Ind on e s i an   Jo u r n al   o El e c t r i c al   En gi n e e r i n g   an d   C o m p u te r   S c i e n c e   V o l .   18 ,   N o .   3 J u n e   20 20 ,   pp .   1207 ~ 1214   IS S N :   2502 - 4752 ,   D O I :   10. 1 1591 / i j e e c s . v 1 8 .i 3 . pp 120 7 - 1214             1207       Jou r n al   h o m e pa ge ht t p: / / i j e e c s . i a e s c or e . c om   Op t i m i z a t i o n   o f   1 6   n m   D G - Fi n FE T   u si n g   L 2 5   o r t h o g o n a l   a r r a y   o f   T a g u c h i   st a t i st i c a l   m e t h o d       A m e e r   F . R o s l an 1   ,   F . S a l e h u d d i n 2 ,   A . S . M . Zai n 3 ,   K . E . K ah ar u d i n 4 ,   I . A h m ad 5   1, 2 , 3 , 4 C e T R I ,   F a c ul t y   o f   E l e c t r o ni c s   a nd   C o m put e r   E ng i ne e r i ng ,   U ni v e r s i t i   T e kni ka l   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M ) M a l a y s i a   5 C o l l e g e   o f   E ng i ne e r i ng ,   U n i v e r s i t i   T e n a g a   N a s i o na l   ( U N I T E N ) M a l a y s i a       A r ti c l e   I n fo     A B S TR A C T   Ar t i c l e   h i s t or y :   R e c e i v e J ul   28 ,   20 19   R e v i s e d   O c t   30 ,   2 019   A c c e pt e N o v   13 ,   201 9       T he   i m pa c t   o f   t h e   o pt i m i z a t i o u s i ng   T a g uc hi   s t a t i s t i c a l   m e t ho t o w a r ds   t he   e l e c t r i c a l   pr o pe r t i e s   o f   a   16  nm   do ubl e - g a t e   F i nF E T   ( D G - F i nF E T )   i s   i nv e s t i g a t e a n a n a l y z e d.   T he   i nc l us i o o f   dr i v e   c ur r e n t   ( I ON ) ,   l e a k a g e   c ur r e n t   ( I OFF ) ,   a nd  t h r e s ho l v o l t a g e   (V TH )   a s   p a r t   o f   e l e c t r i c a l   pr o pe r t i e s   pr e s e n t e i t h i s   p a pe r   w i l l   b e   de t e r m i ne by   t he   a m e ndm e n t   o f   s i pr o c e s s   pa r a m e t e r s   t h a t   c o m pr i s e s   t h e   po l y s i l i c o do pi ng   do s e ,   po l y s i l i c o do pi ng  t i l t ,   S o ur c e / D r a i do pi ng   do s e ,   S o ur c e / D r a i do pi ng   t i l t ,   V TH   dopi ng   do s e ,   V TH   do pi ng   t i l t ,   a l o ng s i de   t h e   c o ns i de r a t i o o f   no i s e   f a c t o r   i g a t e   o xi da t i o t e m pe r a t u r e   a n po l y s i l i c o o xi da t i o t e m pe r a t ur e .   S i l v a c o   T C A D   s o f t w a r e   i s   ut i l i z e i t hi s   e xp e r i m e n t   w i t t he   e m p l oy m e nt   o f   bo t A T H E N A   a nd  A T L A S   m o dul e   t o   pe r f o r m   t he   r e s pe c t i v e   de v i c e   s i m u l a t i o a nd  t he   e l e c t r i c a l   c ha r a c t e r i z a t i o o f   t he   de v i c e .   T he   o ut p ut   r e s po ns e s   o bt a i ne f r o m   t he   de s i g i s   t he s uc c e e de by   t he   i m pl e m e nt a t i o o f   T a g uc hi   s t a t i s t i c a l   m e t ho t o   f a c i l i t a t e   t he   p r o c e s s   pa r a m e t e r   o pt i m i z a t i o a s   w e l l   a s   i t s   de s i g n.   T he   e f f e c t i v e ne s s   o f   t he   p r o c e s s   p a r a m e t e r   i s   o pt e d   t h r o ug t h e   f a c t o r   e f f e c pe r c e n t a g e   o S i g na l - to - no i s e   r a t i o   w i t h   c o ns i de r a t i o ns   t o w a r d s   I ON   a nd   I OFF T he   m o s t   do m i n a nt   f a c t o r   pr o c ur e i s   t he   po l y s i l i c o do pi ng   t i l t .   T he   I ON   a nd  I OFF   o bt a i n e a f t e r   t he   o pt i m i z a t i o a r e   172 6. 8 μ A / μ m   a nd   503 . 41  pA / μ m   f o r   w hi c ha s   m e t   t h e   pr e d i c t i o ns   o f   I nt e r na t i o na l   T e c hno l o gy   R oa dm a f o r   S e m i c o nduc t o r s   ( I T R S )   2013 .     Ke y w or ds :   D o u b l e - ga t e   f i n f e t   I ON   i m pl a n t a t i o n   N m o s   de v i c e   O r t h o go na l   a rra y   T a guc hi   m e t h o d   C opy r i gh t   ©   2020   I n s t i t ut e   o f   A dv anc e E ng i ne e r i ng   and   S c i e nc e .     A l l   r i gh t s   r e s e r v e d.   Cor r e s pon di n g   Au t h or :   A m e e r   F .   R o s l a n ,     F a c ul t y   of   E l e c t r o ni c s   a nd  Co m pu t e r   E n gi n e e r i n g ,     U n i v e r s i t i   T e kni ka l   M a l a y s i a   M e l a ka   (U T e M ),     76100  D u r i a n   T u n g ga l ,   M e l a k a ,   M a l a y s i a .     E m a i l :   a m e e r f a rh a n @ a o l . c o m       1.   INT R O D U C TI O N   T h e   i n c r e m e n t s   t o w a r ds   t h e   a m o u n t   o f   t h e   t ra n s i s t o r s   p r e c i s e l y   i n   a   c o m pa c t   i n t e g ra t e c i r c ui t   f o r   t h e   l a s t   f o ur   de c a de s   h a s   b e e n   pr e di c t e by   t h e   M oo r e ’s   L a w   du e   t t h e   n e e ds   i n   f ul f i l l i ng  t h e   de m a n ds   i v a r i o us   o pe r a t i o n s ,   w i t h   t h e   n u m b e r   o t r a n s i s t o r s   t ha t   do ub l e s   i n   e a c h   t w y e a r s   [1,   2].   E f fe c t i ve l y ,   t h e   s hri n ki ng  o f   t h e   M e t a l   O x i de   S e m i c o n duc t o F i e l E f fe c t   T ra n s i s t o (M O S F E T )   s c a l e   h a s   b e e n   a c c o m pl i s h e ov e r   t h e   y e a r s .   T h i s   o c c ur r e n c e   h a s   i m pa c t e t h e   s h o rt   c ha nn e l   e ff e c t s   (S CE s t b e   t r i gge r e o n c e   t h e   r e c a l l i n g   r e a c h e s   t h e   n a n o m e t e r   r e gi m e   f o r   w h i c h   ha v e   c a us e t h e   de g r a d a t i o n   i n   s y s t e m   pe r f o r m a n c e   a l o n g   w i t h   i t s   r e l i a b i l i t y   a n w o r ka b i l i t y   [3].   T hi s   o c c urr e n c e   h a s   i m pa c t e t h e   s y s t e m   p e r f o r m a n c e   a l o n gs i de   i t s   r e l i a b i l i t y   a n w o r ka b i l i t y   fo r   w h i c h   i s   de gra de due   t o   t h e   s h o r t   c ha nn e l   e ff e c t s   (S CE s t ha t   h a v e   be e n   t r i gge r e a s   t h e   r e c a l l i n a t t a i n e t o   t h e   na n o m e t e r   r e gi m e .   S e ve r a l   o f   F E T   t e c h n o l o g y   h a v e   b e e n   de ve l o pe d   t hr o ugh o ut   y e a r s   of   s t udi e s   i n   o r de r   t o   ove r c o m e   t h e s e   i s s ue s   w h i l e   a c hi e v i n s m a l l e r   s c a l e   [4 - 9] .   T h e   e s t a b l i s hm e nt   o f   a   f i n - s ha pe f i e l e f fe c t   t r a n s i s t o (F i n F E T )   h a s   e n a b l e t h e   i m p r o v e m e n t   i n   t h e   pe r f o r m a n c e   of   t h e   t ra n s i s t o r   t o   b e   f ur t h e r e fo r   w h i c h   h a s   de c r e a s e t h e   S CE s   c o n s e que n t l y   a s   o pp o s e t t h e   pl a n a M O S F E T .   T h e   m a ni pu l a t i o n s   o f   t h e   c a rr i e r   m o b i l i t y ,   t r a n s - c o n duc t a n c e   a n d   s e v e r a l   o t h e po s s i b l e   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   18 ,   N o .   3 J u n e   20 2 :     1 2 0 7   -   1 2 1 4   1208   de v i c e   pa ra m e t e r s   by   t h e   c ha nn e l   l e ngt h   r e duc t i o n   ha s   l e t o   t h e   de g r a d a t i o n   t o w a r ds   t h e   de v i c e s   pe r f o r m a n c e s .   I n   c o nt r a r y   t o   t h e   c o n v e n t i o na l   pl a n a M O S F E T ,   t h e   d ra i n   po t e n t i a l   s c r e e ni n o f   F i n F E T   i s   a l s o   e ff e c t i v e l y   be t t e r .   T hi s   l e d   t o   t h e   i m p r o v e m e n t   i n   s h o r t   c h a nn e l   pe r f o r m a n c e   c o n s e que n t l y   a s   t h e   d r a i n - i n duc e b a rri e r   l o w e r i n g   (D IB L ),   s ub t hr e s h o l s w i n (S S a n a l s o   t hr e s h o l v o l t a ge   (V T H r o l l - o ff   y i e l ds   n e a o r   b e t t e r   t o   t h e   de s i r e r e s ul t s .   