I n d on e s i an   Jo u r n al   o f  El e c t r i c al   En gi n e e r i n g   an d   C o m p u te r   S c i e n c e   V o l .   1 7 ,   N o .   2 ,  F e b r ua r y   20 20 ,   pp .   975~ 9 81   IS S N :   2502 - 4752 ,   D O I :   10. 1 1591 / i j e e c s . v 1 7 .i 2 . pp975 - 981             975       Jou r n al   h o m e pa ge :  ht t p: / / i j e e c s . i a e s c or e . c om   E v a l u a t i o n   a n d   c a l c u l a t i o n s  o f   m o d e s r e so n a n t   c a n t i l e v e r   f o r   l a s e r   o p t i c a l   f i b e r   a ss e m b l y       M o h an ad   A l jan ab i   E l e c t r i c a l   P o w e r   T e c hn i qu e s   E ng i ne e r i ng ,   T e c hn i c a l   C o l l e g e   / A L -   M a u s a i b ,   A l - F ur a t   A l - A w s a t   T e c hni c a l   U n i v e r s i t y   N a j a f ,   I r a q.       A r ti c l e   I n fo     A B S TR A C T   Ar t i c l e   h i s t or y :   R e c e i v e d   J a n   10 ,   2 019   R e v i s e d  M a y   1 ,   201 9   A c c e pt e d  J ul   1 ,   201 9       B i o s e ns o r s   de p e nd  o n  c a nt i l e v e r s   ha v e   de v e l o pe d  a   pr o m i s i ng   t o o l   f o r   de t e c t i ng   bi o m e di c a l ,   o pt i c a l   l a s e r   c o m m uni c a t i o n  a nd  m a ny   f i e l ds   o f   i nt e r a c t i o ns   w i t h  hi g h  a c c ur a c y .   W e   m o de l e d  t he   o pe r a t i o n  o f   c a nt i l e v e r s   w i t h  t w o   m a g ne t i c   a nd  c o i l   us i ng   A ns y s   pr o g r a m .   T hi s   s i m ul a t i o n  t e c hni que   c a n  c a pa bl y   be   us e d  t o   s e l e c t   t h e   a p pr o pr i a t e   d e s i g n  a nd  di m e ns i o ns   o f   c a nt i l e v e r   w i t h  t he   g e o m e t r y   of   s y s t e m .   T h e   p r i m a r y   m a i n  o f   t he   m a g ne t i c   de s i g n  i s   t o   i m p r o v e   t he   g e o m e t r y   o f   t he   c o i l   a nd  s ha pe   t o   y i e l d   a   hi g hl y   uni f o r m   f o r   3D   o f   o pt i c a l   f i b e r   i nc l ude s   S i l i c a   G l a s s   a nd   N i c ke l   c a nt i l e v e r ,   t w o   m a g ne t s   a nd  c o i l   t h a t   a pp l y   t o   f o r c e   o n  t he   c a nt i l e v e r   c y l i nde r   i s   us i ng   a s   a   c a nt i l e v e r   i n  t he   de s i g ni ng   o f   t hi s   c a s e .   R e s u l t s   f r o m   m a ny   a s s e s s m e n t s   w hi c h  us a g e   m i c r o - c a nt i l e v e r   ha v e   m a d e   kno w n  t ha t   t h e s e   bi o s e ns o r s   c a n   de m o ns t r a t e   g o o d  c o m pa s s i o n  a nd   hi g h  r e s o l v e .   A ddi t i o na l l y ,   f o r   s m a r t   m a t e r i a l s   w i l l   r e g ul a t o r   t he   s t r a t e gy   i n  t he   a s s o c i a t i o ns   o f   r e d uc i ng   t he   v i br a t i o ns   a m p l i t ud e   a nd  f r e q ue nc y   t o   de v e l o pm e nt   t he   e f f e c t i v e n e s s   o f   t he   de s i g ne r   i n  t he   ne w   u s e s .   P ur po s e s   t o   t hi s   p r o bl e m   c o m pr i s e   m o di f i c a t i o n  t h e   a ppr o a c he s   o f   num be r s   t he   r e s o na n t   f r e que nc y   t o   y i e l d  by   c a nt i l i v i e r   a f t e r   t h e   s i g na l   pa s s   f r o m   l a s e r   s y s t e m .   T he   e xpe r i m e nt a l   o f   m o de   r e s o na nt   f r e que nc y   (f n )   o f   393 3. 1 594   H z   i l l u s t r a t i o ns   r e a s o na b l e   a g r e e m e nt   w i t h  t h e   C o m s o l   m o de l   b e i ng   w i t hi n   1 0%   o f   t h e   e xpe c t e d   r e s u l t .   Ke y w or d s :   A n s y s   Ca n t i l e v e r   G e o m e t r y   of   t h e   A s s e m b l y   L a s e r   M o de s   R e s o n a n t   F r e que n c y   C opy r i gh t   ©   2020   I n s t i t ut e   o f   A dv anc e d  E ng i ne e r i ng   and   S c i e nc e .     A l l   r i gh t s   r e s e r v e d .   Cor r e s pon di n g   Au t h or :   M o h a n a d  A l j a n a b i ,     E l e c t r i c a l   P o w e r   T e c hn i que s   E ngi n e e ri n g ,   T e c hn i c a l   Co l l e ge   / A L -   M a us a i b ,   A l - F u ra t   A l - A w s a t   T e c hni c a l   U ni v e r s i t y ,   N a j a f ,   I ra q .     T e l :   00964 773540 1438   E m a i l :   m hn@ a t u . e du. i q       1.   I N TR O D U C TI O N     A  c a n t i l e v e r   i s   a   b e a m   s uppo rt e d  o n   o nl y   o n e   e n d.   T h e   s h a f t   t ra n s f e r s   t h e   l o a d  t o   t h e   s uppo r t   w h e r e   i t   ha s   m a na ge d  t h e   m o m e n t   o f   fo r c e   a n d   s h e a r  s t r e s s .   T h e   m a gn e t i c   f i e l d  di s t r i b ut i o n   (H )  f r o m   t w o   pe r m a n e n t   m a g n e t s   w a s   de m o n s t ra t e d  t o   s uppo r t   i n   t h e   de s i gn   o f   a   m a gn e t   s y s t e m   f o r   o pt i c a l   f i b r e   l a s e r   s t udi e s   t o   be   a c hi e v e d  i n   t h e   L a s e r - M a t t e r   I nt e ra c t i o n s   L a b o r a t o r y   [1].   Ca nt i l e v e r s   w e r e   pr e s e nt e d  a s   a   s e n s i ng  e l e m e nt   o f  di f fe r e nt   r e c o gn i t i o n   s y s t e m s   be c a us e   of   t h e i r   hi g h   s e n s i t i v i t y .   