I n d on e s i an   Jo u r n al   o El e c t r i c al   En gi n e e r i n g   an d   C o m p u te r   S c i e n c e   V o l .   1 4 ,   N o .   2 M a y   201 9 ,   pp .   573 ~ 580   IS S N :   2502 - 4752 ,   D O I :   10. 1 1591 / i j e e c s . v 1 4 .i 2 . pp 573 - 580             573       Jou r n al   h o m e pa ge ht t p: / / i ae s c or e . c om / j our na l s / i nde x . php/ i j e e c s   C o m p a r a t i v e   Hi g h - K m a t e r i a l   g a t e   sp a c e r   i m p a c t   i n   D G - Fi n F E T   p a r a m e t e r   v a r i a t i o n s bet w e e n   t w o   st r u c t u r e s       A m e e r   F .   R o s l an 1 ,   F .   S al e h u d d i n 2 ,   A . S . M .   Zai n 3 ,   K . E .   K a h ar u d i n 4 ,   I .   A h m ad 5 ,   H .   H a z u r a 6   A . R .   H an i m 7 ,   S . K .   I d r i s 8   1 , 2 , 3 , 4 , 6 , 7 , 8 F a c ul t y   o f   E l e c t r o ni c s   a nd   C o m put e r   E ng i n e e r i ng   ( F K E K K ) ,     U ni v e r s i t i   T e k ni k a l   M a l a y s i a   M e l a k a   ( U T e M ) ,   M a l a y s i a   5 C o l l e g e   o f   E ng i ne e r i ng   ( C o E ) ,   U n i v e r s i t i   T e n a g a   N a s i o na l   ( U N I T E N ) ,   M a l a y s i a       A r ti c l e   I n fo     A B S TR A C T     Ar t i c l e   h i s t or y :   R e c e i v e S e 28 ,   2 018   R e v i s e N o v   26 ,   2018   A c c e pt e J a n   28 ,   201 9       T hi s   pa pe r   i nv e s t i g a t e s   t h e   i m pa c t   o f   t he   hi g h - K   m a t e r i a l   g a t e   s p a c e r   o s ho r t   c ha nne l   e f f e c t s   ( S C E s )   f o r   t he   16  nm   do ub l e - g a t e   F i nF E T   ( D G - F i nF E T ) ,   w he r e   d e p l e t i on - l a y e r   w i dt hs   o f   t he   s o ur c e - dr a i c o r r e s po nd s   t o   t h e   c ha nne l   l e ng t h .   V i r t ua l   f a b r i c a t i o p r o c e s s   a l o ng   w i t h   de s i g m o di f i c a t i o t hr o ug ho ut   t he   s t udy   a nd  i t s   e l e c t r i c a l   c ha r a c t e r i z a t i o i s   i m p l e m e n t e a nd  s i g ni f i c a nt   i m pr o v e m e nt   i s   s ho w t o w a r d s   t he   a l t e r e s t r uc t u r e   de s i g w h e r e b y   i t e r m s   o f   t he   r a t i o   o f   dr i v e   c ur r e n t   a g a i n s t   t h e   l e a ka g e   c ur r e n t   ( I O N / I O F F   r a t i o ) ,     a l l   t h r e e   m a t e r i a l s   t e s t e b e i ng   S 3N 4 ,   H f O a nd  T i O i nc r e a s e s   f r o m   t he   r e s pe c t i v e   6 0. 9 0,   80. 70  a n 84 . 77  t o   84. 77,   91 . 54  a nd  92 . 6 9.   T ha t   b e i n g   s a i d ,   t he   i nc r e m e n t a l   i r a t i o   ha s   s a t i s f i e t h e   i nc r e m e nt a l   o t he   dr i v e   c ur r e n t   a s   w e l l   a s   de c r e a s e s   t he   l e a k a g e   c ur r e n t .   T h r e s ho l v o l t a g e   ( V T H )   f o r   a l l   di e l e c t r i c   m a t e r i a l s   ha v e   a l s o   s a t i s f y   t he   m i ni m um   r e qu i r e m e n t   pr e di c t e by   t he   I nt e r na t i o na l   T e c h no l o gy   R o a dm a S e m i c o nduc t o r   ( I T R S )   2013  f o r   w hi c i s   a t   0 . 4 61± 12. 7%   V .   B a s e o t he   r e s u l t s   o bt a i n e d,   t h e   hi g h - m a t e r i a l s   h a v e   s ho w a   s i g ni f i c a n t   i m p r o v e m e nt ,   s p e c i f i c a l l y   a f t e r   t h e   m o di f i c a t i o ns   t o w a r ds   t he   S o ur c e / D r a i n .   C o m pa r e t o   t he   i ni t i a l   de s i g n   m a de ,   T i O ha s   i m pr o v e b y   12. 94%   a f t e r   t he   a l t e r a t i o m a de   i t e r m s   o f   t he   o v e r a l l   I O N   a nd   I O F F   pe r f o r m a nc e s   t h r o ug t he   I O N / I O F F   r a t i o   v a l ue   o bt a i n e d ,   a s   w e l l   a s   m e e t i ng   t he   r e qu i r e v a l ue   f o r   V T H   o bt a i n e a t   0 . 4 64V .   T he   I O N   f r o m   hi g h - K   m a t e r i a l s   ha s   pr o v e t o   m e e t   t h e   m i ni m um   r e qu i r e m e n t   by   I T R S   2013   f o r   l o w   p e r f o r m a nc e   M u l t i - G a t e   t e c hno l o gy .   Ke y w or ds :   D o u b l e - G a t e   F i n F E T   H i gh - K   P a ra m e t e v a r i a t i o n   C opy r i gh t   ©   201 9   I n s t i t ut e   o f   A dv anc e E ng i ne e r i ng   and   S c i e nc e .     A l l   r i gh t s   r e s e r v e d .   Cor r e s pon di n g   Au t h or :   A m e e r   F .   R o s l a n ,     F a c ul t y   of   E l e c t r o ni c s   a nd  Co m pu t e r   E n gi n e e r i n g   (F K E K K ),   U n i v e r s i t i   T e kni ka l   M a l a y s i a   M e l a ka ,   H a n T u a h   J a y a ,   D u r i a n   T u n g ga l ,   7610 M e l a ka ,   M a l a y s i a .   E m a i l :   m 02 171002 3@ s t ude n t . ut e m . e du. m y ,   a m e e r f a rha n@ a o l . c o m       1.   I N TR O D U C TI O N     T h e   s i z e   o f   i n t e g r a t e de v i c e s   r e duc e s   da y   by   da y   w i t h   hi g h e r   de m a n d   i m ul t i pl e   o pe ra t i o n s   a n d   t h e r e f o r e ,   c a us i ng  s i z e   of   M O S F E T s   w h i c h   i s   t h e   m a i n   c om po n e n t   i n   m e m o r y   a n pr o c e s s o r s   t o   b e   s c a l e d   dow n   [1].   O n   t o of   t h a t ,   M o o r e ’s   L a w   s c a l i n p r e d i c t i o n   s u ppr e s s i o n   c a n   b e   do n e   t hr o ugh   t h e   p r o po s e n e w   s e m i c o n duc t o r   de v i c e s   a nd  a ppl i c a t i o n s   [ 2].   T h e   r e duc t i o t o   n a n o m e t e r   r e g i m e   ha s   t r i gge r e t h e   s h o r t   c h a nn e l   e f fe c t s   t o   a r i s e   w h i c h   de gra de s   t h e   s y s t e m   pe r fo r m a n c e   a nd  r e l i a b i l i t y .   T h e r e fo r e ,   a   f i n - s ha pe f i e l d   e ffe c t   t r a n s i s t o r   (F i n F E T o f   16nm   t e c hn o l o gy   i s   de s i gn e a l o n w i t h   t h e   pe r f o r m a n c e   o f   t h e   t r a n s i s t o r   t h a t   i s   i m p r o v e i r e l a t i o t o   t h e   M o o r e ’s   L a w   [3].   T h e   de v i c e s   pe r f o r m a n c e   m a y   h a v e   b e e n   de g r a de v i a   s c a l i ng  pr o c e s s   fo r   t h e   t r a n s i s t o r   m i ni a t u r i z a t i o n.   