac to r   [ 44 ] .   A   QC M  t h at  o p er ates  in   aq u eo u s   en v ir o n m en t  ca n   d etec t  d en s it y - v i s co s it y   a n d   ac o u s ti c   i m p ed an ce   e f f ec ts ,   m ak i n g   i t   a  h ig h l y   s e n s iti v e   d ev ice.   P lace m e n t   o f   s e v er al  Q C Ms   in   an   ar r a y   allo w  m u ltip le  p ar allel   m ea s u r e m e n ts ,   i m p r o v in g   th e   t h r o u g h p u t  o f   t h e  d ev ice.   A r r an g e m en t  o f   t h ese   s e n s o r s   i n   ar r ay   n ee d   to   tak e  in to   co n s id er atio n   s ev er al  asp ec ts   s u c h   a s   cr o s s - tal k   b et w ee n   s en s o r s ,   en er g y   lo s s   d u e  to   liq u id   d a m p i n g   an d   o t h er   f ac t o r s   [ 47 ] – [ 49 ] .   On e  k e y   p o i n t  f o r   th e  d esi g n   o f   th e s e  s e n s o r s   is   t h at  t h e  Q - f ac to r   o f   ea ch   s en s o r   h a s   to   b e  h i g h   to   o v er co m e  liq u id   d a m p i n g .   A n   o p ti m al  g ap   b et w ee n   t h e  s e n s o r s   i s   al s o   n ec es s ar y   to   av o id   f r eq u e n c y   i n ter f er e n ce ,   h e n c e  d ec r ea s in g   th e  Q - f ac to r   er r o r   f o r   ea ch   s en s o r .     T h is   p ap er   f o cu s es  o n   t h e  s i m u latio n   a n d   v er i f icatio n   o f   th e  QC M  ar r a y   u s i n g   v ec to r   n et w o r k   an al y ze r   ( VN A )   an d   an   o p en   s o u r ce   p o r tab le  m ea s u r in g   i n s tr u m e n t,  ( Op en Q C M) .   I n   th i s   w o r k ,   w e  s i m u late   an d   f ab r icat e  s ix   3 MH z  o f   Q C M  s en s o r s   o n   a  s in g le  w a f er .   Desig n   d etails  o f   th e  Q C M  h a v e  b ee n   r ep o r ted   p r ev io u s l y   i n   [ 50 ] .   I n itial l y ,   a  clas s ical  B u tter w o r th - v an - D y k e  ( B VD)   m o d el  w as  u s ed   to   ca lcu late   th e   i m p ed an ce   p ar a m eter s   ( R L C )   o f   ea ch   QC M  s e n s o r .   T h e  r esu lt s   w er e  th e n   u s ed   to   s i m u late  a  r eso n an c e   f r eq u en c y   a n al y s e s   u s i n g   AD S  s o f t w ar e.   C o m p ar is o n   b et wee n   t h e  t h eo r etica l  an d   e x p er i m e n tal  r eso n an ce   f r eq u en c y   a n al y s e s   w a s   p er f o r m ed   n ex t.   T h is   r ep o r t  is   o r g an ized   i n to   s ix   s ec tio n s   w i th   t h e  f ir s t   s ec tio n   in tr o d u ci n g   th e   b io s en s o r   an d   th e  s i g n i f ica n ce   o f   P OC   in   d iag n o s t ic  ap p licatio n s .   Secti o n   2   co m p r is es   t h e   u n d er l y in g   th eo r ies b e h i n d   th e   p r o p o s ed   QC M  s en s o r   as  Sec tio n   3   d ea ls   w it h   t h e  A D S s i m u latio n   m o d el.   T h e   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 5 0 2 - 4752   I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci,   Vo l.  10 ,   No .   1 ,  A p r il 2 0 1 8   :   8 4   –   9 3   86   m ea s u r e m e n t   s ett in g s   ar e  d esc r ib ed   in   Sect io n   4 .   Me a n w h ile ,   a ll c alc u latio n s   a n d   r elate d   m ea s u r e m en t   r es u lt s   ar e  p r esen ted   in   Sectio n   5 .   Sec tio n   6   s tates t h e  co n cl u s io n s   m ad e  f r o m   t h i s   r esear ch .       2.   B I O SE NSO R  P R I NCIP L E S   AND  DE S I G N  T H E O RY   2 . 1 .   Dev ice  s t ruct ure   Fig u r e  1   s h o w s   t h e  to p   a n d   c r o s s   s ec tio n al  v ie w s   o f   t h e  d ev ice  t o g et h er   an d   o p er atio n   as  a  m as s   s en s o r .   T h is   b io s en s o r   co m p r is es   t w o   d ep o s ited   m etal  o n   t h e   to p   an d   b o tto m   o f   a  q u ar tz  cr y s tal.   T h e  v ar iab le s   r   an d   s   i n d icate   th e   r ad iu s   o f   w o r k i n g   elec tr o d e  a n d   ce n tr e - to - ce n tr e  d i s ta n ce   o f   t w o   ad j ac en t  Q C M  s e n s o r s ,   r esp ec tiv el y .   T h e  d ia m eter   o f   q u ar tz  s u b s tr ate  i s   7 6 m m ,   q u a r tz  th ick n es s ,   h   =  5 0 0 µ m   an d   s en s o r   r ad iu s ,   r   =   3 . 3 0 m m   w er e  u s ed   in   t h is   wo r k .   T h e  ce n tr e - to - ce n tr e  d is t an ce   o f   Q C M,   s   i s   w as   s et  t o   6 m m   to   m i n i m ize   f r eq u en c y   i n ter f er e n ce .             Fig u r e  1 .   ( a)   Desig n   g eo m etr y   o f   a  s in g le  Q C M  s e n s o r   ( b )   O p er atio n   as a   m as s   s e n s o r   ( c)   QC M  ar r a y       An   AC   s i g n a l i s   ap p lied   b et wee n   t h e  to p   a n d   b o tto m   A T - q u ar tz  elec tr o d es to   g e n er ate  ac o u s tic   w a v e  en er g y   a n d   p r o d u ce   r eso n an ce .   W h en   u s ed   f o r   b io s en s in g   ap p licatio n s ,   f r eq u e n c y   s h i f ts   w i ll b e  in d u ce d   w h e n   b io lo g ical  m a ter ials   ar e  p lace d   o n   th e   to p   elec tr o d e  d u e  to   ad d itio n al  m as s .   P lace m e n t  o f   s i x   s en s o r s   i n   a n   ar r ay   allo w s   m u ltip le  d etec tio n   in   a  s in g le  p lat f o r m .     