I
nd
o
ne
s
ia
n J
o
urna
l o
f
E
lect
rica
l En
g
ineering
a
nd
Co
m
p
u
t
er
Science
Vo
l.
1
2
,
No
.
1
,
Octo
b
er
201
8
,
p
p
.
29
0
~
2
9
5
I
SS
N:
2502
-
4752
,
DOI
: 1
0
.
1
1
5
9
1
/
i
j
ee
cs
.
v
1
2
.i
1
.
p
p
290
-
2
9
5
290
J
o
ur
na
l ho
m
ep
a
g
e
:
h
ttp
:
//ia
e
s
co
r
e.
co
m/jo
u
r
n
a
ls
/in
d
ex
.
p
h
p
/
ijeec
s
M
o
delling
of
a
L
o
w
F
requency
B
a
sed
R
ec
tang
ula
r
S
ha
pe
P
ie
z
o
elec
tric
C
a
ntilever
B
ea
m
for
E
nerg
y
H
a
rv
estin
g
A
pplica
tion
s
Ra
m
iz
i M
o
ha
m
e
d,
M
a
hid
ur
R.
Sa
rk
er
,
Aza
h M
o
ha
m
ed
Ce
n
tre f
o
r
In
teg
ra
ted
S
y
ste
m
s E
n
g
in
e
e
rin
g
a
n
d
A
d
v
a
n
c
e
d
T
e
c
h
n
o
lo
g
ies
(In
teg
ra
),
F
a
c
u
lt
y
o
f
En
g
in
e
e
rin
g
a
n
d
B
u
il
t
En
v
iro
n
m
e
n
t,
Un
iv
e
rsiti
Ke
b
a
n
g
s
a
a
n
M
a
lay
sia
,
4
3
6
0
0
UK
M
,
Ba
n
g
i,
M
a
lay
sia
Art
icle
I
nfo
AB
ST
RAC
T
A
r
ticle
his
to
r
y:
R
ec
eiv
ed
A
p
r
1
1
,
2
0
1
8
R
ev
i
s
ed
J
u
n
1
2
,
2
0
1
8
A
cc
ep
ted
Ju
n
2
6
,
2
0
1
8
Ha
rv
e
stin
g
f
e
w
a
m
o
u
n
t
o
f
c
h
a
rg
e
f
ro
m
e
n
v
iro
n
m
e
n
tal
a
m
b
ie
n
t
so
u
rc
e
s
n
a
m
e
l
y
,
w
in
d
,
th
e
rm
a
l,
h
e
a
t,
v
ib
ra
ti
o
n
,
so
lar
u
ti
l
izin
g
m
icro
s
c
a
le
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
stin
g
d
e
v
ice
s,
o
ff
e
rs
v
a
st
v
i
e
w
o
f
p
o
w
e
rin
g
f
o
r
n
u
m
e
ro
u
s
p
o
rtab
l
e
lo
w
p
o
w
e
r
e
lec
tro
n
ic
d
e
v
ice
s.
Ho
w
e
v
e
r,
p
o
w
e
r
h
a
rv
e
stin
g
u
sin
g
p
iez
o
e
lec
tri
c
c
r
y
sta
l
f
ro
m
lo
w
p
o
w
e
r
a
m
b
ien
t
so
u
rc
e
n
o
w
d
a
y
s
h
a
s
in
c
re
a
sin
g
p
o
p
u
larity
w
it
h
th
e
a
d
v
a
n
tag
e
s
o
f
lo
w
c
o
st,
lo
n
g
li
f
e
ti
m
e
,
sta
b
il
it
y
a
n
d
c
lea
n
e
n
e
rg
y
.
Re
c
e
n
t
tren
d
s
h
a
v
e
sh
o
w
n
th
a
t
m
o
st
re
se
a
rc
h
e
rs
a
re
in
tere
ste
d
in
d
e
sig
n
in
g
a
lo
w
re
so
n
a
n
c
e
f
r
e
q
u
e
n
c
y
v
ib
ra
ti
o
n
b
a
se
d
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
stin
g
d
e
v
i
c
e
s
d
e
sp
it
e
o
f
it
s
c
h
a
ll
e
n
g
e
s
a
h
e
a
d
.
In
th
is
p
a
p
e
r,
a
lo
w
f
r
e
q
u
e
n
c
y
b
a
se
d
r
e
c
tan
g
u
lar
sh
a
p
e
p
iez
o
e
lec
tri
c
c
a
n
ti
lev
e
r
b
e
a
m
h
a
s
b
e
e
n
d
e
v
e
lo
p
e
d
f
o
r
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
stin
g
a
p
p
li
c
a
ti
o
n
s.
T
h
e
p
ro
p
o
se
d
v
ib
ra
ti
o
n
b
a
se
d
lo
w
f
re
q
u
e
n
c
y
c
a
n
ti
lev
e
r
b
e
a
m
u
sin
g
p
iez
o
e
lec
tri
c
e
le
m
e
n
t
h
a
s
b
e
e
n
d
e
v
e
lo
p
e
d
b
y
f
in
it
e
e
le
m
e
n
t
a
n
a
ly
sis
(F
EA
)
e
m
p
lo
y
in
g
COMS
OL
M
u
lt
i
p
h
y
sic
s
p
latfo
rm
.
T
h
e
m
a
in
g
o
a
l
o
f
th
e
stu
d
y
is
to
a
n
a
ly
z
e
th
e
o
u
tco
m
e
o
f
g
e
o
m
e
tri
c
m
o
d
e
l
o
f
a
p
iez
o
e
lec
tri
c
c
a
n
ti
lev
e
r
b
e
a
m
a
n
d
to
c
a
lcu
late
th
e
re
so
n
a
n
c
e
f
r
e
q
u
e
n
c
y
o
f
th
e
stru
c
tu
re
a
c
c
o
rd
in
g
to
it
s
len
g
th
.
T
h
e
m
a
teria
l
o
f
P
ZT
-
5
H,
h
a
s
b
e
e
n
c
o
n
sid
e
re
d
t
o
e
n
h
a
n
c
e
th
e
e
f
f
icie
n
c
y
o
f
th
e
lo
w
f
r
e
q
u
e
n
c
y
b
a
se
d
c
a
n
ti
lev
e
r
b
e
a
m
.
F
in
a
ll
y
,
th
e
p
ro
p
o
se
d
re
su
lt
is
c
o
m
p
a
re
d
w
it
h
o
th
e
r
e
x
isti
n
g
w
o
rk
s.
K
ey
w
o
r
d
s
:
E
n
er
g
y
Har
v
e
s
tin
g
FEA
L
o
w
f
r
eq
u
e
n
c
y
L
o
w
p
o
w
er
P
iezo
ce
r
am
ic
P
iezo
elec
tr
ic
Co
p
y
rig
h
t
©
2
0
1
8
In
stit
u
te o
f
A
d
v
a
n
c
e
d
E
n
g
i
n
e
e
rin
g
a
n
d
S
c
ien
c
e
.
Al
l
rig
h
ts
re
se
rv
e
d
.
C
o
r
r
e
s
p
o
nd
ing
A
uth
o
r
:
R
a
m
izi
Mo
h
a
m
ed
,
C
en
t
re
f
o
r
I
n
teg
r
ated
S
y
s
te
m
s
E
n
g
i
n
ee
r
i
n
g
a
n
d
A
d
v
an
ce
d
T
ec
h
n
o
lo
g
ies
(
I
n
te
g
r
a)
,
Facu
lt
y
o
f
E
n
g
i
n
ee
r
i
n
g
a
n
d
B
u
ilt E
n
v
ir
o
n
m
e
n
t,
U
n
iv
er
s
iti K
eb
an
g
s
aa
n
Ma
la
y
s
ia,
4
3
6
0
0
UKM
,
B
an
g
i,
Ma
la
y
s
ia
.
