I n d on e s i an   Jo u r n al   o El e c t r i c al   En gi n e e r i n g   an d   C o m p u te r   S c i e n c e   V o l .   15 ,   N o .   2 A ugus t   20 1 9 ,   pp .   697 ~ 703   IS S N :   2502 - 4752 ,   D O I :   10. 1 1591 / i j e e c s . v 1 5 .i 2 . pp 697 - 703             697       Jou r n al   h o m e pa ge ht t p: / / i ae s c or e . c om / j our na l s / i nde x . php/ i j e e c s   C h a n n e l   l e n g t h   s c a l i n g   a n d   e l e c t r i c a l   c h a r a c t e r i z a t i o n   o f     g r a p h e n e   f i e l d   e f f e c t   t r a n s i st o r   ( GF E T )       R e e n a   S r i   S e l v ar ajan ,   B u r h an u d d i n   Y e o p   M ajl i s ,   N o r l i an Y u s o f,   A z r u l   A z l an   H am z ah   I ns t i t u t e   o f   M i c r o e ng i n e e r i ng   a nd   N a no e l e c t r o ni c s   ( I M E N ) ,   U n i v e r s i t i   K e b a ng s a a M a l a y s i a   ( U K M ) ,   M a l a y s i a       A r ti c l e   I n fo     A B S TR A C T     Ar t i c l e   h i s t or y :   R e c e i v e O c t   20,   2018   R e v i s e F e b   22,   201 9   A c c e pt e M a r   5,   2019       T he   e xc l us i v e   m o no a t o m i c   f r a m e w o r o f   g r a phe ne   m a ke s   i t   a s   a a l l u r i ng   m a t e r i a l   t o   be   i m p l e m e nt e i e l e c t r o ni c   de v i c e s .   T hus ,   u s i ng   g r a phe n e   a s   c ha r g e   c a r r y i ng   c o nduc t i ng   c ha nne l   m a t e r i a l   i F i e l E f f e c t   T r a n s i s t o r s   ( F E T )   e x pe d i t e s   t h e   o ppo r t u ni t i e s   f o r   pr o duc t i o o f   ul t r a s e ns i t i v e   bi o s e n s o r s   f o r   f ut ur e   de v i c e   a p pl i c a t i o ns .   H o w e v e r ,   pe r f o r m a nc e   o f   G F E T   i s   i nf l ue nc e d   by   v a r i o us   pa r a m e t e r s ,   pa r t i c ul a r l y   b y   t he   l e ng t o f   c o nduc t i ng   c ha nne l .   T he r e f o r e ,   i t h i s   s t udy   w e   ha v e   i nv e s t i g a t e c ha nn e l   l e ng t s c a l i ng   i pe r f o r m a nc e   o f   g r a phe ne   f i e l e f f e c t   t r a n s i s t o r   ( G F E T )   v i a   s i m ul a t i o t e c hni que   us i ng   L um e r i c a l   D E V I C E   s o f t w a r e .   T he   p e r f o r m a nc e   w a s   a na l y z e ba s e o e l e c t r i c a l   c ha r a c t e r i z a t i o o f   G F E T   w i t l o ng   a nd  s ho r t   c o nduc t i ng   c ha nne l s .   I t   pr o v e s   t ha t   c o nduc t i ng   c ha nne l   l e ng t hs   ha v e   v a s t   e f f e c t   o a m bi po l a r   c ur v e   w h e r e   s ho r t   c ha nne l   i nduc e s   a s y m m e t r y   i t r a ns f e r   c ha r a c t e r i s t i c s   c ur v e   w he r e   t he   n - b r a nc i s   s up pr e s s e d .   W he r e a s   f o r   o ut put   c ha r a c t e r i s t i c s ,   t h e   p e r f o r m a nc e   o f   G F E T   h e a v i l y   de g r a de a s   t h e   c ha nn e l   l e ng t i s   r e duc e i s ho r t   c ha nn e l s   o f   G F E T .   T he r e f o r e ,   c ha n ne l   l e ng t h   s c a l i ng   i s   a   v i t a l   pa r a m e t e r   i de t e r m i n i ng   t he   pe r f o r m a nc e   o f   G F E T   i v a r i o us   f i e l ds ,   pa r t i c ul a r l y   i bi o s e ns i ng   a pp l i c a t i o ns   f o r   ul t r a s e n s i t i v e   de t e c t i o n.   Ke y w or ds :   A m b i po l a r   Cha nn e l   l e n gt h   G F E T   S h o rt   c h a nn e l   e f f e c t   T r a n s f e r   c ha r a c t e r i s t i c s   C opy r i gh t   ©   201 9   I n s t i t ut e   o f   A dv anc e E ng i ne e r i ng   and   S c i e nc e .     A l l   r i gh t s   r e s e r v e d .   Cor r e s pon di n g   Au t h or :   A z r ul   A z l a H a m z a h,     In s t i t ut e   o f   M i c r o e n gi n e e r i n g   a n N a n o e l e c t r o ni c s   (IM E N ) ,     U n i v e r s i t i   K e b a n gs a a M a l a y s i a   (U K M ),     B a n gi ,   M a l a y s i a .     E m a i l :   a z l a nha m z a h@ uk m . e du . m y       1.   I N TR O D U C TI O N     G ra p h e n e   i s   a   a l l o t r o pe   of   c a r b o n   a n t w o   di m e n s i o n a l   (2 - D m a t e r i a l   w hi c h   i s   m a de   up  o f   s i n gl e   l a y e r   of   c a r bo n   a t o m s   o r ga ni z e i n   h o n e y c o m b   l a t t i c e   a rr a nge m e nt   [1] .   T hi s   e xc l us i v e   m o n o a t o m i c   a r c hi t e c t u r e   o f   gr a p h e n e   of fe r s   pr e - e m i n e nt   p r o pe r t i e s   s uc a s   hi g h   c o n duc t i v i t y ,   h i g m e c ha n i c a l   s t r e n g t h   i n c l udi ng  1   T P a   Y o u n g’s   M o dul us   a n d   130   G P a   t e n s i l e   s t r e n g t h   f o r   s i n gl e   l a y e r   [2] ,   hi g h   c a rri e r   m o b i l i t i e s   up  t o   w h i c h   i s   2 - o rde r s   o f   m a g ni t ude   hi g h e r   t ha c o n v e n t i o n a l   s e m i c o n duc t o s uc h   a s   s i l i c o n .   I n   a dd i t i o n ,   gra p h e n e   i s   e xt r e m e l y   s e n s i t i v e   t o   e l e c t r i c   f i e l a n i t s   n e i g h b o r i n c h a r ge s   a s   e ve r y   a t o m s   of  i t   i s   di s c l o s e d   t o   t h e   s urr o u n d i n g.   T h us ,   t h i s   gi v e   r i s e   t o   m a ki ng  i t   a s   a   f a vo ur a b l e   m a t e r i a l   t o   b e   a ppl i e i n   e l e c t r o n i de v i c e s ,   pa r t i c ul a r y   fo r   b i o s e n s i n g   a p pl i c a t i o n s .     