M e a n i ng  t ha t ,   t he   ke y   de v i c e   pa ra m e t e r s   o a   t ra n s i s t o r   c a n   b e   a f fe c t e d   due   t o   t h e   c h a nn e l   l e n gt h   r e duc t i o n   i n   na n o m e t e r   r e gi m e   f o r   i n s t a n c e   t h e   c a rri e r   m o b i l i t y   a n d   t r a n s c o n duc t a n c e .   B e s i de s   t ha t ,   by   c o m pa r i s o n,   M ul t i - g a t e   F E T   (M G F E T s h o w s   be t t e r   d r a i n   po t e nt i a l   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   1 4 ,   N o .   2 M a y   201 9   :     573     5 80   574   s c r e e n i n a s   o ppos e t o   t h e   c o n v e n t i o n a l   pl a na r   M O S F E T   a nd  t h e r e f o r e ,   i m p r o v i ng  i n   s h o r t   c ha nn e l   pe r f o r m a n c e   i d ra i n - i n duc e b a rr i e r   l o w e r i n g   (D IB L ),   V TH   r o l l - o ff ,   a n a l s o   s ub - t hr e s h o l s w i ng  (S S a n d   t h e r e f o r e   c o n s e que n t l y   r e duc i n t h e   V TH   d e gra da t i o n   w i t h   c o n t i n uo us   s c a l i ng  a n i n   t u rn  e ff e c t i ng  t h e   I O FF   de gr a da t i o n   t o   b e   m i n i m i z e [4].   T h e   S CE s   ha s   a f f e c t e t h e   de v i c e   a n t h e   pe r f o r m a n c e   o f   t h e   c i r c ui t   i n   e l e c t r o n   d ri f t   c ha r a c t e r i s t i c s   l i m i t a t i o n   w i t hi n   t h e   c h a nn e l ,   b e s i de s   t h e   r e c o n s t r uc t i o n   o f   t h e   t hr e s h o l v o l t a ge .   T h e r e f o r e ,   t h e   ga t e   o xi de   t h i c k n e s s   a nd  t h e   ga t e - c o n t r o l l e j un c t i o o r   de p l e t i o de pt i t h e   s i l i c o h a v e   t o   b e   r e duc e   i p r o po r t i o n   t o   L   (G a t e   L e ngt h )   [5] .   A c c o r di ngl y ,   a l t e rn a t i v e   s t r uc t u r e   s uc h   a s   D o ub l e   G a t e   F i n F E T   (D G - Fi n F E T i s   b e l i e v e t o   h a v e   s o l v e t h e   s c a l i n g   p r o b l e m s   e s p e c i a l l y   o n   t h e   de v i c e   s h o r t   c ha nn e l   pe r f o r m a n c e   a n s c a l a b i l i t y   of   n a n o s c a l e .   S e v e r a l   e xpe ri m e nt s   o de s i gn i n F i n F E T   D o ub l e - G a t e   M O S F E T   de v i c e   i s   c a rr i e d   o ut   a f t e r   t h e   i ni t i a l   f a b ri c a t i o s i m u l a t i o n   b y   a l t e r i n g   s e v e r a l   i n pu t   p r o c e s s   pa r a m e t e r s .     In   t h i s   r e s e a r c h,   t h e   t ra di t i o n a l   po l y s i l i c o n / S i O 2   m a t e r i a l   w i l l   b e   r e pl a c e by   t h e   m e t a l   g a t e / hi g h - di e l e c t ri c s   i n   o r de r   t o   i n c r e a s e   t h e   I ON   fo r   w h i c h   a   r e c e n t   w or k   do n e   by   R a h ul   e t .   a l .   201 ha s   s h o w n   t h a t   t h e   I ON   of   v e r t i c a l   do ub l e - ga t e   M O S F E T   c a n   b e   f ur t h e r   i m p r ov e by   r e pl a c i n g   po l y - S i / S i O 2   w i t t h e   m e t a l - ga t e / hi g h - s t a c t e c hn o l o gy   [6].   T h e   r e s ul t s   f r o m   R a hul   e t .   a l .   s h o w e t h a t   t h e   I ON   w a s   s uc c e s s f ul l y   i m p r o v e f r o m   720  μ A / μ m   u t o   177 μ A / μ m .   B e s i de s ,   i o t h e r   r e s e a r c t h e   ha f n i um   di o xi de   (H f O 2 a nd  ni c ke l   ha v e   b e e n   ut i l i z e a s   a   h i g h - di e l e c t r i c   a n m e t a l - ga t e   c o r r e s po n d i n gl y   [7].   M o s t l y ,   a   s i gni f i c a n t   a m o u n t   o f   w o r ha s   b e e n   pub l i s h e o n   t h e   pr e di c t i o n   o f   l e a ka ge   c urr e nt   a n l e a ka ge   po w e r   by   v a r i o us   r e s e a r c h e r s   [ 8 - 12] .     A ppr o p r i a t e   s t a t i s t i c a l   a n a l y s i s   t e c h ni que s   h a v e   b e e n   i m pl e m e nt e t o   a ppl y   t h e   i n pu t   p r o c e s s   pa r a m e t e o pt i m i z a t i o f r o m   d a t a   c o l l e c t e d.   I f a b r i c a t i n g   a   p r o pe r   D o ub l e - G a t e   F i n F E T   de v i c e ,   e a c s t e ps   of   f a b r i c a t i o a n d   i t s   o r de r   ha v e   b e e n   p r i o r i t i z e d.   O t h e t ha n   t h a t ,   i n   o b t a i ni n t h e   de s i r e V TH   l e v e l ,   I ON , I O FF a n S S ,   s e v e r a l   F i n F E T   c h a ra c t e r i s t i c s   i s   s t ud i e d.   T h e   d a t a   f r o m   t h e   s i m ul a t i o n   w i l l   b e   us e t o   de t e r m i n e   t h e   do m i n a n c e   o f   t h e   pr o c e s s   pa r a m e t e r   e f f e c t s   o n   t h e   de v i c e ’s   c h a ra c t e ri s t i c s .   P a r a m e t e r s   c o n s i de r e a r e   i m p r o v i n t h e   v a l ue s   of   r e s pe c t i ve   V TH , I ON , I O FF   t h a t   a r e   b a s e o n   t h e   m i ni m u m   r e qui r e m e nt   s t a nda rdi z e b y   Int e rna t i o na l   T e c hn o l o g y   Ro a dm a S e m i c o n d uc t o r   (I T R S 2013  p r e di c t i o n   f o r   l o w   pow e r   (L P m u l t i - ga t e   t e c hn o l o g y   fo r   t h e   y e a r   20 20.       2.   M A TER I A LS   A N D   M E TH O D   2 . 1 .     V i r tu al   F ab r i c ati o n   P r o c e s s     In   t hi s   s t udy ,   A T H E N A   a n A T L A S   m o dul e s   f r o m   S i l v a c o   In t e r na t i o n a l   i s   us e t s i m ul a t e   t h e   f a b r i c a t i o n   p r o c e s s   of   D G - F i n F E T   de v i c e .   E a c h   A T H E N A   a n A T L A S   i s   i m pl e m e n t e f o r   p r o c e s s   s i m ul a t i o n   a nd  de v i c e   s i m ul a t i o n   s pe c i f i c a l l y   i n   e l e c t r i c a l   c ha r a c t e r i z a t i o n   r e s pe c t i v e l y ,   of   i n t e n de F i n F E T   de v i c e .   T ha t   b e i n s a i d ,   f i ve   ge o m e t r i c a l   pa ra m e t e r s   ha v e   b e e n   i de n t i f i e a n a r e   o b s e r v e t c a us e   v a r i a t i o n   i m p a c t   o n   F i n F E T .   O ut pu t   r e s po n s e s   v a r i a t i o n   a r e   due   t t h e   pr o c e s s   pa r a m e t e r   f l uc t ua t i o n s   t hr o ug h   l o c a l   pa r a m e t e r s   v a r i a t i o n s   t ha t   a r e   30%  f r o m   t h e   o v e r a l l   v a r i a t i o n   b a s e o n   t h e   r e s e a r c h   c o n duc t e by   K a ha r ud i n   e t .   a l   (2014)  [ 13] .   T h e   v a l ue   o f   pa r a m e t e r s   i de nt i f i e a r e   c ha n ge a n v a ri e i n   o r de r   t o   f ul f i l   t h e   m i ni m um   v a l ue s   r e qu i r e a s   s h o w n   i T a b l e   1.         