2 . 2 .   E qu iv a lent   circ uit  m o dels   T h e  QC M  ca n   b e  elec tr ical l y   r ep r esen ted   u s i n g   a n   eq u iv ale n t  cir cu it  b ased   o n   th e   class ical   B u tter w o r t h - v a n - D y k e  ( B VD)   cir cu it  as  s h o w n   i n   Fi g u r e  2   [ 51 ] - [ 52 ] .   T h is   th eo r y   is   e s tab lis h ed   f r o m   a  o n e - d i m en s io n al  a n al y s e s   o f   a  p iezo elec tr ic  r eso n ato r   as d escr ib ed   in   [ 52 ] .            Fig u r e  2 .   T h e  B u tter w o r th   Va n   D y k e  ( B VD)   elec tr ical  eq u i v alen t c ir cu it a s   a  QC M  m o d e l in   air   co n d itio n s     r T op   met al Bot t om  met al r=3.3 0m m s=6mm T op  M e tal Bot to m  M e tal h=500 µm Acou s tic    W a v e A C  si g n a l A C  si g n a l Q CM  1 QCM  2 QCM  3 QCM  4 QCM  5 QCM  6 (a ) (b) (c) Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci     I SS N:  2502 - 4752       V erif ica tio n   o f Q u a r tz   C r ys ta l Micro b a la n ce   A r r a y  Usi n g   V e cto r   N etw o r k  . . . .   ( A h ma d   A n w a r   Za in u d d in )   87   T h e  R L C   p ar a m eter s   o f   th e  eq u iv a len t   cir c u i t  ca n   b e  d iv id ed   in to   m o tio n al  co m p o n e n ts ,   R m ,   L m   a n d   C m   w h ic h   ar e  d er iv ed   f r o m   t h e  r eso n an ce   o p er atio n   o f   th e   QC M  an d   an   ad d itio n al  p ar a llel  s tatic  ca p ac ito r   (C 0 ) .   T h is   ad d itio n al  C 0   co n tr ib u te s   to   t h e  d ielec tr ic  e n er g y   s to r ag e  b ec au s e  t h e  o s cillatio n   c r y s tal  i s   estab lis h ed   in   b et w ee n   t h e  t wo   elec tr o d es.  T h e  m o tio n a l  r esis ta n ce ,   R m   r ep r esen ts   d is s ip atio n   o r   en er g y   lo s s   d u r in g   r eso n an ce .   T h e  m o tio n al  i m p ed an ce ,   L m   an d   m o tio n al  ca p ac itan ce ,   C m  co r r esp o n d   to   th e  m a s s   o f   th e   r eso n ato r   an d   co u p li n g   co e f f i cien t,  r esp ec ti v el y .   T h e  eq u at i o n s   f o r   th e s e  m o tio n a l  ele m e n ts   ar e  as   ex p r es s ed   in   E q .   ( 1 ) - ( 4 ) .   T a b le  1   s u m m a r izes th e  m ater ial  p r o p er ties   u s ed   to   p er f o r m   th i s   ca lcu latio n .                            ( 1 )                                  (    )     ( 2 )                         ( 3 )                 ̅          ( 4 )       T ab le  1 .   Ma ter ial  p r o p er ties   u s ed   in   th e  ca lc u latio n   an d   A D S si m u la tio n   P a r a me t e r s   V a l u e s   U n i t   R e f .   ρ q ,   D e n si t y   o f   q u a r t z   2 . 6 4 8   x   1 0 3   k g m - 3   [ 54 ]   µ q , S h e a r   mo d u l u s o f   q u a r t z   2 . 9 4 7   x   1 0 10   P a   o r   N m - 2   [ 54 ]   ρ l , D e n si t y   o f   l i q u i d   ( w a t e r )   1   x   1 0 3   k g m - 3   [ 55 ]   ƞ l ,   V i s c o u s i t y   o f   l i q u i d , P a . s   1   x   1 0 - 4   P a . s   [ 56 ]   µ l , S h e a r   mo d u l u s   o f   l i q u i d   ( w a t e r )   2 . 3   x   1 0 - 9   Pa   o r   N m - 2   [ 5 7 ]   µ f , S h e a r   mo d u l u s o f   f i l m (g o l d )   2 . 6   x   1 0 - 10   P a   o r   N m - 2   C O M S O L   ρ f , D e n si t y   o f   f i l m( g o l d )   1 9 3   x   1 0 3   k g m - 3   C O M S O L   ε 22 ,   Q u a r t z   p e r mi t t i v i t y   3 . 9 8   x   1 0 - 11   A 2 .s 4 . K g - 1 .m - 3   [ 58 ]   ρ q ,     P i e z o e l e c t r i c   c o n st a n t   o f   q u a r t z   9 . 6 5   x   1 0 - 2   A . s.m - 2   [ 59 ]   K 0 2 ,   e l e c t r o me c h a n i c a l   c o u p l i n g   c o n s t a n t   7 . 7 4   x   1 0 - 3   P a   o r   N m - 2   [ 50 ] , [ 60 ]   Ƞ q ,   Q u a r t z   v i sco si t y   0 . 4 2   P a . s   [ 58 ]       3.   E XT RAC T I O N  AND  SI M UL AT I O N  O F   RL C  E Q UIVA L E N T   CI RCUI T   I n   th i s   s ec tio n ,   a  co m p u ter - ai d ed   s y n t h es is   p r o g r a m   ( ADS  s o f t w ar e)   w as  u s ed   in   o r d er   to   d eter m in e   th e  R L C   eq u i v alen t   cir cu i t  p ar a m eter s   o f   t h e  Q C M  s e n s o r .   T h e  ca lcu lated   v al u e s   o f   R L C   p ar a m eter s   ar e  p r ed icted   u s in g   E q u atio n   ( 1) - (4 )   as  d escr ib ed   in   Sectio n   2 .   T h e  R L C   eq u i v ale n t  cir cu it   is   n e x t  s i m u lated   u s i n g   A DS  i n   a  t w o - p o r t  n et w o r k   to   o b tain   its   S2 1   o r   tr an s m i s s io n   p ar a m eter s .   Fi g u r e  3   s h o w s   t h e  S2 p   s i m u lat io n   s et u p   in   w h ic h   p o r t  1   an d   p o r t  2   co r r esp o n d   to   in p u t  an d   o u tp u t  p o r ts ,   r esp ec tiv el y .   A n   AC   f r eq u en c y   d o m ai n   a n al y s i s   is   d o n e  f r o m   2 . 7 7 MH z  to   3 . 7 7 MH z.   A   s tep   s ize  o f   5 k Hz  i s   s et   to   o b tain   h i g h - ac cu r ac y   s i m u latio n s .   T u n i n g   a n d   o p ti m izatio n   m et h o d s   ar e  d o n e  n ex t   to   ex tr ac t  r elev an t  p h y s ica l   p ar am eter s .   