E
m
ail:
r
a
m
izi
@
u
k
m
.
ed
u
.
m
y
1.
I
NT
RO
D
UCT
I
O
N
T
h
er
e
ar
e
th
r
ee
k
in
d
o
f
p
o
p
u
lar
en
er
g
y
h
ar
v
esti
n
g
b
ased
o
n
v
ib
r
atio
n
m
o
d
es
s
u
c
h
a
s
p
i
ez
o
elec
tr
ic,
elec
tr
o
m
ag
n
etic
a
n
d
elec
tr
o
s
tatic
tr
a
n
s
d
u
ce
r
[
1
]
-
[
3
]
.
E
n
er
g
y
h
ar
v
est
in
g
f
r
o
m
p
iez
o
elec
tr
ic
v
ib
r
atio
n
tr
an
s
d
u
ce
r
h
as
g
a
in
ed
m
o
r
e
p
o
p
u
lar
it
y
in
te
r
m
s
o
f
it
s
lar
g
e
en
er
g
y
h
ar
v
es
tin
g
ab
ilit
y
w
it
h
lo
w
r
an
g
e
o
f
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
cies,
th
er
e
ar
e
m
an
y
ap
p
licatio
n
s
u
tili
zi
n
g
its
ea
s
y
s
tr
u
ctu
r
e
a
n
d
s
i
m
p
le
co
n
tr
o
ller
w
i
t
h
h
ig
h
er
ef
f
icie
n
c
y
r
at
h
er
th
an
o
th
er
m
o
d
els.
[
4
]
,
[
5
]
.
T
h
e
ef
f
ic
ien
c
y
o
f
e
n
er
g
y
al
ter
atio
n
f
r
o
m
m
ec
h
a
n
ical
f
o
r
ce
v
ib
r
atio
n
to
elec
tr
ical
e
n
er
g
y
is
r
elati
v
el
y
lar
g
e
[
6
]
.
T
h
er
e
ar
e
t
w
o
k
in
d
o
f
ca
n
ti
lev
er
s
s
tr
u
ct
u
r
es
n
a
m
el
y
u
n
i
m
o
r
p
h
a
n
d
b
i
m
o
r
p
h
m
o
d
e
.
B
o
th
m
o
d
es
ar
e
s
u
itab
le
to
h
ar
v
e
s
t
e
n
er
g
y
b
ec
au
s
e
it
all
o
w
s
co
m
p
ar
ativ
e
l
y
h
u
g
e
p
r
ess
u
r
e
s
ta
g
es o
n
t
h
e
p
i
ez
o
elec
tr
ic
ele
m
en
t
w
h
e
n
r
ed
u
cin
g
t
h
e
s
ize
o
f
th
e
s
e
d
ev
ice
s
[
7
]
-
[
9
]
.
I
t
is
l
ittl
e
k
n
o
w
n
s
co
p
es
o
f
e
n
er
g
y
h
ar
v
esti
n
g
ap
p
licatio
n
s
,
h
o
w
ev
er
t
h
e
u
l
ti
m
a
te
f
r
eq
u
e
n
cies
o
f
t
h
e
b
ea
m
r
eso
n
ato
r
s
is
w
id
e
in
r
an
g
e.
T
h
u
s
,
t
h
e
n
ec
es
s
ar
y
f
r
eq
u
en
c
y
p
er
h
ap
s
ca
n
b
e
o
b
tain
ed
b
y
th
e
in
s
er
tio
n
o
f
ex
tr
a
p
r
ess
u
r
e,
d
en
o
ted
to
as
a
p
ea
k
/p
r
o
o
f
m
as
s
,
an
d
an
o
th
er
s
id
e
o
f
th
e
ca
n
tilev
er
is
f
r
e
e
to
m
o
v
e,
in
w
h
ich
co
n
s
eq
u
e
n
tl
y
p
iezo
elec
tr
ic
d
eliv
er
s
h
u
g
e
v
o
lta
g
e
a
n
d
s
m
all
c
u
r
r
en
t
s
[
1
0
]
,
[
1
1
]
.
B
e
ca
u
s
e
o
f
t
h
ese
b
i
-
d
ir
ec
tio
n
al
p
r
o
p
e
r
ties
,
p
iezo
el
ec
tr
ic
ele
m
e
n
ts
ar
e
b
r
o
ad
l
y
u
t
ilized
.
So
m
e
ap
p
licatio
n
s
o
f
t
h
is
t
y
p
e
ar
e
u
ti
lized
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
n
d
o
n
esia
n
J
E
lec
E
n
g
&
C
o
m
p
Sci
I
SS
N:
2502
-
4752
Mo
d
ellin
g
o
f a
Lo
w
F
r
eq
u
e
n
c
y
B
a
s
ed
R
ec
ta
n
g
u
la
r
S
h
a
p
e
P
i
ezo
elec
t
r
ic
C
a
n
tileve
r
…
(
R
a
m
iz
i Mo
h
a
med
)
291
to
p
r
o
d
u
ce
elec
tr
ical
p
o
w
er
to
r
u
n
lo
w
p
o
w
er
d
ev
ice
s
e
x
tr
ac
ted
f
r
o
m
h
u
m
a
n
d
ail
y
l
if
e
a
n
d
p
r
o
d
u
ce
i
n
in
d
u
s
tr
ial
m
a
s
s
at
lar
g
e
[
1
2
]
,
[
1
3
]
.
I
n
th
e
p
ast,
f
e
w
a
u
t
h
o
r
s
h
ad
m
an
a
g
ed
to
ac
co
m
p
li
s
h
i
n
d
ev
elo
p
in
g
t
h
e
ac
t
u
al
e
n
er
g
y
h
ar
v
e
s
tin
g
tr
an
s
d
u
ce
r
b
ased
o
n
v
ib
r
atio
n
s
o
u
r
ce
ap
p
l
y
i
n
g
p
iezo
elec
tr
ic
ele
m
e
n
t
s
f
o
r
lo
w
r
e
s
o
n
a
n
c
e
f
r
eq
u
e
n
cies
[
1
4
]
.
Sev
er
al
tech
n
iq
u
e
s
w
er
e
u
s
ed
to
en
h
an
ce
th
e
h
ar
v
e
s
te
d
v
o
ltag
e
o
f
m
icr
o
p
iezo
ele
c
tr
ic
b
ased
en
er
g
y
h
ar
v
e
s
tin
g
s
y
s
te
m
a
t
m
icr
o
p
o
w
er
le
v
el.
Ho
w
e
v
er
t
h
e
lo
w
f
r
eq
u
e
n
c
y
v
ar
iatio
n
s
ar
e
li
m
i
ted
to
ce
r
tain
t
y
p
e
ap
p
licatio
n
s
an
d
n
ee
d
f
u
r
t
h
er
i
m
p
r
o
v
e
m
e
n
t
f
o
r
h
i
g
h
er
p
o
w
e
r
w
it
h
m
u
c
h
lo
w
er
f
r
eq
u
e
n
cie
s
.