T a b l e   1 .   V a l ue   o f   t h e   G e o m e t r i c a l   P a r a m e t e r s   S e t   No   P a ra m e t e r s   IT RS   V a l u e   S e t   V a l u e   1   G a t e   L e n g t h ,   L g   2 0   n m   1 6   n m   2   O x i d e   T h i c k n e s s ,   T OX   2 . 4 2   n   2 . 4   n m   3   F i n   w i d t h ,   T fi n   6 . 4   n m   2 8   n m   4   S / D   l e n g t h   N / A   8 . 4 5   n m   5   S / D   u n d e rl a p   N / A   6 . 2 5   n m       T h e   p h y s i c a l   s t r uc t u r e   o f   t h e   n a n o - s c a l e de v i c e   i s   ga i n e t hr o ug h   s i m ul a t i o n   u t i l i z e w i t h   S i l v a c T CA D .   T h e   < 1 00>   o f   o r i e nt a t i o i s   ut i l i z e a s   a   p a r t   o f   t h i s   c urr e n t   o ut l i n e ' s   m a i s ub s t ra t e   w h i c h   i s   a   P - t y p e   s i l i c o n   a l o ng  w i t h   a n   o xi de   l a y e r   de v e l o pe o n   t h e   s i l i c o n   b ul k’s   t o a c t i n g   a s   a   m a s i n   P - w e l l   i m pl a n t a t i o pr o c e s s .   T h i s   i s   t ra i l e by   a n   i n f us i o n   o f   1x10 17   a t o m / c m 3   o f   Bo r o n   i nt o   t h e   s i l i c o n   s ub s t ra t e .   S i n c e   t h e   g a t e   t e rm i na l   c a n   b e   i s o l a t e f r o m   s o ur c e   a n d r a i n   t e r m i n a l   a w a y   f r o m   i t s   c o n duc t i v e   c h a nn e l   t hr o ug h   a   di e l e c t ri c   lay e r ,   ga t e   o xi de   i s   de v e l o pe a t   875 o i n   d r y   o x y ge n   c o n di t i o n   i n   3%  H CL   a t   a t m o s p h e ri c   p r e s s ur e .   T h e   t hr e s h o l v o l t a ge   a l t e ra t i o n   i m p l a nt a t i o n   i s   a c t u a l i z e i n   c ha nn e l   r e gi o n   t hr o ug h   a n   a pp r o xi m a t e   1. 95x1 0 13   a t o m / c m 3   o f   Bo r o n   a t   5   ke V   o f   e n e r gy .   H ug e   c h a n ge s   c a n   b e   a n a l y s e a s   s l i g h t   c ha n ge s   b e i n g   m a de   t o w a r ds   t h e   ga t e   c o n c e n t r a t i o n   a n h e n c e   m a k i n i t   a pp r o p r i a t e   t o   be   c o n t e m p l a t e a s   o n e   of  t h e   pa ra m e t e r   v a ri a t i o n s   b e fo r e   t h e   o n e s   w i t h   h u ge s t   c ha n ge s   a r e   s e l e c t e d.   P o l y c r y s t a l l i n e   s i l i c o n   i s   t h e de po s i t e o n   t h e   s e m i c o n duc t o r   w a f e r   a s   m ul t i - l a y e r e s t ruc t u r e   i s   s h a pe d   t hro ugh   c o n f o r m a l   po l y s i l i c o n   de po s i t i o n .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Com par at i v e   H i gh - K   m at e r i al   ga t e   s pa c e r   i m pa c t   i n   D G - F i n F E T   par am e t e r   v ar i at i ons   ( A m e e r   F .   R os l an )   575   M e a n w hi l e ,   a s   p - t y pe   i m pu r i t i e s   pa r t i c l e   i s   i m pl a n t e i n   t h e   s ub s t r a t e   t ha t   pe rm i t s   t h e   de v e l o pm e n t   of   t h e   n - t y pe   S o ur c e / D ra i n   a r e a s ,   i n d i um   i s   t h e n   do pe w i t h   1. 17x1 0 13   a t o m / c m 3   o m e a s ur e m e n t s   w i t h   ke V   of   e n e r gy   i m pl a n t e i n   t h e   ha l o   i m p l a nt a t i o n   f o r   w h i c h   c a n   l e s s e n   t h e   S CE .   T h e   l a y e r   of   n i t r i de   S i 3 N 4   i s   pr o duc e o n   t h e   s ur f a c e   of   t h e   s i l i c o n   a n po l y s i l i c o n   i n   s i d e w a l l   s pa c e r   p r o duc t i o n .   1. 22 x1 0 18   a t o m / c m 3   of  a r s e ni c   do s e   w i t h   i m p l a nt   e n e r gy   of   ke V   i s   i m pl a nt e t o   pe r f o r m   S o ur c e / D r a i n   i m pl a n t a t i o n   b e fo r e   t h e   s i de   c a pa c i t a n c e   i s   m i n i m i z e t hr o ug h   c o m pe n s a t e   i m p l a nt a t i o n .   T h e   f i r s t   f o r m a t i o o f   t h e   c o n t a c t   w i ndo w   i n   t h e   S o ur c e / D r a i n   r e g i o n   a l o n gs i de   a l u m i ni u m   de po s i t i o a n pa t t e rn i ng  ha s   pe r m i t t e t h e   m e t a l l i z a t i o n   pr o c e dur e   t o   b e   p e r f o r m e b e fo r e   s t r uc t u r e   m i rr o ri n p r o c e dur e   a n e l e c t r o de   de f i n i t i o n   i s   m a de   a s     in   F i gu r e   1 .           F i gu r e   1 .   F i n F E T   s t ruc t u r e   S 3 N 4   g a t e   s p a c e r       By   us i n de v i c e   s i m ul a t i o n,   e l e c t r i c a l   c ha r a c t e r i s t i c s   of   pa ra m e t e r s ,   na m e l y   V TH ,   I O FF ,   I ON   a n S S   c a n   b e   e xt r a c t e d.   B a s e o n   t h e   p a r a m e t e r s   i de n t i f i e d,   i n   a dd i t i o n   t o   t h e   a ppl i c a t i o n   o f   ge o m e t r i c a l   pa ra m e t e r s ,   fo r   w h i c h   i s   by   a dj us t i n g   t h e   p a r a m e t e r s   t o   c h a n ge   t h e   s t r u c t ur e   o f   t h e   de v i c e ,   t h e   o pt i m i z a t i o n   p r o c e s s   h a s   b e e n   do n e   by   c h a ngi n t h e   v a l ue s   o f   t h e   pa r a m e t e t ha t   i s   i de n t i f i e d,   t hr o ug h o ut   t h e   e xpe r i m e nt   t o   f ul f i l   t h e   e xpe r i m e nt   c r i t e ri a .     T h e   v a l ue s   s e t   f o r   t h e   e l e c t r i c a l   c h a ra c t e ri s t i c s   a r e   a l s o   fo l l ow e d   b a s e o n   t h e   IT R S   v a l ue s   s e t   w h e r e by   t h e   V TH   a r e   pr e di c t e t o   b e   w i t h i 12 . 7%  f r o m   t h e   i de a l   0 . 461V ,   w i t h   I O FF   l e s s   t ha n   10pA / µ m .     T h e   r e s pe c t i v e   I ON   a n S S   m e a n w hi l e   a r e   s uppo s e t m e e t   a t   h i g h e r   t ha n   574µ A / µ m   a n i n   b e t w e e n   70  -   90  m V / de c a de .   T h e   de v i c e   pe r fo r m a n c e   ha s   b e e n   a n a l y z e i n   t e rm   o f   V TH ,   I O FF ,   I ON   a nd  S S   a nd  r a t i o   o f   I ON /I O FF   by   p e r f o r m i n v a ri a t i o n   o n   g a t e   l e n g t h ,   c ha nn e l   do pi n g   a n d   S / D   do pi ng  c o n c e n t ra t i o n   w h e r e   a   c u r v e   of   D r a i n   Cu rr e nt   A / µ m ),   I D   a ga i n s t   G a t e   V o l t a ge   (V ) ,   V GS   i s   ge n e r a t e by   A T L A S   m o dul e   a s   i F i gu r e   2.           