T h e  s i m u latio n   r e s u lt s   ar e  co m p ar ed   an d   tu n ed   to   ex p er im e n tal  m ea s u r e m en t  r esu lt s   to   o b tain   th e   R L C   p ar a m eter s   o f   th e    Q C M  s en s o r .                                        Fig u r e  3 .  S2 p   s i m u latio n   s e tu p   v ia  A DS so f t w ar e       4.   E XP E R I M E NT A L   WO RK   I n   th is   s ec tio n ,   t w o   d i f f er en t   e q u ip m e n ts   w er e  u s ed   to   m ea s u r e  th e   r eso n a n ce   f r eq u en c y   o f   t h e  Q C M  ar r ay .   I n   th e  f ir s t  ex p er i m en t   th e  QC M  s en s o r s   w er e  m ea s u r ed   u s i n g   a  v ec to r   n et w o r k   an al y ze r   ( VN A ) ,   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 5 0 2 - 4752   I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci,   Vo l.  10 ,   No .   1 ,  A p r il 2 0 1 8   :   8 4   –   9 3   88   Ag ile n t  E 5 0 6 1 A .   I n   t h e  s ec o n d   ex p er i m e n t,  th e   Op en Q C M  d ev ice  w a s   u s ed   to   m e asu r e  t h e  r e s o n a n ce   f r eq u en c y .   T h e  Op en Q C M  is   ess e n tiall y   an   A r d u in o   m icr o co n tr o ller   h av i n g   A T Me g a3 2 U4   p r o ce s s o r   w it h   1 6   MH z  clo ck   s p ee d .   T h e  f r eq u en c y   o f   t h e  v ib r atin g   q u ar tz  cr y s tal   w as  m ea s u r ed   u s i n g   th e   Fre q C o u n t   alg o r ith m   d ev elo p ed   b y   P au l  Sto f f r eg e n   f r o m   P J R C .   T h e  s o f t w ar e  o n   t h e  Op en Q C M  i s   o p en   s o u r ce   an d   ca n   b e  cu s to m ized   f o r   d if f er en t  ap p licatio n s .   T h e  m ai n   m o ti v ati o n   to   u tili ze   th e  Op e n QC M ,   is   its   p o r tab ilit y   an d   its   ea s e  o f   u s e  co m p ar ed   to   VNAs,  w h ic h   ar e  u n s u itab le  f o r   f ield   m ea s u r e m en t s   an d   r eq u ir e  ad d itio n al  d ata   p r o ce s s in g   f o r   m a s s   m ea s u r e m en ts .   Usa g e  o f   Op en QC M   d o es  h a v e  s o m e   li m itatio n s   h o w e v er ,   as   it  ca n   o n l y   d etec t Q C Ms  w it h   r eso n a n ce   Qs o f   lar g er   t h an   1 0 0 0 .       4 . 1 .   M e a s ure m e nts u s ing   Vec t o r  Net w o rk   Ana ly ze r   Fig u r e  4   s h o w s   th e  co n n ec t i o n   s et u p   o f   th e  Q C M  ar r a y   to   th e  VN A   v ia  a  p r in ted   cir cu it  b o ar d   ( P C B ) .   T h e  P C B   w a s   f ab r icat ed   w i th   th e   i n p u t   an d   o u tp u t   p o r ts   th at  u s es  t w o   SM A  co n n ec to r s .   S h o r t  3 - c m   w ir e s   w er e  s o ld er ed   at  b o th   i n p u t  a n d   o u tp u t  p o r ts   to   e n a b le  a  co n n ec tio n   to   t h e  Q C M  s en s o r   u s in g   cl ip   co n n ec to r s .   I n   o r d er   to   o b tain   h i g h - ac c u r ac y   m ea s u r e m e n ts ,   AC   f r eq u e n c y   d o m ai n   a n al y s es  w er e  s et  f r o m   2 . 7 7 MH z  to   3 . 7 7 MH z  w it h   a  s tep   s ize  o f   5 k Hz.             Fig u r e  4 .   E x p er i m en tal  s et u p   o f   f o r   m ea s u r e m en t s   u s i n g   Ve cto r   Net w o r k   An al y ze r       4 . 2 .   M e a s ure m e nts u s ing   O pen Q CM   Fig u r e  5   in d icate s   t h e  ex p er i m en tal  s et u p   o f   t h e  QC M  s en s o r   ar r ay   u s i n g   t h e  Op e n QC M  d e v ice.   T h e  in p u t   an d   o u tp u t   p o r ts   w er e  co n n ec ted   v i a   d ir ec t c lip   co n n ec t o r s .   T h e  Op en QC M   d ev ice  w a s   co n n ec ted   to   t h e  co m p u ter   u s i n g   a  USB   co n n ec to r .   T h e  m ea s u r e m e n t  r ec o r d s   th e  Q C M ’ s   r eso n an ce   f r eq u en c y ,   d u r atio n   o f   t h e   ex p er i m e n t  a n d   t h e  c u r r en t  te m p er at u r e.   I n   th is   w o r k ,   t h e  d u r atio n   w as  s et  to   3 0 0 s   i n   o r d er   allo w   s u f f icie n t   ti m e  f o r   ea ch   QC M  to   ac h iev e   s tab le  r eso n an ce s   b ef o r e  th e  m ea s u r e m e n t s   ar e  r ec o r d ed .             Fig u r e  5 .   A   co n n ec ti o n   s etu p   o f   Op en Q C M  m ea s u r e m e n t   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci     I SS N:  2502 - 4752       V erif ica tio n   o f Q u a r tz   C r ys ta l Micro b a la n ce   A r r a y  Usi n g   V e cto r   N etw o r k  . . . .   ( A h ma d   A n w a r   Za in u d d in )   89   5.   RE SU L T   AND  ANA L YS E S   5 . 1 .   Reso na nce  f re qu ency   a na ly s es us i ng   VNA  a nd   ex t ra t ed  RL C  pa ra m et er s   Fig u r e  6   s h o w s   t h e  m ea s u r ed   r eso n an ce s   f o r   QC M1 ,   QC M 3   an d   Q C M6 .   Me as u r e m e n t s   w er e  d o n e   in   tr ip licates   f o r   ea ch   QC M.   Me asu r e m en t  r es u lts   ar e  r e p r o d u cib le.   T h e  av er ag e  r eso n an ce   f r eq u e n c y   o f   3 . 2 8 1 MH z  ±   0 . 0 0 4 MH z  w as r ec o r d ed   in   th is   w o r k .                                   ( a)                               ( b )                                 ( c)     Fig u r e  6 .   T h e  tr ip licate  S2 1   tr an s m i s s io n   c h ar ac ter is tic s   r es o n an ce   f r eq u en c y   m ea s u r e m e n ts   ( a)   QC M1   ( b )   QC M3   an d   ( c) QC M  6   u s in g   V NA       B ased   o n   th e  ex p er i m e n tal  m e asu r e m en t s ,   A DS  s i m u latio n   o f   th e  2 - p o r t  n et w o r k   s h o w n   i n   Fi g u r e  3   ca n   b e  u s ed   to   o b tain   th e  e x tr a cted   eq u iv ale n t  c ir cu it  p ar a m e ter s .   Fi g u r e  7   s h o w s   t h e  b o th   t h e  s i m u lated   ADS   an d   m ea s u r ed   S2 1   tr an s m is s i o n   ch ar ac ter is tics .   Fro m   t h e  g r ap h ,   it  ca n   b e  s ee n   th at   b o th   r esu lts   ar e  in   g o o d   ag r ee m e n t  w it h   a  r eso n an ce   f r eq u en c y   o f   clo s e  to   3 . 2 8 1 MH z.   T h e  ex tr ac ted   eq u iv alen t  cir cu it  p ar a m eter s   ar e   d etailed   in   T ab le  2 .        T ab le  2 .   QC M  m ea s u r ed   p er f o r m an ce   a n d   ex tr ac ted   eq u i v ale n t c ir cu i t p ar a m eter s   M e a su r e d   Ex t r a c t e d   R e so n a n c e   f r e q u e n c y   ( M H z )   Q - f a c t o r   R m ( k Ω )   C 0 ( p F )   L m ( H )   C m ( f F )   3 . 2 8 1   1 4 1   4 . 7 0 1   9 . 9 9 1   0 . 1 3 6   1 7 . 2 0 0         Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 5 0 2 - 4752   I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci,   Vo l.  10 ,   No .   1 ,  A p r il 2 0 1 8   :   8 4   –   9 3   90       Fig u r e  7 .   S 21   Ma g n it u d e  T r an s m is s io n   c h ar ac ter is tic s   o f   Q C M         Me asu r ed   g r ap h   o b tai n ed   f r o m   m ea s u r e m e n ts   u s in g   t h e  ex p er i m e n tal  s etu p   s h o w n   i n   Fig u r e   5 .  E x tr ac ted   ch ar ac ter is t ics  w er e   s i m u la ted   u s in g   t h e  ca l c u late d   v alu e s   s h o w n   i n   T ab le  2   v ia  E q u atio n   ( 1 - )(4 )  an d   n ex t f i n e - t u n ed   to   m atc h   t h e  m ea s u r e m e n t r esu lts .       5 . 2 .   Reso na nce  f re qu ency   a na ly s es us i ng   O penQ CM   dev ice   Fig u r e  8   s h o w s   t h e  ex p er i m en tal  r es u lts   f o r   all  QC Ms.  Fro m   th e  r es u lt s ,   a  s tab le  tr an s m i s s io n   f r eq u en c y   o f   3 . 2 9 0 ± 0 . 0 0 4 MH z  f o r   6   QC Ms  ar r ay   i n   a  co n s tan t  te m p er at u r e  o f   3 1  C .   T h ese  r esu lts   co m p l ied   w it h   t h e  r eso n a n ce   f r eq u en c y   m ea s u r e m e n t  u s i n g   VN A   w it h   o n l y   a  s m a ll  to ler an ce   o f   0 . 3 %   an d   0 . 4 %  r esp ec tiv el y .   T ab le  3   s u m m ar izes  th e  a n al y s es  o f   r eso n an c e  f r eq u en c y   m ea s u r e m e n t  i n   ter m s   o f   t h eo r etica l   an d   ex p er i m e n tal  m et h o d s   as  d is cu s s ed   p r ev io u s l y   i n   th is   s e ctio n .           Fig u r e  8 .   T h e  tr ip licate  r eso n an ce   f r eq u e n c y   m ea s u r e m e n ts   f o r   all  QC Ms  v ia  Op e n QC M  d ev ice   T ab le  3 .   C o m p ar is o n   o f   r eso n an ce   f r eq u e n c y   m ea s u r e m e n ts   u s i n g   V N A   an d   Op en QC M   Q C M   M e a su r e me n t , V N A   ( M H z ) , F 0M   M e a su r e me n t , O p e n Q C M   ( M H z )   D i f f e r e n c e   V N A   V s.  Q C M   ( %)   Q C M 1   3 . 2 8 1 ± 0 . 0 0 5   3 . 2 8 9 ± 0 . 0 0 4   0 . 2 2 3   Q C M 2   3 . 2 7 8 ± 0 . 0 0 5   3 . 2 8 7 ± 0 . 0 0 4   0 . 2 7 0   Q C M 3   3 . 2 8 1 ± 0 . 0 0 4   3 . 2 8 9 ± 0 . 0 0 4   0 . 2 2 4   Q C M 4   3 . 2 7 8 ± 0 . 0 0 5   3 . 2 8 7 ± 0 . 0 0 4   0 . 2 5 9   Q C M 5   3 . 2 8 1 ± 0 . 0 0 4   3 . 2 8 9 ± 0 . 0 0 4   0 . 2 2 4   Q C M 6   3 . 2 8 1 ± 0 . 0 0 5   3 . 2 8 9 ± 0 . 0 0 4   0 . 2 2 2     QCM1 QCM2 QCM3 QCM4 QCM5 QCM6 Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci     I SS N:  2502 - 4752       V erif ica tio n   o f Q u a r tz   C r ys ta l Micro b a la n ce   A r r a y  Usi n g   V e cto r   N etw o r k  . . . .   ( A h ma d   A n w a r   Za in u d d in )   91   6.   CO NCLU SI O N   An   ar r a y   o f   b io s en s o r s   co m p r is in g   o f   6   Q C Ms   o n   a  s i n g le   w a f er   h av e   b ee n   f ab r i ca ted   an d   ch ar ac ter ized   in   th is   w o r k .   Me asu r e m en ts   w er e  d o n e  u s i n g   b o th   a  v ec to r   n et w o r k   a n al y ze r   ( VN A )   an d   a  p o r tab le  in s tr u m e n t,  Op e n Q C M   h av e   b ee n   d i s cu s s ed .   M ea s u r e m en t s   o f   S2 1   tr a n s m is s io n   c h ar ac ter is tic s   u s i n g   t h e  VN A   ca n   al s o   b e  u s ed   to   d eter m i n e  t h e  R L C   eq u i v alen t  elec tr ical  cir c u it  v al u es   o f   R m ,   L m ,   C m   a n d   C o .   Me as u r e m e n t s   w er e  d o n e  in   tr ip licates  to   v er i f y   r ep r o d u cib ilit y   f o r   all  6   s e n s o r s .   Nex t,  m ea s u r e m e n t s   u s i n g   a  p o r tab le,   o p en - s o u r ce   in s tr u m e n t,  Op e n QC M   w er e  m ad e.   