I
n
co
n
s
tr
u
ctio
n
,
p
iezo
elec
tr
ic
ele
m
e
n
ts
ar
e
o
b
tain
ab
le
i
n
n
u
m
er
o
u
s
f
o
r
m
s
to
g
et
h
er
w
it
h
s
o
lid
m
ater
ial
(
e.
g
.
cr
y
s
tal
s
)
,
P
iezo
elec
tr
ic
m
ater
ials
s
u
c
h
as
lead
zir
co
n
ate
titan
ate
(
P
Z
T
-
5
H)
,
B
a
r
iu
m
So
d
iu
m
Nio
b
ate,
T
ellu
r
iu
m
Dio
x
id
e
an
d
C
ad
m
i
u
m
S
u
l
f
id
e
[
1
5
]
.
Fu
r
th
er
m
o
r
e,
P
Z
T
is
b
asicall
y
p
o
led
an
d
h
as
a
h
u
g
e
b
o
u
n
d
ar
y
o
f
d
ielec
tr
ic
co
n
s
ta
n
t.
E
n
er
g
y
h
ar
v
esti
n
g
w
ith
p
iezo
elec
tr
ic
ele
m
en
t
s
ar
e
in
c
r
ea
s
in
g
p
o
p
u
lar
it
y
r
ath
er
th
a
n
o
th
er
v
ib
r
atio
n
-
b
ase
d
en
er
g
y
h
ar
v
es
tin
g
tec
h
n
iq
u
e
s
.
T
h
e
m
ai
n
r
ea
s
o
n
p
i
ez
o
elec
tr
ic
en
er
g
y
h
ar
v
e
s
tin
g
tech
n
iq
u
e
o
u
t
p
er
f
o
r
m
o
t
h
er
s
i
s
b
y
i
ts
p
r
o
p
er
ty
,
w
h
er
e
it
s
ele
m
en
ts
p
r
o
d
u
ce
s
a
n
elec
tr
ical
a
m
o
u
n
t
o
f
ch
ar
g
e,
a
n
d
g
en
er
ate
s
a
m
e
ch
an
ica
l d
ef
o
r
m
atio
n
in
v
ar
io
u
s
d
esi
g
n
s
h
ap
e
s
[
1
6
]
-
[
1
8
]
.
T
h
e
m
ai
n
f
o
cu
s
o
f
th
i
s
p
ap
er
is
to
d
esi
g
n
a
lo
w
r
e
s
o
n
a
n
ce
f
r
eq
u
e
n
c
y
b
ased
r
ec
tan
g
u
lar
s
h
ap
e
p
iezo
elec
tr
ic
c
an
tilev
er
b
ea
m
f
o
r
en
er
g
y
h
ar
v
e
s
ti
n
g
ap
p
licatio
n
s
.
T
h
e
o
r
g
an
izatio
n
o
f
t
h
e
p
ap
er
is
as
f
o
llo
w
s
:
Sectio
n
2
d
en
o
tes
m
e
th
o
d
an
d
m
at
h
er
ial
s
o
f
th
e
p
r
o
p
o
s
ed
r
ec
tan
g
u
lar
s
h
ap
e
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
f
r
o
m
f
o
r
ce
v
ib
r
atio
n
s
.
Sect
io
n
3
p
r
esen
ts
r
esu
lt
s
an
d
d
is
c
u
s
s
io
n
.
Fi
n
a
ll
y
,
co
n
clu
s
io
n
is
g
iv
e
n
i
n
s
ec
tio
n
4
.
2.
M
E
T
H
O
D
AND
M
AT
E
RIA
L
S
T
h
e
p
r
o
p
o
s
ed
u
n
i
m
o
r
p
h
m
o
d
e
o
f
en
er
g
y
h
ar
v
e
s
ter
ca
n
ti
le
v
e
r
b
ea
m
is
s
h
o
w
n
in
Fi
g
u
r
e
1
.
Un
i
m
o
r
p
h
m
o
d
e
o
f
e
n
er
g
y
h
ar
v
es
ter
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
co
n
tai
n
s
o
f
a
p
ar
ticu
lar
le
v
el
s
tr
u
ct
u
r
e
o
f
p
i
ez
o
elec
tr
ic
e
le
m
e
n
t
m
er
g
ed
to
a
lev
e
l
s
tr
u
ctu
r
e
o
f
n
o
n
-
p
iezo
elec
tr
ic
ele
m
e
n
t,
d
e
n
o
ted
to
as
„
s
u
b
s
tr
ate
t
ie
r
‟
.
T
h
e
s
tr
u
ct
u
r
e
ca
lls
a
s
E
lectr
o
d
es,
p
r
o
d
u
ce
s
an
a
m
o
u
n
t
o
f
ch
ar
g
e
a
n
d
co
m
b
i
n
ed
to
th
e
to
p
an
d
b
o
tto
m
la
y
er
o
f
th
e
b
ea
m
w
it
h
p
iezo
elec
tr
ic
elem
e
n
t
s
.
Fig
u
r
e
1
.
Diag
r
a
m
o
f
p
r
o
p
o
s
e
d
p
iezo
elec
tr
ic
p
o
w
er
g
en
er
at
o
r
Me
an
w
h
ile,
T
ab
le
1
s
h
o
w
s
t
h
e
p
r
o
p
er
ties
o
f
p
ar
tic
u
lar
p
o
p
u
lar
m
ater
ial
s
f
o
r
en
er
g
y
h
ar
v
e
s
tin
g
ele
m
e
n
ts
a
n
d
m
ad
e
co
m
p
ar
is
o
n
to
p
iezo
elec
tr
ic
ele
m
en
ts
.
I
t
is
o
b
v
io
u
s
t
h
at
p
iezo
elec
tr
ic
m
ater
ial
h
as a
h
ig
h
er
elec
tr
o
m
ec
h
a
n
ical
co
m
b
in
a
tio
n
co
n
s
ta
n
t a
n
d
h
i
g
h
er
te
m
p
er
a
tu
r
e
v
ar
iatio
n
s
[
2
2
]
,
th
u
s
t
h
is
r
esear
ch
h
as
m
ad
e
a
s
elec
tio
n
o
n
to
h
av
e
a
P
Z
T
-
5
H
p
iezo
ce
r
am
ic
b
ased
m
ater
ial
f
o
r
m
o
d
el
d
ev
elo
p
m
e
n
t.
T
ab
le
1
:
T
r
an
s
d
u
ce
r
T
ec
h
n
o
lo
g
ies a
v
ailab
le
f
o
r
E
n
er
g
y
Har
v
esti
n
g
[
2
2
,
2
3
]
T
r
a
n
sd
u
c
e
r
Ty
p
e
Ex
c
i
t
a
t
i
o
n
S
o
u
r
c
e
M
a
t
e
r
i
a
l
s
Ef
f
i
c
i
e
n
c
y
(
%)
A
t
t
r
i
b
u
t
e
s
P
h
o
t
o
v
o
l
t
a
i
c
C
e
l
l
(PV)
S
o
l
a
r
/
V
i
si
b
l
e
sp
e
c
t
r
u
m
(
O
u
t
d
o
o
r
/
I
n
d
o
o
r
C
r
y
st
a
l
l
i
n
e
S
i
l
i
c
o
n
G
a
A
s
A
mo
r
p
h
o
u
s
S
i
l
i
c
o
n
/
C
d
T
e
C
u
I
n
S
e
2
1
0
%
-
2
0
%
2
5
%
-
3
0
%
5%
-
9%
~
1
7
%
-
H
i
g
h
c
o
st
o
f
ma
t
e
r
i
a
l
s
-
L
o
w
l
i
g
h
t
a
b
so
r
p
t
i
v
i
t
y
o
f
si
l
i
c
o
n
-
L
o
w
p
o
w
e
r
d
e
n
si
t
y
T
h
e
r
mo
e
l
e
c
t
r
i
c
T
e
mp
e
r
a
t
u
r
e
G
r
a
d
i
e
n
t
(
W
a
st
e
H
e
a
t
)
D
o
p
e
d
B
i
2
T
e
3
b
o
t
h
p
a
n
d
n
d
o
p
e
d
)
,
p
b
2
T
e
3
,
S
i
-
G
e
,
Y
b
A
l
3
L
e
ss t
h
a
n
5
%
L
i
mi
t
e
d
b
y
C
a
r
n
o
t
e
f
f
i
c
i
e
n
c
y
a
n
d
o
p
e
r
a
t
i
n
g
t
e
mp
e
r
a
t
u
r
e
-
M
a
t
e
r
i
a
l
se
l
e
c
t
i
o
n
b
a
se
d
o
n
o
p
e
r
a
t
i
n
g
t
e
mp
e
r
a
t
u
r
e
El
e
c
t
r
o
st
a
t
i
c
V
i
b
r
a
t
i
o
n
s
M
E
M
S
sc
a
l
e
C
a
p
a
c
i
t
o
r
~
1
3
.