T h e   c h e m i c a l   de t e c t i o n   i n   t h e   a i r  h a s   b e e n   c o n f i r m e d  i n   r e s o n a nt   f r e que n c i e s   [2 ,   3] .   C u rr e n t l y   de v e l o pi n g   s m a l l   a nd  i n e xpe n s i v e   m e t h o ds   f o r   m o n i t o ri n g  v a r i o us   a na l y s i s   a n d  c a l c ul a t i o n s   o f   t h e   r e s ona n c e   f r e que n c y   i n   l a s e r  o pt i c a l   de t e c t i o n   f o r   c a nt i l e v e r   w i t h  t w o   m a g n e t i c   a nd  c o i l   f a c t o r s   i s   o n e   o f   t h e   i nc r e a s i n g   de m a n ds   i n   l i f e   s c i e n c e   [2] .   Ca n t i l e v e r   b a s e d  s e n s o r s   a r e   b e i n g  s t ud i e d  f o r   t h e i r   h i g h   s e n s i t i v i t y   a n d  i n   a s s o r t m e nt s   o f   r e que s t s   by   m a n y   r e s e a r c h e r s   [4].   T h e y   a r e   a   s e n s i t i v e   de f l e c t i o n   o r   m o di f i c a t i o n   i n   t h e   n u m b e r s   of   m o de   f r e que n c y   s e n s o r s .   C a n t i l e v e r   s e n s o r s   a r e   p r e s e nt l y   ut i l i z e d  i n   t w o   b a s i c a l l y   di ff e r e n t   m e t h o ds ,   w hi c h   m a y   be   r e p r e s e n t e d  a s   a   s t a t i c   m o de   a nd  dy n a m i c   ( r e s o n a nt )  m o de .   T h e   s t a t i c   m e t h o d  of   pr o c e dur e   h o l ds   s a m e   pr o m i s i n g   po t e n t i a l   f o r   b i o m e di c a l   r e que s t s   [5] .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a n  J   E l e c   E ng  &   Co m p  S c i ,   V o l .   1 7 ,   N o .   2 ,  F e b r u a r y   20 20   :     975   -   9 81   976   T h e   b e n di n g  a n d  r e s o n a nt   f r e que n c y   s h i f t   o f   t h e   c a nt i l e v e r   c a n   b e   m e a s u r e d  w i t h   h i g h  a c c ura c y   us i n g  o pt i c a l   f i b r e   r e f l e c t i o n   m e t h o d.   O n e   o f   t h e   a dv a n t a ge s   of   t h e   c a nt i l e v e r   m e t h o d  i s   t ha t   b o t h   b e n di ng  a n d  r e s o n a nt   f r e que n c y   c a n   b e   m e a s ur e d  i n   a   s i ngl e   m e a s u r e m e nt   [6] .   D y n a m i c   c a nt i l e v e r s   a r e   n o rm a l l y   n o t   a pp r o pri a t e   f o r   a ppl i c a t i o n   i n   w h i c h   t h e   s e n s o r s   s h o ul d  b e   pl a c e d  i n   a n   a q ue o us   e n v i r o n m e nt .   T h i s   i s   b e c a us e   t h e   da m pi ng  o ut c o m e   i n  r e s o l ut i o n   c a n  m o ve   c a n t i l e v e r ’s   r e s o n a n c e   f r e que n c y   a s   s h o w n   i n   F ig u r e   1.   I n   t h i s   s i t ua t i o n ,   t o   h a v e   a   s e n s i n g  s y s t e m   w i t h   h i g h   s o l ut i o n ,   i t   m i g ht   b e   i m po r t a n t   t o   ha v e   a n   i de n t i c a l   c o m pl i c a t e d  t h e   f o r m a t   de s i g n e r   [7]  a s   s h o w n   i n   F i gu r e 1.   A s   t h e   s pe c t r a l   l o c a t i o n s   o f   t h e   r e s o na n c e   f r e que n c i e s   a r e   s u r e   of   t h e   c a nt i l e v e r   ge o m e t r y ,   m a t e r i a l   t y pe s   a n d  m a s s ,   a   m o di f i c a t i o n   i n   m a s s   w i l l   o r i gi n  a   s hi f t   i n  r e s o n a n c e   f r e que n c y .   By   w a y   of   t h e   s i z e s   o f   t h e   c a n t i l e v e r ' s   r e duc t i o n,   t h e   s e n s i t i v i t y   r i s e s ,   s ugge s t i n g   t ha t   r e s o na n t   c a nt i l e v e r   s e n s o r s   h a v e   t h e   f ut ur e   po t e n t i a l   o f   di s t i n gui s hi n g   t h e   m a s s   o f   di ff e r e n t   m o l e c ul e s   [8].   S o m e   a pp r o a c h e s   ha v e   be e n   a dv a n c e d  t o   a c t ua t e   c a n t i l e v e r s   a nd  de t e c t   t h e   r e s o na n t   m o t i o n .   T h e   u t m o s t   us u a l l y   us e d  a r e   de s i g n a t e d  i n   t h e   r e v i e w   a r t i c l e   by   S t e m m e   [9]  a n d  c o m pr i s e   e l e c t r o s t a t i c   a c t u a t i o n   a nd  o pt i c a l   f i b r e   l a s e r  de t e c t i o n  [8] .         (a )     (b )     F i gu r e 1.   R e s o n a nt   f r e que n c i e s   o f   c a n t i l e v e r   ( a )  S t a t i c ,   (b )  dy na m i c   [8] .       O pt i c a l   s e n s o r s   t y pi c a l l y   s t ud y   d e pe n d  o n   e m i t t i n g  l i g ht   t o   t h e   s ur f a c e   of  t h e   c a n t i l e v e r   w i t h   a   l a s e r  a n d  a na l y s i n g   t h e   l o c a t i o n   o f   r e f l e c t e d  l i g h t   t o   s e n s i t i v e   t h e   b e a m   m o v e m e n t   [10] .   F i gu r e   2   s h o w s   t h e   o pt i c a l   de t e c t i o n   f o r   c a nt i l e v e r   t e c hn i que .           F i gu r e   2 .   L a s e r   s o ur c e   f o r   c a nt i l e v e r s   de t e c t i o n   s y s t e m   [10].       H ow e ve r ,   s e v e r a l   s t u di e s   p r o j e c t e d  ut i l i z i ng   m u l t i pl e x i ng  t e c hn i q ue   t o   de c r e a s e   t h e   n u m e ra l   o f  s o ur c e s   a n d  de t e c t o r s .   In   2012  a   s e t   a dv a n c e d  a   s y s t e m   for   m o n i t o r i n g  e i g ht   c a nt i l e v e r s   [11].   