G ra p h e n e   p r o v i de s   s i gn i f i c a nt   a dv a nt a ge s   o ve r   c urr e nt   s t a n d a r ds   i n   b i o s e n s i n due   t o   i t s   u ni que   pr o pe rt i e s   w h i c h   a r e   ul t r a hi g s e n s i t i v i t y   a nd  e xc e l l e nt   s t a b i l i t y   [3].   A m o n m y r i a e l e c t r i c a l   b i o s e n s i n r e po rt e d,   de v i c e s   b a s e o n   f i e l e ff e c t   t ra n s i s t o r s   ha v e   a t t r a c t e m uc h   c o n s i de ra t i o n   [4 ] - [ 8].   A   t y pi c a l   pl a n a f i e l e ffe c t   t ra n s i s t o r   (F E T )   i s   c o n s i s t s   o f   t hr e e   c o n t a c t   c o n d uc t i n e l e c t r o de s   w h i c h   a r e   s o ur c e (S ),   d ra i n   (D ) ,   a n g a t e   (G )   e l e c t r o de s ,   t hi n   i n s ul a t i n l a y e r   (di e l e c t ri c a n a   s e m i c o n duc t i ng  l a y e r   w h e r e   c ha r ge   c a rr i e r s   f l ow .   T h e   c urr e nt   c a rr y i n c ha nn e l   i s   i n   d i r e c t   c o n t a c t   w i t s urr o u n di ng  a nd  t hi s   p r o v i de s   b e t t e r   c o n t r o l   o n   s ur f a c e   c h a r ge   [9] .   T h e r e f o r e ,   G F E T   b i o s e n s o r s   a r e   f a v o r a b l e   a nd  m o r e   s e n s i t i v e   a s   i t   a b l e   t o   di r e c t l y   t r a n s l a t e   i n t e ra c t i o n s   o f   b i o m o l e c ul e s   o n   i t s   s u r f a c e   i nt o   r e a d a b l e   e l e c t r i c a l   s i g n a l s   [10 ] - [ 12]   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   15 ,   N o .   2 A ugus t   2 019   :     6 9 7   -   7 0 3   698   H e n c e ,   de v i c e   pa r a m e t e r s   e s pe c i a l l y   c o n duc t i n c h a nn e l   l e n g t h   p l a y s   v i t a l   r o l e   i de t e rm i ni n g   t h e   e ffe c t i ve   pe r f o r m a n c e   o f   G F E T   fo r   b i o s e n s i n g   a pp l i c a t i o n s .   T h e r e f o r e ,   i n   t h i s   s t udy   w e   h a v e   i n v e s t i ga t e a n d   r e po rt e s i g n i f i c a n t   e f f e c t   of   l o n a n s h o rt   c ha nn e l s   f o r   e ff e c t i v e   pe r fo r m a n c e   o f   G F E T   i n   f ut u r e   de v i c e   a ppl i c a t i o n s .         2.   T H E O R Y   A N D   D ES I G N   2. 1 .       Th e o r y   G ra p h e n e   o ffe r s   u ni que   e l e c t r o n i c   s t ruc t u r e   i w h i c c ha r ge   c a rr i e r s   (e . g .   h o l e s   a n e l e c t r o n s )   o be y   l i n e a r   e n e r gy   b a n di s pe r s i o n   a n i t s   qu a s i p a r t i c l e s   b e h a v e   l i ke   m a s s l e s s   D i ra c   f e r m i o n s   [13] .   I n   s i ngl e   l a y e r   gra p h e n e   (S L G s h e e t ,   t h e   F e r m i   l e v e l   i s   l o c a t e i n   b e t w e e n   v a l e n c e   a n c o n d uc t i o b a nds .   B a s e o t h e   b a n d - s t ruc t u r e   c a l c ul a t i o n s   i t   s h o w s   t h a t   e n e r gy   l e ve l   i n   e l e c t r o ni c   s t r uc t u r e   o f   s i n g l e   g r a p h e n e   p l a n e   i s   n o t   s y m m e t ri c a l .   A s y m m e t r y   of   e l e c t r o n   a n d   h o l e   di s t ri b ut i o c a us e s   s h i f t i n g   o f   t h e   l o c a l i z e e n e r gy   a b ove   o r   b e l ow   F e r m i   l e v e l   [14] .   T h us ,   t hi s   a l l o w s   gr a p h e n e   t o   e xh i b i t   s t r o n a m b i po l a r   e l e c t r i c   f i e l e ff e c t   s uc h   t ha t   c h a r ge   c a rr i e r s   c a n   b e   a dj us t e up  be t w e e n   h o l e s   a n e l e c t r o n s   a t   r o o m   t e m pe r a t u r e   by   a ppl y i n ga t e   vo l t a ge   [15]   (F i gu r e   1) .   T h e r e f o r e ,   t h e   us e   o f   gra p h e n e   a s   c h a nn e l   m a t e ri a l   i n   G F E T   e x hi b i t s   u n i que   e l e c t ri c a l   c h a ra c t e ri s t i c s .   T h i s   c a n   b e   w i t n e s s e d   by   t r a n s f e r   c h a ra c t e ri s t i c s   c ur v e ,   t y pi c a l l y   kn ow n   a s   a m b i po l a r   c ur v e .   T h e   po s i t i v e   vo l t a ge   o ffe r s   n - t y pe ;   w h i l e   n e ga t i v e   vo l t a ge   de m o n s t r a t e s   p - t y pe   c o n duc t i o n   m e c h a ni s m .     T h e   t w b r a n c h e s   of   a m b i po l a r   c u r v e   i s   s e pa r a t e by   D i r a c   p o i n t   [16 ].   E xpe r i m e nt   c a rr i e o ut   by   N ovo s e l ov .   K . S . A   i l l us t ra t e s   t ha t   t h e   c o n d uc t i v i t y   of   gr a p h e n e   do e s n t   g o e s   z e r o   a nd  r e m a i n s   a t   f i n i t e   a   f i ni t e   v a l ue   o f   ~   4   e 2 / h   [ 17]   a l t h o ug c ha r ge   c a rri e r s   de pl e t e d   a t   t h e   D i ra c   po i nt   [ 18] .   H ow e v e r ,   t h e   v a l ue   o f   D i ra c   po i n t   v o l t a ge   i s   de pe n de nt   o n   s o m e   f a c t o r s ,   s uc h   a s :   m a t e ri a l   us e i n   m a k i n c o n t a c t   p a ds   [19] ,   qu a l i t y   of   s u b s t r a t e   us e d,   gra p h e n e   l a y e r ,   de n s i t y   of   c h a r ge s   a t   t h e   i nt e r f a c e   of   t o a nd  bo t t o m   of   c h a nn e l ,   a n do pi n o f   t h e   gra p h e n e   s h e e t   [20 ] .   H e n c e ,   t h e   pe r f o r m a n c e   o f   G F E T   c a n   b e   o b s e r v e a nd  a n a l y z e by   i t s   e l e c t r i c a l   c h a ra c t e ri s t i c s .             