F i gu r e   2 .   D ra i c u rr e nt   (A ),   I D   a ga i n s t   ga t e   v o l t a ge   (V ) ,   V GS   c ur v e   fo r   S 3 N 4   s p a c e ga t e   D G - F i n F E T   f r o m   A T L A S   m o dul e   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   1 4 ,   N o .   2 M a y   201 9   :     573     5 80   576   T h e   I D - V G   c ur v e s   ob t a i n e i n   F i gu r e   a r e   t h e n   e xt r a c t e b y   t h e   A T L A S   t o   a c qui r e   t h e   r e s pe c t i ve   V TH , I ON , I O FF   a n d   S S   a nd  t h us   t h e   v a l ue s   o b t a i n e f r o m   t h e   s i m u l a t i o n s   a r e   a s   i n   T a b l e   2.         T a b l e   2 V a l ue   o f   E l e c t r i c a l   C ha ra c t e ri s t i c s   us i n S 3 N 4   No   P a ra m e t e r s   IT RS   V a l u e   S e t   V a l u e   1   T h re s h o l d   V o l t a g e   ( V ),   V TH   0 . 4 6 1 ± 1 2 . 7 %   0 . 4 6 1   2   L e a k a g e   Cu rr e n t   ( p A / µ m ),   I O F F   < 2 0   1 9 . 0 9   3   D ri v e   Cu rr e n t   ( µ A / µ m ) ,   I ON   > 5 7 4   1 1 6 2 . 6 0   4   S u b t h r e s h o l d   V o l t a g e   ( m V / d e c ),   S S   70 - 90   8 8 . 7 0       H a f n i um   D i o xi de   (H f O 2 a n d   T i t a n i u m   D i o xi de   (T i O 2 ha s   b e e n   us e a s   di e l e c t r i c   m a t e ri a l s   i a ddi t i o t o   t h e   S i 3 N 4   i n   t h e   c o n s t r uc t i o n   o f   16  nm   D G - F i n F E T .   T h e   r e l a t e di e l e c t ri c   c o n s t a nt   v a l ue s   i n c l udi ng  t h e   hi g h - k   m a t e r i a l s   f o r   t h e   c o rr e s po n d i n g   v a ri o us   di e l e c t ri c   m a t e r i a l s   a r e   a s   i n   T a b l e   3 .         T a b l e   3 D i e l e c t r i c   Co n s t a n t   V a l ue s   f o r   S 3 N 4 ,   H f O 2   a nd  T i O 2   No   D i e l e c t r i c   M a t e r i a l s   D i e l e c t r i c   C o n s t a n t   ( K e V )   1   S 3 N 4   9 . 5   2   T i O 2   85   3   H f O 2   25       B a s e o n   t h e   r e s ul t s   o b t a i n e f r o m   t h e   S i 3 N 4   a s   i T a b l e   2,   t he   fo l l ow i n m a t e ri a l s   i H f O 2   a n T i O 2   a r e   t h e n   us e t o   c o m pa r e   i t s   e l e c t ri c a l   c h a ra c t e r i s t i c s   c on s i s t i n t h e   V TH ,   I O FF ,   I ON   a n S S   a s   s h o w n     i n   T a b l e   4   [14] .         T a b l e   4 V a l ue   o f   E l e c t r i c a l   C ha ra c t e ri s t i c s   f o r   S 3 N 4 ,   H f O 2   a n d   T i O G a t e   S p a c e r   No   P a ra m e t e r s   S 3 N 4   T i O 2   H f O 2   1   T h re s h o l d   V o l t a g e   ( V ),   V TH   0 . 4 6   0 . 4 6 1   0 . 4 6 1   2   L e a k a g e   Cu rr e n t   ( p A / µ m ),   I O F F   1 9 . 0 9   5 . 3 4   5 . 1 8   3   D ri v e   Cu rr e n t   ( µ A / µ m ) ,   I ON   1 1 6 2 . 6 1   4 3 1 . 4 6   4 1 5 . 8 9   4   S u b t h r e s h o l d   V o l t a g e   ( m V / d e c ),   S S   8 8 . 7 4   1 0 7 . 8 9   1 0 9 . 7 8       T h e   I - V   c ha r a c t e r i s t i c s   i s   k n o w n   a s   t h e   r e l a t i o n s hi b e t w e e n   t h e   e l e c t r i c   c u rr e nt   t hr o ug h   a   de v i c e   a n t h e   c o rr e s po n di ng  v o l t a ge   a c r o s s   i t .   T h e   t hr e s h o l v o l t a ge   (V TH ),   l e a ka ge   c u rr e nt   (I O FF ),   d ri v e   c ur r e nt   (I ON a n t h e   s ub t hr e s h o l vo l t a ge   (S S c a n   b e   e xt ra c t e f r o m   t h e   c ur v e   of  D r a i n   C u rr e nt   (A a g a i n s t   G a t e   V o l t a ge   (V a s   i F i gu r e   2 .   T ra n s i s t o r s   s h o ul ha v e   a   h i g h   d r i v e   c urr e n t   (I ON a n a   l o w   t hr e s h o l d   v o l t a ge   (V TH )   t o   i n c r e a s e   t h e   s w i t c h i ng  s pe e o f   t hi s   t r a n s i s t o r.       2 . 2 .     S tr u c tu r e   D e s i gn   A l te r ati o n   B a s e o n   a   r e s e a r c h   c o n duc t e by   K um a r   e t .   a l . ,   t h e   pl a c e m e nt   o t h e   S o ur c e / D ra i n   l o c a t i o n   t o   t h e   s i de s   w h i c h   i s   i n   b e t w e e n   t h e   s i l i c o n   s ub s t r a t e   ha s   b e e n   do n e   fo r   w h i c h   h a s   r e duc e t h e   f i n   w i dt h   ( T f i n c l o s e r   t o   t h e   IT R S   pr e di c t i o n   o n   t h e   ge o m e t ri c a l   pa ra m e t e r   v a l ue   f ro m   28  n m   t o   18  n m   w hi l e   b e i n a b l e   t o   i m p r o ve   o r   a t   l e a s t   r e t a i n i ng  i t s   v a l ue   c o m pa r e t o   t h e   de s i g f a b r i c a t e i n   F i gu r e   1   [15 ].     Ini t i a l l y ,   t h e   di m e n s i o n   o f   t h e   m a i n   s ub s t r a t e   ha s   b e e n   r e t a i n e i n   i t s   s i z e   w i t h   < 1 00>   o ri e nt a t i o n   w h e n   t h e   b o r o n   do s e   i s   i m pl a nt e a t   5 . 65x1 0 13   a t o m / c m 3   b e fo r e   t h e   po l y s i l i c o n   i s   e t c h e 0. n m   l e s s   t ha n   t h e   di m e n s i o f r o m   t h e   i ni t i a l   po l y s i l i c o n   s t r uc t u r e .   T h e   f i n   w i dt h   i s   t h e n   r e duc e t o   18  nm   t hr o ug h   t h e   e t c hi n g   pr o c e s s .   A l um i ni u m   de po s i t i o n   p r o c e s s   i s   t h e n   a c hi e v e by   e t c h i n p r o c e s s   a ppl i e t o   t h e   s i l i c o n   b e fo r e   t h e   m a t e ri a l   i s   de po s i t e d.   S t ruc t u r e   m i rr o r i n a n t h e   e l e c t r o de   de f i n i n p r o c e dur e s   fo l l ow s   a s   c h a n ge s   o c c ur r e i n   t h e   S o ur c e   a n D r a i n   po s i t i o n i n w i t h i n   t h e   s t r uc t u r e .   T h e   pa r a m e t e r s   us e i n   t h e   r e s t ruc t u r i ng  p r o c e s s   a r e   s e l e c t e a s   i n   T a b l e   5.   T h e   pa ra m e t e r   v a l ue s   c h o s e n   h a s   a l l o w e a n   i m p r o v e m e n t   i n   t e rm s   o f   m e e t i n t h e   r e qui r e m i n i m u m   v a l ue s   pr e di c t e by   t h e   IT R S   c o m pa r e t o   t h e   i ni t i a l   s t ruc t u r e   a s   i n   F i gu r e   1.   T h e   a l t e r e d   F i n F E T   s t r uc t u r e   w i t h   S 3N 4   g a t e   s p a c e r   s h o w s   i F i g u r e   3 .       