D e s pi t e   t h e   c o n t i nuo us   s c a l i n g ,   t h e   de g r a d a t i o o f   V T H   a n c o n s e que nt l y   t h e   IO F F   de gr a d a t i o n   c a n   b e   r e duc e t hr o ug h   t h e   a pp l i c a t i o n   o f   F i n F E T   o r   o t h e r   m ul t i - ga t e   F E T s     (M G F E T )   [10] .     T h e   i n f l ue n c e   of   t h e   S CE s   c a us e t h e   l i m i t a t i o n s   t o w a r ds   t h e   e l e c t r o n   d r i f t   c ha ra c t e ri s t i c s   w i t hi n   t h e   c h a nn e l   o t h e r   t ha n   t h e   r e f o r m a t i o n   o f   V T H .   T h e   c o n s i de ra t i o n s   o n   t h e   r e duc t i o n   o f   t h e   s i l i c o n   de pl e t i o de pt h   a s   w e l l   a s   t h e   t h i c k n e s s   of   t h e   ga t e   o xi de   a r e   pr o po r t i o n   o f   t h e   ga t e   l e n gt h.   T h e   a c qu i s i t i o n s   o f   o pt i m um   V T H ,   dri v e   c ur r e nt   (IO N a nd  l e a k a ge   c u rr e nt   (IO F F a s   w e l l   a s   S S   a r e   d r i v e n   by   t h e   i n f l ue n c e   of   v a r i a t i o n s   i n   p r o c e s s   pa ra m e t e r .   T h e   c h a l l e n ge s   h o w e ve r   p r e v a i l e i de f i n i n g   t h e   e l e c t r i c a l   c h a ra c t e ri z a t i o n   o f f   t h e   v a r i a t i o n s   o f   t h e   pr o c e s s   pa r a m e t e r   [11] .   T h e   e nh a n c e m e nt   o f   d e s i gn   p r o c e s s e s   i n   t h e   P o l y s i l i c o n / S i l i c o n   D i o xi de   (P o l y S i / S i O 2) - b a s e D G - F i n F E T   c a b e   f ur t h e r e i n   t e rm s   o f   i t s   r o b us t n e s s   t hr o ug h   t h e   v a ri a t i o n s   of   s t a t i s t i c a l   m e t h o t h a t   ha v e   b e e n   i m pl e m e nt e i n u m e r o us   N a n o   e n gi n e e r i n g   de s i g n s   [1 2 - 18] .   T h e   pr o c e s s   pa ra m e t e r s   h a v e   b e e n   o pt i m i z e t hr o ug h   t h e   a ppl i c a t i o n   o f   T a guc h i   m e t h o by   S a l e h udd i n   e t   a l .   a nd  A f i f a h   e t   a l .   T h e   a f o r e m e nt i o n e a ut h o r s   h a v e   hi g h l i g ht e t h e   o pt i m i z a t i o n   o f   bo t h   V T H   a n IO F F   f o r   a   4 nm   b e s i de s   l ow e r i n g   t h e   IO F F   w h i l s t   n o m i n a l i z e t h e   V T H   fo r   a   22   n m   de s i g n   [19 - 23] .   I n   t h i s   s t udy ,   s i m ul a t i o n   b a s e f a b r i c a t i o n   i s   c a rri e a s   t hi s   a l l o w s   t h e   e xpe r i m e n t   t o   b e   d o n e   r e pe t i t i v e l y   w i t h   r e s pe c t   t t h e   f e a s i b i l i t y   of   c o s t   fo r   w h i c h   i s   e xpo n e nt i a l l y   l e s s   i n   c o m pa r i s o n   t o   c o n duc t i ng  t h e   a c t u a l   e xpe r i m e nt   o t h e t h a n   t h e   f a c t   t h a t   t h e   s i m ul a t i o n   b a s e e xpe r i m e n t a t i o n s   a l l o w s   pr ob l e m   i de nt i f i c a t i o n s   t o   t a ke   i t s   p l a c e   pri o t o   t h e   a c t ua l   e xpe ri m e nt   t o   t a ke   i t s   pl a c e .   B e s i de s ,   t hi s   e xpe r i m e n t a t i o n   m e t h o ov e r c o m e s   t h e   di s a dv a n t a ge s   of   i m m e a s u ra b l e   i n f o r m a t i o n   ga t h e ri n g   i t h e   a c t ua l   e xpe ri m e n t .   A n o t h e r   f a c t o t ha t   T a guc h i   w i t h   L 25  o r t h o go n a l   a rr a y   i s   c h o s e n   i n   t h i s   r e s e a r c h   i s   a l s o   due   t i t s   r o b us t n e s s   i n   v a n q ui s h i ng  t h e   hi g h   c o s t   of   t h e   a c t ua l   f a b r i c a t i o n   w hi l e   a l s o   r e duc i n t h e   p r o j e c t   dura t i o n   a n t i m e   i n   f a b r i c a t i o n   c o m pl e t i o n.   T a guc h i   m e t h o a l s o   e a s e s   t h e   pr o c e s s e s   of   t h e   a c t u a l   f a b r i c a t i o n   t ha t   i s   i n c r e a s i n gl y   c o m pl e a s   i t   a pp r o a c h e s   t h e   na n o m e t e r e gi m e   [18] .         2.   R ES EA R C H   M ET H O D   2. 1 .       D e v i c e   F ab r i c at i o n   u s i n A TH EN A   an d   A TLA S   In  t hi s   r e s e a r c h,   t h e   c o n s t r uc t i o n   o f   a   1 nm   D G - F i n F E T   de v i c e   i s   do n e   by   e m pl oy i n t h e   A T H E N A   a n A T L A S   m o dul e s   f r o m   S i l v a c In t e rn a t i o na l   f o r   t h e   f a bri c a t i o n   p r o c e s s   s i m ul a t i o n   d ue   t o   di ffe r e n c e s   i t e rm s   o f e a t ur e s   a v a i l a b l e   i n   e a c h   o f   t h e   r e s pe c t i v e   t oo l .   T ha t   s a i d,   f i v e   ge o m e t r i c a l   pa ra m e t e r s   h a v e   be e n   i de nt i f i e a s   w e l l   a s   i t s   a b i l i t y   t o   t r i gge r   v a ri a t i o n   t h a t   t a ke s   i t s   e ff e c t s   o n   t h e   o ut put   r e s po n s e s   o n   F i n F E T   a s   i n   T a b l e   1.   T hr o ug h o ut   s t u di e s   by   K a h a rudi n   e t .   a l .   (20 14)   a l s o   fo u n t h a t   t h e   o ut put   r e s po n s e s   h a v e   a l s b e e n   v a ri e due   t o   t h e   p r o c e s s   pa r a m e t e r   f l uc t ua t i o n s   o ve r   l o c a l   pa ra m e t e r s   v a r i a t i o n s   t ha t   a r e   30 f r o m   t h e   ov e r a l l   [19 ].         T a b l e   1 .   T h e   V a l ue   o f   t h e   G e o m e t r i c a l   P a r a m e t e r s   S et   P a ra m e t e r s   V a l u e   ( n m )   G a t e   L e n g t h ,   L G   16   S i O T h i c k n e s s ,   T OX   3 . 2 5   M a i n   s u b s t ra t e   ( s i l i c o n l e n g t h ,   L C   35   P o l y s i l i c o n   L e n g t h ,   L DM   1 7 . 3   S i l i c o n   T h i c k n e s s ,   T F I N   1 8 . 7       A   s i m ul a t i o n   o f   t h e   p h y s i c a l   s t r uc t u r e   m e s h   f o r   t h e   na n o - s c a l e de v i c e   i s   de ve l o p e a t   s t a rt   t hr o ug t h e   S i l v a c o   T CA D   a s   s h ow n   i n   F i gu r e   1.   T h e   m a i n   s ub s t r a t e   us e t h a t   i s   t h e   P - t y pe   s i l i c o n   ha v e   a l s e m pl oy e a   s u b s t r a t e   o r i e n t a t i o n   o f   < 100>   w h i l e   t h e   c o n s t r u c t i o n   o f   o xi de   l a y e r   f o r m e o n   t h e   t o o f   s i l i c o n   b ul i s   f un c t i o n e a s   m a s du ri n g   t h e   P - w e l l   i m pl a nt a t i o p r o c e s s .   T h e   i n f us i o n   o f   Bo r o n   a t     1x1017  a t o m / c m i nt o   t h e   s i l i c o n   s ub s t ra t e   i s   t h e n   f o l l ow e d   by   t h e   e s t a b l i s hm e nt   o f   ga t e   o xi de   a t   875o i dr y   o x y g e n   c o n di t i o n   i n   3%  h y dr o c h l o r i c   a c i (H Cl a t   a t m o s ph e r i c   p r e s s ur e ,   s ub s e que n t   t o   s e c l us i o n   of  t h e   ga t e   t e r m i n a l   f r o m   s o ur c e   a n d   d r a i n   t h a t   o ppo s e s   i t s   c o n d uc t i v e   c h a nn e l   by   a   di e l e c t ri c   l a y e r .   T h e   c h a nge s   t o w a r ds   t hr e s h o l v o l t a ge   c a n   b e   a c h i e v e t hr o ugh   a n   i m pl a n t a t i o n   o f   Bo r o n   a t   a pp r o xi m a t e l y     3. 845x 1013  a t o m / c m w i t h   ke V   o f   e n e r gy   i n   t h e   c ha nne l   r e gi o n .   T ha t   s a i d,   s m a l l   c ha n ge s   o n   t h e   ga t e   t o w a r ds   i t s   c o n c e nt r a t i o h a v e   c a us e m a s s i v e   c h a n ge s .   