F i gu r e   1 .   S c h e m a t i c   d i a g r a m   o f   t h e   b a n s t r uc t u r e   a n d   a m b i p o l a r.   T h e   i n s e t   s h o w s   i t ’s   c o n i c a l   l e v e l   l ow   s pe c t r um   E   ( k ),   i ndi c a t i n g   c h a n ge s   i t h e   po s i t i o o f   t h e   F e rm i   e n e r gy   E f   [21]       2. 2 .       D e s i gn     In   t h i s   w o r k,   G F E T   w i t h   b a c ga t e a r c hi t e c t u r e   w a s   m o de l l e a n s i m u l a t e us i n L u m e ri c a l   D E V ICE   C ha r ge   T ra n s po r t   (CT )   s o l v e r .   T hr e e   G F E T s   w i t h   di f fe r e nt   c h a nn e l   l e n g t h   ( t h e   g a b e t w e e n   s o ur c e   a n d ra i n   e l e c t r o de s w e r e   s i m u l a t e t o   i n v e s t i ga t e   c h a nn e l   l e n gt s c a l i n o n   pe r f o r m a n c e   o f   G F E T .   P e r f o r m a n c e   o f   G F E T   w a s   s t udi e a n d   a na l y z e by   i t s   e l e c t r i c a l   c h a ra c t e ri s t i c s .   L o n g   c ha nn e l   (4  um a n d   s h o rt   c ha nn e l s   (60 n m   a n 100  nm w e r e   s i m ul a t e r e s pe c t i v e l y .   F i gur e   2(a r e p r e s e nt s   t h e   s c h e m a t i c   di a g ra m   o f   G F E T   w i t h   b a c ga t e   de s i gn.   T h e   de v i c e   w a s   s i m ul a t e us i n (D E V I C E   C T L um e r i c a l   D E V IC E   Cha r ge   T r a n s po r t   S o l v e r   a s   i l l us t ra t e d   i F i gu r e   2(b ).       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Channe l   l e ngt h   s c a l i n an e l e c t r i c a l   c har a c t e r i z at i on   of   gr aphe n e   f i e l d   e f f e c t   ( R e e na   Sr i   Se l v ar aj an )   699     (a )       (b )     F i gu r e   2 .   ( a )   S c h e m a t i c   di a g r a m   o f   b a c ga t e   c o n f i gu r a t i o d e s i gn  o f   G F E T   (b S i m ul a t e d   m o de l   o f   b a c k - ga t e G E F T       G F E T   de v i c e   w i t h   t hr e e   di f fe r e nt   g r a p h e n e   c h a nn e l   l e n g t h   w a s   s i m ul a t e i n   D E V ICE   C T .     S i ngl e   l a y e r   gra p h e n e   (S L G w i t h   c a rri e m o b i l i t y   of   6000  cm 2 / V s   f o r   b o t h   h o l e s   a n e l e c t r o n s   w a s   s e t   a t   i n i t i a l   t e m pe ra t u r e   o f   300   K .   S i l i c o w a f e r   w i t 30 nm   t h i c kn e s s   o f   S i O 2   w a s   us e d   a s   s ub s t ra t e   f o r   g ra p h e n e   de po s i t i o n .   G o l e l e c t r o de s   w e r e   us e a s   s o ur c e   a n d ra i n   e l e c t r o de s   r e s pe c t i v e l y .   T h i s   i s   b e c a us e   go l off e r s   e xc l us i v e   m a t e r i a l   p r o pe r t i e s   c o m pa r e t o   s i l v e r   a n p l a t i n u m .   T h e   e l e m e n t a r y   r e a s o n   i s   be c a us e   g o l i s   r e l a t i v e l y   i n e r t   a n g i v e s   i de a l   m e t a l   c o nt a c t   [22] .   S o ur c e   e l e c t r o de   w a s   gr o un de w h i l e   h i g hl y   p - d o pe d   s i l i c o n   s ub s t r a t e   w a s   us e a s   b a c g a t e   e l e c t r o de .       3.   R ES U LTS   A N D   A N A L Y S I S     T h e   b a c ga t e   G F E T   w i t h   t hr e e   di f fe r e nt   c h a nn e l   l e n gt h s   (1 00 n m ,   600 nm ,   a nd  4um w e r e   s i m ul a t e d   us i n L um e r i c a l   s o f t w a r e   t o   s t udy   i t s   e l e c t r i c a l   c ha ra c t e ri s t i c s   t ra n s f e r   c h a ra c t e r i s t i c s   a n o ut put   c h a ra c t e ri s t i c s .   C ha nn e l   l e n gt de pe n de n t   t ra n s po r t   b e h a v i o w a s   ob s e r v e a n r e po r t e i n   t h e   s e c t i o b e l ow .     3. 1 .       T r an s fe r   C h ar a c te r i s t i c s   C u r v e   G ra p h   o f   dra i c urr e nt   I d   a s   a   f u n c t i o n   o f   ga t e   v o l t a ge   V a t   l ow   dr a i n   b i a s   ( V d   =   0. V   a n 0. 3   V )   fo r   t hr e e   di f f e r e n t   c ha nn e l   l e n gt h s   a r e   s h o w n   i F i gu r e   3 .             F i gu r e   3 .   T r a n s f e c ha r a c t e r i s t i c s   c u r v e   (a m b i po l a r   c u r v e of   G F E T ,   I   v s   V f o r   G F E T   w i t h   t hr e e   di f f e r e n t   c h a nn e l   l e n g t h :   100   nm ,   600   nm   a n d   4   um       F i gu r e   s h o w s   t r a n s f e r   c h a ra c t e r i s t i c s   c ur v e   of   G F E T   t ha t   e xhi b i t s   a m b i po l a r   c h a ra c t e r i s t i c s   w h i c pr o v e s   t h e   un i que   e l e c t r o n i c   a b i l i t y   of   s i n gl e   l a y e r   gra p h e n e   t o   o pe r a t e   i n   b o t h   p - t y pe   a n n - t y pe   c o n duc t i o r e gi o n s .   T h e   D i ra c   po i nt ,   c o m m o n l y   kn o w n   a s   c ha r ge   n e ut r a l i t y   po i n t   o c c ur s   a t   V g   =   V   a n t h e   d r a i c urr e n t   r e m a i n   a t   a   f i ni t e   v a l ue   f o r   a l l   t h e   t hr e e   ge o m e t r i e s   o G F E T .   T hi s   i ndi c a t e s   t ha t   a t   t hi s   po i n t ,     G F E T   e x h i b i t s   h i g h e s t   r e s i s t i v i t y   a n d   m i n i m u m   c o n duc t i v i t y .   Re s e a r c h e r s   h a v e   r e po rt e t ha t   t hr o ug h   D C   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   15 ,   N o .   