3
3
%
(
5
.
6
µ
W
)
A
c
t
i
v
e
s
y
st
e
m re
q
u
i
r
i
n
g
c
a
p
a
c
i
t
o
r
e
x
c
i
t
a
t
i
o
n
v
o
l
t
a
g
e
P
i
e
z
o
e
l
e
c
t
r
i
c
V
i
b
r
a
t
i
o
n
s,
P
r
e
ssu
r
e
v
a
r
i
a
t
i
o
n
s
C
e
r
a
mi
c
s
,
S
i
n
g
l
e
c
r
y
st
a
l
s,
P
o
l
y
m
e
r
~5
-
3
0
%
D
e
p
e
n
d
s o
n
so
u
r
c
e
e
x
c
i
t
a
t
i
o
n
-
P
i
e
z
o
e
l
e
c
t
r
i
c
ma
t
e
r
i
a
l
p
r
o
p
e
r
t
y
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
SS
N
:
2
5
0
2
-
4752
I
n
d
o
n
esia
n
J
E
lec
E
n
g
&
C
o
m
p
Sci,
Vo
l
.
1
2
,
No
.
1
,
Octo
b
er
201
8
:
2
9
0
–
295
292
T
h
e
p
r
o
p
o
s
ed
lo
w
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
en
c
y
r
ec
ta
n
g
u
lar
s
h
ap
e
ca
n
tile
v
er
o
f
Fi
g
u
r
e
1
,
is
d
e
s
ig
n
ed
an
d
s
i
m
u
lated
u
s
i
n
g
C
OM
SO
L
m
u
ltip
h
y
s
ics
s
o
f
t
w
ar
e.
T
h
e
p
r
o
p
o
s
ed
s
tep
p
r
o
ce
d
u
r
es
s
h
o
w
t
h
e
p
r
o
ce
s
s
f
lo
w
o
f
th
e
d
esi
g
n
o
f
t
h
e
p
iezo
elec
tr
ic
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
.
T
h
e
s
i
m
u
lati
o
n
d
esig
n
p
r
o
ce
d
u
r
e
o
f
m
icr
o
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
i
n
C
OM
SO
L
p
r
ese
n
ted
s
tep
s
b
y
s
tep
s
as s
h
o
w
n
i
n
Fi
g
u
r
e
2
.
M
o
d
e
l
B
u
i
l
d
e
r
M
o
d
e
l
W
i
z
a
r
d
S
e
l
e
c
t
i
n
g
P
h
y
s
i
c
s
V
a
r
i
a
b
l
e
d
e
f
i
n
i
t
i
o
n
s
D
e
f
i
n
i
n
g
g
e
o
m
e
t
r
y
D
e
f
i
n
i
n
g
m
a
t
e
r
i
a
l
s
S
e
t
t
i
n
g
u
p
p
h
y
s
i
c
s
F
i
n
i
t
e
e
l
e
m
e
n
t
m
e
s
h
i
n
g
S
i
m
u
l
a
t
i
o
n
A
n
a
l
y
s
i
s
o
f
r
e
s
u
l
t
s
Fig
u
r
e
2
.
Step
s
in
d
ev
elo
p
in
g
t
h
e
m
icr
o
ca
n
tilev
er
b
ea
m
i
n
C
OM
SO
L
Fig
u
r
e
3
.
Fin
ite
ele
m
e
n
t
m
o
d
e
l o
f
th
e
r
ec
tan
g
u
lar
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
in
C
OM
SO
L
T
h
e
f
i
n
ite
ele
m
e
n
t
m
o
d
el
o
f
t
h
e
r
ec
ta
n
g
u
lar
s
h
ap
e
ca
n
t
ilev
er
b
ea
m
i
s
b
u
i
lt
u
s
i
n
g
C
OM
SO
L
m
u
ltip
h
y
s
ics
.
T
h
e
C
OM
SO
L
m
u
ltip
h
y
s
ic
h
as
b
ee
n
u
s
ed
to
m
o
d
el
p
iezo
elec
tr
ic
e
n
er
g
y
h
ar
v
e
s
ter
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
b
ased
o
n
f
o
r
ce
v
ib
r
atio
n
.
T
h
e
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
is
a
t
w
o
-
la
y
er
ed
b
e
n
d
in
g
ele
m
e
n
t
m
o
u
n
ted
o
n
a
f
i
x
ed
s
u
p
p
o
r
t.
I
n
th
i
s
m
o
d
el,
P
Z
T
-
5
H
m
ater
ial
is
ad
d
ed
o
n
th
e
p
iezo
el
ec
tr
ic
s
u
r
f
ac
e
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
an
d
t
h
e
p
er
f
o
r
m
a
n
ce
o
f
t
h
e
b
ea
m
i
s
te
s
ted
b
ased
o
n
d
if
f
er
e
n
ce
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
cie
s
.
2
.
1
.
M
o
del B
uil
der
T
h
e
Mo
d
el
B
u
ild
er
w
i
n
d
o
w
s
b
ased
o
n
m
o
d
el
tr
ee
a
n
d
t
h
e
li
n
k
ed
to
o
lb
ar
b
u
tto
n
s
p
r
o
v
id
es
an
o
u
t
lin
e
o
f
th
e
d
es
ig
n
.
T
h
e
p
er
f
o
r
m
a
n
c
e
p
r
o
ce
d
u
r
e
is
r
eq
u
ir
ed
f
o
r
cr
ea
tin
g
t
h
e
d
esig
n
a
n
d
p
r
ep
ar
in
g
th
e
r
es
u
lt
s
.
Mo
d
el
W
izar
d
b
u
ild
u
p
th
e
s
p
ac
e
d
i
m
en
s
io
n
,
p
h
y
s
ics,
a
n
d
s
u
r
v
e
y
ca
teg
o
r
y
ca
n
b
e
p
er
f
o
r
m
ed
in
s
h
o
r
t p
er
io
d
s
.
2
.
2
.
M
o
del Wiz
a
rd
P
o
s
itio
n
d
i
m
en
s
io
n
s
ca
n
b
e
b
u
ilt
u
p
u
s
i
n
g
Mo
d
el
W
izar
d
.
T
o
d
esig
n
t
h
ese,
m
o
d
e
l
p
o
s
itio
n
d
i
m
en
s
io
n
s
m
u
s
t b
e
ch
o
s
en
.