T a b l e   5 V a l ue   o f   t h e   G e o m e t r i c a l   P a r a m e t e r s   S e t   No   P a ra m e t e r s   IT RS   V a l u e   S e t   V a l u e   1   G a t e   L e n g t h ,   L g   1 6   n m   1 6   n m   2   O x i d e   T h i c k n e s s ,   T OX   2 . 4   n m   2 . 4   n m   3   F i n   w i d t h ,   T fi n   2 8   n m   1 8   n m   4   E x t e n s i o n   l e n g t h   t o   s o u rc e / d ra i n   ( L s   &   L d )   4 5   n m   3 5   n m   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Com par at i v e   H i gh - K   m at e r i al   ga t e   s pa c e r   i m pa c t   i n   D G - F i n F E T   par am e t e r   v ar i at i ons   ( A m e e r   F .   R os l an )   577       F i gu r e   3 .   T h e   a l t e r e F i n F E T   s t ruc t u r e   w i t S 3 N 4   ga t e   s pa c e r       T hr o ug h   t h e   de s i g n   m o di f i c a t i o n,   t h e   V TH  v a l ue s   fo r   t h e   a l t e r e s t r uc t u r e   i c o m pa r i s o n s   w i t h   t h e   i n i t i a l   de s i g s t r uc t u r e   a r e   s h o w n   t o   h a v e   o b t a i n e w i t h i n   ±12. 7 f r o m   t h e   t a r ge t e 0. 461  V .   B a s e o n     T a b l e   6,   c o m pa ra t i v e l y   t h e   n e w l y   a l t e r e s t ruc t u r e   bo t h   h a v e   a c qui r e t h e   r e s pe c t i v e   0. 464  V   a n d   0. 465  V   w h i c h a s   m e t   t h e   p r e di c t i o n   s e t   by   t h e   I T R S   2013 .         T a b l e   6 V a l ue   o f   E l e c t r i c a l   C ha ra c t e ri s t i c s   f o r   S 3 N 4 ,   H f O 2   a n d   T i O G a t e   S p a c e r   b a s e o n   A l t e r e S t ruc t u r e   No   P a ra m e t e r s   S 3 N 4   T i O 2   H f O 2   1   T h re s h o l d   V o l t a g e   ( V ),   V TH   0 . 4 6 4   0 . 4 6 4   0 . 4 6 5   2   L e a k a g e   Cu rr e n t   ( p A / µ m ),   I O F F   1 8 . 9 9   1 7 . 8 9   1 7 . 8 6 2 5   3   D ri v e   Cu rr e n t   ( µ A / µ m ) ,   I ON   1 1 8 9 . 4   1 6 5 8 . 0 3   1 6 3 5 . 0 7   4   S u b t h r e s h o l d   V o l t a g e   ( m V / d e c ),   S S   1 1 8 . 9   1 1 7 . 6 9   1 1 8 . 1 7       B a s e o n   t h e   r e s ul t s   o b t a i n e d,   i t   i s   o b s e r v e t ha t   H f O 2   ha s   i t s   d ra w b a c i i t s   c r y s t a l l i z a t i o n   t e m pe ra t u r e ;   f o r   w hi c i s   l o w   de s pi t e   i t s   l o w   l e a ka ge   c u rr e n t   pr o pe rt y .       3.   R ES U LTS   A ND  DISCUSSIO N   T h i s   pa pe r   us e s   t h e   H i gh - K   d i e l e c t ri c   m a t e r i a l   f r o m   H a f n i um   O xi de   (H fO 2 a nd  T i t a ni u m   O xi de   (T i O 2 a s   t h e   ga t e   o xi de   i n   16nm   D o ub l e   G a t e   F i n F E T   s t ruc t u r e .   A l l   t h e   de v i c e s   a r e   s e t   t o   t h e   s a m e   l e ve l   of  V T H   dur i n t h e   s i m u l a t i o n   w hi c h   w a s   0. 461 ±12. 7%  V   a s   p re di c t e by   IT RS   2013  fo r   l ow   pow e r   (L P m ul t i - ga t e   t e c hn o l o g y   i n   t h e   y e a r   2 017 .   T hi s   i s   do n e   t o   pr e c i s e l y   e v a l ua t e   t h e   pe r f o r m a n c e   i n   t e rm s   o f   t h e   c o r r e s po n di ng  I ON ,   I O FF ,   I ON /I O FF   r a t i o ,   a nd  S S   of   t h e   a fo r e m e n t i o n e de v i c e s .   T h e   F i n F E T   s t r uc t u r e s   s pa c e r s   i s   s t udi e by   i m pl e m e n t i ng  di f f e r e n t   m a t e ri a l s   s uc h   a s   S i l i c o n   N i t r i de   (S i 3 N 4 ) ,   H f O 2   a n T i O 2   h a v i n g   di e l e c t ri c   c o n s t a n t s   ke V ,   2 ke V   a n 85  ke V   r e s pe c t i v e l y   due   t o   i t s   h i g K   di e l e c t r i c   p r o pe r t i e s .     T h e   a n a l y s i s   of   t h e   r e s ul t s   r e v e a l e t h a t   t h e   T i O 2   de v i c e   h a s   s upe r i o r   e l e c t ri c a l   c h a ra c t e ri s t i c s   c o m pa r e t o   o t h e r s   a s   l i s t e i T a b l e   7 .         T a b l e   7 C o m p a r i s o n s   i V a l ue   of  E l e c t r i c a l   C ha ra c t e ri s t i c s   f o r   S 3 N 4 ,   H f O 2   a nd  T i O of  G a t e   S pa c e b a s e o n   t h e   I n i t i a l   a nd  A l t e r e D e v i c e   S t r uc t u r e   D e v i c e   V TH   (V )   I ON   (µA / µ m )   I O FF   (p A / µ m )   I ON /I O FF   Ra t i o   S S   (m V /   d e c )   S 3 N 4   In i t i a l   0 . 4 6 1   1 1 6 2 . 6   1 9 . 0 9   6 0 . 9   8 8 . 7   A l t e r e d   0 . 4 6 4   1 6 0 9 . 7   1 8 . 9 9   8 4 . 8   1 1 8 . 9   T i O 2   In i t i a l   0 . 4 6 1   4 3 1 . 5   5 . 3 5   8 0 . 7   1 0 7 . 9   A l t e r e d   0 . 4 6 4   1 6 5 8 . 0   1 7 . 8 9   9 2 . 7   1 1 7 . 7   H f O 2   In i t i a l   0 . 4 6 1   4 1 5 . 9   5 . 1 8   8 0 . 3   1 0 9 . 8   A l t e r e d   0 . 4 6 5   1 6 3 5 . 1   1 7 . 8 6   9 1 . 5   1 1 8 . 2   IT RS   2 0 1 3   0 . 4 6 1   ± 1 2 . 7 %   > 5 7 4   < 1 0   5 7 . 4   70 - 90       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   1 4 ,   N o .   2 M a y   201 9   :     573     5 80   578   A t   t h e   e n d ,   b a s e o n   t h e   r e s ul t s   i T a b l e   7,   t h e   a l t e r a t i o n   m a de   t ow a r ds   t h e   s t r uc t u r e   ha s   a l l o w e t h e   F i n F E T ’s   t hr e s h o l v o l t a ge   (V TH t o   h a v e   v a s t l y   i m p r o v e d   i n   t e rm s   o f   m e e t i n t h e   m i n i m u m   r e qui r e m e n t   pr e di c t e d .   S ub s e que n t l y ,   w h i l e   t h e   d r i v e   c urr e n t ,   I O fo r   t he   S 3 N i s   h a s   m e t   t h e   t a r ge t   o f   t h e   IT R S   2013 ,   w h i c h   i s   l a r ge r   t ha n   574  µ A ,   i t   i n c r e a s e s   f r o m   116 2. 6   µ A / µ m   t o   1609 . µ A / µ m   a f t e r   t h e   a l t e r a t i o i s   m a de .   M e a n w hi l e ,   t h e   I ON   fo r   t h e   T i O 2   a n H f O 2   fo r   w h i c h   pr e v i o us l y   h a v e   n o t   m e t   t h e   p r e di c t i o n   v a l ue s ,     ha v e   s i gn i f i c a n t l y   i m pr o v e a f t e r   t h e   m o di f i c a t i o n   i s   m a de   t ow a r ds   t h e   s t r uc t u r e   f r o m   431. A / µ m   a nd  415. 9   µ A / µ m   i nt o   1658. µ A / µ m   a nd  1635 . µ A / µ m   r e s pe c t i ve l y .   H ow e ve r ,   t h e   I O FF  v a l ue   do e s   n o t   m e e t   t h e   m i ni m u m   v a l ue   pr e di c t e w h i c h   i s   l o w e r   t ha n   10  p A   a f t e r   t h e   s t r uc t u r e   a l t e ra t i o n ,   f o r   w h i c h   do e s   b r i n t h e   v a l ue   c l o s e r   t o   t h e   p r e di c t e v a l ue s .   