2 A ugus t   2 019   :     6 9 7   -   7 0 3   700   m e a s u r e m e nt ,   G F E T   e xpe ri e n c e s   m i ni m um   c o n d uc t i v i t y   i n   t h e   o r de r   o f   4 e 2 / .   T h e   po s i t i o n   o f   D i r a c   po i n t   i n   t h e   t ra n s f e r   c h a ra c t e ri s t i c s   c ur v e   i s   a i n d i c a t o t o   m o ni t o t he   do pi n g   s t a t e   o f   t h e   g ra p h e n e   l a y e r .     It   i s   w o r t h y   t o   t a ke   n o t e   t ha t   a s y m m e t r y   b e t w e e n   n -   a n p -   b r a n c h e s   b e c o m e s   m o r e   di s t i n c t   f o s h o rt - c ha nn e l   de v i c e s   c o m pa r e t o   l o n c h a nn e l .   F i g u r e   i l l us t ra t e s   t h a t   t h e   G F E T   w i t h   c ha nn e l   l e n gt h   o 100 n m   e x h i b i t s   a s y m m e t r y   i n   a m b i po l a r   c ur v e   w h e r e   t h e   n - b r a n c h   i s   s upp r e s s e d.   O n   t h e   o t h e r   h a nd,   G F E T   w i t h   4u m   c ha nn e l   l e n gt h   s h o w s   s y m m e t ri c a l   di s t r i b ut i o of   a m b i po l a r   c u r v e   i n   i t s   b o t h   p -   a n n - t y p e   b r a n c h e s   [23] .   T hi s   p r o ve s   t h a t   l e n g t h   o f   c o n duc t i n c ha nn e l   i n   G F E T   de v i c e s   i n f l ue n c e   i t s   t r a n s po r t   b e h a v i o r .   T h e r e f o r e ,   a s   t h e   c h a nn e l   l e n g t h   r e duc e s ,   t h e   a s y m m e t r y   b e t w e e n   t h e   a m b i po l a r   c ur v e   be c o m e   m o r e   c o n s pi c uo us .   F o r   l o n c h a nn e l s   e s pe c i a l l y   i n   4u m   c ha nn e l   l e n g t h   o f   G F E T ,   t h e   t ra n s po rt   o f   c h a r ge   c a rr i e r s   a r e   do m i n a t e b y   gr a p h e n e   c ha nn e l .   H ow e ve r ,   a s   t h e   c ha nn e l   l e n g t h   i s   r e duc e i t ’s   w i de l y   c o n t r o l l e by   t h e   i n t e r a c t i o n   b e t w e e n   t h e   g r a p h e n e   a nd  m e t a l   c o n t a c t s .   I n   s ho r t   c ha nn e l   de v i c e s ,   gr a p h e n e   u n de rn e a t h   m e t a l   co n t a c t s   c a n   b e   d o pe e i t h e r   t o   be   p -   o r   n - t y pe   de pe n di n o n   t h e   w o r f un c t i o n   of   m e t a l   c o n t a c t s ,   c ha r ge s   t r a n s f e r   f r o m   m e t a l   c o n t a c t   t o   g ra p h e n e ,   a nd  de pe n di ng  o n   t h e   po l a ri t y   of   c a r ri e r s   i n   g r a p h e n e .   T h us ,   t hi s   i t u rn   l e a ds   t o   f o r m a t i o o f   p - o p - j u n c t i o i g ra p h e n e   [24 ]   In   t hi s   s i m u l a t i o n,   w o r f un c t i o n   m i s m a t c h   b e t w e e n   gr a ph e n e   a n t h e   m e t a l   c o n t a c t s   i n   s h o r t   c h a nn e l s ,   p - do pe t h e   g r a p h e n e   l a y e r .   T h e r e f o r e ,   a s   t h e   c h a nn e l   i s   s h i f t e by   t h e   ga t e   t o   n - r e gi o n ,     p - n   j u n c t i o n   i s   fo r m e b e t w e e n   s o ur c e / dr a i n   c o n t a c t s   a nd  gra p h e n e .   H e n c e ,   t h i s   i nt r o duc e s   r e s i s t a n c e   i n   t h e   c o n duc t i n c ha nn e l   a nd  l i m i t s   t h e   c urr e n t   i n j e c t i o n .   n - r e g i m e   of   a m b i po l a r   b r a n c h   i s   s upp r e s s e i n   s h o rt   c h a nn e l   a s   s h o w n   i n   c u r v e   o f   c h a nn e l   l e n g t h   100 nm .   T h e r e fo r e ,   t ra n s po rt   i n   s h o r t   c h a nn e l   o f   G F E T   i s   do m i n a t e by   i n t e ra c t i o n   b e t w e e n   a n g ra p h e n e   a n m e t a l   c o n t a c t s   w h i c h   m a y   a ff e c t   t h e   t r a n s po r t   o f   c h a r ge   c a rri e r s   i t h e   de v i c e .   H e n c e ,   t hi s   i n   t u rn  a f f e c t s   t h e   pe r f o r m a n c e   o f   G F E T .         3. 2 .       O u tp u C h ar ac t e r i s ti c s   F i gu r e   i l l us t ra t e s   t h e   o ut put   c h a ra c t e r i s t i c s   of   G F E T   w i t h   t hr e e   di f fe r e n t   c ha nn e l   l e n g t h   s uc h   t ha t   dra i n   c u rr e nt     I d   a s   a   f un c t i o n   o f   dr a i n   v o l t a ge   V d   f o r   v a r i o us   ga t e   vo l t a ge   V g .   T h e   o ut put   c h a ra c t e ri s t i c s   c u r v e   of   t h e   s i m u l a t e G F E T   r e po r t e d   i F i gu r e   4( a )   a r e   s i m i l a t o   p r e v i o us   de m o n s t ra t i o n s   a t   t h e s e   c ha nn e l   l e n g t [25] .   H ow e ve r ,   f o r   s h o r t   c h a nn e l s   s uc h   a s   100  n m   a nd  60 nm ,   t h e   o ut put   c h a ra c t e ri s t i c s   c ur v e   e xh i b i t s   di f fe r e nt   p r o pe r t i e s .   T h e   di s c r e p a n c y   of   l i n e s   i n   t h e   c ur v e   be c o m e   l e s s   di s t i n c t i v e   a s   t h e   ga t e   v o l t a ge   v a r i e f r o m   0. V   t o   2. V .   D ra i n   c u rr e nt   f o r   t h e   c h a nn e l   t e n ds   t o   b e c o m e   c l o s e r   v a l ue s   fo r   w i de   r a nge   of   ga t e   vo l t a ge   a ppl i e ( F i gu r e   4(b )).   E s pe c i a l l y   fo r   c h a nn e l   l e n gt h   w i t h   100  n m ,   t h e   de v i c e   e xh i b i t s   s a m e   o ut put   c h a ra c t e ri s t i c s   f o r   a l l   ga t e   b i a s e s   ra n gi ng  f r o m   0. 