2
.
3
.
Select
io
n o
f
t
he
P
hy
s
ics M
o
du
les
Fin
ite
ele
m
en
t
m
o
d
el
o
f
t
h
e
m
icr
o
en
er
g
y
h
ar
v
ester
is
p
e
r
f
o
r
m
ed
i
n
C
OM
SO
L
th
r
o
u
g
h
u
tili
zi
n
g
“
s
tr
u
ct
u
r
al
m
ec
h
a
n
ic
s
”
w
it
h
p
i
ez
o
elec
tr
ic
d
ev
ices
ap
p
lic
atio
n
s
m
o
d
e
f
r
o
m
A
DD
P
HYSI
C
S
tr
ee
an
d
c
h
o
o
s
in
g
f
r
eq
u
en
c
y
d
o
m
ai
n
f
o
u
n
d
f
r
o
m
s
u
r
v
e
y
.
2
.
4
.
G
eo
m
et
ry
M
o
delin
g
a
nd
Def
ini
ng
t
he
M
a
t
er
i
a
ls
T
h
e
C
OM
SO
L
m
u
ltip
h
y
s
ics
d
r
a
w
in
g
to
o
ls
ar
e
u
s
ed
to
cr
ea
te
th
e
th
r
ee
d
i
m
e
n
s
io
n
al
(
3
-
D)
m
icr
o
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
s
.
T
h
e
P
Z
T
-
5
H
m
a
ter
ial
i
s
u
s
ed
a
s
a
la
y
er
o
n
b
o
th
s
id
es
at
to
p
a
n
d
b
o
tto
m
o
n
t
h
e
ca
n
ti
lev
er
b
ea
m
.
T
h
e
m
o
d
el
o
f
r
ec
ta
n
g
u
l
ar
s
h
ap
e
m
icr
o
ca
n
ti
lev
er
b
ea
m
co
n
s
is
ts
o
f
le
n
g
t
h
,
w
i
d
t
h
a
n
d
th
ic
k
n
e
s
s
i
n
m
m
.
I
t
is
i
m
p
o
r
tan
t
to
n
o
te
t
h
at
o
n
e
en
d
o
f
t
h
e
b
ea
m
i
s
k
ep
t
f
ix
e
d
w
h
ile
o
th
er
p
ar
ts
ar
e
f
r
ee
to
m
o
v
e
as
d
e
n
o
ted
i
n
Fig
u
r
e
3
.
I
t is d
o
n
e
b
y
u
s
i
n
g
s
t
r
u
ctu
r
al
m
ec
h
a
n
ic
s
m
o
d
u
le
o
f
th
e
C
O
MSO
L
.
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
n
d
o
n
esia
n
J
E
lec
E
n
g
&
C
o
m
p
Sci
I
SS
N:
2502
-
4752
Mo
d
ellin
g
o
f a
Lo
w
F
r
eq
u
e
n
c
y
B
a
s
ed
R
ec
ta
n
g
u
la
r
S
h
a
p
e
P
i
ezo
elec
t
r
ic
C
a
n
tileve
r
…
(
R
a
m
iz
i Mo
h
a
med
)
293
2
.
5
.
M
esh
ing
T
h
e
m
es
h
ap
p
licatio
n
,
w
h
ic
h
d
es
cr
ib
es
th
e
i
n
ter
ac
tio
n
b
et
w
ee
n
t
h
e
3
-
D
s
tr
u
ct
u
r
e
a
n
d
th
e
ac
t
u
al
s
tr
u
ct
u
r
e,
s
o
lv
e
s
m
es
h
s
m
o
o
th
in
g
eq
u
atio
n
s
i
n
s
id
e
th
e
C
OM
SOL
to
d
ef
i
n
e
t
h
e
co
o
r
d
in
ate
tr
an
s
f
o
r
m
atio
n
s
o
f
th
e
b
ea
m
.
Fi
g
u
r
e
4
d
ep
icts
th
e
m
e
s
h
m
o
d
elli
n
g
o
f
t
h
e
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
.
I
n
t
h
i
s
w
o
r
k
v
ar
iat
i
o
n
o
f
th
e
r
eso
n
a
n
ce
f
r
eq
u
en
c
ies
o
f
t
h
e
p
iezo
elec
tr
ic
en
er
g
y
h
ar
v
ester
s
h
ap
e
ar
e
in
v
o
l
v
ed
f
o
r
d
if
f
er
en
t
le
n
g
th
o
f
th
e
ca
n
tilev
e
r
b
ea
m
.
Fig
u
r
e
4
.
Mo
d
el
o
f
m
e
s
h
i
n
C
OM
SO
L
3.
RE
SU
L
T
S
A
ND
D
I
SCU
SS
I
O
N
T
h
e
FEA
o
f
t
h
e
m
icr
o
ca
n
t
ilev
er
is
p
er
f
o
r
m
ed
to
ass
es
s
th
e
s
h
ap
e
f
ee
d
b
ac
k
s
.
T
h
e
w
o
r
k
al
s
o
in
v
e
s
ti
g
ates
on
h
o
w
t
h
e
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
cie
s
o
f
th
e
p
iezo
elec
tr
ic
en
er
g
y
h
ar
v
e
s
ter
s
h
ap
e
ar
e
in
v
o
l
v
ed
th
r
o
u
g
h
d
if
f
er
en
ce
le
n
g
th
o
f
t
h
e
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
.
Fir
s
t,
t
h
e
len
g
th
o
f
th
e
ca
n
tile
v
er
i
s
e
x
p
an
d
ed
f
r
o
m
5
m
m
to
1
0
0
m
m
,
o
t
h
er
p
ar
am
eter
s
o
f
t
h
e
ca
n
tile
v
er
ar
e
f
i
x
ed
.
Dif
f
er
en
t
s
i
m
u
latio
n
r
es
u
lt
s
ar
e
p
lo
t
ted
in
Fig
u
r
e
5
f
o
r
v
ar
iatio
n
o
f
t
h
e
ca
n
tile
v
er
len
g
th
.
I
t
h
a
s
b
ee
n
s
h
o
w
n
t
h
at
t
h
e
e
f
f
ec
t
o
f
t
h
e
ca
n
tile
v
er
le
n
g
th
d
i
m
e
n
s
io
n
s
o
n
d
if
f
er
e
n
ce
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
c
ies,
w
h
ich
is
t
h
e
h
i
g
h
er
t
h
e
le
n
g
t
h
th
e
lo
w
er
t
h
e
f
r
eq
u
e
n
c
y
.
Me
an
w
h
ile,
F
ig
u
r
e
6
s
h
o
w
s
t
h
e
r
eso
n
a
n
ce
f
r
eq
u
e
n
cies
w
it
h
d
i
f
f
e
r
e
n
ce
le
n
g
th
a
n
d
d
is
p
lace
m
en
t.
F
i
g
u
r
e
6
(
a
)
s
h
o
w
s
t
h
at
w
h
e
n
th
e
w
id
t
h
an
d
t
h
ick
n
es
s
o
f
t
h
e
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
ar
e
f
i
x
ed
,
th
e
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
en
c
y
d
r
o
p
s
a
n
d
r
is
e
f
o
r
all
th
e
d
if
f
er
e
n
ce
b
ea
m
len
g
t
h
o
f
t
h
e
ca
n
tilev
er
b
ea
m
.
Th
is
is
i
n
ag
r
ee
m
e
n
t
to
Fig
u
r
e
5
.