T h e  Op en QC M   in s tr u m e n t  d ir ec tl y   m ea s u r es  c h a n g e s   i n   r eso n a n ce   f r eq u e n cies,  m a k in g   i t  id ea l  f o r   b io s en s in g   e x p er i m e n ts ,   w h ich   co r r elate   ch an g es  i n   m ass   w i th   c h an g es  i n   r e s o n a n ce   f r eq u e n cie s .   C o m p ar is o n   b et w ee n   r es o n an ce   f r eq u en c y   m ea s u r e m e n t s   u s i n g   V N A   a n d   Op en Q C M   ex h ib it  lo w   p er ce n tag e   d if f er en ce   0 . 2 %.    T h is   s e n s o r   h as  th e   p o ten tial  o f   r ea l - ti m e  a n al y s es   an d   p ar allel  m o n ito r in g   o r   d e tectio n   o f   b io lo g ical  m o lec u le s .   W h en   i n teg r ate d   w it h   th e   Op en QC M,   t h is   s e n s o r   h as   th e   p o ten tial   o f   p er f o r m in g   o n   t h e  f ield   a n al y s e s   d u e  t o   its   p o r tab ilit y   a n d   ea s e  o f   u s e.         ACK NO WL E D G E M E NT   T h is   w o r k   is   f u n d ed   b y   t h e  Min is tr y   o f   Scie n ce   an d   T ec h n o lo g y   o f   Ma la y s ia,   u n d er   t h e   E Scien ce F u n d   ( SF 1 6 - 004 - 0 0 7 3 ) .   Fab r icatio n ,   ch ar ac ter izati o n   an d   m ea s u r e m en t  o f   t h e  d ev ices   w er e  d o n e  at   XL I M  an d   SP C T S a t L i m o g es   Un i v er s it y ,   Fra n ce .       RE F E R E NC E S     [1 ]   S .   Jo h n   A .   a n d   P rice   C .  P. ,   ― Ex isti n g   a n d   e m e rg in g   tec h n o l o g ies   f o r  p o i n t - of - c a re   tes ti n g ,‖   Cli n   Bi o c h e m  Rev . ,   v o l/ issu e :  3 5 (3 ) ,   p p .   1 5 5 ,  2 0 1 4 .    [2 ]   L iso w sk i  P .   a n d   Zarz y c k i  P .  K. ,   ― M icro f lu id ic  p a p e r - b a se d   a n a ly ti c a l  d e v ice s  (μP A Ds )  a n d   m icro   to tal  a n a ly se s   s y ste m s  (μ TA S ):  d e v e lo p m e n t,   a p p li c a ti o n s  a n d   f u tu re   tren d s ,‖   C h ro ma t o g r a p h ia ,  v o l/ issu e :  7 6 (1 9 – 2 0 ) ,   p p .   1 2 0 1 – 1 2 1 4 ,  2 0 1 3 .    [3 ]   Kin g   K . R . ,  e t  a l . ,   ― P o i n t - of - Ca re   T e c h n o lo g ies   f o r  P re c isio n   Ca rd io v a sc u lar  Ca re   a n d   Cl in ica l  R e se a rc h ,‖   J ACC  Ba sic   T ra n sl S c i . ,   v o l/ issu e :  1 ( 1 – 2) ,   p p .   73 – 86 ,  2 0 1 6 .    [4 ]   Hu   J . ,  e t  a l . ,   ― P o rtab le  m icro f lu id ic  a n d   sm a rtp h o n e - b a se d   d e v ice s  f o r  m o n it o r i n g   o f   c a rd io v a sc u la r  d ise a se s  a t  th e   p o i n t  o f   c a re ,‖   Bi o tec h n o l   Ad v . ,   v o l/ issu e :  3 4 ( 3 ) ,   p p .   3 0 5 – 3 2 0 ,  2 0 1 6 .    [5 ]   S il v a   E .  T . ,  e t  a l. ,   ― El e c tro c h e m i c a l  b io se n so rs  i n   p o in t - of - c a re   d e v ice s:  re c e n t  a d v a n c e s  a n d   f u tu re   tren d s ,‖   Ch e m   El e c tro   Ch e m ,   2 0 1 7 .     [6 ]   Da r w ish   N .   T . ,  e t  a l. ,   ― El e c tro c h e m i c a l  I m m u n o se n so r  Ba se d   o n   A n ti b o d y - Na n o p a rti c le  H y b rid   f o r  S p e c if ic   De tec ti o n   o f   th e   De n g u e   V ir u s NS1   Bi o m a rk e r ,‖   J   El e c tro c h e m S o c . ,   v o l/ issu e :  1 6 3 (3 ) ,   p p .   B 1 9 – 25 ,  2 0 1 6 .    [7 ]   Zain u d d i n   A .  A . ,  e t  a l. ,   ― M o d e li n g   o f   a   n o v e l  b i o se n so r   w i th   in teg ra ted   m a ss   a n d   e lec tro c h e m ic a l  se n sin g   c a p a b il it ies ,‖   2 0 1 6   IEE E   EM BS   C o n fer e n c e   o n   Bi o me d ica l  En g in e e rin g   a n d   S c ie n c e s ( IECB ES ) ,   p p .   4 2 0 – 5 ,  2 0 1 6 .   [8 ]   Zi e g ler C. ,   ― Ca n ti lev e r - b a se d   b io se n so rs ,‖   An a l  Bi o a n a l   Ch e m ,  v o l /i ss u e :  3 7 9 ( 7 – 8) ,   p p .   9 4 6 – 9 5 9 ,  2 0 0 4 .    [9 ]   Ja n sh o f f   A . ,  e t  a l. ,   ― P iez o e lec tri c   M a ss - S e n sin g   De v ice s  a s  Bio se n so rs — a n   A lt e rn a ti v e   to   Op t ica l  Bio se n so rs? ‖  An g e w  C h e m In t  E d . ,   v o l/ issu e :  3 9 (2 2 ) ,   p p .   4 0 0 4 – 4 0 3 2 ,  2 0 0 0 .    [1 0 ]   Ha n   M . ,  e t  a l. ,   ― Qu a n tu m - dot - tag g e d   m icro b e a d s  f o r  m u lt ip lex e d   o p ti c a l  c o d i n g   o f   b io m o lec u les ,‖   N a t  Bi o tec h n o l . ,  v o l/ issu e :  1 9 (7 ) ,   p p .   6 3 1 ,  2 0 0 1 .    [1 1 ]   F a n   X . ,  e t  a l. ,   ― S e n sit iv e   o p ti c a l  b io se n so rs  f o r  u n lab e led   targ e ts:  A rev ie w ,‖   An a l  Ch im  Acta ,   v o l/ issu e :  6 2 0 ( 1 ) ,   p p .   8 – 26 ,  2 0 0 8 .    [1 2 ]   Zh e n g   G . ,  e t   a l. ,   ― M u lt ip lex e d   e le c tri c a l  d e tec ti o n   o f   c a n c e r   m a rk e r s  w it h   n a n o w ire se n so r  a rr a y s ,‖   N a t  Bi o tec h n o l . ,  v o l/ issu e :  2 3 (1 0 ) ,   p p .   1 2 9 4 ,  2 0 0 5 .    [1 3 ]   V e rra stro   M . ,  e t  a l . ,   ― Am p e ro m e tri c   b io se n s o r  b a se d   o n   L a c c a se   imm o b il ize d   o n t o   a   sc re e n - p rin te d   e lec tro d e   b y   M a tri x   A ss ist e d   P u lse d   L a se r  Ev a p o ra ti o n ,‖   T a l a n t a ,   v o l .   1 5 4 ,   p p .   438 – 4 4 5 ,  2 0 1 6 .    [1 4 ]   E .   Ha rra d   L .   a n d   Am in e   A . ,   ― Am p e ro m e tri c   b io se n so r  b a se d   o n   p ru ss ian   b lu e   a n d   n a f io n   m o d if ied   sc re e n - p rin te d   e lec tro d e   f o r  sc r e e n in g   o f   p o ten ti a l  x a n th in e   o x id a se   i n h ib it o rs  f ro m   m e d icin a l  p lan ts ,‖   En zy me   M i c ro b   T e c h n o l . ,  v o l.   8 5 ,   p p .   57 – 63 ,  2 0 1 6 .    [1 5 ]   S il v a   B .  V .  M . ,  e t  a l . ,   ― A n   u lt ra se n siti v e   h u m a n   c a rd iac   tro p o n i n   T   g ra p h e n e   sc re e n - p rin ted   e lec tro d e   b a se d   o n   e lec tro p o ly m e rize d - m o lec u lar l y   i m p rin ted   c o n d u c ti n g   p o ly m e r ,‖   Bi o se n s B i o e lec tro n ,   v o l .   77 ,   p p .   9 7 8 – 85 ,  2 0 1 6 .    [1 6 ]   S a lam   F .   a n d   T o th il l  I .  E. ,   ― De tec ti o n   o f   S a lm o n e ll a   ty p h im u r iu m   u sin g   a n   e lec tro c h e m ica l  i m m u n o se n so r ,‖   Bi o se n s B i o e lec tro n ,   v o l/ issu e :  2 4 (8 ) ,   p p .   2 6 3 0 – 2 6 3 6 ,  2 0 0 9 .    [1 7 ]   Zh y b a k   M .  T . ,  e t  a l . ,   ― Dire c t  d e tec ti o n   o f   a m m o n iu m   io n   b y   m e a n s  o f   o x y g e n   e le c tro c a tal y si s  a t  a   c o p p e r - p o ly a n il in e   c o m p o site o n   a   sc re e n - p rin te d   e lec tro d e ,‖   M icr o c h im  A c ta ,   v o l/ issu e :   1 8 3 ( 6 ) ,   p p .   1 9 8 1 – 7 ,  2 0 1 6 .    [1 8 ]   A rd u in i  F . ,  e t  a l . ,   ― El e c tro c h e m ic a l  b io se n so rs  b a se d   o n   n a n o m o d if ied   sc re e n - p rin ted   e lec t ro d e s:  Re c e n t   ap p li c a ti o n s in   c li n ica l  a n a ly se s ,‖   T rAC T re n d s  An a l  Ch e m . ,   v o l.   79 ,   p p .   1 1 4 – 26 ,  2 0 1 6 .    [1 9 ]   Zh u   Y . ,  e t  a l. ,   ― L a b e l - f re e   d e tec t io n   o f   k a n a m y c in   b a se d   o n   th e   a p tam e r - f u n c ti o n a li z e d   c o n d u c ti n g   p o ly m e r/g o ld   n a n o c o m p o s ite ,‖   Bi o se n s B i o e lec tro n ,  v o l /i ss u e :  3 6 ( 1 ) ,   p p .   29 – 34 ,  2 0 1 2 .    [2 0 ]   Zela d a   G .   G .  A . ,  e t  a l. ,   ― L a b e l - f re e   d e tec ti o n   o f   S tap h y lo c o c c u s  a u re u s  i n   sk in   u sin g   re a l - ti m e   p o ten ti o m e tri c   b io se n so rs b a se d   o n   c a rb o n   n a n o t u b e s an d   a p tam e rs ,‖   Bi o se n s B io e lec tro n ,  v o l/ issu e :  3 1 (1 ) ,   p p .   2 2 6 – 232 ,  2 0 1 2 .    Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 5 0 2 - 4752   I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci,   Vo l.  10 ,   No .   1 ,  A p r il 2 0 1 8   :   8 4   –   9 3   92   [2 1 ]   F e rn á n d e z   E . ,  e t  a l. ,   ―M e rc u ry   d e term in a ti o n   i n   u rin e   sa m p les   b y   g o ld   n a n o stru c t u re d   sc re e n - p rin te d   c a rb o n   e lec tro d e s af t e r  v o rtex - a ss isted   io n ic l iq u id   d isp e rsiv e   li q u i d – li q u id   m icro e x trac ti o n ,‖   An a l  Ch im  Acta ,   v o l.   9 1 5 ,   p p .   49 – 55 ,  2 0 1 6 .    [2 2 ]   Re b e lo   T .  S . ,  e t  a l. ,   ― P r o tein   imp rin te d   m a teria l s  d e sig n e d   w it h   c h a rg e d   b i n d i n g   sites   o n   sc re e n - p r in ted   e lec tro d e   f o r  m icro se m in o p ro tein - b e ta  d e term in a ti o n   in   b io l o g ica l  sa m p les ,‖   S e n s  Actu a to rs   B  Ch e m . ,   v o l.   2 2 3 ,   p p .   8 4 6 – 8 5 2 ,  2 0 1 6 .    [2 3 ]   P ra k a sh   S . ,  e t  a l. ,   ― T h e o ry ,   f a b rica ti o n   a n d   a p p li c a ti o n s  o f   m icro flu i d ic  a n d   n a n o f lu id ic  b io se n s o rs ,‖   Ph il   T ra n s  R   S o c   A ,   v o l/ issu e :  3 7 0 (1 9 6 7 ) ,   p p .   2 2 6 9 – 2 3 0 3 ,  2 0 1 2 .   [2 4 ]   Ha y a t  A .   a n d   M a rty   J .  L. ,   ― Disp o sa b le  sc re e n   p rin te d   e lec tro c h e m ica l  se n so rs:  T o o ls  f o r  e n v iro n m e n tal   m o n it o rin g ,‖   S e n so rs ,   v o l/ iss u e :  1 4 (6 ) ,   p p .   1 0 4 3 2 – 1 0 4 5 3 ,  2 0 1 4 .    [2 5 ]   Am in   S . ,  e t  a l . ,   ― Disp o sa b le  sc re e n   p rin te d   g ra p h it e   e lec tro d e   f o r  th e   d irec t  e lec tro c h e m ic a l  d e ter m in a ti o n   o f   ib u p ro f e n   in   su rf a c e   w a ter ,‖   En v i ro n   N a n o tec h n o l  M o n it   M a n a g . ,   v o l.   1 ,   p p .   8 – 13 ,  2 0 1 4 .    [2 6 ]   T a le a t  Z . ,  e t  a l. ,   ― S c re e n - p rin te d   e lec tro d e s  f o r  b io se n sin g :  a   re v iew   (2 0 0 8 – 2 0 1 3 ) ,‖   M icr o c h im  A c ta ,   v o l/ issu e :  1 8 1 (9 – 1 0 ) ,   p p .   8 6 5 – 8 9 1 ,  2 0 1 4 .    [2 7 ]   Ba lk e n h o h l  T .   