5   V   t o   2. V .   A l l   t h e   d r a i n   c u rr e n t   v a l ue s   c o n v e r ge i n t o   o n e   c ur v e   a n d   e xhi b i t s   s a m e   v a l ue s   ( F i gu r e   4   (c ))  a l t h o ug h   g a t e   v o l t a ge s   a r e   v a ri e f r o m   0. 5   V   t o   2. V .   In  c o m pa r a t i v e   w i t l o ng  c h a nn e l   de v i c e s   ( F i gur e   4(a )) ,   i t   i s   w o r t h y   t o   t a ke   n o t e   t ha t   t hi s   s y s t e m a t i c   de gr a da t i o o f   dr a i c u rr e nt   c a n   b e   w i t n e s s e w i t h   de c re a s i ng  c ha nn e l   l e n gt [F i gu r e   4(b a n 4(c )] .   A l t h o ug h ,   F i gu r e   4(c de m o n s t ra t e s   h i g h e s t   d ra i n   c u rr e n t   m a g n i t ude   c o m pa r e t o   G F E T   w i t h   um   a n 60 nm   r e s pe c t i v e l y ,   h o w e ve r   de g r a da t i o i o ut put   c ha r a c t e r i s t i c s   c ur v e   a f fe c t s   i t s   pe r f o r m a n c e .   T h e   de v i c e   una b l e   t o   s h o w   di ffe r e n c e   i n   d ra i n   c u rr e n t   v a l ue s   a s   di f f e r e nt   ga t e   b i a s   i s   a pp l i e d .   T hi s   i s   due   t o   t ra c h a r ge s   i n   t h e   o xi de   o g r a p h e n e   o xi de   i nt e r f a c e   a ff e c t s   t h e   t r a ns po r t   o f   c h a r ge   c a rri e r s   i n   G F E T .   E v e nt ua l l y ,     hi g h   d r a i n - to - s o ur c e   b i a s i n ha s   s t r o n ge r   i m p a c t   o n   s h o rt   c h a nn e l s   a s   i t   c r e a t e s   h o t   c a rr i e r   i n j e c t i o n .   T h e r e f o r e ,   s h o r t   c ha nn e l s   a r e   s e n s i t i v e   a n d   c a n   b e   i n f l ue nc e by   t r a p - c ha r ge s   w h i c h   i n   t u rn  de g r a de s   t h e   pe r f o r m a n c e   o f   G F E T .     3. 3 .       E ffe c o C i r c u i Te m p e r atu r e   o n   P e r fo r m an c e   o G F ET   F i gu r e   s h o w s   pe r fo r m a n c e   o f   G F E T   i v a ri o us   c i r c ui t   t e m pe r a t u r e   r a ngi ng  f r o m   1 73  K   t o   373  K .   E l e c t r i c a l   t r a n s po r t   o f   c h a r ge   c a rri e r s   t hr o ug h   g r a p h e n e   c h a nn e l   e x hi b i t s   c o m pe l l i n c ha n ge s   a s   t h e   t e m pe ra t u r e   a l t e rna t e   a b o ve   a n d   b e l ow   r o o m   t e m pe ra t u r e .   I n c r e a s i n g   t e m pe ra t u r e   a b ov e   r o o m   t e m pe ra t u r e ,   s h o w s   dr a s t i c   i n c r e a s e   i n   t h e   m a g ni t u de   o f   dr a i c u rr e n t ,   I d   of   t h e   de v i c e .   T hi s   p r o v e s   t h a t   t h e   m a xi m u m   r e s i s t a n c e   i n   t h e   de v i c e   i s   r e duc e a s   t h e   t e m pe r a t u r e   i n c re a s e s   a n a i ds   i n   t h e   e ff e c t i v e   pe r fo r m a n c e   o G F E T .   H ow e v e r ,   i t ’s   a l s o   w o r t h y   t o   t a ke   n o t e   t ha t   d e c r e a s i n s i m ul a t i o n   t e m pe ra t u r e   b e l ow   r oo m   t e m pe ra t u r e ,   r e duc e s   t h e   pe r f o r m a n c e   of   G F E T .   T h e   m a g ni t ude   o f   dr a i n   c u rr e n t   r e duc e s   a n d   n - b ra n c h   o a m b i po l a r   c u r v e   i s   s uppr e s s e a s   t e m pe r a t u r e   r e duc e s .   O t h e   o t h e r   h a nd,   t h i s   de m o n s t r a t e s   t h a t   t h e r e   i s   s i g n i f i c a n t   i n c r e a s e   i n   m a x i m u m   r e s i s t a n c e   i n   t h e   G F E T   de v i c e .   T h e r e f o r e ,   v a r y i n s i m ul a t i o n   t e m pe ra t u r e   i n f l ue n c e s   t h e   t ra n s po rt   o f   c h a r ge   c a rri e r s   v i a   g r a p h e n e   c ha nn e l   i G F E T ,   i w h i c h   a f f e c t s   t h e   pe r f o r m a n c e   of  t h e   de v i c e .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Channe l   l e ngt h   s c a l i n an e l e c t r i c a l   c har a c t e r i z at i on   of   gr aphe n e   f i e l d   e f f e c t   ( R e e na   Sr i   Se l v ar aj an )   701       (a )       (b )         (c )     F i gu r e   4 .   O u t put   c h a ra c t e ri s t i c s   c u r v e   o f   G F E T ,   I d   vs     a t   V g   r a n g i ng  f r o m   t o   90  V .   ( a )   um   c ha nn e l   l e n g t h ,   (b 60 nm   c ha nn e l   l e n gt h ,   a n d   (c 100  nm   c ha nn e l   l e n g t h             F i gu r e   5 .   T e m pe r a t u r e   de pe nde n c e   t ra n s po rt   o f   c h a rge   c a rri e r s   i G F E T       4.   C O N C LU S I O N     In   c o n c l us i o n ,   t hi s   pa pe r   hi g h l i g ht s   t h e   i m po r t a n c e   o c h a nn e l   l e n gt s c a l i ng  i n   e f f e c t i ve   pe r f o r m a n c e   o f   gr a p h e n e   b a s e f i e l e ffe c t   t r a n s i s t o r   (G F E T ) .   P r o po s e G F E T   m o de l   w a s   s i m ul a t e i L um e r i c a l   D E V ICE   c ha r ge   s o l v e r   (D E V I CE   CT )   s o f t w a r e   a n e l e c t r i c a l   c h a ra c t e ri s t i c s   o f   t h e   de v i c e   w e r e   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   15 ,   N o .   2 A ugus t   2 019   :     6 9 7   -   7 0 3   702   a n a l y z e d.   L o n c ha nn e l   w hi c i s   u m   e x h i b i t s   s y m m e t ri c a l   a m b i po l a r   c u r v e ,   w h e r e a s   s h o rt   c ha nn e l   de v i c e s   (e . g.   100  nm   a n 6 00  n m de m o n s t ra t e s   a n   a s y m m e t r y   pa t t e rn   i n   t h e   a m b i po l a r   c u r v e ,   w h e r e   t h e   n - b r a n c h   i s   s uppr e s s e d.   