S u c h   m o di f i c a t i o n s   e n a b l i n g   i n   p r o c ur e m e nt   t o   t h e   s e l e c t i o n s   of  pa ra m e t e r s   v a ri a t i o n   b a s e o n   o n e s   w i t h   m o s t   s i g n i f i c a n t   v a r i a t i o n s .   T h e   p r o c e s s   of  c o n f o r m a l   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       O pt i m i z a t i on   o f   1 nm   D G - F i nF E T   us i ng   L 25  or t hog on al   ar r ay   o f   t agu c hi   s t a t i s t i c a l   ( A m e e r   F . R os l an )   1209   po l y s i l i c o n   p r o c e s s   fo l l ow s   t h e   po l y c r y s t a l l i n e   s i l i c o de po s i t i o o t h e   s e m i c o n d uc t o r   w a f e r   f o r   w h e t h e   m ul t i - l a y e r e s t ruc t u r e   i s   f o r m e d .   A   do pa n t   i s   i m p l a nt e us i n g   i ndi u m   w i t h   1. 1 7x1013   a t o m / c m 3   o f   a m o un t s   w i t h   ke V   of   e n e r gy   f o r   w h i c h   h a v e   c o n s e que n t l y   e n s ur e s   t h e   di m i nut i o n   o f   t h e   S CE s   a s   t h e   n - t y pe   d o pe d   S o ur c e / D r a i n   (S / D a r e a s   i s   do pe t o   t h e   s i de s   of   t h e   p - t y p e   s u b s t r a t e .   T h e   s u r f a c e   of   t h e   s i l i c o n   a n d   po l y s i l i c o n   t h e n   ha v e   t h e   s i de w a l l   s pa c e c o n s t r uc t e w i t h   l a y e r   of   n i t r i de   S i 3N p r o duc e d.   T h e   s i de   c a pa c i t a n c e   i s   r e duc e t h r o ug h   c o m pe n s a t e   i m pl a n t a t i o n   f ol l o w i n t h e   22x1018  a t o m / c m o a r s e ni c   do s e   w i t h   i m pl a n t   e n e rgy   of  ke V   i n   fo r m i ng  a n   S / D   i m pl a n t a t i o n .   P r i o r   t o   t h e   s t ruc t u r e   m i rr o r i n p r o c e dur e   a s   w e l l   a s   de f i n i n g   t h e   e l e c t r o de ,   t h e   m e t a l l i z a t i o p r o c e s s   h a s   b e e n   pe r f o r m e v i a   a l u m i ni u m   de po s i t i o a nd  pa t t e rni n b a s e f r o m   t h e   i ni t i a l   f o r m a t i o n   o f   t h e   c o nt a c t   w i n do w   i n   t h e   S / D   r e gi o n   w h e r e by   t h e   f a b r i c a t e d   de v i c e   i s   s i m ul a t e a s   s h o w n   i n   F i g u r e   1.   T h e   o pt i m i z a t i o n   ha s   t a ke n   i t s   pl a c e   t hr o ug h   s ub s t i t u t i o n s   i n   v a l ue s   a m o ngs t   t h e   i de n t i f i e pa ra m e t e r s   i n   o b t a i n i n de s i r e o ut put   r e s po n s e s .   A l t e r a t i o n   t hr o ug h   ge o m e t r i c a l   pa r a m e t e a dj us t m e n t s   a r e   b a s e o t h e   pa ra m e t e r s   i de n t i f i e d.             F i gu r e   1 .   S i m u l a t e s t r uc t u r e   o f   t h e   P o l y S i / S i O 2 - b a s e D G - F i n F E T       2 . 2.       O p ti m i z ati o n   u s i n L 25   O r th o go n al   A r r ay   fo r   Ta gu c h i   M e th o d   T h e   s e l e c t i o n   of   L 25  o r t h o go n a l   a rra y   h a v e   b e e n   c o n c o c t e by   i t s   s ui t a b i l i t y   i n   s uppo r t i n s i x   r e l e v a nt   p r o c e s s   pa r a m e t e r s   a n t w o   n o i s e   f a c t o r s   i de n t i f i e fo r   w h i c h   i m pl e m e nt e 25  t i m e s   o f   e x pe r i m e nt s   m ul t i p l i e w i t h   r e pe t i t i o n s   i e a c h   l e v e l   due   t o   t h e   c o m b i na t i o n s   o f   n o i s e   f a c t o r s .   T h e   L 25  o rt h o go n a l   a rra y   (O A e xpe r i m e n t a l   l a y o ut   i s   c o n s t a n t   f o l l ow e w i t h   s i x   p r o c e s s   pa ra m e t e r s   o f i v e   di ff e r e n t   l e v e l   i n   T a b l e   2,   fo r   w h i c h   c o m pri s e s   of   t h e   po l y s i l i c o n   do pi n do s e ,   po l y s i l i c o n   do pi n t i l t ,   S / D   do pi n do s e ,   S / D   do pi ng  t i l t ,   V T H   do pi n do s e ,   V T H   do pi n t i l t .   T h e   i n c l us i o n   o f   n o i s e   f a c t o r   i n   T a b l e   e n c o m pa s s e s   t w o   of   t h e   g a t e   o xi da t i o n   t e m pe ra t u r e ,   Y   a n d   po l y s i l i c o n   o xi da t i o n   t e m pe ra t ur e ,   Z   due   t o   r e m a r k a b l e   c h a nge s   a s   a l t e r a t i o n   i s   m a de   a g a i n s t   i t .   T h a t   s a i d ,   t h e   l o c a l   pa r a m e t e r   v a r i a t i o n   i s   a   s ub s e t   of  t h e   o ve r a l l   v a r i a t i o n s   a t   30 f o r   w h i c h   m a y   a ff e c t i n g   t h e   o ut put   r e s po n s e   v a r i a t i o n s   w i t h   t h e   l o c a l   pa r a m e t e r   v a ri a t i o n   i m pl e m e n t a t i o n.   T h e   i n c r e m e n t s   i n   p a r a m e t e r   v a ri a t i o n   i s   r e c o gn i z e t o   h a v e   c a us e m a i n   b a rr i e r   i s c a l i ng  a s   t h e   pa ra m e t e r   f l uc t ua t i o n   c o n t r o l   i s   do n e   due   t o   t h e   ur ge   o e n ha n c i n t h e   pe r f o r m a n c e   a n y i e l o i n t e g ra t e c i r c ui t s   [19] .   T h e   t o t a l   de gr e e   of   f r e e d o m   of  pa ra m e t e r s   h a v e   a l s o   i n f l ue nc e i n   t h e   s e l e c t i o n   of   t h e   O A .   T r e n ds   o o ut put   r e s po n s e s ’  i n c r e m e nt a l   o r   de c r e m e n t e pa t t e rn   c a n   b e   ob s e r v i n t hr o ug h   de t e rm i ni n t h e   f i v e - l e v e l l e O A   f r o m   l o w e s t   t o   t h e   hi g h e s t   i l e v e l   t o   l e v e l   5.         T a b l e   2 .   P h y s i c a l   P a r a m e t e r s   o f   P o ly S i / S i O 2 - b a s e F i n F E T   S y m b o l   P ro c e s s   P a ra m e t e r   U n i t s   L e v e l   1   L e v e l   2   L e v e l   3   L e v e l   4   L e v e l   5   A   V T H   D o p i n g   D o s e   A t o m   c m - 3   3 . 8 2 5 x 1 0 13   3 . 8 4 5   x 1 0 13   3 . 8 6 5   x 1 0 13   3 . 8 8 5   x 1 0 13   3 . 9 0 5   x 1 0 13   B   V T H   D o p i n g   T i l t   D e g .   3   5   7   9   11   C   P o l y s i l i c o n   D o p i n g   D o s e   A t o m   c m - 3   2. 08   x 1 0 14   2 . 1 0   x 1 0 14   2 . 1 2   x 1 0 14   2 . 1 4   x 1 0 14   2 . 1 6   x 1 0 14   D   P o l y s i l i c o n   D o p i n g   T i l t   D e g .   - 22   - 22   - 20   - 18   - 16   E   S / D   D o p i n g   D o s e   A t o m   c m - 3   1 . 1 8   x 1 0 18   1 . 2 0   x 1 0 18   1 . 2 2   x 1 0 18   1 . 2 4   x 1 0 18   1 . 2 6   x 1 0 18   F   S / D   D o p i n g   T i l t   D e g .   70   72   74   76   78       T a b l e   3 .   N o i s e   F a c t o o f   P o l y S i / S i O 2 - b a s e F i n F E T   N o i s e   F a c t o r   U n i t s   L e v e l   1   L e v e l   2   g a t e   o x i d a t i o n   t e m p e ra t u re ,   Y   o C   870   875   p o l y s i l i c o n   o x i d a t i o n   t e m p e ra t u r e ,   Z   o C   870   875   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   18 ,   N o .   3 J u n e   20 2 :     1 2 0 7   -   1 2 1 4   1210   O v e r   t h e   c o ur s e   of   25  e xpe r i m e n t s   pe r f o r m e us i n t h e   pr o c e s s   pa r a m e t e r   c o m b i n a t i o n   i n   t h e   o r t h o go n a l   a r ra y ,   fo ur   di f f e r e n t   c o m b i na t i o n   o f   e xpe r i m e n t s   w e r e   s i m ul a t e i n   e a c h   n u m b e r   o f   e xpe r i m e n t   due   t o   fo ur   d i f fe r e n t   u ni o n s   o f   n o i s e   f a c t o r   w i t h   c o m b i na t i o n s   o f   t w o   l e ve l s   w i t h   t w o   n o i s e   f a c t o r s   t h a t   fo r m e Y 1Z 1,   Y 1Z 2,   Y 2Z 1,   a n Y 2Z 2 .   T h e   V T H   i s   c h a ra c t e r i z e a s   n o m i n a l - t h e - b e s t   t o   a l l o w   t h e   o pt i m i z e v a l ue s   fo r   t h e   V T H   t o   b e   n e a by   12. 