Fig
u
r
e
6
(
b
)
s
h
o
w
s
t
h
e
d
is
p
lace
m
e
n
t
w
it
h
t
h
e
f
r
eq
u
en
c
y
r
esp
o
n
s
e
c
u
r
v
e
f
o
r
4
0
m
m
ca
n
tile
v
er
len
g
t
h
.
Fro
m
Fi
g
u
r
e
6
(
a
)
an
d
6
(
b
)
it
is
clea
r
th
at
th
e
p
r
o
p
o
s
ed
m
o
d
el
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
c
y
is
v
er
y
lo
w
f
o
r
th
e
le
n
g
th
d
i
m
e
n
s
io
n
o
f
4
0
m
m
le
n
g
th
to
co
m
e
o
u
t
f
o
r
th
e
f
r
eq
u
en
c
y
r
e
s
o
n
an
ce
at
2
7
Hz.
T
h
e
m
o
d
el
h
as
b
ee
n
co
m
p
ar
ed
w
it
h
o
th
e
r
w
o
r
k
s
i
n
o
r
d
er
to
p
r
o
d
u
ce
lo
w
er
r
eso
n
a
n
ce
f
r
eq
u
en
c
y
as tab
u
lated
in
T
ab
le
2
.
T
ab
le
2
.
C
o
m
p
ar
is
o
n
o
f
th
e
r
e
s
o
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
c
y
P
ZT
d
e
v
i
c
e
d
e
scri
p
t
i
o
n
D
e
si
g
n
/
d
i
me
n
s
i
o
n
s
R
e
so
n
a
n
t
f
r
e
q
u
e
n
c
y
R
e
f
e
r
e
n
c
e
s
En
e
r
g
y
h
a
r
v
e
st
i
n
g
M
E
M
S
d
e
v
i
c
e
b
a
se
d
o
n
t
h
i
n
f
i
l
m PZ
T
c
a
n
t
i
l
e
v
e
r
s
C
a
n
t
i
l
e
v
e
r
si
z
e
:
l
e
n
g
t
h
=
1
3
.
5
mm
,
w
i
d
t
h
=
9
mm
,
t
h
i
c
k
n
e
ss
=
1
9
2
μm
4
8
.
5
k
H
z
[
1
9
]
P
ZT
-
b
a
se
d
M
E
M
S
w
i
t
h
i
n
t
e
r
d
i
g
i
t
a
l
e
l
e
c
t
r
o
d
e
s)
C
a
n
t
i
l
e
v
e
r
si
z
e
:
l
e
n
g
t
h
=
3
.
0
0
0
μm,
w
i
d
t
h
=
1
.
5
0
0
μm,
t
h
i
c
k
n
e
ss =
2
2
μ
m
5
7
0
–
5
7
5
H
z
[
2
0
]
T
h
i
n
f
i
l
m PZ
T
-
b
a
se
d
M
E
M
S
p
o
w
e
r
g
e
n
e
r
a
t
o
r
a
r
r
a
y
f
o
r
v
i
b
r
a
t
i
o
n
e
n
e
r
g
y
h
a
r
v
e
st
i
n
g
,
o
p
e
r
a
t
i
n
g
i
n
d
3
1
mo
d
e
C
a
n
t
i
l
e
v
e
r
si
z
e
:
2
.
0
0
0
–
3
.
5
0
0
μm,
w
i
d
t
h
=
7
5
0
–
1
.
0
0
0
μ
m
2
2
6
–
2
3
4
H
z
[
2
1
]
F
o
r
c
e
v
i
b
r
a
t
i
o
n
b
a
se
d
r
e
c
t
a
n
g
u
l
a
r
sh
a
p
e
p
i
e
z
o
e
l
e
c
t
r
i
c
c
a
n
t
i
l
e
v
e
r
b
e
a
m
C
a
n
t
i
l
e
v
e
r
si
z
e
:
l
e
n
g
t
h
=
4
0
mm
,
w
i
d
t
h
=
6
mm
,
t
h
i
c
k
n
e
ss
=
1
.
5
mm
2
7
H
z
T
h
i
s
w
o
r
k
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
SS
N
:
2
5
0
2
-
4752
I
n
d
o
n
esia
n
J
E
lec
E
n
g
&
C
o
m
p
Sci,
Vo
l
.
1
2
,
No
.
1
,
Octo
b
er
201
8
:
2
9
0
–
295
294
Fig
u
r
e
5
.
L
en
g
t
h
o
f
t
h
e
ca
n
t
ile
v
er
is
r
is
e
s
lo
w
l
y
f
r
o
m
5
m
m
t
o
1
0
0
m
m
Fig
u
r
e
6
(
a)
.
C
an
tile
v
er
len
g
t
h
ef
f
ec
t
w
it
h
r
eso
n
a
n
ce
f
r
eq
u
en
c
y
Fig
u
r
e
6
(
b
)
.
C
an
tilev
er
r
eso
n
a
n
ce
f
r
eq
u
e
n
c
y
w
it
h
d
is
p
lace
m
e
n
t.
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
n
d
o
n
esia
n
J
E
lec
E
n
g
&
C
o
m
p
Sci
I
SS
N:
2502
-
4752
Mo
d
ellin
g
o
f a
Lo
w
F
r
eq
u
e
n
c
y
B
a
s
ed
R
ec
ta
n
g
u
la
r
S
h
a
p
e
P
i
ezo
elec
t
r
ic
C
a
n
tileve
r
…
(
R
a
m
iz
i Mo
h
a
med
)
295
4.
CO
NCLU
SI
O
N
T
h
is
w
o
r
k
h
as
p
r
esen
ted
a
lo
w
f
r
eq
u
e
n
c
y
b
ased
r
ec
ta
n
g
u
la
r
s
h
ap
e
p
iezo
elec
tr
ic
ca
n
ti
lev
e
r
b
ea
m
f
o
r
en
er
g
y
h
ar
v
e
s
ti
n
g
ap
p
licatio
n
.
T
h
e
p
r
o
p
o
s
ed
r
ec
tan
g
u
lar
s
h
ap
e
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
w
a
s
d
esi
g
n
ed
u
s
in
g
a
s
o
lid
m
ec
h
a
n
ic
s
f
i
n
ite
ele
m
e
n
t
m
o
d
el
in
C
O
MSO
L
.
A
s
d
ep
icted
i
n
T
ab
le
2
,
th
e
w
o
r
k
h
as
s
u
cc
e
s
s
f
u
ll
y
m
o
d
elle
d
t
h
e
w
a
y
t
h
at
t
h
e
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
m
a
y
g
e
n
er
ate
h
ig
h
e
n
er
g
y
g
en
er
atio
n
at
lo
w
f
r
eq
u
en
c
y
co
m
p
ar
ed
to
o
th
er
s
.
T
h
e
r
ec
tan
g
u
lar
s
h
ap
e
p
iezo
elec
tr
ic
ca
n
tile
v
er
b
ea
m
is
u
s
in
g
t
h
e
P
Z
T
-
5H
p
iezo
ce
r
am
ic
m
ater
i
al
an
d
h
as
o
b
tai
n
ed
s
u
itab
le
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
c
y
at
2
7
Hz.
T
h
is
h
as
a
n
ad
v
a
n
tag
e
o
f
g
iv
in
g
d
esire
d
o
u
tp
u
t
f
o
r
lo
w
f
r
eq
u
en
c
y
ap
p
licatio
n
s
w
it
h
m
u
lti
v
ar
iab
l
e
d
y
n
a
m
ic
f
o
r
ce
.