I a ddi t i o n,   f o r   o ut put   c ha r a c t e r i s t i c s ,   t h e   pe r f o r m a n c e   o f   G F E T   h e a v i l y   de gr a de d   a s   t h e   c h a nn e l   l e n g t h   i s   r e duc e d.   It   i s   a l s o   w o r t h y   t o   t a ke   n o t e   t h a t ,   s i m u l a t i o n   t e m pe r a t u r e   ha s   s i g n i f i c a nt   i m pa c t   o n   t h e   pe r f o r m a n c e   o t h e   de v i c e .   T h e r e f o r e ,   s urr o u n di ng  t e m p e r a t u r e   n e e de s pe c i a l   a t t e n t i o n   f o r   e ffe c t i ve   t r a n s po rt   o f   c h a r ge   c a rr i e r s   i t h e   G F E T   de v i c e .   H e n c e ,   c h a nn e l   l e n gt s c a l i ng  i s   a   v i t a l   p a r a m e t e i de t e r m i n i ng  t h e   pe r f o r m a n c e   of   G F E T   i n   v a ri o us   f i e l ds ,   pa r t i c ul a rl y   i n   b i os e n s i ng  a ppl i c a t i o n s .     In  c o n c l us i o n,   l o n c h a nn e l   l e n gt s h o ul b e   i m pl e m e nt e i n   f a b r i c a t i o o f   G F E T   t o   e n s u r e   e ff e c t i ve   pe r f o r m a n c e   o f   t h e   de v i c e .       A C K N O WL ED G E M EN TS     T h i s   r e s e a r c h   i s   s uppo rt e by   A K U - 95  H ICo E   M E M S   f o r   A rt i f i c i a l   K i d n e y   gr a n t   f un de d   by   t h e   M i n i s t r y   of   H i gh e E duc a t i o (M O H E M a l a y s i a .       R EF ER EN C ES     [ 1]   F .   Y a n,   M .   Z ha ng ,   a nd   J .   L i ,   S o l u t i o n - G a t e G r a p he n e   T r a ns i s t o r s   f o r   C he m i c a l   a n B i o l o g i c a l   S e ns o r s ,   A d v .   H e al t hc .   M at e r . ,   v o l .   3 ,   no .   3,   pp .   313 331 ,   201 4.   [ 2]   J .   H w a ng   e t   al . ,   E nh a nc e m e c ha n i c a l   p r o pe r t i e s   o f   g r a phe ne / c o ppe r   na no c o m po s i t e s   us i ng   a   m o l e c ul a r - l e v e l   m i xi ng   pr o c e s s ,   A dv .   M at e r . ,   v o l .   2 5,   no .   46 ,   pp .   6 724 6729 ,   201 3 .   [ 3]     A f s a hi ,   S . ,   L e r ne r ,   M .   B . ,   G o l ds t e i n,   J .   M . ,   L e e ,   J . ,   T a ng ,   X . ,   B a g a r o z z i ,   D .   A . ,   G o l ds m i t h,   B .   R .   ( 20 18) .   N o v e l   g r a phe n e - b a s e bi o s e ns o r   f o r   e a r l y   de t e c t i o o f   Z i ka   v i r u s   i nf e c t i o n.   B i o s e ns o r s   an B i oe l e c t r o ni c s   100 ( A ug us t   201 7) ,   85 8 8.   [ 4]     H a s l a m ,   C . ,   D a m i a t i ,   S . ,   W hi t l e y ,   T . ,   D a v e y ,   P . ,   I f e a c h o r ,   E . ,   &   A w a n,   S .   ( 2 018 ) .   L a be l - F r e e   S e n s o r s   B a s e o G r a ph e ne   F i e l d - E f f e c t   T r a n s i s t o r s   f o r   t h e   D e t e c t i o o f   H um a C ho r i o ni c   G o na do t r o pi C a nc e r   R i s B i o m a r k e r .   D i agn os t i c s 8 ( 1 ) ,   5 .     [ 5]   M a r s i ,   N . ,   M a j l i s ,   B .   Y . ,   &   H a m z a h ,   A .   A .   ( 2014) .   T he   M e c ha n i c a l   a nd  E l e c t r i c a l   E f f e c t s   of   M E M S   C a pa c i t i v e   P r e s s u r e   S e n s o r   B a s e d   3C - S i C   f o r   E x t r e m e   T e m pe r a t u r e   T he   M e c ha n i c a l   a nd   E l e c t r i c a l   E f f e c t s   o f   M E M S   C a pa c i t i v e   P r e s s u r e   S e ns o r   B a s e 3C - S i C   f o r   E xt r e m e   T e m pe r a t ur e ,   2014 ( M a y ) .     [ 6]   M a r s i ,   N . ,   M a j l i s ,   B .   Y . ,   M o hd - Y a s i n ,   F . ,   &   H a m z a h,   A .   A .   ( 2015 ) .   T h e   f a br i c a t i o o f   ba c e t c hi ng   3C - S i C - on - S i   di a p hr a g m   e m pl o y i ng   K O H   +   I P A   i M E M S   c a pa c i t i v e   pr e s s ur e   s e ns o r .   M i c r os y s t e m   T e c hno l og i e s 21 ( 8) ,     1651 1661 .     [ 7]   S e l v a r a j a n,   R .   S . ,   H a m z a h ,   A .   A . ,   &   M a j l i s ,   B .   Y .   ( 2017 ) .   T r a ns f e r   C ha r a c t e r i s t i c s   o f   G r a phe ne   b a s e F i e l E f f e c t   T r a n s i s t o r   ( G F E T )   f o r   B i o s e n s i ng   A ppl i c a t i o n,   88 91 .   [ 8]   H a m z a h,   A .   A . ,   Y una s ,   J . ,   M a j l i s ,   B .   Y . ,   &   A hm a d,   I .   ( 2008) .   S pu t t e r e e nc a ps u l a t i o a s   w a f e r   l e v e l   pa c ka g i ng   f o r   i s o l a t a b l e   M E M S   d e v i c e s :   A   t e c hni qu e   de m o ns t r a t e d   o a   c a pa c i t i v e   a c c e l e r o m e t e r .   Se ns or s 8 ( 11) ,   743 8 74 52 .     [ 9]   R .   C h a udh a r y   e t   al . ,   F a b r i c a t i o a nd  c ha r a c t e r i s a t i o o f   A l   g a t e   n - m e t a l - o xi de - s e m i c o nduc t o r   f i e l d - e f f e c t   t r a ns i s t o r ,   o n - c hi f a b r i c a t e w i t s i l i c o ni t r i de   i o n - s e ns i t i v e   f i e l d - e f f e c t   t r a n s i s t o r ,   I E T   C om put .   D i g i t .   T e c h . v o l .   10,   no .   5 ,   pp.   2 68 2 72 ,   2 016 .   [ 10]   Y .   C u i ,   N a no w i r e   N a no s e ns o r s   f o r   H i g hl y   S e ns i t i v e   a nd  S e l e c t i v e   D e t e c t i o o f   B i o l og i c a l   a nd  C he m i c a l   S p e c i e s ,   Sc i e nc e   ( 80 - .   ) . ,   v o l .   29 3 ,   no .   5533 ,   pp .   1289 129 2,   20 13 .   [ 11]   H a s l a m ,   C . ,   D a m i a t i ,   S . ,   W hi t l e y ,   T . ,   D a v e y ,   P . ,   I f e a c h o r ,   E . ,   &   A w a n,   S .   ( 2 018 ) .   L a be l - F r e e   S e n s o r s   B a s e o G r a ph e ne   F i e l d - E f f e c t   T r a n s i s t o r s   f o r   t h e   D e t e c t i o o f   H um a C ho r i o ni c   G o na do t r o pi C a nc e r   R i s B i o m a r k e r .   D i agn os t i c s 8 ( 1 ) ,   5 .   [ 7]   L i a ng ,   J . ,   K o hs a k a ,   F . ,   M a t s uo ,   T . ,   L i ,   X . ,   &   U e da ,   T .   ( 200 8) .   I m pr o v e bi - l a y e r   l i f t - o f f   pr o c e s s   f o r   M E M S   a pp l i c a t i o ns .   M i c r oe l e c t r oni c   E ng i ne e r i ng 85 (5 6) ,   1000 100 3.   [ 12]   O r do ne z ,   R .   C . ,   H a y a s hi ,   C .   K . ,   T o r r e s ,   C .   M . ,   M e l c he r ,   J .   L . ,   K a m i n,   N . ,   S e v e r a ,   G . ,   &   G a r m i r e ,   D .   ( 20 17) .   R a p i d   F a br i c a t i o o f   G r a phe ne   F i e l d - E f f e c t   T r a ns i s t o r s   w i t L i qui d - m e t a l   I nt e r c o nne c t s   a nd  E l e c t r o l y t i c   G a t e   D i e l e c t r i c   M a d e   o f   H o ne y .   Sc i e nt i f i c   R e por t s 7 ( 1) ,   1 9 .   ht t p s : / / do i . o r g / 10 . 10 3 8/ s 4 159 8 - 017 - 1004 3 - 4   [ 13]   K .   X u ,   J .   Q i a n,   P .   S huk l a ,   M .   D u t t a ,   a nd   M .   a .   S t r o s c i o ,   G r a ph e ne - ba s e d   F E T   s t r uc t ur e :   M o de l i ng   F E T   c ha r a c t e r i s t i c s   f o r   a a p t a m e r - ba s e a na l y t e   s e ns o r ,   201 1 5t I n t .   W or k .   C om p ut .   E l e c t r on .   I W C E   201 2 ,   20 12 .   [ 14]   X .   M a ,   W .   G u,   J .   S h e n ,   a nd  Y .   T a ng ,   I nv e s t i g a t i o o f   e l e c t r o ni c   pr o pe r t i e s   o f   g r a phe ne / S i   f i e l d - e f f e c t   t r a ns i s t o r . ,   N anos c al e   R e s .   L e t t . ,   v o l .   7,   no .   1,   p .   677 ,   201 2.   [ 15]   D .   C he n ,   L .   T a ng ,   a nd  J .   L i ,   G r a phe ne - ba s e m a t e r i a l s   i e l e c t r o c he m i s t r y ,   C he m .   Soc .   R e v . ,   v o l .   39,   no .   8,     pp.   31 57 3 180 ,   2010 .   [ 16]   F u,   W . ,   F e ng ,   L . ,   P a na i t o v ,   G . ,   K i r e e v ,   D . ,   M a y e r ,   D . ,   O f f e nhä us s e r ,   A . ,   &   K r a us e ,   H .   J .   ( 2017 ) .   B i o s e n s i ng   ne a r   t he   ne ut r a l i t y   po i nt   o f   g r a ph e ne .   Sc i e nc e   A dv anc e s 3 ( 1 0) .     [1 7]   P .   S h a r m a ,   J .   S .   G o m e z - D i a z ,   A .   M .   I o ne s c u,   a nd   J .   P e r r ui s s e a u - C a r r i e r ,   D e t e r m i n a t i o o f   m i ni m um   c o nduc t i v i t y   o f   g r a phe ne   f r o m   c o nt a c t l e s s   m i c r o w a v e s   m e a s u r e m e nt s ,   P r oc .   I E E E   C on f .   N a not e c h no l . ,   2012 .   [ 18]   A   K .   G e i m   a nd   K .   S .   N o v o s e l o v ,   T he   r i s e   o f   g r a phe ne ,   N a t .   M at e r . ,   v o l .   6 ,   no .   3 ,   pp .   1 83 1 91 ,   2 007 .   [ 19]     L i a ng ,   C . ,   W a ng ,   Y . ,   &   L i ,   T .   ( 2016 ) .   S t u di e s   o c o nt a c t   r e s i s t a nc e   i g r a p he n e   ba s e d e v i c e s .   M i c r o s y s t e m   T e c hnol o gi e s 22 ( 8) ,   1943 194 7.     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Channe l   l e ngt h   s c a l i n an e l e c t r i c a l   c har a c t e r i z at i on   of   gr aphe n e   f i e l d   e f f e c t   ( R e e na   Sr i   Se l v ar aj an )   703   [ 20]   M .   Ł u s z c z e k,   M .   T u r z y ńs ki ,   a nd  D .   Ś w i s ul s k i ,   M o de l l i ng   o f   G r a ph e ne   F i e l d - E f f e c t   T r a ns i s t o r   f o r   e l e c t r o ni c   s e ns i ng   a pp l i c a t i o ns ,   P r z e gl ąd   E l e k t r o t e c hn i c z ny ,   no .   1 0,   p p.   17 0 172,   2 015 .   [ 21]   R .   S r i ,   A .   A z l a n,   a nd  B .   Y e o p,   E l e c t r i c a l   C ha r a c t e r i s t i c s   o f   G r a phe ne   ba s e F i e l E f f e c t   T r a ns i s t o r   (   G F E T   )   B i o s e ns o r   f o r   A D H   D e t e c t i o n.   [ 22]   A .   M a n us c r i pt   a nd   S .   P .   C .   N a no s t r uc t u r e s ,   N I H   P ubl i c   A c c e s s ,   N ano ,   v o l .   6,   no .   9,   p p.   21 66 2 171 ,   2008 .   [ 23]   G .   F .   T r a ns i s t o r s ,   Z .   C he n ,   S .   H a n ,   Z .   C he n ,   A .   A .   B o l ,   a nd  Y .   S un,   C h a nn e l - L e ng t h - D e pe nd e n t   T r a n s po r t   C ha nne l - L e ng t h - D e pe nd e nt   T r a n s po r t   B e ha v i o r s   o f   G r a ph e ne   F i e l d - E f f e c t   T r a ns i s t o r s ,   no .   J u l y ,   2011 .   [ 24]   I .   M e r i c   e t   al . ,   C ha n ne l   L e ng t h   S c a l i ng   i G r a p he n e   F i e l d - E f f e c t   T r a n s i s t o r s ,   20 11 .   [ 25]   D .   C he n,   L .   T a ng ,   a nd  J .   L i ,   G r a p he ne - b a s e m a t e r i a l s   i n   e l e c t r o c he m i s t r y .   C he m .   S o c .   R e v . ,   v o l .   39,   no .   8 ,     pp.   31 57 8 0,   20 10.         