7%  o e qui v a l e n t   t o   t he   t a r ge t e o n e s   w hi c i s   a t   0. 1 79  V .   M e a n w hi l e ,   t h e   a ppl i c a t i o n   o f   l a r ge r - t h e - b e s t   c h a ra c t e ri s t i c s   c a n   b e   j us t i fi e by   t h e   pr e di c t i o n   f r o m   t h e   IT R S   2013  f o r   t h e   IO N   t o   b e   l a r ge r   t h a 148 μ A / μ m   a n d   t h e r e f o r e ,   l a rge r - t h e - b e s t   c h a ra c t e r i s t i c   i s   a ppl i e f o r   t h e   IO N   t o   r e a c h   a s   l a r ge   a s   po s s i b l e   w i t h o ut   c o m pe n s a t i n o t h e r   p r o pe r t i e s .   T h e   s m a l l e r - t h e - b e s t   c h a ra c t e ri s t i c s   a r e   a p pl i e d   t o w a r ds   bo t h   IO F F   a n S S   t o   be   v a l ue a s   m i n i m u m   a s   po s s i b l e   w h e r e by   t h e   IO F F   i s   a i m e t o   be   l e s s e r   t ha 100  pA / μ m   by   t h e   IT R S   2013 .   T h e   e m p l oy m e n t   o f   (1),   ( 4)   a n d   (5)   e na b l e s   t h e   S N R   f o r   t h e   r e s pe c t i ve   n o m i na l - t h e - b e s t   (N T B ),   s m a l l e r - t h e - b e s t   (S T B a n l a rge r - t h e - b e s t   (L T B t o   b e   ob t a i n e [24 - 26] :       ŋ N T B =   10 l o g 10 [ μ 2 / σ 2 ]   (1)     W h e r e     μ = ( Y i + . + Y n ) / n   (2)     a n d     σ 2 = ( Y i μ ) 2 n i = 1 / ( n 1 )   (3)     ŋ S T B = 10 l o g 10 [ 1 n ( Y 1 2 + Y 2 2 + + Y n 2 ) ]   (4)     ŋ L T B = 10 l o g 10 [ 1 n ( ( 1 Y 1 2 ) + ( 1 Y 2 2 ) + + ( 1 Y n 2 ) ) ]   (5)     Co n c urr e nt l y ,   ŋ   a n Y n   de n o t e s   t h e   e xpe ri m e n t a l   v a l ue   o f   r e s p o n s e   c h a ra c t e r i s t i c s ,   a nd  t h e   n u m b e r   of   t e s t s   a n t h e   v a l ue   o f   t h e   e xpe ri m e nt a l   r e s po n s e s   r e s pe c t i v e l y .   Y i   i s   t h e   e xpe ri m e nt a l   v a l ue   o f   t h e   t hr e s h o l v o l t a ge ,   μ   i s   m e a n   a n σ i s   v a ri a n c e .   E a c h   o f   t h e   pr o c e s s   pa r a m e t e r   e f f e c t   o n   t h e   S N R   c a n   b e   s pl i t   o ut   a t   di f f e r e n t   l e v e l s   due   t o   t h e   o rt h o go n a l   na t u r e   o f   t h e   e xp e r i m e nt a l   de s i g n.   By   a ppl y i n (1 - (5 ),   t h e   m e a n,   v a r i a n c e   a n d   S N R   f o r   t h e   de v i c e   i s   c a l c ul a t e d   a s   i T a b l e   4.         T a b l e   4 .   M e a n,   V a r i a n c e   a nd  S / N   R a t i o   f o r   V T H ,   IO N ,   IO F F   a n d   S S   f o r   P o l y S i / S i O 2 - b a s e F i n F E T   E x p .   N o .   T h re s h o l d   V o l t a g e   ( V TH )   D ri v e   Cu rr e n t   (I ON )   L e a k a g e   Cu rr e n t   (I O F F )   S u b t h r e s h o l d   S l o p e   ( S S )   M e a n   V a ri a n c e   S N ( M e a n )   (d B)   S N (N o m i n a l - t h e - B e s t (d B )   S N ( L a rg e r - t h e - Be t t e r )   ( d B)   S N ( s m a l l e r - t h e - B e t t e r)   (d B)   S N R( s m a l l e r - t h e - Be t t e r )   ( d B)   1   0 . 2 1   7 . 6 8 E - 04   1 7 . 9 5   - 1 3 . 3 7   5 7 . 5 8   - 1 6 3 . 9 5   - 6 0 . 6 1   2   0 . 1 8   4 . 0 3 E - 05   2 9 . 1 6   - 1 4 . 8 6   6 4 . 5 2   - 5 4 . 6 7   - 3 9 . 4 9   3   0 . 1 8   4 . 1 0 E - 05   2 9 . 2 6   - 1 4 . 8 4   6 5 . 8   - 5 9 . 8 5   - 3 9 . 5 5   4   0 . 1 8   5 . 8 4E - 05   2 9 . 1 1   - 1 5 . 0 8   6 6 . 1 6   - 6 3 . 2 2   - 3 9 . 6 2   5   0 . 1 7   4 . 0 0 E - 05   2 8 . 9 3   - 1 5 . 3 2   6 6 . 4 1   - 6 6 . 1 2   - 3 9 . 7 1   6   0 . 1 9   5 . 4 4 E - 05   2 9 . 3 3   - 1 4 . 5 7   6 5 . 7 6   - 5 8 . 6 4   - 3 9 . 5 5   7   0 . 1 8   4 . 5 7 E - 05   2 9 . 1 7   - 1 4 . 8   6 6 . 1 2   - 6 1 . 9 4   - 3 9 . 6 3   8   0 . 1 8   4 . 5 8 E - 05   2 9 . 0 8   - 15   6 6 . 3 6   - 6 4 . 7 7   - 3 9 . 7   9   0 . 2 2   7 . 5 2 E - 04   1 8 . 3 6   - 13   5 7 . 6 4   - 1 6 3 . 8 2   - 6 0 . 5 2   10   0 . 1 8   4 . 8 3 E - 05   2 9 . 4   - 1 4 . 7 6   6 4 . 4 7   - 5 4 . 1 7   - 3 9 . 4 9   11   0 . 1 8   5 . 4 3 E - 05   2 9 . 2 4   - 1 4 . 7 4   6 6 . 3 2   - 6 3 . 5 8   - 3 9 . 6 9   12   0 . 2 2   7 . 7 4 E - 04   1 7 . 9 2   - 1 3 . 2 1   5 7 . 6 1   - 1 6 4 . 1   - 6 0 . 7 3   13   0 . 1 9   3 . 9 9 E - 05   2 9 . 5 9   - 1 4 . 4 5   6 4 . 5 2   - 5 2 . 9 7   - 3 9 . 4 9   14   0 . 1 9   4 . 3 6 E - 05   2 9 . 1 7   - 14 . 4 3   6 5 . 7 3   - 5 8 . 0 3   - 3 9 . 5 5   15   0 . 1 8   6 . 2 2 E - 05   2 9 . 4 2   - 1 4 . 6 9   6 6 . 0 9   - 6 1 . 4 5   - 3 9 . 6 1   16   0 . 2   7 . 0 8 E - 05   2 9 . 4 8   - 1 4 . 1 8   6 4 . 4 6   - 5 1 . 6 7   - 3 9 . 4 9   17   0 . 2   6 . 7 9 E - 05   2 9 . 7   - 1 4 . 1 8   6 5 . 7   - 5 6 . 8 8   - 3 9 . 5 5   18   0 . 1 9   4 . 2 0 E - 05   2 9 . 4 2   - 1 4 . 4   6 6 . 0 4   - 6 0 . 0 8   - 3 9 . 6   19   0 . 1 9   5 . 9 8 E - 05   2 9 . 4 9   - 1 4 . 6 1   66. 29   - 6 2 . 9 8   - 3 9 . 6 8   20   0 . 2 2   7 . 7 7 E - 04   1 8 . 0 9   - 1 3 . 0 5   5 7 . 5   - 1 6 4 . 0 4   - 6 0 . 7   21   0 . 2   6 . 5 3 E - 05   2 9 . 4 8   - 1 4 . 1 6   6 6 . 0 2   - 5 6 . 8 8   - 3 9 . 6 1   22   0 . 1 9   4 . 6 8 E - 05   2 9 . 5 3   - 1 4 . 3 3   6 6 . 2 5   - 6 1 . 7   - 3 9 . 6 8   23   0 . 2 2   8 . 4 4 E - 04   1 7 . 5 5   - 1 3 . 3 3   5 7 . 4 8   - 1 6 4 . 3 4   - 6 0 . 9 3   24   0 . 2   4 . 7 3 E - 05   2 9 . 6 4   - 1 4 . 0 6   6 5 . 1 7   - 5 1 . 0 4   - 3 9 . 4 9   25   0 . 2   4 . 7 1 E - 05   2 9 . 9 6   - 1 4 . 0 8   6 5 . 6 7   - 5 6 . 4   - 3 9 . 5 7   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       O pt i m i z a t i on   o f   1 nm   D G - F i nF E T   us i ng   L 25  or t hog on al   ar r ay   o f   t agu c hi   s t a t i s t i c a l   ( A m e e r   F . R os l an )   1211   3.   R ES U LTS   A N D   A N A L Y S I S   3. 1 .      A N O V A   fo r   O p ti m i z ati o n   T h e   v a r i a t i o n s   o t h e   o ut put   r e s po n s e   of   t h e   pr o c e s s   pa r a m e t e r s   c a n   b e   a t t a i n e t hr o ug h   t h e   v a r i a n c e   de c o m po s i t i o n   us i n t h e   a na l y s i s   of   v a r i a n c e   (A N O V A ).   T h e   S N R   f a c t o r   e ff e c t   pe r c e n t a ge   m e a n w hi l e   i n di c a t e s   t h e   r e l a t i v e   p ow e r   f a c t o r   fo r   w h i c h   r e s ul t i ng  i n   t he   v a r i a t i o n   r e duc t i o n   t h e n c e ,   t h e   s i gni f i c a n c e   t t h e   pe r f o r m a n c e   i s   hi g h e r   i f   t h e   pe r c e n t a ge   c o n t ri b ut i o p r o duc e i s   h i g h e r.   B a s e o t h e   pe r c e nt a ge   f a c t o c o n t ri b ut i o o f   ph y s i c a l   pa r a m e t e r s ,   t h e   po l y s i l i c o n   do pi n t i l t   s h o w s   s i gn i f i c a n c e   t o w a r ds   a l l   o f   t h e   o ut put   r e s po n s e s   by   ob t a i ni n 100 pe r c e nt a ge   i n   v a r i a t i o n   f o r   V T H ,   IO F F   a n S S ,   w i t h   IO N   a t   99 %.   T h e s e   a r e   pr o v e n   by   t h e   v a l ue s   of   S N R   ob t a i n e f r o m   T a b l e   5.   I n   f a c t o r   D ,   w h i c h   i s   t h e   po l y s i l i c o n   do pi n t i l t ,   t h e   S N R   i n   l e v e l   a c h i e v e t h e   l o w e s t   fo r   V T H   a t   17 . 97  dB   c o m pa r e t o   t h e   S N R   fo r   l e ve l s   2,   3,   a n 5 .   E v i de n t l y ,   S N R   t ow a r ds   IO N ,   IO F F   a n S S   a r e   a l l   o b t a i n i ng  a t   t h e   l o w e s t   v a l ue   w i t h   57 . 56  dB ,   - 164 . 05  dB ,   a n - 60 . 70  dB   r e s pe c t i v e l y .   R e t r o s pe c t i v e l y   t h e   V T H   a c h i e ve 38. 585%  d i f fe r e n c e   t o   i t s   n e a r e s t   v a l ue   of  S N R   i n   l e v e l   5.   