Co m pu t er   Science  a nd   I nfo r m a t io n T ec hn o lo g ies   Vo l.   1 ,   No .   1 Ma y   2 0 2 0 ,   p p .   26 ~ 3 1   I SS N:  2722 - 3 2 2 1 ,   DOI : 1 0 . 1 1 5 9 1 / csit . v 1 i1 . p 2 6 - 31           26       J o ur na l ho m ep a g e h ttp : //ia e s p r ime. co m/in d ex . p h p /csi t   Ext ra ct io n of seri es resis tance  and  mo bility deg ra da t io pa ra meter  in  MO SFETs  using  it erativ e met ho d       No ureddin M a o uh o ub 1 ,   K h a lid   Ra is 2   1 Lab o ra to r y   o El e c tro n ics ,   S i g n a P ro c e ss in g   a n d   P h y sic a M o d e li n g ,   De p a rtme n o P h y sic s,  Ib n   Z o h U n iv e rsit y ,   F a c u lt y   o S c ien c e s,  M o ro c c o   2 Lab o ra to r y   o El e c tro n ics ,   In str u m e n tatio n   a n d   E n e rg y ,   F a c u lt y   o f   S c ien c e ,   Ch o u a ib   Do u k k a li   Un i v e rsity ,     De p a rtme n o P h y sic s,  M o r o c c o       Art icle  I nfo     AB S T RAC T   A r ticle  his to r y:   R ec eiv ed   J u n   1 9 ,   2 0 19   R ev is ed   Oct   2 7 ,   2 0 19   Acc ep ted   J an   6 ,   2 0 2 0       S e ries   re sista n c e   a n d   m o b il it y   a tt e n u a ti o n   p a ra m e ter  a re   p a ra siti c   p h e n o m e n a   th a li m it   th e   sc a li n g   o f   a d v a n c e d   M OSF ET s .   I n   t h is  wo r k ,   a n   it e ra ti v e   m e th o d   is  p ro p o se d   to   e x trac t h e   se ries   re sista n c e   a n d   m o b il it y   d e g ra d a ti o n   p a ra m e ter  in   sh o rt  c h a n n e M OS F ET s.  It   a lso   a ll o ws   u s   to   e x trac th e   su rfa c e   ro u g h n e ss   a m p li tu d e .   Th e   p ri n c ip le  o t h is  m e th o d   is  b a se d   o n   t h e   e x p o n e n ti a m o d e o e ffe c ti v e   m o b il i ty   a n d   t h e   lea st  sq u a re m e th o d s.  F ro m   th e se ,   two   a n a ly ti c a e q u a ti o n a r e   o b tain e d   t o   d e term in e   th e   se ries   re sista n c e   a n d   th e   l o field   m o b il i ty   a f u n c ti o n   o th e   m o b il it y   d e g ra d a ti o n .   Th e   m o b il it y   a tt e n u a ti o n   p a ra m e ter  i e x trac ted   u sin g   a n   it e ra ti v e   p r o c e d u re   t o   m in imiz e   th e   ro o m e a n sq u a re d   e rro (RM S E)  v a l u e .   Th e   re su l ts  o b tai n e d   b y   th is  tec h n iq u e   fo a   sin g le  sh o rt  c h a n n e d e v ice   h a v e   sh o w n   th e   g o o d   a g re e m e n with   m e a su re m e n ts d a ta at stro n g   in v e rsio n .     K ey w o r d s :   Id - Vg   ch a r ac ter is tic   Mo b ilit y   d eg r a d atio n   Mo b ilit y   m o d elin g   MO SF E T   Ser ies r esis tan ce   Su r f ac r o u g h n ess   T h is i a n   o p e n   a c c e ss   a rticle   u n d e r th e   CC B Y - SA   li c e n se .     C o r r e s p o nd ing   A uth o r :   No u r ed d i n Ma o u h o u b ,     L ab o r ato r y   o f   E lectr o n ics,  Sig n al  Pro ce s s in g   an d   Ph y s ical  Mo d elin g ,     Dep ar tm en t o f   Ph y s ics,   I b n   Z o h r   Un i v er s ity ,   Facu lty   o f   Scien ce s ,   Mo r o cc o .     E m ail:  n . m ao u h o u b @ u iz. ac . m a       1.   I NT RO D UCT I O N   Mo b ilit y   d eg r ad atio n   p h en o m en an d   p a r asit ic  s o u r ce - an d - d r ain   s er ies  r esis tan ce   ar two   p ar am eter s   o f   s p ec ial   im p o r ta n ce   f o r   MO SF E T   ch ar ac ter izatio n .   