B I O G R A P H I ES   O F   A U T H O R S         R e e na   S r i   S e l v a r a j a r e c e i v e B . E ng   ( H o ns . )   f r o m   U ni v e r s i t i   M a l a y s i a   P e r l i s   ( U ni M A P ) ,   m a j o r i ng   i bi o m e d i c a l   e l e c t r o ni c s   e ng i n e e r i ng .   S he   i s   c ur r e n t l y   pur s u i ng   he r   P hD   i n   M i c r o   a nd   N a no e l e c t r o ni c s   e ng i ne e r i ng   i I ns t i t u t e   o f   M i c r o e ng i n e e r i ng   a nd  N a no e l e c t r o ni c s   ( I M E N ) ,   U ni v e r s i t i   K e b a ng s a a M a l a y s i a ,   436 00  B a ng i ,   S e l a ng o r ,   M a l a y s i a .   H e r   r e s e a r c nt e r e s t   i nc l ud e s   i nc l ude   M i c r o - E l e c t r o - M e c ha n i c a l   S y s t e m s   ( M E M S )   de v i c e s   a n b i o s e n s o r s .           B ur ha nudd i Y e o M a j l i s   i s   a   pr o f e s s o r   o f   m i c r o e l e c t r o ni c s   a t   t he   F a c ul t y   o f   E n g i ne e r i ng .     H e   r e c e i v e hi s   P h . D .   i m i c r o e l e c t r o n i c s   f r o m   U ni v e r s i t y   of   D ur ha m ,   U n i t e d   K i ng do m   i 1988 ,   M S c   i m i c r o e l e c t r o ni c s   f r o m   U ni v e r s i t y   o f   W a l e s ,   U K   i n   198 a n B S c ( H o ns . )   i P hy s i c s   f r o m   U K M   i n   197 9.   H e   w a s   a   D e pu t y   D e a o f   E ng i ne e r i ng   F a c u l t y   f r o m   1995  unt i l   199 7.   H e   i s   a l s o   a   R e s e a r c F e l l o w   o f   T e l e ko m   M a l a y s i a   R e s e a r c &   D e v e l o p m e nt   D i v i s i o n,   a nd  h e   w a s   t h e   di r e c t o r   o f   U K M - T M   M i c r o e l e c t r o ni c s   R e s e a r c C e n t r e   a t   t h e   F a c ul t y   of   E ng i ne e r i ng ,   U K M .     H e   w a s   r e s po ns i b l e   i d e v e l o pi ng   a nd  pl a nn i ng   t he   s e t t i ng   up  o f   t he   c l e a r o o m   f o r   r e s e a r c a t   U K M .   H e   ha a t t e nde i n t e n s i v e   i n dus t r i a l   t r a i ni ng   i G a A s   M M I C   de s i g a nd  m a nuf a c t ur e   a t   G E C - M a r c o ni   M a t e r i a l   T e c hno l o gy   L t d.   U n i t e d   K i ng do m .   H e   i s   a   s e n i o r   m e m b e r   o f   t h e   I ns t i t u t i o o f   E l e c t r i c a l   a nd  E l e c t r o n i c s   E ng i ne e r   ( I E E E )   a nd  t he   C ha i r m a o f   I E E E   E l e c t r o D e v i c e s   M a l a y s i a   C ha p t e r   f r o m   1994   t o   2006 .   H e   a l s o   F e l l o w   M e m be r   o f   M a l a y s i a S o l i S t a t e   S c i e nc e   a nd  T e c hno l o gy   S o c i e t y   ( F M A S S ) .   H e   i s   t h e   f o unde r   c ha i m a a nd  P r e s i de n t   o f   M a l a y s i a   N a no t e c hno l o gy   A s s o c i a t i o ( M N A )   w hi c i s   e s t a b l i s he i 200 7.   H e   i n i t i a t e d   r e s e a r c i m i c r o f a br i c a t i o a n m i c r o s e n s o r s   a t   U K M   i 1 995  a n d   ha s   a l s o   i ni t i a t e r e s e a r c i n   G a A s   t e c hno l o gy   w i t T e l e ko m   M a l a y s i a .   I 2001  he   s t a r e r e s e a r c i M E M S   w i t h   s u bs t a n t i a l   r e s e a r c f undi ng   o f   U S $10  m i l l i o f r o m   M i ni s t r y   of   S c i e nc e ,   T e c hno l o gy   a nd  I nnov a t i o n.     H i s   c ur r e n t   i nt e r e s t   a r e   de s i g a n f a br i c a t i o o f   M E M S   s e ns o r ,   R F M E M S ,   B i O M E M S   a n d   m i c r o e ne r g y .   H e   ha s   publ i s he f o ur   t e xt   bo o ks   i e l e c t r o ni c s   a nd  o ne   bo o o I nt e g r a t e d   C i r c ui t s   F a b r i c a t i o T e c hno l o gy   f o r   unde r g r a dua t e   c o ur s e s   a n m o r e   t ha 400  a c a de m i c   r e s e a r c pa p e r s .   N o w   he   i s   t h e   f o unde r   d i r e c t o r   o f   I ns t i t ut e   o f   M i c r o e ng i ne e r i ng   a n d   N a no e l e c t r o ni c s   ( I M E N ) .         N o r l i a n a   Y u s o f   r e c e i v e t h e   B . E ng   ( H o ns . )   f r o m   U ni v e r s i t i   T e k no l o g i   M a l a y s i a   a nd  t h e   M . E ng   de g r e e   f r o m   U n i v e r s i t y   o f   M a l a y a ,   M a l a y s i a ,   i 2004   a n 2 010 ,   r e s pe c t i v e l y .   S he   i s   c u r r e nt l y   a   P hD   s t ud e n t   i I ns t i t ut e   o f   M i c r o e ng i ne e r i ng   a nd  N a no e l e c t r o ni c s   ( I M E N ) ,   U n i v e r s i t i   K e ba ng s a a M a l a y s i a ,   43 600   B a ng i ,   S e l a ng o r ,   M a l a y s i a .   H e r   c ur r e nt   r e s e a r c i n t e r e s t s   i nc l ud e   M i c r o - E l e c t r o - M e c ha n i c a l   S y s t e m s   ( M E M S )   de v i c e s .         A z r ul   A z l a H a m z a i s   t h e   d i r e c t o r   o f   I n s t i t u t e   o f   M i c r o e n g i n e e ri n g   a n d   N a n o e l e c t ro n i c s   (I M E N ) ,   U K M .   H e   r e c e i e v e d   h i s   P hD   i m i c r o e l e c t r o ni c s   f r o m   I M E N ,   U K M   i 2008  a nd  B S c   i n   m a nuf a c t ur i ng   e ng i ne e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t y   o f   C a l i f o r ni a   i 2000 .   H i s   c ur r e nt   i nt e r e s t   a r e   de s i g a nd  f a br i c a t i o o f   M E M S   s e n s o r ,   R F M E M S ,   B i O M E M S   a nd   m i c r o e ne r g y .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.