T h i s   f o r m a t   i n v o l ve s   of   8  V e r t i c a l - c a v i t y   s ur f a c e - e m i t t i n g   l a s e r   a n d  p h o t o de t e c t o r .   Co rr e s po n d i n gl y ,   i t   i s   p r o b a b l e   t o  ut i l i z e   o n e   CCD   i m a ge   s c r e e n   a s   a   de t e c t o r   f o r   w h o l l y   b i o s e n s o r s .   Y ue   e t   a l .   ut i l i s e   o n e   c o l l i m a t e d  b e a m   a s   a   l i g ht   s o ur c e   f o r   100  o f   c a nt i l e v e r s   a n d  di s t i n gu i s h   t h e i r  d i f fe r e n c e   w i t h  a   CCD   p l a n e   [11] .   I n  a d di t i o n,   t a k i n g   hi g h   s e n s i t i v i t y   a nd  r e s pe c t a b l e   de t e r m i na t i o n ,   a n o t h e r   b e ne f i t   of   o pt i c a l   l a s e r   de t e c t i o n   i s   t h e   e a s e   of   t h e   f a b r i c a t i o n   p r o c e dur e   fo r   s e n s o r s   w h i c h   a r e   go i ng  t o   be   ut i l i s e d   w i t h   a n   o pt i c a l   l a s e r   a rr a nge m e n t .   F o r   a n y   c a nt i l e v e r   s e n s o r ,   t h e r e   a r e   t w o   pr o pe r t i e s   of   t h e   f r e que n c y   r e s p o n s e   t ha t   a r e   of   c e n t r a l   i m po r t a n c e :   t h e   po s i t i o n  o f   t h e   r e s o n a n c e   f r e que n c y   (         a n d   Q - f a c t o r,   gi v e n  by   Q  =   ∆ f / f 0 ,   w h e r e   ∆ f  i s   t h e   F W H M   o f   t h e   r e s o n a n c e   pe a k   [12 ,   13] .   B ut ,   s ub s e que n t l y   de t e c t i o n   i n  t h e s e   i n s t r u m e n t s   w i l l   b e   c o m pl e t e d  de pe n d  o n  l i g ht ’s   r e f l e c t i o n   f r o m   a   s u r f a c e ,   i t   i s   s i g ni f i c a n t   t o   ha v e   a   u ni f o r m   s u r f a c e   t o   e v a de   l i g h t   s c a t t e ri n g  [14] .   N ow   t h a t   t h e   m a g n e t i c   f l ux  de n s i t y   a r o un d  t h e   m a g n e t s   i s   c ha r a c t e r i z e d ,   dy n a m i c   m a g n e t i c   a n a l y s i s   c a n   b e   pe r f o r m e d  t o   de t e r m i n e   h o w   m uc h   vo l t a ge   i s   e xpe c t e d  t o   b e   ge n e r a t e d   w i t h   t h e   c h o s e n   w i n di n g   c o n f i gur a t i o n .   T h e   v o l t a ge   ge n e ra t e d  b y   a   c o i l   i s   t h e   de r i v a t i v e   o f   t h e   f l ux  l i nka ge   w i t h  r e s pe c t   t o   t i m e   [1 5].   T o   n a rr o w   dow n   t h e   s c o p e   of   t h e   a na l y s i s ,   t h e   ge n e r a l   c o n f i gura t i o n   o f   t h e   m a g n e t s   a n d  t h e   c o i l s   a r e   de t e r m i n e d  f i r s t .   T h e   s i m pl e s t   w a y   t o   i n c r e a s e   t h e   c ha n ge   i n  m a g n e t i c   f l ux  i s   t o   us e   a   s t r o n g  m a g n e t .   A n o t h e r   w a y   t o   a c h i e v e   t h e   s a m e   i s   t o   us e   t w o   di ffe r e n t   m a g n e t s   t h a t   a r e   a t t a c h e d  s i de - by - s i de   w i t h  di f f e r e n t     di m e n s i o n s   [16 ,   17].   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a n  J   E l e c   E ng  &   Co m p  S c i     IS S N :   2502 - 4752       E v a l uat i on   and   c al c ul a t i ons   of   m od e s   r e s o nant   c ant i l e v e r   f or   l as e r   op t i c al   f i be r   …   ( Mohana d  A l j anab i )   977   2.   M ET H O D   In  a n   e l e c t r o m a g n e t i c   f i e l d,   t w o   p e r m a n e n t   m a g n e t s   a r e   u t i l i z i n g  t o   y i e l d  a   s t r o n g  m a g n e t i c   f i e l d  a n d   c o i l   i s   ut i l i z i n g  a s   t h e   c o n duc t o r   w i t h   t h e   v i b r a t i o n   o f   t h e   c a n t i l e v e r .   I n   F i g u r e   1,   t h e   m a g n e t i c   f i e l d  (H )   i s   uni f o r m .   T h e   H   c ut   by   t h e   c o i l   v a ri e s   w i t h   t h e   r e l a t i v e   di s pl a c e m e n t   b e t w e e n   2  m a g n e t s   a n d  t h e   c o i l .   T h e   e m f  i s   a s s u m e d  by   [18]:                              (1)     B   i s   t h e   f l ux  de n s i t y   go i n g  t hr o ug h   t h e   c o i l ,   a n d  d z / dt   i s   t h e   re l a t i v e   v e l o c i t y   be t w e e n   t h e   2m a g n e n t s   a n d  t h e   c o i l   w i t h   t h e   v i b r a t i o n   o f   t h e   c a n t i l e v e r   w i t h   pa s s e s   t h e   l i g h t   f r o m   a   l a s e r .   F o r   F i gu r e   1 ,   t h e   H   v a r i e s   w i t h   t h e   d i s t a n c e   a pa rt   f r o m   t h e   2 - m a g n e t s   a nd   t h e   e m f   i s   gi v e n   b y   [19,   20] :                                   (2)     W h e r e   S   i s   t h e   a c t i v e   a r e a   o f   t h e   c o i l   a n d  dB / dz .   F o r   a n   una s s um i n g  e l a s t i c   b e a m   pr o b l e m   w i t h   u n i f o r m   c r o s s - s e c t i o n a l   a r e a ,   a   r e c o gn i z e d  n o rm a l   f r e que n c y   c a n   b e   d e s i gn e d  b y :                 (           (                      (3)     W h e r e   A   a n d  I  a r e   t h e   a r e a   o f   c r o s s - s e c t i o n   a n d   t h e   l e n g t h   o f  t h e   f l e xi b l e   be a m ,   β l   i s   a   c o n s t a nt   r e l a t i v e   t o   t h e   v i b r a t i o n   b o un d  s t a t e .   