D e s pi t e   t ha t ,   i de a l l y   t h e   de v i c e   w i t h   a   hi g h e r   I ON /I O FF   ra t i o   a f t e t h e   a l t e ra t i o n   i s   m a de   t o w a r ds   t h e   s t r uc t u r e   f o r   w hi c m e a n s   t ha t   t h e   de v i c e   h a s   m e t   a   s upe r l a t i v e   v a l ue   due   t o   i n c r e m e n t a l   o f   I ON   a ga i n s t   t h e   de c r e a s i n o f   I O FF ,   t ha t   i s   c o r r e s po n d i n t o   t h e   p r e di c t i o n   m a de   by   t h e   IT R S   2013  a nd  t h e r e f o r e ,   t hr o ugh  T a b l e   i t   i s   a n a l y s e t ha t   t h e   a l t e ra t i o n   t o w a r ds   t h e   s t ruc t u r e   h a s   b ri n t h e   r a t i o   m uc g r e a t e i c o m pa r i s o t o   t h e   i de a l   r a t i o   o f   57. t a r ge t e t hr o ug h o ut   v a ri o us   di e l e c t ri c   m a t e r i a l     ga t e   s p a c e r .         4.   C O N C LU S I O N   In   c o n c l us i o n,   b a s e o n   s i m ul a t i o n   do n e ,   t h e   do ub l e   ga t e   F i n F E T   ha v e   e s t a b l i s h e go o e l e c t r i c a l   pr o pe rt i e s   s uc a s   h i g d ri v e   c urr e nt   a n l o w   l e a ka ge   c urr e nt   b a s e o n   t h e   e l e c t ri c a l   c ha r a c t e r i s t i c   a na l y s e d.   Co m pa r a t i v e l y ,   i m p r o ve m e n t   ha s   b e e n   r e s ul t e b y   t he   a l t e r a t i o n s   t o w a r ds   t h e   de v i c e   s t r uc t u r e .     T h e   a ppl i c a t i o n   o t h e   hi g h - m a t e ri a l s   ha s   a l s o   e nh a n c e t h e   i n c r e m e nt   i n   i t s   dri v e   c ur r e n t   (I ON de s pi t e   a   s l i g h t   i n c r e m e n t   i i t s   l e a k a ge   c urr e n t   (I O FF ).   T h a t   b e i ng  s a i d ,   t h e   T i O 2   m e a n w hi l e   ha s   r e s ul t i ng  i i m p r o v e m e n t   o f   t h e   de v i c e   due   t o   h i g h   i n   c urr e nt   d r i v e   w h i c h   i s   us e t o   de c i de   o n   t h e   d r i v e   c a pa b i l i t y   of  F i n F E T   de v i c e   a s   w e l l   a s   t h e   m a t e r i a l ’s   l o w   l e a ka ge   c urr e n t   p r o pe r t i e s .   B e s i de s   t h a t ,   t h e   de v i c e   c h a ra c t e ri s t i c s   ha v e   m e t   t h e   r e qu i r e m e n t   o f   l ow   pe r fo r m a n c e   (L P m ul t i - ga t e   (M G t e c hn o l o gy   pr e di c t e b y   IT R S   2013   f o r   t h e   y e a r   2 017  r e qu i r e m e n t s .       A C K N O WL ED G E M EN TS   T h e   a ut h o r s   w o ul l i ke   t o   t ha n t o   t h e   M i ni s t r y   of   H i gh e r   E duc a t i o n   (M O H E f o r   s po n s o r i ng  t h i s   w o r u n de r   p r o j e c t   (F R G S / 1/ 2017/ T K 04/ F K E K K - Ce T R I/ F 0 0335)  a n M i N E ,   Ce T R I,   F a c ul t y   of   E l e c t r o n i c s   a n Co m put e r   E ngi n e e ri n (F K E K K ) ,   U n i v e r s i t i   T e kni ka l   M a l a y s i a   M e l a ka   (U T e M fo r   t h e   m o r a l   s uppo rt   t hr o ugh o ut   t h e   p r o j e c t       R EF ER EN C ES     [ 1]   K . E .   K a h a r udi n,   F .   S a l e hu ddi n ,   A . S . M .   Z a i n,   a n M . N . I . A .   A z i z .   O pt i m i z a t i o o f   pr o c e s s   pa r a m e t e r   v a r i a t i o ns   o n   l e a ka g e   c ur r e n t   i n   i s i l i c o o n -   i ns ul a t o r   v e r t i c a l   do ubl e   g a t e   M O S F E T   de v i c e ,   A R P N   J ou r na l   o f   E ng i ne e r i ng   and   A ppl i e d   S c i e nc e s . ,   v o l .   1 1,   no .   6 ,   p p.   38 38 - 3848 ,   201 6.   [ 2]   P .   S a s hm i t a ,   P e r f or m anc e   ana l y s i s   of   S i nb l e   G at e   and  D oub l e   gat e   M O SF E T   w i t and  w i t ho ut   e f f e c t   o f   noi s e D e pa r t m e n t   o f   E l e c t r i c a l   E ng i n e e r i ng ,   N a t i o na l   I ns t i t ut e   o f   T e c hno l o gy ,   R o ur ke l a   I ndi a ,   2015 .   [ 3]   N .   A t a n,   I .   A hm a d,   B . Y .   M a j l i s ,   a n I . A .   F a uz i .   E f f e c t s   o f   H i g h - D i e l e c t r i c   w i t M e t a l   G a t e   f o r   E l e c t r i c a l   C ha r a c t e r i s t i c s   o f   N a no s t r uc t ur e d   N M O S . ,   M at h .   M e t hod s   E ng.   E c on .   v o l .   1 ,   pp .   111 - 115 ,   201 4.     [ 4]   D .   B h a t t a c ha r y a   a nd   N .   K .   J ha ,   R e v i e w   A r t i c l e   F i nF E T s :   F r o m   D e v i c e s   t o   A r c hi t e c t u r e s ,   v o l .   2014 ,   201 4.   [ 5]   A . J .   A nne m a ,   B .   N a u t a ,   R .   v a L a ng e v e l de ,   a n H .   T un ha u t ,   A na l o g   c i r c ui t s   i u l t r a - de e p - s ubm i c r o C M O S ,   Sol i d - St at e   C i r c ui t s ,   I E E E   J our n al   o f   40 ,   v o l .   40 ,   no .   1 ,   pp .   132 - 143 ,   J a n .   200 5.   [ 6]   J .   R a hul ,   S .   Y a da v ,   a a nd  V . K .   B o ha t ,   E f f e c t s   o f   M e t a l   G a t e   E l e c t r o de   a nd   H f O i J unc t i o l e s s   V e r t i c a l   D o ubl e   G a t e   M O S F E T ,   I n t e r na t i ona l   J ou r na l   of   Sc i e nt i f i c   E ng i ne e r i n a n T e c hn ol o gy ,   6 74( 3) ,   pp .   671 674 ,   2014 .   [ 7]   K . E .   K a ha r ud i n ,   F .   S a l e hudd i n ,   N .   S o i n ,   A . S . M .   Z a i n,   M . N . I . A .   A z i z   a nd  I .   A hm a d.   E l e c t r i c a l   C h a r a c t e r i z a t i o o f   D i f f e r e n t   H i g h - K   D i e l e c t r i c   w i t T ung s t e S i l i c i d e   i V e r t i c a l   D o ubl e   G a t e   N M O S   S t r uc t ur e ,   A R P N   J our na l   o f   E ngi ne e r i n and   A pp l i e d   Sc i e nc e s . ,   v o l .   11 ,   no .   21,   p p.   12 328 - 123 3 5,   N o v   2016.   [ 8]   J .   G u ,   J .   K e a n e ,   S .   S a pa t ne ka r ,   a nd  C .   H .   K i m ,   S t a t i s t i c a l   L e a ka g e   E s t i m a t i o o f   D o ubl e   G a t e   F i nF E T   D e v i c e s   C o ns i de r i ng   t he   W i d t Q ua nt i z a t i o P r o pe r t y ,   I E E E   T r an s ac t i ons   on  V e r y   L ar ge   Sc a l e   I nt e gr a t i on  ( V L SI )   Sy s t e m s ,   v o l .   16 ,   no .   2, ,   pp .   206 - 209 ,   F e b .   200 8.   [ 9]   A .   W a g a dr e   a n S .   