H ow e ve r ,   f a c t o D   a l s o   s h o w s   i t s   s i g n i f i c a nc e   i n   c ha n ge s   i o t h e r   l e v e l s   a s   w e l l   w h e r e by   t h e   c h a nge s   i n   o t h e r   p r o c e s s   pa ra m e t e r s   s h o w s   l e s s   i n   di f f e r e nc e s   i n   t e rm s   o f   t h e   S N R   v a l ue s   ob t a i n e d.   T ha t   b e i n s a i d,   t h e   v a ri a t i o i n   p r o c e s s   pa ra m e t e r s   a l s o   pr o v e t o   h a v e   a c qui r e i t s   c h a n ge s   t o w a r ds   t h e   o ut put   r e s po n s e   w i t v a r i a t i o n   o c c urr e i n   t h e   S N R   v a l ue s .   B a s e d   o n   t h e   v a l ue s   o f   S N R   ob t a i n e d ,   t h e   b e s t   c o m b i na t i o n   s e t t i n g   i s   a c h i e v e b a s e o n   t h e   c o m b i n a t i o o f   t h e   b e s t   S N R   v a l ue s .       T a b l e   5 .   S i g n a l - to - N o i s e   R a t i o   of   P o l y S i / S i O 2 - b a s e F i n F E T   S y m b o l   P ro c e s s   P a ra m e t e r   O u t p u t   Re s p o n s e s       S i g n a l - to - N o i s e   Ra t i o   ( d B)   L e v e l   1   L e v e l   2   L e v e l   3   L e v e l   4   L e v e l   5   A   V T H   D o p i n g   D o s e   V TH   2 6 . 8 8   2 7 . 0 7   2 7 . 0 7   2 7 . 2 4   2 7 . 2 3   I ON   6 4 . 0 9   6 4 . 0 7   6 4 . 0 5   6 4 . 0 0   6 4 . 1 2   I O F F   - 8 1 . 5 6   - 8 0 . 6 7   - 8 0 . 0 3   - 7 9 . 1 3   - 7 8 . 0 7   SS   - 4 3 . 8 0   - 4 3 . 7 8   - 4 3 . 8 1   - 4 3 . 8 0   - 4 3 . 8 5   B   V T H   D o p i n g   T i l t   V TH   2 7 . 1 0   2 7 . 1 0   2 6 . 9 8   2 7 . 1 5   2 7 . 1 6   I ON   6 4 . 0 2   6 4 . 0 4   6 4 . 0 4   6 4 . 2 0   6 4 . 0 3   I O F F   - 7 8 . 9 5   - 7 9 . 8 6   - 8 0 . 4 0   - 7 9 . 8 2   - 8 0 . 4 4   SS   - 4 3 . 7 9   - 4 3 . 8 1   - 4 3 . 8 6   - 4 3 . 7 7   - 4 3 . 8 1   C   P o l y s i l i c o n   D o p i n g   D o s e   V TH   2 7 . 0 9   2 6 . 9 9   2 7 . 0 8   2 7 . 1 1   2 7 . 2 1   I ON   6 4 . 0 1   6 4 . 0 3   6 4 . 1 8   6 4 . 0 5   6 4 . 0 6   I O F F   - 7 9 . 5 9   - 8 0 . 4 2   - 8 0 . 0 9   - 8 0 . 0 3   - 7 9 . 3 4   SS   - 4 3 . 7 9   - 4 3 . 8 5   - 4 3 . 8 1   - 4 3 . 8 2   - 4 3 . 7 7   D   P o l y s i l i c o n   D o p i n g   T i l t   V TH   1 7 . 9 7   2 9 . 4 5   2 9 . 4 9   2 9 . 3 2   2 9 . 2 6   I ON   5 7 . 5 6   6 4 . 6 3   6 5 . 7 3   6 6 . 0 9   6 6 . 3 3   I O F F   - 1 6 4 . 0 5   - 5 2 . 9 0   - 5 7 . 9 6   - 6 0 . 7 2   - 6 3 . 8 3   SS   - 6 0 . 7 0   - 3 9 . 4 9   - 3 9 . 5 5   - 3 9 . 6 1   - 3 9 . 6 9   E   S / D   D o p i n g   D o s e   V TH   2 7 . 1 6   2 7 . 2 3   2 7 . 1 1   2 7 . 1 3   2 6 . 8 6   I ON   6 4 . 1 8   6 4 . 0 4   6 4 . 0 4   6 4 . 0 4   6 4 . 0 4   I O F F   - 7 9 . 6 2   - 7 9 . 7 1   - 7 9 . 6 0   - 8 0 . 1 1   - 8 0 . 4 2   SS   - 4 3 . 7 9   - 4 3 . 7 7   - 4 3 . 8 1   - 4 3 . 8 1   - 4 3 . 8 6   F   S / D   D o p i n g   T i l t   V TH   2 7 . 2 3   2 7 . 0 0   2 7 . 2 1   2 7 . 0 0   2 7 . 0 5   I ON   6 4 . 0 4   6 4 . 0 3   6 4 . 0 5   6 4 . 0 3   6 4 . 2 0   I O FF   - 7 9 . 6 5   - 7 9 . 6 8   - 7 9 . 7 0   - 8 0 . 4 4   - 8 0 . 0 0   SS   - 4 3 . 8 0   - 4 3 . 8 1   - 4 3 . 7 7   - 4 3 . 8 6   - 4 3 . 8 2       3. 2 .      C o n fi r m ati o n   T e s fo r   O u tp u R e s p on s e s   E a c h   o f   V T H ,   IO N ,   IO F F   a nd  S S   ha v e   pr o duc e o pt i m u m   o ut put   r e s po n s e s   t h a t   a r e   c ha ra c t e ri z e by   n o m i n a l - t h e - b e s t ,   l a r ge r - t h e - b e s t   a nd  s m a l l e r - t h e - b e s t   c h a r a c t e r i s t i c s .   T h e n c e ,   t h e   s e l e c t i o n   o f   t h e   ov e r a l l   o pt i m i z e r e s po n s e   i s   do n e   by   c o m pa r i ng  e a c h   o f   t h e   o pt i m um   r e s po n s e   c o m b i n a t i o n s   w h i l s t   w e i ght e b y   pri o r i t i z a t i o n   t o w a r ds   t h e   t hr e s h o l v o l t a ge .   T h e   pr i o r i t i z a t i o n   of   c o m b i n e v a ri a t i o n   f a c t o r   v i a   S N R   f a c t o r   e ffe c t   pe r c e n t a ge   a s   l i s t e i n   T a b l e   6.   By   e x e r c i s i n t h e   b e s t   s e t t i n c o m b i na t i o n,   a   c o n f i rm a t i o n   t e s t   i s   i m p l e m e nt e t ha t   e m p ha s i s e o n   t h e   a c c ura c y   of   t h e   p r e di c t i o n .   M i ni m a l   di f f e r e n c e   c a n   b e   s po t t e w i t h i n   t h e   o ut put   r e s p o n s e   w h e r e by   i t   c o n f o r m s   t o   t h e   p r e d i c t i o w h i l e   t h e   s i m ul a t i o n   i s   n e a r e r   t o   t h e   v a l ue s   e s t i m a t e b a s e o n   T a b l e   7.   T h e   pr e - o pt i m i z e s i m u l a t i o n   i n   T a b l e   re pr e s e n t s   t h e   o ut put   r e s po n s e   o b t a i n e b a s e o n   t h e   i n i t i a l   s i m ul a t i o n   i s   r e c o r de d.   T h e   e s t i m a t i o n   o f   t h e   o pt i m i z e r e s ul t s   t o ge t h e r   w i t h   t h e   a c t u a l   r e s ul t s   m e a n w h i l e   c a n   b e   ob t a i n e by   a ve r a gi ng  e a c h   c o m b i n a t i o n   of   n o i s e   f a c t o r   r e p r e s e n t e a s   t h e   o b s e r v e d   o pt i m i z e s i m ul a t i o n .   T h e   e s t i m a t e v a l ue s   a r e   o b t a i n e t hr o ug h   t h e   a c qui ri n t h e   v a l ue   o f   t h e   o pt i m i z e S N R   r a n ge s   f o r   e a c h   p a ra m e t e r .   B a s e o n   t h e   r e s ul t s   o b t a i n e d,   a s   o ppo s e t o   t h e   p r e - o pt i m i z e r e s po n s e s ,   t h e   o pt i m i z e o ut put   r e s po n s e   t hr o ugh   t h e   i m pl e m e n t a t i o n   o T a guc h i   w i t h   L 25  o rt h o go n a l   a rra y   s h ow s   a n   i n c r e m e n t   t o w a r ds   t h e   IO N   w h i l e   t h e   IO F F   ha v e   be e n   r e du c e by   74. 665%  a nd  t h e s e   ha v e   r e s ul t i n i n   t h e   i n c r e m e n t   o f   IO N / IO F F   r a t i o   i c o n t ra r y   t o   t h e   p r e - o pt i m i z e o ut put   r e s po n s e s   t h e n c e   r e qu i r i ng  l e s s   po w e r   t Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   18 ,   N o .   3 J u n e   20 2 :     1 2 0 7   -   1 2 1 4   1212   b e   c o n s um e fo r   t h e   de v i c e   o p e r a t i o n   b a s e o n   s m a l l e r   IO N / IO F F   ra t i o .   IT R S   2013  p r e di c t i o i n c l us i o n   i n   T a b l e   s e r v e s   a s   b e n c hm a r k   a s   c o m pa r i s o n s   t h e   a f o r e m e nt i o n e d   r e s ul t s   a n d   t h us   t h e   s i m u l a t e d   o ut put   i s   s t r o n gl y   c o n s i s t e n t   a l b e i t   a   s m a l l   di f f e r e n c e   t o   t h e   e s t i m a t e o n e s   a c c o r di n gl y .         T a b l e   6 .   B e s t   S e t t i ng  Co m b i n a t i o n   f o r   P o l y S i / S i O 2 - b a s e F i n F E T   S y m b o l   P ro c e s s   P a ra m e t e r   U n i t s   H i g h e s t   %   F a c t o r   Co m b i n a t i o n   S y m b o l   %   F a c t o r   V a l u e   A   V T H   D o p i n g   D o s e   A t o m   c m - 3   A5   0   3 . 9 0 5 x 1 0 13   B   V T H   D o p i n g   T i l t   D e g .   B4   0   9   C   P o l y s i l i c o n   D o p i n g   D o s e   A t o m   c m - 3   C5   0   2 . 1 6 x 1 0 14   D   P o l y s i l i c o n   D o p i n g   T i l t   D e g .   D2   100   - 22   E   S / D   D o p i n g   D o s e   A t o m   c m - 3   E3   0   1 . 2 2 x 1 0 18   F   S / D   D o p i n g   T i l t   D e g .   F1   0   70       T a b l e   7 .   