ACK
NO
WL
E
D
G
E
M
E
NT
S
T
h
is
w
o
r
k
w
as
ca
r
r
ied
o
u
t
with
t
h
e
f
in
a
n
cial
s
u
p
p
o
r
t
f
r
o
m
t
h
e
Mi
n
is
tr
y
o
f
Hi
g
h
er
E
d
u
ca
tio
n
o
f
Ma
la
y
s
ia
u
n
d
er
th
e
r
esear
ch
g
r
an
t G
GP
-
2017
-
01.
RE
F
E
R
E
NC
E
S
[1
]
S
a
g
g
in
i
S
,
On
g
a
ro
F
.
L
o
w
-
P
o
w
e
r
En
e
rg
y
H
a
rv
e
stin
g
S
o
lu
ti
o
n
s
f
o
r
W
ieg
a
n
d
T
ra
n
sd
u
c
e
rs.
IEE
E
j
o
u
rn
a
l
o
f
e
me
rg
in
g
a
n
d
se
lec
ted
to
p
ics
in
p
o
we
r ele
c
tro
n
ics
,
2
0
1
5
;
3
(3
):
7
6
6
-
7
7
9
.
[2
]
Hw
a
n
g
JH
,
H
y
o
u
n
g
CH,
P
a
rk
K
H.
Ki
m
Y
T
.
En
e
rg
y
h
a
rv
e
stin
g
fro
m
a
m
b
ien
t
e
le
c
tro
m
a
g
n
e
ti
c
wa
v
e
u
sin
g
h
u
m
a
n
b
o
d
y
a
s an
ten
n
a
.
E
lec
tro
n
ics
L
e
tt
e
rs
.
2
0
1
3
;
4
9
(
2
):
1
4
9
-
1
5
.
[3
]
P
riy
a
S
.
A
d
v
a
n
c
e
s
in
e
n
e
rg
y
h
a
r
v
e
stin
g
u
sin
g
lo
w
p
ro
f
il
e
p
iez
o
e
lec
tri
c
tran
sd
u
c
e
rs.
J
o
u
r
n
a
l
o
f
El
e
c
tro
c
e
ra
mic
s
.
2
0
0
7
;
1
9
:
1
6
7
–
1
8
4
.
[4
]
Re
z
a
e
is
a
ra
y
M
,
G
o
w
in
i
M
,
S
a
m
e
o
to
D,
L
o
w
f
re
q
u
e
n
c
y
p
iez
o
e
le
c
tri
c
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
stin
g
a
t
m
u
lt
i
v
ib
ra
ti
o
n
m
o
d
e
sh
a
p
e
s.
S
e
n
s.
Actu
a
to
rs
A
Ph
y
s.
2
0
1
5
;
2
2
8
:
1
0
4
–
1
1
1
.
[5
]
El
f
rin
k
R,
K
a
m
e
l
T
M
,
G
o
e
d
b
lo
e
d
M
,
M
a
to
v
a
S
,
Ho
h
lf
e
ld
D.
V
ib
ra
ti
o
n
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
stin
g
w
it
h
a
lu
m
in
u
m
n
it
rid
e
-
b
a
se
d
p
iez
o
e
lec
tri
c
d
e
v
ice
s.
J
.
M
icr
o
me
c
h
.
M
icr
o
e
n
g
.
2
0
0
9
;
1
9
:
2
4
9
-
2
5
2
.
[6
]
Qia
n
Z,
Kim
ES
,
V
ib
ra
ti
o
n
E
n
e
rg
y
Ha
rv
e
stin
g
Ba
se
d
o
n
M
a
g
n
e
t
a
n
d
C
o
il
A
rra
y
s
f
o
r
W
a
tt
-
L
e
v
e
l
Ha
n
d
h
e
ld
P
o
w
e
r
S
o
u
rc
e
.
Pr
o
c
.
IEE
E
;
2
0
1
4
;
1
0
2
(1
1
)1
7
4
7
-
1
7
6
1
.
[7
]
S
a
k
e
r
M
R,
M
o
h
a
m
e
d
A
.
M
o
h
a
m
e
d
R.
De
v
e
lo
p
a
v
ib
ra
ti
o
n
b
a
se
d
M
EM
S
p
iez
o
e
lec
tri
c
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
ste
r
u
sin
g
m
icro
c
a
n
ti
lev
e
r
b
e
a
m
.
In
ter
n
a
ti
o
n
a
l
J
o
u
rn
a
l
o
f
A
p
p
li
e
d
E
n
g
in
e
e
rin
g
Res
e
a
rc
h
,
2
0
1
6
;
1
1
(
5
):
3
4
2
1
-
3
4
2
6
.
[8
]
M
a
iw
a
H,
S
a
k
a
m
o
to
W
.
V
ib
ra
t
io
n
a
l
En
e
rg
y
Ha
r
v
e
stin
g
Us
in
g
a
Un
im
o
rp
h
w
it
h
P
ZT
-
o
r
BT
-
Ba
se
d
Ce
ra
m
ics
.
Fer
ro
e
lec
trics
.
2
0
1
3
;
4
4
6
:
6
7
-
77.
[9
]
Ya
n
g
Z,
Z
u
J.
T
o
w
a
rd
Ha
rv
e
stin
g
V
ib
ra
t
io
n
E
n
e
rg
y
f
ro
m
M
u
lt
ip
l
e
Dire
c
ti
o
n
s
b
y
a
No
n
li
n
e
a
r
Co
m
p
re
ss
iv
e
-
M
o
d
e
P
iez
o
e
lec
tri
c
T
ra
n
sd
u
c
e
r.
IEE
E/
A
S
M
E
T
ra
n
sa
c
ti
o
n
s o
n
M
e
c
h
a
tr
o
n
i
c
s
,
2
0
1
6
;
2
1
:
1
7
8
7
–
1
7
9
1
.
[1
0
]
X
iao
b
in
C,
M
i
n
g
m
in
g
T
,
Ju
n
h
u
i
H.
P
S
P
ICE
-
Ba
se
d
A
n
a
l
y
s
e
s
o
f
th
e
V
ib
ra
ti
o
n
En
e
rg
y
Ha
rv
e
ste
r
S
y
ste
m
w
it
h
M
u
lt
i
p
le
P
iez
o
e
lec
tri
c
Un
i
ts.
C
a
n
a
d
ia
n
j
o
u
rn
a
l
o
f
e
lec
trica
l
a
n
d
c
o
mp
u
ter
e
n
g
i
n
e
e
rin
g
,
2
0
1
5
;
3
8
:
2
4
6
–
2
5
0
.
[1
1
]
S
a
rk
e
r
M
R,
M
o
h
a
m
e
d
A
,
M
o
h
a
m
e
d
R.
A
Ne
w
M
e
th
o
d
f
o
r
a
P
i
e
z
o
e
lec
tri
c
En
e
rg
y
H
a
rv
e
stin
g
S
y
ste
m
Us
in
g
a
Ba
c
k
tra
c
k
in
g
S
e
a
rc
h
A
lg
o
rit
h
m
-
Ba
se
d
P
I
Vo
lt
a
g
e
Co
n
tr
o
ll
e
r.
M
icr
o
ma
c
h
i
n
e
s.
2
0
1
6
;
7
:1
-
1
6
.
[1
2
]
T
a
n
g
G
.
L
iu
J.Q,
Ya
n
g
B,
L
iu
,
HS,
L
i
YG
,
Y
a
n
g
CS
,
Da
o
V
.
D,
T
a
n
a
k
a
K,
S
u
g
i
y
a
m
a
S
.