T h e   c o n s t a nt   β l   f o r   f i v e   r e s o n a n t   f r e que n c i e s   o f   a   c a nt i l e v e r   s ha pe   14 . 4152 6e 5,   4. 2798 87e 5,   1 . 93684e 5 ,   1. 0 9 385e 5  a n d  687 54. 4 271  H z   r e s pe c t i v e l y .   E I  i s   t h e   e qui v a l e n t   b e n di ng  s t i f f n e s s .   Ca n t i l e v e r s   a r e   a t t r a c t i v e   a s   s e n s o r s   be c a us e   t h e y   m a ke   a v a i l a b l e   e a s y   a n d  go o d  s e n s i n g  w i t h   h i g h    s e n s i t i v i t y   [21,   22] .       3.   R ES U LTS   A ND  S I M U LA TI O N S   T h e   go a l   of   o ur   s i m ul a t i o n s ,   e v a l ua t i o n s   a n d  c a l c ul a t i o n s   i s   t o   de s i gn   t h e   s y s t e m   fo r   m o de s   o f  r e s o n a nt   f r e que n c i e s   f o r   L a s e r   o pt i c a l   f i b e r   b i o s e n s o r s   a s s e m b l y   w i t h   v i b r a t i o n   o f   t h e   c a n t i l e v e r   b e a m   b y   a ppl y   t h e   l a s e r   s o ur c e   f o r   t hi s   s y s t e m ,   w h i c h   c a n   m e a s u r e   t h e   n u m b e r s   m o d e s   of   v i b r a t i o n   w h e n   t h e   s i g n a l   pa s s   f r o m   l a s e r   s o u r c e .   T h e   b i o s e n s o r   i s   i m pl e m e n t e d  by   us i ng  o pt i c a l   f i b e r   t r a n s m i t t e r ,   r e c e i v e r   gr o up,   o s c i l l o s c o pe ,   c a n t i l e v e r ,   po w e r   s uppl y ,   (l a s e r   o r   IR )  s o ur c e ,   t w o   p e r m a n e nt   m a g n e t s   ha v e   t h e   s a m e   s i z e   a n d  s h a pe   a n d  o n e - c y l i n de r   c o i l   a n d  A C  s o u r c e .   T h e   p r i n c i p l e   of   t h i s   s t udy   t h a t   w h e n  t h e   m a g n e t i c   f i e l d   di s t r i b ut i o n   o f   t h e   pe rm a n e nt   m a g n e t   t o   pr o duc e   a   f o r c e ,   t hi s   f o r c e   pe r fo r m a n c e s   o n   t h e   c a nt i l e v e r   b e a m     a c c o r di n gl y ,   t h e   c a nt i l e v e r   w i l l   v i b ra t e   w i t h  m o de s   o f   a   r e s o n a n c e   f r e que n c y   a s   s h o w n   i n  F i gu r e   3 .           F i gu r e   3 .   S c h e m a t i c   v i e w   of   t h e   2 -   pe rm a n e n t   m a g n e t i c   a nd  o n e - c y l i n de r  c o i l   w i t h  c o a t i n g   N i ;   v i b r a t i o n   o f   c a nt i l e v e r   b e a m   [23] .     T h e   m a g n e t i c   a c t ua t i o n   o f   w e r e   l o c a t e d  i n   pa ra l l e l   t o   e a c h   a ddi t i o n a l   i n   s uc h   a   t e c hn i que   t o   fo r m   a  D C  m a g n e t i c   f i e l d  l i n e s   (H )  i n   t h e   di r e c t i o n   o f   t h e   b e a m .   H   v a r i e t i e s   m a g n e t i c   m o m e n t s   i n   t h e   c o a t i n g   c a nt i l e v e r   a l o n g   t h e   D C  f i e l d .   A f t e r   t h e   c a nt i l e v e r   i s   a ni m a t e d  by   t h e   A C  m a g n e t i c   f i e l d  de s i g n e d  by   t h e   c o i l   e ffe c t i ve ,   t h e   H   a t t e m pt   t o   m a ke   e v e n   t h e m s e l v e s   w i t h   t h e   A C  f i e l d  e x c i t i n g  t h e   b e a m   a t   t h e   f r e que n c y   of   t h e   A C  m a g n e t i c   f l ux.   S i l i c a   G l a s s   c y l i n de r   i s   us i n g  a s   a   c a n t i l e v e r   i n   t h e   de s i gni n g  o f  t h i s   c a s e ,   w h e r e   o ut e r   r a di us   r 1 = 62 . 5e - 3m m ,   i nn e r   ra di us   r 2 = 25e 3m m ,   l e n g t h   L = 5m m ,   E = 73 . 1e 9P a ,   ρ= 220 3(kg \ m 3)  a nd  σ = 0. 1 7,   a n a l y t i c a l l y   w e   c a n   f i n d   t h e   f r e que n c y   o f   v i b r a t i o n   m o de   f r o m   t h e   e qua t i o n s   b e l ow :                        √         (4)   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a n  J   E l e c   E ng  &   Co m p  S c i ,   V o l .   1 7 ,   N o .   2 ,  F e b r u a r y   20 20   :     975   -   9 81   978                  (5)     W h e r e   I  r e f e r   t o   o f   t h e   s e c o n d  m o m e n t   o f   a r e a .   B y   s ub s t i t ut i o n   (5)   i n  (4 )  w e   ge t :                          √       (6)                                        (7)                           √         (8)     T h e   c a nt i l e v e r   ut i l i z e d   i n   t hi s   s t udy   is   f a b r i c a t e d  ut i l i z i ng   a n   e a s y ,   s i n g l e   m a s k  p r o c e s s   ut i l i s i n g   m a n y   s t a ge s   [24 - 26].   U s i n g  A n s y s   c o de   of   t h e   r e s e a r c h   p r e s e n t s   t h e   de s i g n ,   s i m ul a t i o n   a s   s h o w n   i n   F i gu r e   4( a & b )   s h o w s   t h e   c o i l   be t w e e n   t w o   m a g n e t s   i n   3D .   T h e   n um b e r s   of   m o de   v i b r a t i o n   w i t h   a n d  w i t h o ut   c o a t i n g   t h e   c a n t i l i v i e r   a s   s e e   i n   T a b l e   1 .   