Co m p a r i s o n s   o f   t h e   B e s t   S e t t i n Co m b i na t i o n   B e t w e e n   O pt i m i z e d   V a l ue   w i t h   Co m b i n a t i o n   o f   A 5B 4C5D 2E 3F w i t t h e   IT R S   P r e di c t i o n   f o r   P o l y S i / S i O 2 - b a s e F i n F E T   D e v i c e   C h a ra c t e r s i t i c s   P re - o p t i m i z e d   S i m u l a t i o m   O p t i m i z e d   S i m u l a t i o n   (T a g u c h i )   IT RS   2 0 1 3   p r e d i c t i o n     E s t i m a t e d   O b s e rv e d   F o r   t h e   y e a 2 0 1 5   [2 7 ]   L e v e l   A 2 B 2 C 2 D 2 E 2 F 2   A 5 B 4 C 5 D 2 E 3 F 1     V TH   ( V )   0 . 1 7 1   0 . 1 6 8   0 . 1 9 0   0 . 1 7 9 ± 1 2 . 7 %   %   D i ffe re n c e   f r o m   t a r g e t e d   o u t p u t   v a l ue   4 . 4 6 9   5 . 8 1 0 0   6 . 0 0 7   -   S N ( n o m i n a l - t h e - b e s t )   (d B)   2 8 . 9 3 0   2 7 . 1 0 0   3 0 . 5 9 0   -   I ON   A / μ m )   2 0 9 2 . 0 0 0   1 6 0 0 . 0 0 0   1 7 2 6 . 8 8 5   1 4 8 0   %   D i ffe re n c e   f r o m   t a r g e t e d   o u t p u t   v a l u e   2 9 . 2 5 4   7 . 5 0 0   1 4 . 2 9 6   -   S N ( l a rg e r - t h e - b e s t ( d B)   6 6 . 4 1 0   6 4 . 0 7 0   6 4 . 7 1 0   -   I O F F   (p A / μ m )   1 9 8 7 . 0 0 0   9 8 1 . 0 0 0   5 0 3 . 4 1 3   1 0 0 0 0 0   %   D i ffe re n c e   f r o m   t a r g e t e d   o u t p u t   v a l u e   9 8 . 0 1 3   9 9 . 0 1 9   9 9 . 4 9 6 5   -   S N ( s m a l l e r - t h e - b e s t ( d B)   - 6 6 . 1 2 0   - 6 0 . 0 1   - 5 4 . 2 0   -   I ON   /I O F F   ra t i o   1 . 0 5 3 x 1 0 6   1 . 6 3 1 x 1 0 6   3 . 4 3 0 x 1 0 6   1 4 . 8 0   %   D i ffe re n c e   f r o m   t a r g e t e d   o u t p u t   v a l u e   9 9 . 9 9 9   9 9 . 9 9 9   9 9 . 9 9 9   -   S N ( l a rg e r - t h e - b e s t ( d B)   -   -   -   -   S S   (m V / d e c )   9 6 . 7 4   9 7 . 7 0   9 4 . 3 9 4 8   N / A   %   D i ffe re n c e   f r o m   t a r g e t e d   o u t p u t   v a l u e   -   -   -   N / A   S N ( s m a l l e r - t h e - b e s t ( d B)   - 3 9 . 7 1   - 3 9 . 8   - 3 9 . 5 0   N / A       4.   C O N C LU S I O N   T h e   e ffe c t   of   t h e   T a guc h i   m e t h o t ow a r ds   o ut put   r e s po ns e s   i s   ob s e r v e w h e r e by   t h e   o pt i m u m   c o n di t i o n   f o r   t h e   P o l y S i / S i O 2 - b a s e F i n F E T   de v i c e   pa r a m e t e r s   a r e   s e l e c t e d.   A   c o m b i n a t i o n   o A 5B 4C5D 2E 3F ha v e   be e n   de c i de t o   pr o duc e   t h e   b e s t   s e t t i n c o m b i na t i o n   f o r   w hi c c o n s i s t s   o f   V T H   do pi n do s e   a t   l e v e l   (3. 905x 1013  a t o m   c m - 3),   V T H   do pi ng  t i l t   do s e   a t   l e v e l   (9o   po l y s i l i c o n   do pi ng  do s e   a t   l e v e l   (2. 16x1014  a t o m   c m - 3) ,   po l y s i l i c o n   do pi n t i l t   d o s e   a t   l e ve l   ( - 22o ),   S / D   do pi n do s e   a t   l e v e l   3   (1. 22x 1018  a t o m   c m - 3) ,   a nd  S / D   do pi n t i l t   do s e   a t   l e v e l   (70o ).   T h e   V T H   ob t a i n e s h o w s   s m a l l   d i s t i n c t i o f r o m   t h e   t a rge t   a t   0 . 23618 175  w hi c h   i s   s t i l l   w i t hi n   t h e   ra n g e   s e t   t ha t   i s   ±  12 . 7%  f r o m   0. 1 79  V   a i m e d ,   w h i l e   t h e   IO N   a n IO F F   o b t a i n e a r e   w i t hi n   t h e   e s t i m a t e ra n ge   i n   t e rm s   o f   t h e   S N R .   T hi s   i s   c l o s e l y   c o nn e c t e t t h e   pr i o r i t i z a t i o n   m a de   f o r   V T H   t o   a c h i e ve   t h e   de s i r e o pt i m a l   v a l ue .   T h e   IO N   a n IO F F   pr o v e t a c c o m pl i s h e s upe ri o r   v a l ue s   t h a n   1 480  μ A / μ m   w h i l e   ob t a i ni n m i n i m a l   IO F F   t ha t   i s   l o w e r   t ha n   100  pA / μ m   r e s pe c t i v e l y   a l b e i t   a   s l i g ht   de c r e m e n t   t o   t h e   IO N   i n   c o m pa ri s o n   t o   t h e   p r e - o pt i m i z e d,   t h e   IO N / IO F F   r a t i o   ga i n e a i n c r e m e n t   f o r   t h e   o pt i m i z e s i m ul a t i o n   o b s e r v e d.   T h e   i m p r o v e m e n t   t o w a r ds   t h e   IO N / IO F F   ra t i a l l o w s   t h e   o pe ra t i o n   o f   t h e   de v i c e   t o   r e qui r e   l e s s   po w e r   c on s u m pt i o n.   I t   w a s   c o n c l ude t ha t   t h e   po l y s i l i c o n   do pi n g   t i l t   c o n t r i b ut e s   a   l a r ge   e ff e c t   o n   V T H ,   a s   w e l l   a s   IO N ,   IO F F   a nd  S S   t o w a r ds   t h e   o ut put   r e s po n s e s   a s   o ppos e t o t h e r   p r o c e s s   pa r a m e t e r s .   F u rt h e r   i m p r o v e m e n t   c a n   b e   m a de   by   m e r gi n c u rr e n t   m e t h o w i t o t h e s ui t a b l e   s t a t i s t i c a l   m e t h o d(s i n   c o rr e l a t i o n s   t o   T a g uc h i   t o   f ur t h e r   o pt i m i z e   t h e   o ut pu t   r e s po n s e s .   F urt h e r,   t h e   de v i c e   e l e c t r i c a l   c ha r a c t e r i s t i c s   w a s   a l s o   de duc e t o   h a v e   a c h i e v e t h e   c o n f o r m a n c e   o f   t h e   I T R S   2013  p r e d i c t i o f o r   y e a r   201 r e qu i r e m e nt .         A C K N O WL ED G E M EN TS   T h e   a u t h o r s   w o ul l i ke   t o   t h a nk  t h e   M i n i s t r y   of   H i gh e r   E duc a t i o n   (M O H E f o r   s po n s o r i ng  t h i s   w o r unde r   p r o j e c t   (F R G S / 1/ 2017/ T K 04/ F K E K K - Ce T R I/ F 0033 5)  a n M i N E   (M i c r o   a n N a n o   E l e c t r o n i c s ),   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       O pt i m i z a t i on   o f   1 nm   D G - F i nF E T   us i ng   L 25  or t hog on al   ar r ay   o f   t agu c hi   s t a t i s t i c a l   ( A m e e r   F . R os l an )   1213   Ce T R I,   F a c ul t y   of   E l e c t r o n i c s   a nd  Co m p ut e r   E n gi n e e r i ng  ( F K E K K ),   U ni v e r s i t i   T e k n i k a l   M a l a y s i a   M e l a ka   (U T e M fo r   t h e   m o ra l   s uppo rt   t hr o ug h o ut   t h e   p r o j e c t .         R EF ER EN C ES   [ 1]   H .   I l a t i kha m e n e h ,   T .   A m e e n,   B .   N o v a kov i c ,   Y .   T a n ,   G .   K l i m e c a nd  R .   R a hm a n,   S a v i ng   M o o r e s   L a w   D o w T 1  nm   C ha n ne l s   W i t A ni s o t r o pi c   E f f e c t i v e   M a s s ,   Sc i e nt i f i c   R e por t s ,   p .   3 1501 ,   201 6.     [ 2]   S .   M .   J a g t a p   a nd   V .   J .   G o nd ,   S t u dy   t he   pe r f o r m anc e   pa r am e t e r s   of   n ov e l   s c a l e   F I N F E T   D e v i c e   i nm   R e g i on ,   2017  I nt e r n a t i o na l   C o nf e r e nc e   o f   E l e c t r o ni c s ,   C o m m uni c a t i o a nd  A e r o s pa c e   T e c hno l o gy   ( I C E C A ) ,   pp.     424 - 430 ,   2017 .     [ 3]   P .   S a s hm i t a ,   P e r f o r m a nc e   a na l y s i s   o f   S i ng l e   G a t e   a nd  D o ub l e   g a t e   M O S F E T   w i t h   a n w i t ho ut   e f f e c t   o f   no i s e ,   D e par t m e nt   of   E l e c t r i c al   E ng i ne e r i ng ,   N a t i o nal   I ns t i t u t e   o f   T e c h nol ogy ,   R o ur k e l I nd i a ,   2015 .     [ 4]   A hm e M .   D i na r ,   A .   S .   M o hd  Z a i n ,   F .   S a l e hu ddi n,   C o m pr e he ns i v e   i de nt i f i c a t i o o f   s e ns i t i v e   a n s t a b l e   I S F E T   s e ns i ng   l a y e r   hi g h - g a t e   ba s e o I S F E T / e l e c t r o l y t e   m o de l s , ”  I n t e r nat i ona l   J our nal   o f   E l e c t r i c a l   a nd  C om put e r   E ngi ne e r i n g   ( I J E C E ) ,   v o l .   9 ,   pp .   9 26 - 933 ,   201 8.     [ 5]   J .   S o ng ,   J .   D a i l e y ,   H .   L i ,   H .   J .   J a ng ,   P .   Z ha ng ,   J .   T .   H .   W a ng ,   a n H .   