Pi
e
zo
e
lec
tric
M
EM
S
lo
w
-
lev
e
l
v
ib
ra
ti
o
n
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
ste
r
wit
h
PM
N
-
PT
sin
g
le
c
ry
sta
l
c
a
n
ti
lev
e
r.
IET
J
o
u
r
n
a
ls
&
M
a
g
a
zin
e
s
.
2
0
1
2
;.
4
8
:
784
–
7
8
6
.
[1
3
]
M
o
h
a
m
e
d
R,
S
a
rk
e
r
M
R,
M
o
h
a
m
e
d
A
.
A
n
o
p
ti
m
iza
ti
o
n
o
f
re
c
tan
g
u
lar
sh
a
p
e
p
iez
o
e
lec
tri
c
e
n
e
rg
y
h
a
r
v
e
stin
g
c
a
n
ti
lev
e
r
b
e
a
m
f
o
r
m
icro
d
e
v
ic
e
s.
In
ter
n
a
ti
o
n
a
l
J
o
u
rn
a
l
o
f
A
p
p
l
ied
El
e
c
tro
ma
g
n
e
ti
c
s
a
n
d
M
e
c
h
a
n
ics
.
2
0
1
6
;
5
0
:
537
-
5
4
8
.
[1
4
]
W
a
n
g
Y,
L
u
o
C,
L
i
P
.
L
in
e
a
r
m
u
lt
i
-
d
e
g
re
e
-
of
-
f
re
e
d
o
m
lo
w
-
f
re
q
u
e
n
c
y
p
iez
o
e
lec
tri
c
v
ib
ra
ti
o
n
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
ste
r.
Fer
ro
e
lec
trics
.
2
0
1
6
;
5
0
2
:
5
7
-
6
8
.
[1
5
]
S
a
rk
e
r
M
R,
M
o
h
a
m
e
d
A
,
M
o
h
a
m
e
d
R.
P
e
rf
o
rm
a
n
c
e
e
v
a
lu
a
ti
o
n
m
o
d
e
li
n
g
a
M
icro
e
lec
tro
m
e
c
h
a
n
ica
l
s
y
ste
m
b
a
se
d
F
in
it
e
E
lem
e
n
t
p
iez
o
e
lec
tri
c
S
h
e
a
r
A
c
tu
a
ted
Be
a
m
.
Prze
g
lą
d
e
lek
tro
tec
h
n
icz
n
y
.
2
0
1
5
;
9
1
(3
)
:
5
-
8.
[1
6
]
Ro
u
n
d
y
S
,
W
rig
h
t
P
K,
Ra
b
a
e
y
J.
A
stu
d
y
o
f
lo
w
lev
e
l
v
ib
ra
ti
o
n
s
a
s
a
p
o
w
e
r
so
u
rc
e
f
o
r
w
ir
e
le
ss
se
n
so
r
n
o
d
e
s
.
Co
mp
u
ter
C
o
mm
u
n
ica
ti
o
n
s.
2
0
0
3
;
2
6
(
1
1
)
:
1
1
3
1
–
1
1
4
4
.
[1
7
]
A
z
i
z
M
,
M
o
u
n
ir
A
,
El
M
EN,
Im
a
d
EZ
.
P
e
rf
o
rm
a
n
c
e
e
v
a
lu
a
ti
o
n
o
f
e
n
e
rg
y
-
e
ff
ici
e
n
t
c
lu
ste
rin
g
a
lg
o
rit
h
m
s in
w
irele
ss
se
n
so
r
n
e
tw
o
rk
s.
2
0
1
5
;
8
3
(2
):
1
8
7
-
1
9
4
.
[1
8
]
Hu
Y,
Hu
T
,
Ji
a
n
g
Q.
On
th
e
in
t
e
ra
c
ti
o
n
b
e
tw
e
e
n
th
e
h
a
rv
e
stin
g
s
tru
c
tu
re
a
n
d
th
e
sto
ra
g
e
c
ircu
it
o
f
a
p
iez
o
e
lec
tri
c
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
ste
r.
In
ter
n
a
t
io
n
a
l
J
o
u
rn
a
l
o
f
A
p
p
l
ied
El
e
c
tro
m
a
g
n
e
ti
c
s a
n
d
M
e
c
h
a
n
ics
.
2
0
0
8
;
2
7
(4
):
2
9
7
-
3
0
9
.
[1
9
]
Ch
o
i
W
J,
Je
o
n
Y,
Je
o
n
g
JH
,
S
o
o
d
R,
Kim
S
G
.
En
e
rg
y
h
a
rv
e
stin
g
M
EM
S
d
e
v
ice
b
a
se
d
o
n
t
h
in
f
il
m
p
iez
o
e
lec
tri
c
c
a
n
ti
lev
e
rs.
J
o
u
rn
a
l
o
f
El
e
c
tro
c
e
ra
mic
s
.
2
0
0
6
;
1
7
(2
–
4
)
:
5
4
3
–
5
4
8
.
[2
0
]
L
e
e
BS
,
W
u
W
J,
S
h
i
h
W
P
,
Va
sic
D,
Co
sta
F
.
P
o
w
e
r
h
a
rv
e
st
in
g
u
si
n
g
p
iez
o
e
lec
tri
c
M
EM
S
g
e
n
e
ra
to
r
w
it
h
in
terd
ig
it
a
l
e
lec
tro
d
e
s,”
in
Pro
c
e
e
d
in
g
s
o
f
t
h
e
IEE
E
Ultra
so
n
ics
S
y
mp
o
si
u
m
(
IUS
’0
7
).
2
0
0
7
;
1
5
9
8
–
1
6
0
1
,
Ne
w
Yo
rk
,
NY
,
USA
,
Oc
to
b
e
r
2
0
0
7
.
[2
1
]
L
iu
JQ
,
F
a
n
g
HB,
X
u
ZY.
A
M
EM
S
-
b
a
se
d
p
iez
o
e
lec
tri
c
p
o
w
e
r
g
e
n
e
ra
to
r
a
rra
y
f
o
r
v
ib
ra
ti
o
n
e
n
e
rg
y
h
a
rv
e
stin
g
.
M
icr
o
e
lec
tro
n
ics
J
o
u
rn
a
l,
2
0
0
8
;
3
9
(
5
):
8
0
2
–
8
0
6
.
[2
2
]
Ju
n
K.,
Ke
n
j
i
U
,
S
h
o
ic
h
iro
N.
Di
e
lec
tri
c
a
n
d
P
iez
o
e
lec
tri
c
P
r
o
p
e
rti
e
s
o
f
0
.
9
1
P
b
(Zn
1
/
3
Nb
2
/3
)O
3
-
0
.
0
9
P
b
T
iO3
S
i
n
g
l
e
Cr
y
sta
ls.
J
a
p
a
n
e
se
J
o
u
rn
a
l
o
f
Ap
p
li
e
d
P
h
y
sic
s
,
1
9
8
2
,
2
1
:
1
2
9
8
-
1
3
0
2
.
[2
3
]
P
a
rk
S
E
,
S
h
ro
u
t
T
R.
Ultra
h
ig
h
stra
in
a
n
d
p
iez
o
e
lec
tri
c
b
e
h
a
v
i
o
r
i
n
re
lax
o
r
b
a
se
d
f
e
rro
e
lec
tri
c
sin
g
le
c
ry
sta
ls.
J
o
u
rn
a
l
o
f
A
p
p
li
e
d
Ph
y
sic
s
,
1
9
9
7
,
8
2
(
7
):
1
8
0
4
-
1
8
1
1
.
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.