M o r e o ve r ,   t h e   fo r c e   a c t i n g  c a n   b e   c a l c ul a t e d  a na l y t i c a l l y   by   t h e   e qua t i o n s   of  t h e   m a g n e t i c   f i e l d  a s   f o l l ow s :                    (9)                     (     )     (10)     By   s u b s t i t ut i o n   w e   ge t :                           (11)     W h e r e ;         :   F o r c e   (N ),   :   c u rr e n t   (A m p) ,   :   l e n g t h  o f   w i r e   ( m ),   :   l e n g t h   o f   c o i l   (m ) ,   N :   n u m b e r   o f   t u rn s .         :   M a g n e t i c   f l ux  de n s i t y   (w e b \ m 2 ),   ( T ),       :   pe rm e a b i l i t y   of   f r e e   s pa c e   (N \ A 2 ),   H   :   m a g n e t i c   f i e l d  (A \ m ) .   T h e   P L A N E 13  w a s   ut i l i s e d   i n   t he   pe r m a n e n t   m a g n e t s ,   t h e   pe r m e a b l e   a i r   a n d   t h e   i r o n  m a t e r i a l   r e gi o n s .   W e   h a v e   s i m i l a r l y   de s i g n e d  t h e         by   us i n g   ( 6)  a n d   T a b l e   2   ge t s   t h e   r e s ul t s   f r o m   s i m ul a t i o n   a n d   t h e o r e t i c a l   de s i g n s .   A s   c a n   b e   s e e n   i n   t h i s   t a b l e ,   bo t h   v a l ue s   a r e   i n   go o d  a gr e e m e nt   w i t h   e a c h  o t h e r  [27 ].   T h e   e xpe ri m e n t a l         of  3933. 1594   H z   i l l us t ra t i o n s   r e a s o n a b l e   a g r e e m e nt   w i t h  t h e   Co m s o l   m o de l   b e i n g  w i t h i n  10%   o f   t h e   e xpe c t e d  r e s ul t .   T h e   v a l ue s   o f   r e s ona n c e   f r e que n c y   f r o m   t h e   e xpe r i m e nt   a r e   b e i n g   c o m pa r e d   w i t h   t h e   s i m ul a t i o n   r e s ul t s   [ 28].   S i m u l a t i o n   a n d  e xpe r i m e n t a l   v a l ue s   a r e   v e r y   c l o s e   t o   e a c h   o t h e r .  F o r   a n a l y t i c a l   c a l c ul a t i o n s   w e   us e d  m o de   of   v i b r a t i o n   w i t h   a n d  w i t h o ut   c o a t i n g  t h e   c a n t i l i v i e r   a s   s e e   i n   T a b l e   1 .   F r o m   e qua t i o n s   l e a di n g  e l e c t r o m a g n e t i c   f i e l d  t h e   ge n e r a t e d  e n e r gy   r e duc t i o n s   w i t h   de v i c e   pa r a m e t e r s   a nd  r e duc i n g   i n p ut   ha rm o ni c s   v i b r a t i o n   [28 - 30 ] .   T h e n   F i gu r e   5   a ppe a r s   s i m ul a t i o n   o f   t w o   m a g n e t s   a n d   c o i l   i n  2D .   F i gu r e   6  s h o w s   t h a t   s i m ul a t i o n   o f  t w o  m a g n e t s   a n d  c o i l   i n   2 D   w h e n   t h e   a pp l i e d  m a g n e t i c   f i e l d  f o r   t h e   bo x  i n   t h e   a i r .     In   A n s y s   pr o gr a m ,   t h e   f o r c e   be t w e e n   t w o   m a gn e t s   h a d  b e e n   s i m ul a t e d  i n   3D   a s   s h o w n   i n   F ig u r e   7   f i l e   c o de   A n s y s   fo r c e   b e t w e e n   t w o   pe r   m a g n e t .   F i g u r e   8   s how s   t h e   di s t ri b ut i o n  o f   t h e   m a g n e t i c   f l ux  de n s i t y   i n   t h e   f i n a l   de s i g n   o f   t h e   s y s t e m .       T a b l e   1 .   M o de s   o f   v i b r a t i o n   w i t h  a nd  w i t h o ut   c o a t i n g   t h e   c a nt i l i v i e r   V a l u e s   o f  fr e q u e n c y   w i t h o u t  c o a t i n g   2 5 1 5 3 . 2 3 0 7 H z   1 . 5 5 7 3 3 6 e 5 H z   4 . 2 7 9 8 8 7 e 5 H z   V a l u e s   o f  fr e q u e n c y   w i t h   c o a ti n g   b y   N i   2 5 1 5 3 . 4 7 9 H z   1 . 5 5 7 3 5 1 e 5 H z   4 . 2 7 9 8 8 6 e 5 H z       T a b l e   2 .   T h e   r e s ul t s   a nd  c a l c ul a t i o n s   o f   m o de s   i n  r e s o n a n c e   f r e que n c i e s   o f   t h e   s y s t e m   L   ( m m )   F 1 (H z )   E q u a t i o n   F 1 (H z )   A n s y s   F 2 (H z )   E q u a t i o n   F 2 (H z )  A n s y s   F 3 (H z )   E q u a t i o n   F 3 (H z )   A n s y s   1   1 . 0 0 8 9 9 4 e5   1 . 0 0 0 7 6 3 e 5   6 . 4 1 3 1 5 e 5   5 . 9 8 9 1 0 4 e 5   1 7 . 6 7 8 1 0 4 e 5   1 4 . 4 1 5 2 6 e 5   2   2 5 2 2 4 . 6 1 7   2 5 1 5 3 . 2 3 0 7   1 . 6 0 3 2 8 8 e 5   1 . 5 5 7 3 3 6 e 5   4 . 4 1 9 5 2 6 0 2 e 5   4 . 2 7 9 8 8 7 e 5   3   1 1 2 1 0 . 9 3 8   1 1 1 9 2 . 0 5 1 8   7 1 2 5 7 . 2 6   6 9 7 6 2 . 9 7 8   1 . 9 6 4 2 3 3 7 e 5   1 . 9 3 6 8 4 e 5   4   6 3 0 6 . 1 5 2   6 2 5 5 . 3 2 1 8   4 0 0 8 2 . 2 0 8   3 9 1 7 7 . 8 6 0 4   1 . 1 0 4 8 8 1 5 e 5   1 . 0 9 3 8 5 e 5   5   4 0 3 5 . 9 3 7 8   3 9 3 3 . 1 5 9 4   2 5 6 5 2 . 6 1 3   2 4 6 8 8 . 0 6 1   7 0 7 1 2 . 4 1 6   6 8 7 5 4 . 4 2 7 1     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a n  J   E l e c   E ng  &   Co m p  S c i     IS S N :   2502 - 4752       E v a l uat i on   and   c al c ul a t i ons   of   m od e s   r e s o nant   c ant i l e v e r   f or   l as e r   op t i c al   f i be r   …   ( Mohana d  A l j anab i )   979       F i gu r e   4( a ) .   S i m ul a t i o n  o f   t h e   f l ux   de n s i t y   i n   3D       F i gu r e   4( b ) .   3D   s i m u l a t i o n  o f   t w o - po l e   c o n f i gur a t i o n           F i gu r e   5 .   S i m u l a t i o n  o f   t w o   m a g n e t s   a n d   c y l i n de r   c o i l   i n   2D       F i gu r e   6 .   