a n d   L isd a t  F . ,   ― S c re e n - p rin te d   e lec tro d e s  a s  im p e d ime tri c   i m m u n o se n so rs  f o r  th e   d e tec ti o n   o f   a n ti - tran sg lu tam in a se   a n ti b o d ies   i n   h u m a n   se ra ,‖   An a l  C h i m A c ta ,   v o l/ is su e :  5 9 7 (1 ) ,   p p .   50 – 57 ,  2 0 0 7 .    [2 8 ]   A lo n so   L .   M .  A . ,  e t  a l. ,   ― S c re e n - p rin te d   b io se n s o rs i n   m icro b io lo g y ;   a   r e v ie w ,‖   T a la n t a ,   v o l/ issu e :  8 2 (5 ) ,   p p .   1 6 2 9 – 1 6 3 6 ,  2 0 1 0 .    [2 9 ]   Zain u d d i n   A .  A . ,  e t  a l. ,   ― M o d e li n g   o f   a   n o v e l  b i o se n so r   w it h   in teg ra ted   m a ss   a n d   e lec tro c h e m ic a l  se n sin g   c a p a b il it ies ,‖   Bi o me d ica l  E n g i n e e rin g   a n d   S c ien c e s  ( IECB ES ),   2 0 1 6   IEE E  EM B S   Co n fer e n c e   o n ,   p p .   4 2 0 – 4 2 5 ,  2 0 1 6 .   [3 0 ]   L u   F . ,  e t  a l. ,   ― En e rg y - trap p in g   a n a l y se s  f o r  th e   b i - ste p p e d   m e sa   q u a rtz cr y st a l  m icro b a lan c e   u sin g   th e   f in it e   e le m e n t   m e th o d ,‖   S ma rt M a ter   S tru c t . ,   v o l/ issu e :  1 4 (1 ) ,   p p .   2 7 2 ,  2 0 0 5 .    [3 1 ]   No rd i n   A .  N . ,  e t  a l .,   ― S c re e n   P ri n ted   El e c tro m e c h a n ica l  M icro - to ta l  A n a l y s e s S y ste m   (μta s)  f o r  S e n siti v e   a n d   Ra p id   D e tec ti o n   o f   In f e c ti o u s Dise a se s ,‖   Pro c e d ia   T e c h n o l . ,   v o l.   27 ,   p p .   100 – 1 0 1 ,  2 0 1 7 .    [3 2 ]   Ka o   W .  L . ,  e t  a l. ,   ― Eff e c t  o f   S u rf a c e   P o ten t ial  o n   th e   A d h e sio n   Be h a v io r  o f   NIH 3 T 3   Ce ll s  Re v e a led   b y   Qu a rtz  Cr y sta l  M icro b a lan c e   w it h   Diss i p a ti o n   M o n it o ri n g   (QCM - D) ,‖   J   Ph y s  Ch e m  C ,   v o l/ issu e :  1 2 1 ( 1 ) ,   p p .   5 3 3 – 5 4 1 ,  2 0 1 7 .    [3 3 ]   M a rti n   S .  J . ,  e t  a l . ,   ― Ch a ra c teriz a ti o n   o f   a   q u a rtz  c ry sta l  m icro b a lan c e   w it h   sim u l tan e o u s  m a ss   a n d   li q u i d   l o a d i n g ,‖   An a l   Ch e m . ,   v o l /i ss u e :  6 3 ( 2 0 ) ,   p p .   2 2 7 2 – 2 2 8 1 ,  1 9 9 1 .   [3 4 ]   M a rc h   C . ,  e t  a l . ,   ― Hig h - f re q u e n c y   p h a se   sh if t  m e a su re m e n t  g re a tl y   e n h a n c e s  th e   s e n siti v it y   o f   QCM  imm u n o se n so rs ,‖   Bi o se n s   B io e lec tro n ,   v o l.   65 ,   p p .   1 – 8 ,  2 0 1 5 .    [3 5 ]   Hie d a   M . ,  e t   a l. ,   ― Ultras e n siti v e   q u a rtz  c ry sta l  m icro b a la n c e   w it h   p o ro u s  g o l d   e lec tro d e s ,‖   Ap p l   Ph y s  L e t t. ,  v o l/ issu e :  8 4 (4 ) ,   p p .   6 2 8 – 6 3 0 ,  2 0 0 4 .    [3 6 ]   P e n g   H .  B . ,  e t  a l. ,   ― Ultrah ig h   f re q u e n c y   n a n o tu b e   re so n a to rs ,‖   Ph y s   Re v   L e tt . ,   v o l/ issu e :  9 7 (8 ) ,   p p .   0 8 7 2 0 3 ,  2 0 0 6 .    [3 7 ]   L u   F . ,  e t   a l . ,   ― Qu a rtz  c ry sta l  m icr o b a lan c e   w it h   rig id   m a ss   p a rti a ll y   a tt a c h e d   o n   e lec tro d e   su rf a c e s ,‖   S e n s  Actu a to rs   Ph y s . ,   v o l/ iss u e :  1 1 2 ( 2 ) ,   p p .   2 0 3 – 210 ,  2 0 0 4 .    [3 8 ]   V o ic u les c u   I .   a n d   N o rd i n   A .  N. ,   ― A c o u stic  wa v e   b a s e d   M EM S   d e v i c e s  f o r  b io se n sin g   a p p l ica ti o n s ,‖   Bi o se n s   Bi o e lec tro n ,   v o l/ issu e :  3 3 ( 1 ) ,   p p .   1 – 9 ,  2 0 1 2 .    [3 9 ]   J a c o b s   J. ,   ― C o n v e rters   in   Bio lo g y , ‖   Bi o me c h a n ics   a n d   Rela t e d   Bi o - En g in e e rin g   T o p ics :  Pro c e e d in g s  o f  a   S y mp o si u m He ld   i n   Gla s g o w ,  p p .   6 3 ,   1 9 6 4 .     [4 0 ]   Kim   B .  C . ,  e t  a l. ,   ― In - L in e   M e a su re m e n t  o f   W a ter  Co n ten ts  i n   Et h a n o l  Us in g   a   Zeo li te - Co a ted   Qu a rtz  Cry st a l   M icro b a lan c e ,‖   S e n so rs ,  v o l/ iss u e :  1 5 ( 1 0 ) ,   p p .   2 7 2 7 3 – 2 7 2 8 2 ,  2 0 1 5 .    [4 1 ]   F u   Y .  Q . ,  e t   a l .,   ― P iez o e lec tri c   Zi n c   Ox id e   a n d   A lu m in u m   Nitri d e   F il m s  f o r  M icro f lu id ic  a n d   B io se n sin g   A p p li c a ti o n s ,‖   Bi o l  Bi o me d   C o a t   Ha n d b   A p p l . ,   p p .   3 3 5 ,  2 0 1 6 .    [4 2 ]   L u c k lu m   R .   a n d   Ha u p tm a n n   P . ,   ― T h e   Δf – ΔR   QCM  tec h n iq u e :  a n   a p p ro a c h   to   a n   a d v a n c e d   se n so r  sig n a l  in terp re tatio n ,‖   E lec tro c h imica   A c ta ,   v o l/ issu e :   4 5 (2 2 ) ,   p p .   3 9 0 7 – 16 ,  2 0 0 0 .    [4 3 ]   T u rn e r  N .  W . ,  e t   a l. ,   ― T h e   u se   o f   a   q u a rtz  c r y sta l  m icro b a lan c e   a s  a n   a n a l y ti c a l  to o l  to   m o n it o r  p a rti c le/su rf a c e   a n d   p a rti c le/p a rti c le  in tera c ti o n s  u n d e r  d ry   a m b ien t  a n d   p re ss u rize d   c o n d it i o n s:  a   st u d y   u sin g   c o m m o n   in h a ler   c o m p o n e n ts , ‖   An a lys t ,   v o l /i ss u e :  1 4 2 (1 ) ,   p p .   