E .   K a t z ,   E xt e nd e S o l ut i o G a t e   O F E T - B a s e d   B i o s e ns o r   f o r   L a be l - F r e e   G l i a l   F i br i l l a r y   A c i di c   P r o t e i n   D e t e c t i o w i t P o l y e t hy l e ne   G l y c o l - C o nt a i n i ng   B i o r e c e pt o r   L a y e r ,   A d v anc e d   F unc t i on al   M at e r i a l s , v o l .   27 ,   pp .   16 06506 ( 1 ) -   160 6506 ( 7 ) .   20 17 .     [ 6]   A .   U hl e m a n n,   K .   W e i d ne r ,   G .   M i t i c   a nd   S .   S t e g m e i e r ,   R e l i ab i l i t y   s t ud y   o f   Si C - J F E T   i nc l ud i ng  ne w   c op pe r ,   p l an ar   and  s i l v e r   bas e i n t e r c on ne c t i on  and   j oi n i ng   t e c h nol ogi e s ,   9t I nt e r na t i o na l   C o nf e r e nc e   o I nt e g r a t e d   P o w e r   E l e c t r o n i c s   S y s t e m s ,   v o l .   9 ,   p p1 - 7,   20 16   [ 7]   K .   S .   L i ,   P .   G .   C he n ,   T .   Y .   L a i ,   C .   H .   L i n,   C .   C .   C he ng ,   C .   C .   C he n,   a nd   C .   H u ,   Sub - 60m V - sw i ng  ne gat i v e - c apac i t an c e   F i nF E T   w i t hou t   hy s t e r e s i s ,   20 15  I E E E   I nt e r n a t i o na l   E l e c t r o D e v i c e s   M e e t i ng   ( I E D M ) ,     pp 22 61 - 2264 ,   201 5.     [ 8]   J .   M a ,   &   E .   M a t i o l i ,   H i g P e r f o r m a nc e   T r i - G a t e   G a N   P o w e r   M O S H E M T s   o S i l i c o S ubs t r a t e ,   I E E E   E l e c t r on   D e v i c e   L e t t e r s ,   v o l .   3 8,   36 7 - 370,   2 017 .     [ 9]   L .   C he F .   C a i ,   U .   O t uo ny e ,   &   W .   D .   L u,   V e r t i c a l   G e / S i   C o r e / S he l l   N a no w i r e   J unc t i o nl e s s   T r a ns i s t o r ,     N ano  L e t t e r s ,   16( 1) ,   420 - 42 6,   20 15.     [ 10]   D .   B ha t t a c ha r y a   a nd  N .   K .   J ha ,   R e v i e w   A r t i c l e   F i nF E T s :   F r o m   D e v i c e s   t o   A r c hi t e c t u r e s ,   A dv an c e s   i n   E l e c t r oni c s ,   H i n da w i   P u bl i s h i ng   C o r po r a t i o n ,   v o l .   201 4,   20 14 .     [ 11]   S .   K a r a pe t y a n,   V .   K l e e b e r g e r ,   a n U .   S c hl i c ht m a n n,   F i nF E T - ba s e p r o duc t   pe r f o r m a nc e :   M o de l i ng   a nd   e v a l ua t i o o f   s t a n da r c e l l s   i n   F i nF E T   t e c hno l o g i e s ,   M i c r oe l e c t r o ni c s   R e l i ab i l i t y ,   v o l .   61 ,   pp .   3 0 - 34,   20 16 .     [ 12]   S .   M e i ,   N .   R a g ha v a n,   M .   B o s m a n,   D .   L i nt e n,   G .   G r o e s e ne ke n ,   N .   H o r i g uc hi ,   a nd  K . L .   P e y ,   N e w   unde r s t and i ng  o f   di e l e c t r i c   b r e ak do w i adv a nc e F i nF E T   de v i c e s - phy s i c al ,   e l e c t r i c a l ,   s t at i s t i c al   a nd  m ul t i phy s i c s   s t udy ,     2016   I E E E   I nt e r na t i o na l   E l e c t r o D e v i c e s   M e e t i ng   ( I E D M ) ,   20 16   [ 13]   Y .   Y u ,   a nd   N . K .   J ha ,   S t a t i s t i c a l   O p t i m i z a t i o o f   F i nF E T   P r o c e s s o r   A r c hi t e c t u r e s   u nde r   P V T   V a r i a t i o ns   U s i ng   D ua l   D e v i c e - T y pe   A s s i g nm e nt ,   A C M   J our nal   on  E m e r g i ng   T e c h nol o gi e s   i C om put i n Sy s t e m s ,   v o l .   14 ,   n o .   1,   pp.   1 - 25 ,   2017 .     [ 14]   N .   A t a n,   B .   Y .   M a j l i s ,   I .   A hm a d,   a n K .   H .   C ho ng ,   A na l y s i s   t he   E f f e c t   of   C o nt r o l   F a c t o r s   O pt i m i z a t i o o t he   T hr e s ho l V o l t a g e   o f   18  nm   P M O S   U s i ng   L 27  T a g u c hi   M e t ho d,   I ndo ne s i an  J our nal   o f   E l e c t r i c a l   E ng i ne e r i ng   and  C om pu t e r   S c i e nc e   ( I J E E C S) ,   v o l .   1 0,   pp .   934 - 94 2,   20 18 .     [ 15]   S .   F u ,   Y .   M e i ,   X .   L i ,   C .   M a ,   &   G .   Q .   L u,   A   M ul t i c hi P h a s e - L e g   I G B T   M o dul e   B o nde by   P r e s s ur e l e s s   S i n t e r i ng   o f   N a no s i l v e r   P a s t e ,   I E E E   T r an s ac t i on s   o D e v i c e   an M a t e r i a l s   R e l i ab i l i t y ,   v o l .   17 ,   p p.   14 6 - 156 .   2 017   [ 16]   S .   C ha udhu r i ,   A .   N . B ho j ,   D .   B ha t t a c ha r y a ,   &   N .   K .   J ha ,   F as t   F i nF E T   D e v i c e   Si m ul a t i on  u nde r   P r oc e s s - V ol t age   V ar i at i on s   U s i ng  a A s s i s t e Spe e d - U M e c han i s m ,   2 016  2 9t I nt e r na t i o na l   C o nf e r e nc e   o V L S I   D e s i g a nd  2016   15 t h   I nt e r na t i o na l   C o nf e r e nc e   o E m be d d e d   S y s t e m s   ( V L S I D ) ,   pp .   300 - 30 5,   20 16.     [ 17]   S .   I c hi no ,   A .   T e r a m o t o ,   R .   K ur o da ,   T .   M a w a k i ,   T .   S uw a ,   &   S .   S ug a w a ,   S t a t i s t i c a l   A na l y s i s   o f   T hr e s ho l V o l t a g e   V a r i a t i o U s i ng   M O S F E T s   w i t A s y m m e t r i c   S o ur c e   a nd  D r a i n .   I E E E   E l e c t r o D e v i c e   L e t t e r s ,   v o l .   1 ,   no . 1,     p p.   1 - 4,   2 018 .     [ 18]   H .   E l g o m a t i ,   B .   Y .   M a j l i s ,   I .   A hm a d,   F .   S a l e hud di n,   F .   A .   H a m i d ,   A .   Z a ha r i m ,   T .   Z .   M o ha m a a nd  P .   R .   A pt e ,   S t a t i s t i c a l   O pt i m i z a t i o f o r   pr o c e s s   pa r a m e t e r s   t o   r e duc e   v a r i a bi l i t y   o f   32  nm   P M O S   t r a ns i s t o r   T h r e s ho l d   v o l t a g e ,   I n t e r nat i o nal   J our nal   o f   t he   P hy s i c al   Sc i e nc e s ,   v o l .   6,   no .   10,   pp .   237 2 - 2379 ,   2011 .     [ 19]   K . E .   K a ha r ud i n ,   A . H .   H a m i do n,   a nd  F .   S a l e hu ddi n,   D e s i g a n O pt i m i z a t i o A pr r o a c he s   i D o ubl e   G a t e   D e v i c e   A r c hi t e c t ur e ,   I n t e r nat i o nal   J our nal   o f   E ng i ne e r i ng   and   T e c hn ol og y   ( I J E T ) ,   v o l .   6 ,   no .   5 ,   O c t . - N o v .   2014 .     [ 20]   A .   H .   A f i f a M a he r a n ,   P .   S .   M e no n,   I .   A hm a d,   Z .   A .   N oo r   F a i z a h,   A .   S .   M o hd  Z a i n,   F .   S a l e hu ddi n,   a nd  N .   M .   S a y e d,   T hr e s ho l v o l t a g e   a n l e a k a g e   c ur r e nt   v a r i a b i l i t y   o pr o c e s s   pa r a m e t e r   i a   22nm   P M O S   D e v i c e ,     J our nal   o f   T e l e c om m u ni c a t i o n,   E l e c t r oni c   and   C om pu t e r   E ng i ne e r i ng ,   v o l .   1 0,   no .   2 - 8,   pp .   9 - 13 ,   2 018   [ 21]   K .   E .   K a ha r ud i n,   F .   S a l e hudd i n ,   A .   S .   M .   Z a i n   a n M .   N .   I .   A .   A z i z ,   T a g uc hi   M o de l l i ng   w i t t he   I nt e r a c t i o T e s t   f o r   H i g he r   D r i v e   C u r r e n t   i n   W S I x/ T I O C ha nne l   V e r t i c a l   D o ubl e   G a t e   N M O S   D e v i c e ,   J our nal   of   T he or e t i c a l   and  A pp l i e I n f or m at i on   T e c hn ol o gy ,   v o l .   90 ,   pp.   1 85 - 193 ,   2016   [ 22]   F .   S a l e hu dd i n,   A .   S .   M .   Z a i n ,   N .   M .   I dr i s ,   A .   K .   M   Y a m i n ,   A .   M .   A   H a m i d,   I .   A hm a a nd  P .   S .   M e no n,     A na l y s i s   o f   T hr e s ho l V o l t a g e   V a r i a nc e   i 4 5nm   N - C ha nn e l   D e v i c e   U s i ng   L 27  O r t ho go na l   A r r a y   M e t ho d,   A dv an c e M at e r i a l   R e s e ar c h ,   v o l .   903 ,   pp.   2 97 - 302 ,   2014 .     [ 23]   K .   