M a n e ,   D e s i g &   P e r f o r m a nc e   A na l y s i s   o f   D G - M O S F E T   f o r   R e duc t i o o f   S ho r t   C ha nne l   E f f e c t   ov e r   B ul M O S F E T   a t   2 0nm ,   I n t .   J ou r na l   of   E ngi ne e r i ng  R e s e ar c and  A ppl i c at i on s ,   v o l . 4 ,   no .   7 ,     pp.   30 - 34 ,   J u l .   2 014 .   [ 10]   R .   H a j a r e ,   P e r f o r m a nc e   A na l y s i s   o f   F i nF E T   B a s e I n v e r t e r   c i r c ui t ,   N A N D   a nd  N O R   G a t e   a t   22nm   a nd  14nm   N o de   t e c hno l o g i e s ,   I n t e r na t i o nal   J ou r na l   on  R e c e nt   and  I nn ov a t i on  T r e nds   i C om p ut i ng  and  C om m u ni c at i o n v o l .   3,   no .   5,   p p.   25 27 - 2532 ,   201 5.   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Com par at i v e   H i gh - K   m at e r i al   ga t e   s pa c e r   i m pa c t   i n   D G - F i n F E T   par am e t e r   v ar i at i ons   ( A m e e r   F .   R os l an )   579   [ 11]   B .   S e t hup a t hy ,   P . A .   P r i y a ,   S i m u l a t i o a n P e r f o r m a nc e   o f   D o ubl e   G a t e   F i n F E T   D e v i c e s ,   I nt e r na t i ona l   J o ur n al   of   A dv a nc e R e s e ar c i n   C om p ut e r   Sc i e nc e   &   T e c hnol ogy   ( I J A R C S T   20 14) ,   v o l .   2 ,   no .   2 ,   pp .   43 - 45 ,   2 014 .   [ 12]   K . B .   O u s hp a K   a n S .   S unk a r a ,   P e r f o r m a nc e   o f   14nm   S O I   F i nF E T   w i t Z r O di e l e c t r i c :   A   C o m pa r a t i v e   S t udy ,   I nt e r n at i on al   J o ur n al   o f   E ngi ne e r i ng  R e s e ar c h   and   G e ne r al   Sc i e nc e ,   3( 2) ,   pp .   2 99 - 305 ,   2015 .   [ 13]   K . E .   K a ha r ud i n,   A . H .   H a m i do n,   a nd  F .   S a l e hud di n ,   D e s i g a n O pt i m i z a t i o A pr r o a c he s   i D o ubl e   G a t e   D e v i c e   A r c hi t e c t ur e ,   I n t e r nat i o nal   J our nal   o f   E ng i ne e r i ng   and   T e c hn ol og y   ( I J E T ) ,   v o l .   6 ,   no .   5 ,   O c t . N o v .   20 14 .   [ 14]   A . P .   H ua ng ,   Z . C .   Y a ng ,   a nd  P a u l   K .   C hu ,   H a f ni um - ba s e H i g h - G a t e   D i e l e c t r i c ,   A dv an c e s   i S ol i S t a t e   C i r c ui t s   T e c hno l o gi e s ,   2 010 ,   pp .   3 33 - 350 .   [ 15]   V .   K um a r ,   R .   G upt a ,   R . P . P .   S i ng h,   a nd  R .   V a i d ,   P e r f o r m a nc e   A na l y s i s   o f   D o ubl e   G a t e   n - F i nF E T   U s i ng   H i g h - D i e l e c t r i c   M a t e r i a l s ,   I nt e r n at i on al   J ou r na l   o f   I nno v a t i v e   R e s e ar c i Sc i e nc e ,   E ng i ne e r i ng   and   T e c hno l og y   v o l .   5,   no .   7,   p p.   13 242 - 132 49 ,   J ul .   201 6.       B I O G R A P H I ES   O F   A U T H O R S           A m e e r   F .   R o s l a n   r e c e i v e t he   B . S c .   D e g r e e   i n   T e l e c o m m uni c a t i o n   E ng i ne e r i ng   f r o m   T e c hni c a l   U ni v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M ) ,   i 2 017 .   H e   i s   c ur r e nt l y   pur s ui ng   hi s   M . S c .   de g r e e   i n   e l e c t r o ni c s   a nd  do i ng   r e s e a r c o t h e   D G - F i nF E T   de v i c e   a t   C e nt r e   f o r   T e l e c o m m uni c a t i o Re s e a r c a nd  I nno v a t i o n,   F a c ul t y   of   E l e c t r o ni c s   a nd   C o m put e r   E ng i n e e r i ng ,   T e c hn i c a l   U ni v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M ) .   H i s   r e s e a r c i nt e r e s t   i nc l ud e s   t h e   D G - F i nF E T   a r c hi t e c t u r e   a n s t a t i s t i c a l .           F .   S a l e hu ddi r e c e i v e t he   B . S c .   de g r e e   i e l e c t r i c a l   e ng i ne e r i ng   ( C o m m uni c a t i o n)   f r o m   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M a r a   ( U i T M ) ,   M a l a y s i a   i 2001   a nd   t he   M . S c .   d e g r e e   i n   E l e c t r i c a l ,   E l e c t r o n i c   a nd  S y s t e m   E ng i n e e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t i   K e ba ng s a a M a l a y s i a ,   i n   200 3.   S he   r e c e i v e d   t he   P h . D .   de g r e e   i M i c r o e l e c t r o ni c s   E ng i ne e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t i   T e na g a   N a s i o na l   ( U N I T E N ) ,   M a l a y s i a   i n   201 2.   S he   j o i ne U ni v e r s i t i   T e k ni k a l   M a l a y s i a   M e l a k a   ( U T e M )   i D e c e m be r   200 1   a s   a   t u t o r   a n i s   c ur r e n t l y   a   s e ni o r   l e c t u r e r   a t   F a c u l t y   of   E l e c t r o ni c   a nd  C o m put e r   E ng i n e e r i ng   ( F K E K K ) ,   U T e M .   H e r   r e s e a r c i n t e r e s t   i nc l ud e s   pr o c e s s   a nd  de v i c e   s i m ul a t i o o f   na no s c a l e   M O S F E T s   de v i c e ,   a dv a nc e C M O S   de s i g n ,   o pt i m i z a t i o a p pr o a c ( D O E )   a n p r o c e s s   pa r a m e t e r   v a r i a b i l i t y .           A .   S .   M .   Z a i r e c e i v e t he   B . E ng   de g r e e   i n   e l e c t r i c a l ,   E l e c t r o ni c   a n S y s t e m   e ng i ne e r i ng   a nd   M .   S c   i M i c r o e l e c t r o ni c s   f r o m   N a t i o na l   U ni v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   ( U K M ) ,   M a l a y s i a   S he   r e c e i v e t h e   P h. D .   d e g r e e   i N a no e l e c t r o ni c s   E ng i ne e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t y   of   G l a s g o w ,   U K   i 20 13 .   S h e   i s   c ur r e n t l y   w o r ki ng   a s   a   s e n i o r   l e c t ur e r   a t   F a c ul t y   of   E l e c t r o ni c   a nd  C o m put e r   E ng i ne e r i ng   ( F K E K K ) ,   U ni v e r s i t i   T e kn i k a l   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M ) .   H e r   r e s e a r c i n t e r e s t   i nc l ud e s   N a no s c a l e   D e v i c e   D e s i g a nd  S i m u l a t i o n,   V a r i a b i l i t y   a nd  R e l i a bi l i t y   of   E m e r g i ng   T e c hno l og y   D e v i c e s ,   I C   D e s i g f o r   B i o m e di c a l   A ppl i c a t i o ns .           K .   E .   K a ha r ud i r e c e i v e P h. D   i E l e c t r o ni c   E ng i ne e r i ng   a nd  M .   