2 2 9 – 2 3 6 ,  2 0 1 7 .    [4 4 ]   L iu   F . ,  e t  a l. ,   ― A   n o v e l  c e ll - b a se d   h y b rid   a c o u stic  w a v e   b io se n so r  w it h   i m p e d im e tri c   se n sin g   c a p a b il it ies ,‖   S e n so rs ,  v o l/ issu e :  1 3 (3 ) ,   p p .   3 0 3 9 – 3 0 5 5 ,  2 0 1 3 .    [4 5 ]   Du n h a m   G .  C . ,  e t  a l. ,   ― D u a l  q u a rt z   c r y sta l  m icro b a lan c e ,‖   An a l  C h e m ,  v o l/ issu e :  6 7 (2 ) ,   p p .   2 6 7 – 2 7 2 ,  1 9 9 5 .    [4 6 ]   Bru c k e n ste in   S . ,  e t  a l . ,   ― Du a l  q u a rtz cr y sta l  m i c ro b a lan c e   c o m p e n s a ti o n   u si n g   a   su b m e rg e d   re fe re n c e   c r y sta l.   E ff e c t  o f   su rf a c e   ro u g h n e ss   a n d   li q u i d   p r o p e rti e s ,‖   J   El e c tro a n a l  Ch e m . ,   v o l/ issu e :  3 7 0 (1 – 2) ,   p p .   1 8 9 – 1 9 5 ,  1 9 9 4 .    [4 7 ]   Ka n k a re   J. ,   ― S a u e rb re y   e q u a ti o n   o f   q u a rtz cr y sta l  m icro b a lan c e   in   li q u i d   m e d iu m ,‖   L a n g mu ir ,   v o l/ is su e :  1 8 ( 1 8 ) ,   p p .   7 0 9 2 – 7 0 9 4 ,  2 0 0 2 .    [4 8 ]   M ich a lzik   M . ,  e t  a l. ,   ― M in iat u r ize d   QCM - b a se d   f lo w   s y ste m   fo r  imm u n o se n so r  a p p li c a ti o n   in   li q u i d ,‖   S e n s   Actu a t o rs   B  Ch e m . ,   v o l.   1 1 1 ,   p p .   410 – 4 1 5 ,  2 0 0 5 .    [4 9 ]   Du n h a m   G .  C . ,  e t  a l. ,   ― Du a l  q u a rt z   c r y sta l  m icro b a lan c e ,‖   An a l  C h e m . ,   v o l/ issu e :  6 7 ( 2 ) ,   p p .   2 6 7 – 272 ,  1 9 9 5 .    [5 0 ]   Zain u d d i n   A .  A . ,  e t  a l. ,   ― De sig n   a n d   Op ti m iza ti o n   o f   a   M EM S   Qu a rtz  M a ss   S e n so r  A rra y   f o r  Bio se n sin g ,‖   i n  2017  IEE E  In ter n a ti o n a l  Co n fer e n c e   o n   S m a rt  In stru me n ta ti o n ,   M e a su re me n t  a n d   A p p li c a ti o n s  ( ICS IM A),   Ku a la   L u mp u r ,   2 0 1 7 .   [5 1 ]   Ba ro n   T . ,  e t  a l . ,   ― A   p re s su re   s e n so r  b a se d   o n   a   HB A R  m i c ro m a c h in e d   stru c tu re ,‖   2 0 1 0   IEE E  In ter n a ti o n a l   Fre q u e n c y   Co n tro l  S y mp o si u m ,   p p .   3 6 1 – 4 ,  2 0 1 0 .    Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n d o n esia n   J   E lec  E n g   &   C o m p   Sci     I SS N:  2502 - 4752       V erif ica tio n   o f Q u a r tz   C r ys ta l Micro b a la n ce   A r r a y  Usi n g   V e cto r   N etw o r k  . . . .   ( A h ma d   A n w a r   Za in u d d in )   93   [5 2 ]   G ra n sta ff   V .  E .   a n d   M a rt in   S .  J. ,   ― Ch a ra c teriz a ti o n   o f   a   th ick n e ss - sh e a r  m o d e   q u a rtz  re so n a t o r   w it h   m u lt ip le   n o n p iez o e lec tri c   lay e rs ,‖   J   Ap p l  P h y s. ,   v o l/ issu e :  7 5 ( 3 ) ,   p p .   1 3 1 9 – 1 3 2 9 ,  1 9 9 4 .    [5 3 ]   T sa i  Y .  J . ,  e t  a l. ,   ― Ro b u st  d e sig n   o f   q u a rtz  c r y sta l  m i c ro b a lan c e   u sin g   f i n it e   e le m e n t  a n d   T a g u c h i  m e th o d ,‖   S e n s   Actu a t o rs   B  Ch e m. ,   v o l/ issu e :  9 2 ( 3 ) ,   p p .   3 3 7 – 3 4 4 ,  2 0 0 3 .    [5 4 ]   W u   H . ,  e t  a l. ,   ― Re a l - T i m e   M o n it o ri n g   o f   P late let  A c ti v a ti o n   Us in g   Qu a rtz  T h ick n e ss - S h e a r  M o d e   Re so n a t o r   S e n so rs ,‖   Bi o p h y s J . ,   v o l/ issu e :   1 1 0 ( 3 ) ,   p p .   6 6 9 – 6 7 9 ,  2 0 1 6 .    [5 5 ]   V e n k a tes wa ra   R .   A . ,  e t  a l. ,   ― T r a n sp o rt  o f   li q u id s  u si n g   su p e rh y d ro p h o b ic  a e ro g e ls ,‖   J   Co ll o id   In ter fa c e   S c i . ,   v o l/ issu e :  2 8 5 ( 1 ) ,   p p .   4 1 3 – 8 ,  2 0 0 5 .    [5 6 ]   Be e c e   D . ,  e t  a l . ,   ― S o lv e n t  v is c o sity   a n d   p ro tein   d y n a m ics ,‖   Bi o c h e mistry   ( M o sc ) ,   v o l/ issu e :  1 9 (2 3 ) ,  p p .   5 1 4 7 – 5 1 5 7 ,  1 9 8 0 .    [5 7 ]   Ya m a m o to   T . ,   ― A c o u stic  p ro p a g a ti o n   in   th e   o c e a n   w it h   a   p o r o ‐ e las ti c   b o t to m ,‖   J   Aco u st  S o c   Am. ,   v o l/ issu e :  7 3 ( 5 ) ,  p p .   1 5 8 7 – 96 ,  1 9 8 3 .    [5 8 ]   A rn a u   A . ,   ― P iez o e lec tri c   tran sd u c e rs an d   a p p li c a ti o n s ,‖   S p ri n g e r ,   2 0 0 4 .     [5 9 ]   Ca rr  P .  H. ,   ― M e a su re m e n t  o f   th e   p iez o e lec tri c   c o n sta n t  o f   q u a rt z   a t  g i g a c y c le  f re q u e n c ies ,‖   J   A c o u st  S o c   Am . ,   v o l/ issu e :  4 1 (1 ) ,   p p .   75 – 83 ,  1 9 6 7 .    [6 0 ]   Zh a n g   J . ,  e t   a l . ,   ― A n ti b o d y /an ti g e n   a ff in it y   b e h a v io r  in   l iq u id   e n v iro n m e n t  w it h   e lec tri c a l  im p e d a n c e   a n a ly s e s  o f  q u a rtz cry sta l  m icro b a lan c e s ,‖   Bi o p h y s C h e m . ,   v o l/ iss u e :  9 9 (1 ) ,   p p .   31 – 41 ,  2 0 0 2 .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.