S i m u l a t i o n  o f   t w o   m a g n e t s   a n d   c o i l   i n   2D   w h e n   t h e   a ppl i e d  m a g n e t i c   f i e l d  f o r   t h e   b o x  i n   t h e   a i r           F i gu r e   7 .   M a g n e t i c   f o r c e   di s t ri b ut i o n  i n  t h e   m a g n e t s       F i gu r e   8 .   D i s t r i b ut i o n   o f   H   i n  t h e   f i na l   de s i g n  o f   t h e   s y s t e m       4.   C O N C LU S I O N   T h e   m e t h o ds   of   m o di f i c a t i o n   o f   t h e   r e s o n a n t   f r e que n c y   c o nt a i n   v a r y i n g  t h e   s i z e s   of  t h e   c a nt i l e v e r   a n d  t w o   m a gn e t s   w i t h   v a r i a b l e   c o i l   c o n di t i o na l   o n   t h e   a l t e r i n g  d i m e n s i o n s ,   s uppl i e s   of  t h e   c a nt i l e v e r ,   s o ur c e   a ppl y   (l a s e r )  w i t h   a s s e m b l y   s y s t e m   [31].   R e s ul t s   f r o m   m a n y   a s s e s s m e n t s   w h i c h   us a ge   m i c r o - c a nt i l e v e r   h a v e   m a de   k n o w n   t ha t   t h e s e   b i o s e n s o r s   c a n   de m o n s t r a t e   goo d  c o m pa s s i o n   a n d  hi g h   r e s o l ve .   A ddi t i o na l l y ,   fo r   s m a r t   m a t e r i a l s   w i l l   r e gu l a t o r   t h e   s t r a t e gy   i n   t h e   a s s o c i a t i o n s   o f   r e duc i n g   t h e   v i b r a t i o n s   a m pl i t ude   a nd  f r e que n c y   t o  de v e l o pm e n t   t h e   e ff e c t i v e n e s s   of  t h e   de s i gn e r  i n   t h e   n e w   us e s .   T h i s   s y s t e m   i s   a ppr o p r i a t e   fo r   l o w - pr i c e   w i t h   m o v a b l e   l a s e r  b i o s e n s o r s   a s s e m b l y   t o   b e c o m e   t h e   ri g ht   n e w   l o c a t i o n s   o f   de t e c t i o n .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a n  J   E l e c   E ng  &   Co m p  S c i ,   V o l .   1 7 ,   N o .   2 ,  F e b r u a r y   20 20   :     975   -   9 81   980   M o de r n   s t ud i e s ,   w e   w i l l   i m p r o v e m e n t   t h e   de t e c t i o n   t r u t h   b y   a n   i n c r e a s e   t h e   n u m b e r s   o f  t urn s   c o i l   a n d  p r o g r e s s   t h e   i n f o r m a t i o n   by   r i s i n g  t h e   s t a n d a r ds   o f   n um b e r s   i n   m o de s   of   f r e que n c i e s .   T h e   b i o s e n s o r   t e c hn o l o g y   a n d  s m a r t   m a t e ri a l s   c o m pl e t e   a r e   s i gni f i c a nt   a s   i t   i s   m o un t a b l e   fo r   i n s t a n t a n e o us   fo r   s e ve r a l   b i o m e di c a l   de v i c e s   a n d   l a s e r  o pt i c a l   f i b e r ,   c o m m u ni c a t i o n  f or  a p p r o xi m a t e l y   s e n s i t i v e   b i o s e n s o r s   s y s t e m .   W h e n   c o m pa r e   t hi s   m e t h o d  s h o w   l e s s   t i m e   u n c o n t r o l l a b l e   a n d  c o s t   r e a l ,   i n  c o m pa r i s o n  t o   v a ri o us   e xt ra   a l i ke   a pp l i c a t i o n s .   T hi s   s y s t e m   i s   i de nt i c a l   s i m p l e   t o   i m pl e m e n t ,   a   v a r i e d  ra n ge   o f   f r e que n c i e s ,   de pe n da b i l i t y   a n d  a c c ura c y   t o   ge t   go o d  r e s ul t s .       N e ve r t h e l e s s ,   t h e   m o de s   of   r e s o n a n c e   f r e que n c y   c a n   i n f l ue nc e   of   68754. 4271   H z   fo r   f i v e   m o de   a n d   t h e   s h i f t   o / p  i s   e nl a rge d  by   a ppr o xi m a t e l y   34. 21%  de s pi t e   t he   f a c t   0. 54  t i m e s   o f   t h e   c r i t i c a l     s y s t e m   i s   us e f ul   of   fo r c e   a ppl i e d  [32] .       R EF ER EN C ES     [ 1]   ht t p: / / a r i e s . uc s d. e du / L A S E R L A B .   [ 2]   E . A .   W a c ht e r ,   T .   T hund a t ,   " M i c r o m e c ha ni c a l   s e ns o r s   f o r   c he m i c a l   a nd  phy s i c a l   m e a s ur e m e n t s " ,   R e v .   S c i .   I ns t r um .   66  ( 199 5)   6 ,   ht t p: / / dx . do i . o r g / 10. 1063 / 1 .   1145 484 .   [ 3]   T . P . I .   T hund a t ,   R . J . W .   O de n ,   " M i c r o c a nt i l e v e r   s e ns o r s ,   M i c r o s c a l e   T he r m o phy s " .   E ng .   1  ( 1997)   18 5 – 1 99,   ht t p: / / dx . do i . o r g / 10 . 1 080 / 108 9395 9720 0214 .   [ 4]   M .   Y u e ,   A .   M a j um da r ,   a nd  T .   T hund e r ,   “ C a nt i l e v e r   a r r a y s :   A   uni v e r s a l   pl a t f o r m   f o r   m ul t i p l e xe d  l a b e l - f r e e   bi o a s s a y s , ”   i n  B i o M E M S   a n d  B i o m e di c a l   N a no t e c hno l o gy   ( M .   F e r r a r i ,   R .   B a s hi r ,   a n d  S .   W e r e l e y ,   e ds . ) ,   pp .   2 1 – 33 ,   S pr i ng e r   U S ,   ( 2007 ) .   1 0. 1007 / 97 8 - 0 - 387 - 25845 - 42 .   [ 5]   M i c ha e l   S e pa ni a k,   P a no s   da e s ko s ,   N i c ko l a y   L a v r i k,   C h r i s t o phe r   T i pp l e ,   “ M i c r o c a nt i l e v e r   T r a ns duc e r s :   A   N e w   A ppr o a c h  i n  S e ns o r   t e c hno l o gy ” ,   A na l y t i c a l   C h e m i s t r y ,   N o v e m be r   1,   ( 2 002 ) .   pp .   568A - 575A .   [ 6]   A l l e n,   M .   G .   ( 19 94) . "   D e s i g n,   f a b r i c a t i o n,   a nd  a pp l i c a t i o n  o f   m a g n e t i c   m i c r o   a c t ua t o r s .   M i c r o   M a c h i ne   a nd  H um a n   S c i e nc e " ,   5.   C ,   Z .   ( 20 04 ) .       [ 7]   M a h a l i k ,   N . P .   M i c r o m a nuf a c t u r i ng   a nd   n a no t e c hno l o gy .   S pr i ng e r ,   ( 2006 )   [ 8]   C ,   Z . , "   C a nt i l e v e r - ba s e d   bi o s e ns o r s .   A na l y t i c a l   a nd  B i o   A na l y t i c a l   C he m i s t r y " ,   ( 2 014 ) ,   p p. 9 46 – 9 59 .   [ 9]   Z . J .   D a v i s ,   G .   A ba da l ,   B .   H e l bo ,   O .   H a n s e n ,   F .   C a m p a ba da l ,   F .   P e r e z   M ur a no ,   J .   E s t e v e ,   E .   F i g ue r e s ,   J .   V e r d ,   N .   B a r n i o l ,   a nd  A .   B o i s e n . "   M o no l i t h i c   i n t e g r a t i o n  o f   m a s s   s e n s i ng   na no - c a nt i l e v e r s   w i t h  C M O S   c i r c u i t r y .   S e ns o r s   a nd  A c t ua t o r s   A :   P h y s i c a l " ,   105 ( 3) : 311 – 3 19,   ( 201 3) .   [ 10]   G ör a n  S t e m m e .   " R e s o na nt   s i l i c o n   s e ns o r s .   J our na l   of   M i c r om e c han i c s   and  M i c r oe ngi ne e r i ng " ,   1( 2) : 113 – 12 5,   ( 199 1) .   [ 11]   S .   L .   B i s w a l ,   “ M i c r o   a nd -   na no c a nt i l e v e r   s y s t e m s   f o r   m o l e c ul a r   a n a l y s i s , ”   i n  N a no   a nd  M i c r o s e ns o r s   f o r   C he m i c a l   a nd  B i o l o g i c a l   T e r r o r i s m   S u r v e i l l a nc e ,   J .   B . - H .   T o k,   E d. ,   R S C   P ub l i s h i ng ,   ( 2 008 ) ,   pp .   82 - 97 .   [ 12]   M .   Y u e   e t   a l . ,   " A   2 - D   m i c r o c a nt i l e v e r   a r r a y   f o r   m ul t i pl e x e d  b i o m o l e c ul a r   a na l y s i s , "   J o ur n a l   o f   M i c r o e l e c t r o m e c ha ni c a l   S y s t e m s ,   v o l .   13 ,   pp .   290 - 299 ,   ( 2 004 ) .   [ 13]   Z . J .   D a v i s ,   G .   A ba da l ,   B .   H e l bo ,   O .   H a n s e n ,   F .   C a m p a ba da l ,   F .   P e r e z   M ur a no ,   J .   E s t e v e ,   E .   F i g ue r a s ,   J .   V e r d ,   N .   B a r n i o l ,   a nd  A .   B o i s e n .   " M o no l i t h i c   i n t e g r a t i o n  o f   m a s s   s e n s i ng   na no - c a nt i l e v e r s   w i t h  C M O S   c i r c u i t r y .   S e ns o r s   a nd  A c t ua t o r s   A :   P h y s i c a l " ,   105 ( 3) : 311 – 3 19,   ( 201 3) .   [ 14]   F .   S he n,   P .   L u,   S . J .   O ’ S he a ,   K . H .   L e e ,   a nd  T . Y .   N g .   " T he r m a l   e f f e c t s   o n   c o a t e d  r e s o na nt   m i c r o c a nt i l e v e r s .   S e ns o r s   a nd  A c t ua t o r s   A :   P h y s i c a l ,   95 ( 1) : 17 – 23 ,   ( 2 017 ) .   [ 15]   P .   W a ng   e t   a l .   " A   m i c r o   e l e c t r o m a g ne t i c   l o w - l e v e l   v i b r a t i o n  e ne r g y   ha r v e s t e r   ba s e d   o n  M E M S   t e c hno l o gy , "   M i c r o s y s t .   T e c hno l . ,   v o l .   15 ,   no .   6 ,   pp .   941 - 951 .   ( 2 014 ) .   [ 16]   C .   T .   P a n  e t .   a l .   " F a br i c a t i o n  a nd  a na l y s i s   o f   a   m a g ne t i c   s e l f - po w e r   m i c r o g e ne r a t o r , "   J .   M a g .   M a g n.   M a t e r . ,   v o l .   304,   no .   1 ,   pp.   e 394 - e 3 96,   ( 200 6) .   [ 17]   U z a i r ue   S t a nl e y ,   V i c t o r   M a t t he w s   O l u ,   C ha r l e s   O c ho nog o r ,   A m a i z e   P e t e r ,   A n y a s i   F r a nc i s ,   " E x p e r i m e nt a l   A na l y s i s   o f   C a bl e   D i s t a nc e   E f f e c t   o n  S i g na l   A t t e nua t i o n  i n  S i ng l e   a nd  M u l t i m o de   F i b e r   O p t i c s " ,   I nt e r n at i on al   J o ur n al   o f   E l e c t r i c al   a nd  C om p ut e r   E n gi ne e r i ng  ( I J E C E )   V o l . 8,   N o . 3 ,   J une   ( 201 8) ,   pp . 15 77 ~ 158 2,   I S S N :   2088 - 8708,   D O I :   10. 1 1591 / i j e c e .   v 8 i 3 .  p p .  15 77 - 1582 .   [ 18]   A .   B o i s e n  e t   a l . ,   " C a n t i l e v e r - l i k e   m i c r o m e c ha ni c a l   s e ns o r s , "   R e po r t s   o n  P r og r e s s   i n  P hy s i c s ,   vo l .   74,   pp .   036 101 ,   ( 201 1) .   [ 19]   K .   M .   H a ns e n  a nd   T .   T h und a t ,   " M i c r o c a nt i l e v e r   bi o s e n s o r s , "   M e t ho ds ,   v o l .   37,   p p.   57 - 64 ,   ( 2 005 ) .   [ 20]   D .   de   B ha i l ´ ı s ,   C .   M . ,   " M o de l l i ng   a nd  a na l y s i s   o f   a   m a g ne t i c   m i c r o   a c t ua t o r ,   S e n s o r s   a nd  A c t ua t o r s " ,   pp .   2 85 - 289 ,   ( 201 0) .     [ 21]   Y uv a r a j a   M . ,   S e n t h i l   K um a r   M . ,   “ A c t i v e   V i br a t i o n  C o nt r o l   o f   S M A R T   C o m po s i t e   s t r uc t ur e   -   A   R e v i e w ” ,   N at i on al   J our nal   o f   T e c hno l og y   6:   27   –   24 ,   ( 20 10) .   [ 22]   J .   W .   C ha m b e r l a i n  a nd  D .   M .   