E .   K a h a r u di n ,   A .   H .   H a m i do n,   a nd  F .   S a l e hudd i n ,   D e s i g a nd  O pt i m i z a t i o A pr r o a c he s   i D o ubl e   G a t e   D e v i c e   A r c hi t e c t ur e ,   I nt e r n at i on al   J o ur n al   o f   E ngi ne e r i ng   and   T e c hn ol o g y   ( I J E T ) ,   v o l .   6 ,   no .   5 ,   O c t . - N o v .   2014 .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   18 ,   N o .   3 J u n e   20 2 :     1 2 0 7   -   1 2 1 4   1214   [ 24]   M . S .   P h a dke ,   Q u a l i t y   E n g i ne e r i ng   U s i ng   R o bus t   D e s i g n,   P e a r s on  E d uc a t i on  I nc .   and  D o r l i ng  K i nde r e s l e y   P ubl i s h i n I nc . ,   2 008 .     [ 25]   R a hul ,   S .   D a t t a ,   B .   B hus a B i s w a l ,   &   S .   S a nka r   M a ha p a t r a , O pt i m i z at i on  o f   E l e c t r o - D i s c har ge   M ac h i n i ng   R e s pons e s   of   Supe r   A l l o y   I nc one l   718 :   U s e   of   Sa t i s f ac t i on  F unc t i o A ppr oac C om bi ne w i t T agu c hi   P hi l os o phy ,   M a t e r i a l s   T o da y :   P r o c e e di ng s ,   v o l .   5 ,   no .   2 ,   pp .   4 376 - 4383 ,   2018 .     [ 26]   B .   R o oz be ha ni ,   S .   A .   S a ka k i ,   M .   S h i s h e s a z ,   N .   A bdo l l a hkh a ni ,   &   S .   H a m e di f a r,   T a g uc hi   m e t ho a ppr o a c o n   c a t a l y t i c   de g r a da t i o o f   po l y e t h y l e ne   a nd  po l y pr o p y l e ne   i nt o   g a s o l i ne ,   C l e an  T e c hno l og i e s   and  E nv i r o nm e nt al   P ol i c y ,   v o l .   17 ,   no .   7,   18 73 - 1882 ,   201 5.     [ 27]   I T R S ,   I nt e r na t i o na l   T e c hno l o gy   R o a dm a S e m i c o nduc t o r ,   201 3.         B I O G R A P H I ES   O F   A U T H O R S         A m e e r   F .   R o s l a n   r e c e i v e t he   B . S c .   D e g r e e   i n   T e l e c o m m uni c a t i o n   E ng i ne e r i ng   f r o m   T e c hni c a l   U ni v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M ) ,   i 2 017 .   H e   i s   c ur r e nt l y   pur s ui ng   hi s   M . S c .   de g r e e   i n   e l e c t r o ni c s   a nd  do i ng   r e s e a r c o t h e   D G - F i nF E T   de v i c e   a t   C e nt r e   f o r   T e l e c o m m uni c a t i o R e s e a r c a nd  I nno v a t i o n,   F a c ul t y   of   E l e c t r o ni c s   a nd   C o m put e r   E ng i n e e r i ng ,   T e c hn i c a l   U ni v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M ) .   H i s   r e s e a r c i nt e r e s t   i nc l ud e s   t h e   D G - F i nF E T   a r c hi t e c t u r e   a n s t a t i s t i c a l   o pt i m i z a t i o n.         F .   S a l e hu ddi n   r e c e i v e t he   B . S c .   de g r e e   i e l e c t r i c a l   e ng i ne e r i ng   ( C o m m uni c a t i o n)   f r o m   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M a r a   ( U i T M ) ,   M a l a y s i a   i 2001   a nd   t he   M . S c .   d e g r e e   i n   E l e c t r i c a l ,   E l e c t r o n i c   a nd  S y s t e m   E ng i n e e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t i   K e ba ng s a a M a l a y s i a ,   i n   200 3.   S he   r e c e i v e d   t he   P h . D .   de g r e e   i M i c r o e l e c t r o ni c s   E ng i ne e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t i   T e na g a   N a s i o na l   ( U N I T E N ) ,   M a l a y s i a   i n   201 2.   S he   j o i ne U ni v e r s i t i   T e k ni k a l   M a l a y s i a   M e l a k a   ( U T e M )   i D e c e m be r   200 1   a s   a   t u t o r   a n i s   c ur r e n t l y   a   s e ni o r   l e c t u r e r   a t   F a c u l t y   of   E l e c t r o ni c   a nd  C o m put e r   E ng i n e e r i ng   ( F K E K K ) ,   U T e M .   H e r   r e s e a r c i n t e r e s t   i nc l ud e s   pr o c e s s   a nd  de v i c e   s i m ul a t i o o f   na no s c a l e   M O S F E T s   d e v i c e ,   a dv a nc e d   C M O S   d e s i g a n o pt i m i z a t i o a pp r o a c ( D O E ) .         A .   S .   M .   Z a i r e c e i v e t he   B . E ng   de g r e e   i n   e l e c t r i c a l ,   E l e c t r o ni c   a n S y s t e m   e ng i ne e r i ng   a nd   M .   S c   i M i c r o e l e c t r o ni c s   f r o m   N a t i o na l   U ni v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   ( U K M ) ,   M a l a y s i a   S he   r e c e i v e t h e   P h. D .   d e g r e e   i N a no e l e c t r o ni c s   E ng i ne e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t y   of   G l a s g o w ,   U K   i 20 13 .   S h e   i s   c ur r e n t l y   w o r ki ng   a s   a   s e n i o r   l e c t ur e r   a t   F a c ul t y   of   E l e c t r o ni c   a nd  C o m put e r   E ng i ne e r i ng   ( F K E K K ) ,   U ni v e r s i t i   T e kn i k a l   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M ) .   H e r   r e s e a r c i n t e r e s t   i nc l ud e s   N a no s c a l e   D e v i c e   D e s i g a nd  S i m u l a t i o n,   V a r i a b i l i t y   a n R e l i a bi l i t y   of   E m e r g i ng   T e c hno l og y   D e v i c e s ,   I C   D e s i g f o r   B i o m e di c a l   A ppl i c a t i o ns .         K .   E .   K a ha r ud i n   r e c e i v e P h. D   i E l e c t r o ni c   E ng i ne e r i ng   a nd  M .   E ng   de g r e e   i C o m put e r   E ng i ne e r i ng   f r o m   T e c hni c a l   U n i v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   M e l a k a   ( U T e M ) ,   i n   201 a nd  2 0 13   r e s pe c t i v e l y .   H i s   P h . D   pr o j e c t   f o c us e o t h e   pr o c e s s   o pt i m i z a t i o o f   v e r t i c a l   do ub l e   g a t e   M O S F E T .   H i s   r e s e a r c h’ s   i nt e r e s t s   i nc l ude   C M O S   de s i g n,   m i c r o e l e c t r o ni c s ,   s e m i c o nduc t o r s ,   e ng i ne e r i ng   o pt i m i z a t i o a nd  a r t i f i c i a l   i n t e l l i g e nc e .   R e c e n t l y ,   hi s   e f f o r t s   e m ph a s i z e   o t he   s i m u l a t i o d e s i g o f   J unc t i o nl e s s   M O S F E T ,   s i l i c o n - on - i ns ul a t o r   ( S O I )   M O S F E T ,   hi g h - k / m e t a l - g a t e   s t a c t e c hno l o gy   a nd  de s i g o f   e xp e r i m e n t   ( D o E ) .         I .   A hm a d   r e c e i v e t h e   B . S c .   de g r e e   i P hy s i c s   i 198 f r o m   U ni v e r s i t i   K e ba ng s a a M a l a y s i a   ( U K M ) .   H e   r e c e i v e t h e   M . S c .   de g r e e   i N uc l e a r   S c i e nc e   a nd  A na l y t i c a l   P hy s i c s   f r o m   U K M   a nd  U ni v e r s i t y   o f   W a l e s   r e s p e c t i v e l y ,   i y e a r   o f   1991  a nd  1992 .   H e   r e c e i v e t he   P h . D .   d e g r e e   i n   E l e c t r i c a l ,   E l e c t r o ni c   a nd  S y s t e m   E ng i ne e r i ng   f r o m   U K M   i 2007 .   H e   j o i ns   t he   D e p a r t m e n t   o f   E l e c t r i c a l ,   E l e c t r o ni c   a nd  S y s t e m   E ng i ne e r i ng ,   U K M   a s   a   l e c t u r e r   i 199 t o   2002,   a nd  a s   A s s oc i a t e   P r o f e s s o r   f r o m   2002  t o   2007.   H e   i nv o l v e i s e v e r a l   m a na g e m e n t   a nd  t e c hni c a l   po s i t i o ns   w i t h   M I N T ,   M I M O S   a n U K M .   H e   i s   c ur r e nt l y   a   P r o f e s s o r   w i t t he   D e pa r t m e nt   o f   E l e c t r o n i c s   a nd   C o m m uni c a t i o E ng i ne e r i ng ,   U n i v e r s i t i   T e na g a   N a s i o na l ,   M a l a y s i a .   H e   i s   a   s e n i o r   m e m b e r   o f   t he   I ns t i t u t e   o f   E l e c t r i c a l   a nd   E l e c t r o ni c s   E ng i ne e r s   ( S e ni o r   M I E E E ) .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.