E ng   de g r e e   i C o m put e r   E ng i ne e r i ng   f r o m   T e c hni c a l   U n i v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   M e l a k a   ( U T e M ) ,   i n   201 a nd  2 013   r e s pe c t i v e l y .   H i s   P h . D   pr o j e c t   f o c us e o t h e   pr o c e s s   o pt i m i z a t i o o f   v e r t i c a l   do ub l e   g a t e   M O S F E T .   H i s   r e s e a r c h’ s   i nt e r e s t s   i nc l ude   C M O S   de s i g n,   m i c r o e l e c t r o ni c s ,   s e m i c o nduc t o r s ,   e ng i ne e r i ng   o pt i m i z a t i o a nd  a r t i f i c i a l   i n t e l l i g e nc e .   R e c e n t l y ,   hi s   e f f o r t s   e m ph a s i z e   o t he   s i m u l a t i o de s i g o f   J unc t i o nl e s s   M O S F E T ,   s i l i c o n - on - i ns ul a t o r   ( S O I )   M O S F E T ,   hi g h - k/ m e t a l - g a t e   s t a c t e c hno l o gy   a nd  de s i g o f   e xp e r i m e n t   ( D o E ) .                   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   1 4 ,   N o .   2 M a y   201 9   :     573     5 80   580       I .   A hm a r e c e i v e t h e   B . S c .   de g r e e   i P hy s i c s   i 198 f r o m   U ni v e r s i t i   K e ba ng s a a M a l a y s i a   ( U K M ) .   H e   r e c e i v e t h e   M . S c .   de g r e e   i N uc l e a r   S c i e nc e   a nd  A na l y t i c a l   P hy s i c s   f r o m   U K M   a nd  U ni v e r s i t y   o f   W a l e s   r e s p e c t i v e l y ,   i y e a r   o f   1991  a nd  1992 .   H e   r e c e i v e t he   P h . D .   d e g r e e   i n   E l e c t r i c a l ,   E l e c t r o ni c   a nd   S y s t e m   E ng i n e e r i ng   f r o m   U K M   i 200 7.   H e   w a s   a   N uc l e a r   S c i e nc e   O f f i c e r   a t   N uc l e a r   E n e r g y   U ni t   ( M I N T )   i c ha r g e   o f   R a di o   s c o pe   pr o duc t i o f o r   m e di c a l   a nd   i ndu s t r y   f r o m   1987  t o   1 992 .   F r o m   1993   t o   1 996 ,   he   w o r k e o n   S e m i c o nduc t o r   T e c hno l o gy   D i v i s i o a t   M a l a y s i a i n s t i t ut e   f o r   M i c r o e l e c t r o ni c s   R e s e a r c C e nt e r   &   S y s t e m   ( M I M O S ) ,   K ua l a   L um pur .   H e   j o i ns   t he   D e p a r t m e n t   o f   E l e c t r i c a l ,   E l e c t r o ni c   a n S y s t e m   E ng i ne e r i ng ,   U K M   a s   a   l e c t ur e r   i 199 t o   2002 ,   a nd  a s   A s s o c i a t e   P r o f e s s o r   f r o m   2002  t o   2007 .   H e   i nv o l v e i n   s e v e r a l   m a na g e m e n t   a nd  t e c hn i c a l   po s i t i o ns   w i t M I N T ,   M I M O S ,   B um i   H i b i y a   S dn.   B hd .   K . L um pur   a n U K M .   H e   i s   c ur r e nt l y   a   P r o f e s s o r   w i t t h e   D e pa r t m e n t   o f   E l e c t r o ni c s   a nd   C o m m uni c a t i o E ng i ne e r i ng ,   U ni v e r s i t i   T e na g a   N a s i o na l ,   M a l a y s i a .   H e   i s   a   s e n i o r   m e m be r   o f   t he   I ns t i t u t e   o f   E l e c t r i c a l   a nd  E l e c t r o ni c s   E ng i n e e r s   ( S e ni o r   M I E E E ) ;   M e m be r   o f   I ns t i t u t e   o f   P hy s i c s   M a l a y s i a   ( M I P M )   a n M e m be r   o f   M a l a y s i a A s s o c i a t i o o f   S o l i S t a t e s   S c i e nc e   ( M A S S ) .           H .   H a z ur a   r e c e i v e he r   B E ng   de g r e e   i E l e c t r i c a l   E ng i n e e r i ng   ( T e l e c o m m uni c a t i o ns )   a n M E ng   de g r e e   i E l e c t r i c a l   E ng i ne e r i ng   ( E l e c t r o n i c s   &   T e l e c o m m uni c a t i o n)   i 20 02  a nd  2 004 ,   r e s pe c t i v e l y   f r o m   t he   U ni v e r s i t i   T e k no l o g i   M a l a y s i a   ( U T M ) ,   M a l a y s i a .   I 2013 ,   r e c e i v e h e P hD   de g r e e   f r o m   t he   I ns t i t u t e   o f   M i c r o e ng i ne e r i ng   a nd  N a no e l e c t r o ni c s   ( I M E N ) ,   U ni v e r s i t i   K e ba ng s a a M a l a y s i a   i M i c r o e ng i ne e r i ng   a n N a no - E l e c t r o n i c s .   C u r r e n t l y ,   s he   i s   a   s e ni o r   l e c t u r e r   a t   t h e   E l e c t r o ni c s   a nd  C o m put e r   E ng i ne e r i ng   F a c ul t y   ( F K E K K ) ,   U ni v e r s i t i   t e kni ka l   M a l a y s i a   M e l a k a   ( U T e M ) .   H e r   r e s e a r c i n t e r e s t s   i nc l ud e   P L C   a nd  S O I   ph o t o ni c   de v i c e s ,   o pt o e l e c t r o ni c s   a nd   r o bus t   o pt i c a l   de s i g a nd   o pt i m i z a t i o n.           H a ni m   A . R   r e c e i v e B . E ng   i C o m put e r   a nd  I nf o r m a t i o T e c hno l o gy   f r o m   I nt e r na t i o na l   I s l a m i c   U ni v e r s i t y   M a l a y s i a   ( I I U M ) i 2 003  a nd  M S c   de g r e e   i M i c r o e l e c t r o ni c s   f r o m   U ni v e r s i t i   K e ba ng s a a M a l a y s i a   ( U K M )   i 2 006 .   L a t e r ,   s he   c o m pl e t e he r   P hD   de g r e e   i M i c r o   a n d   N a no e ng i ne e r i ng   f r o m   I ns t i t ut e   o f   M i c r o e ng i ne e r i ng   a nd   N a no e l e c t r o ni c s   ( I M E N ) ,     U ni v e r s i t i   K e b a ng s a a M a l a y s i a   ( U K M )   i 2014 .   C ur r e n t l y   s h e   s e r v e s   U n i v e r s i t i   T e kni ka l   M a l a y s i a   M e l a ka   ( U T e M )   a s   a   s e n i o r   l e c t u r e r .   H e r   r e s e a r c i n t e r e s t s   a r e   pho t o ni c   s e ns o r s ,     de v i c e   m o de l l i ng   a nd   o pt i m i z a t i o n.             S . K .   I dr i s   r e c e i v e t he   B . E ng   de g r e e   i e l e c t r i c a l ,   E l e c t r o ni c   a n S y s t e m   e ng i ne e r i ng   a n M .   S c   i M i c r o e l e c t r o ni c s   f r o m   N a t i o na l   U n i v e r s i t y   o f   M a l a y s i a   ( U K M )   M a l a y s i a   i 2 000  a nd   200 2   r e s pe c t i v e l y .   S he   r e c e i v e d   t he   P h. D .   de g r e e   i E l e c t r o ni c s   a nd   E l e c t r i c a l   E ng i n e e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t y   of   S t r a t hc l y de ,   G l a s g o w   U K   i 2014 .   S he   i s   c ur r e n t l y   w o r ki ng   a s   a   s e ni o r   l e c t u r e r   a t   F a c ul t y   o f   E l e c t r o ni c   a nd  C o m pu t e r   E ng i n e e r i ng   ( F K E K K ) ,   U ni v e r s i t i   T e kn i k a l   M a l a y s i a   M e l a k a   ( U T e M ) .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.