R a t n e r ,   “ L a b e l - F r e e   B i o s e ns o r s   f o r   B i o m e di c a l   A ppl i c a t i o ns :   T he   P o t e n t i a l   o f   I nt e g r a t e d  O p t i c a l   B i o s e ns o r s   a nd  S i l i c o n  P ho t o ni c s , ”   i n  O p t i c a l ,   A c o us t i c ,   M a g ne t i c ,   a nd  M e c ha n i c a l   S e n s o r   T e c hno l o g i e s ,   K .   I ni e w s ki ,   E d . ,   C R C   P r e s s ,   ( 2 012 ) ,   pp .   45 - 78 .   [ 23]   M o ha na d   A l j a n a b i , "   R e s o na nc e   F r e que nc y   A na l y s i s   o f   L a s e r   O p t i c a l   F i be r   b a s e d  o n  M i c r o c a nt i l e v e r " ,   I nt e r na t i o na l   I nd one s i a n  J ou r na l   of   E l e c t r i c al   E ngi ne e r i ng  an d  C o m put e r   Sc i e nc e   V o l   9,   N o   4 :   A u g us t   2019 ( p a r t   I I ) .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a n  J   E l e c   E ng  &   Co m p  S c i     IS S N :   2502 - 4752       E v a l uat i on   and   c al c ul a t i ons   of   m od e s   r e s o nant   c ant i l e v e r   f or   l as e r   op t i c al   f i be r   …   ( Mohana d  A l j anab i )   981   [ 24]   O .   C a km a k,   N .   K i l i nc ,   E .   E r m e k,   A .   M o s t a f a z a de h ,   C .   E l buk e n ,   G . G .   Y a r a l i o g l u,   e t   a l . ,   " L o C   s e ns o r   a r r a y   pl a t f o r m   f o r   r e a l - t i m e   c o a g ul a t i o n  m e a s ur e m e n t s ,   M i c r o   E l e c t r o   M e c h.   S y s t .   ( M E M S ) " ,   ( 201 4)   I E E E   27t h  I nt .   C o nf .   ( 2 014 )   330 – 3 33,   h t t p: / / dx . do i . o r g / 10 . 1 109 / M E M S Y S . 20 14 . 676 5643 .   [ 25]   O .   C a km a k ,   C .   E l buk e n ,   E .   E r m e k ,   A .   M o s t a f a z a de h,   I .   B a r i s ,   B .   E r de m   A l a c a ,   e t   a l . ,   " M i c r o c a nt i l e v e r   ba s e d   di s po s a bl e   v i s c o s i t y   s e ns o r   f o r   s e r um   a n d  b l o o d  pl a s m a   m e a s u r e m e nt s ,   M e t ho ds   63"   ( 201 3)   2 25 – 2 32,   ht t p: / / dx . do i . o r g / 10 .   101 6/ j . y m e t h. 2013 . 07 . 0 09.   [ 26]   O .   C a km a k ,   E .   E r m e k,   N .   K i l i nc ,   S .   B ul u t ,   I .   B a r i s ,   I . H .   K a v a kl i ,   e t   a l . , "   A   c a r t r i dg e - ba s e d  s e ns o r   a r r a y   pl a t f o r m   f o r   m ul t i p l e   c o a g ul a t i o n  m e a s ur e m e n t s   f r o m   pl a s m a " ,   L a b  C hi p  15  ( 201 5)   11 3 – 1 20,   ht t p: / / dx . do i . o r g / 10 . 1 039 / C 4L C 00809 J .   [ 27]   I   B o une b,   F   K e r r o ur ,   " N a no m e t r i c   M o de l i z a t i o n  of   G a s   S t r uc t ur e ,   M u l t i d i m e n s i o na l   us i ng   C O M S O L   S o f t w a r e " ,   I nt e r n at i on al   J o ur n al   o f   E l e c t r i c al   an d  C om pu t e r   E ngi ne e r i n g  ( I J E C E )   V o l . 8,   N o . 4 ,   A ug us t   ( 2018 ) ,   pp . 2 014 ~ 20 20,   I S S N :   2088 - 8708,   D O I :   10. 1159 1/ i j e c e .   v 8i 4 .   p p .  2 014 - 202 0.   [ 28]   M e c ha n i c a l   s i m u l a t i o n  w i t h  A ns y s   w o r kbe nc h,   A ns y s   I n c . ;   ht t p : / /   w w w :   A ns y s   . c o m /   s o l ut i o ns   /   s i m ul a t i o n - e nv i r o nm e nt   . a s p.   [ 29]   C hi ng   N   H ,   W o ng   H   Y ,   L i   W   J ,   L e o ng   P   H   W   a nd  W e n  Z ,   "   A   l a s e r   m i c r o m a c hi ne d  v i b r a t i o na l   t o   e l e c t r i c a l   po w e r   t r a ns d uc e r   f o r   w i r e l e s s   s e n s i ng   s y s t e m s   S e ns o r s   A c t ua t o r s " ,   A   97 – 9 8  68 5 – 90 ,   ( 2 015 ) .   [ 30]   M d  R a bi u l   A w a l ,   M uz a m m i l   J us o h,   R .   B a d l i s h a h  A hm a d,   T he n na r a s a n  S a b a pa t hy ,   M .   N a j i b  M .   Y a s i n ,   M o hd   H a f i z uddi n  M a t , "   D e s i g ni ng   c a nt i l e v e r   di m e ns i o n  f o r   l o w   po w e r   w i r e l e s s   a pp l i c a t i o ns " ,   I n done s i an  J o u r na l   o f   E l e c t r i c al   E ngi ne e r i ng  an d  C om pu t e r   S c i e nc e   V o l .   14 ,   N o .   2 ,   M a y   ( 2019) ,   p p.   758 ~ 76 4  I S S N :   2502 - 4752,   D O I :   10. 1 1591 / i j e e c s .   v 14. i 2 .   pp75 8 - 764 .   [ 31]   H ui N e e   O w ,   M ua t a z   H .   S a l i h ,   C h i nB e ng   L i m , "   D e s i g n  a nd  i m p l e m e nt a t i o n  o f   l a s e r   b a s e d  i n t e l l i g e nt   e m be d de d   dua l   m o de s   c r u i s e   c o nt r o l   s y s t e m   us i ng   F P G A " ,   I ndone s i a n  J o ur na l   of   E l e c t r i c a l   E ng i ne e r i ng  an d  C om pu t e r   Sc i e nc e   V o l   13 ,   N o   3:   M a r c h  ( 20 19) .   [ 32]   H e ng   C he n,   J un - S ha n  W a ng   ,   C ha o   C he n  ,   S hi - x i a ng   L i u  ,   a nd  H a i - P e ng   C he n, "   D y na m i c   M o de l i ng   a nd   C ha r a c t e r i s t i c   A na l y s i s   o f   C a nt i l e v e r   P i e z o e l e c t r i c   B i m o r p h" ,   H i nda w i ,   M a t h e m a t i c a l   P r o b l e m s   i n   E ng i n e e r i ng ,   V o l um e   ( 2019 ) ,   A r t i c l e   I D   3926906 ,   9   pa g e s ,   ht t p s : / / do i . o r g / 10 . 11 5 5/ 20 19/ 3926 906     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.