T h ese   two   p ar am ete r s   lim it  s ca lin g   o f   ad v an ce d   d e v ices   an d   p r o d u ce   ef f ec ts   o n   th e   d e v ice’ s   tr an s f er   d r ain   c u r r en t - g ate  v o ltag c h ar ac ter is tics .   Acc u r at m o d elin g   a n d   ex tr ac tio n   o f   th ese  p ar am ete r s   h av m o s t im p o r tan ce   f o r   M OSFET .     Acc o r d in g   th liter atu r e,   s ev e r al  m eth o d s   an d   p r o ce d u r es  h av b ee n   p r o p o s ed   to   ex tr ac th s er ies  r esis tan ce   an d   th m o b ilit y   d eg r ad atio n   p a r am eter s   [1 - 1 5 ] .   An o th er   m eth o d s   w er p r o p o s ed   to   ex tr ac th ese   p ar am eter s   u s in g   a   n o v el  test   s tr u ctu r es,  s u ch   as  th m u ltifin g er   MO SF E T   [ 1 6 - 1 7 ] ,   th Fi n FET   [ 1 8 ]   an d   th e   am o r p h o u s   MO SF E T   [ 1 9 - 2 0 ] .   R ec en tly ,   in   wo r k s   [ 2 1 ] ,   r ev iew  o f   DC   ex tr ac tio n   m et h o d s   f o r   MO SF E T   p ar asit ic  s er ies  r esis ta n ce   an d   m o b ilit y   d eg r ad atio n   m o d el  p ar am eter s   h as  b ee n   p r esen ted .   I n   th p r ev io u s   wo r k ,   Or tiz  et  al  h av p r esen ted   an d   cr itically   co m p ar ed   to tal  o f   eig h teen   ex tr ac tio n   p r o ce d u r es;  s o m o f   th ese  m eth o d s   u s s ev er al  d e v ices  with   d if f er e n m ask   ch an n el  len g t h s   an d   o th e r   m eth o d s   n ee d   s in g l e   d ev ice  b u u n d er   d if f er e n d r ai n   b iases .   R o d r ig u ez - Dav ila  et  al  p r o p o s ed   n ew  in teg r atio n - b ases ed   p r o ce d u r to   ex tr ac t th m o b ilit y   en h an c em en t f ac to r ,   an d   t h s er ies r esis tan ce   o f   th in -   f ilm   MO SF E T s   [ 2 2 ] .     I n   th is   p ap er   we  p r esen a n   it er ativ m eth o d   b ased   o n   ex p o n en tial  m o d el  o f   m o b ilit y   a n d   an aly tical  ap p r o ac h   u s in g   least  s q u ar es  m eth o d .   W f o r m u late  two   an aly tical  ex p r ess io n s   as  f u n ctio n   o f   th m o b ilit y   atten u atio n   p ar am eter .   T h is   p a r am eter   is   th e n   e x tr ac ted   iter a tiv ely   at  t h m in i m u m   o f   th e   r o o m ea n s   s q u ar e d   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
C o m p u t.  Sci.  I n f .   T ec h n o l.         E xtra ctio n   o f ser ies r es is ta n ce   a n d   mo b ilit d eg r a d a tio n   p a r a mete r   in   MOS F E Ts …  ( N o u r e d d in Ma o u h o u b )   27   er r o r .   T h ad v an tag o f   th is   m eth o d   th at  is   u s ed   o n ly   s in g l test   d ev ice  an d   o n d r ain   b iase a n d   alo u s   al s o   to   ex tr ac t th s u r f ac r o u g h n ess   am p litu d e.     T h p ap er   is   o r g an ize d   as  f o l lo ws:   Sectio n   2   p r esen ts   th m o d elin g   o f   th d r ain   cu r r en t   u s in g   th e   m o d el  o f   ef f ec tiv m o b ilit y   an d   we  f o r m u late  th ex tr ac tio n   tech n iq u e.   T h v alid atio n   o f   th p r o p o s ed   m eth o d   u s in g   ex p er im en d at o f   s in g le  d ev ice  is   s h o wn   i n   s ec tio n   3 .   Fin ally ,   th p ap e r   is   clo s ed   b y   th co n clu s io n   o f   s ec tio n   4 .         2.   M O DE L I NG   AN E X T RA CT I O T E CH N I Q UE   2 . 1 .    Dra in  curr ent   mo delin g   T h d r ain   cu r r e n t I d ,   at  v er y   s m all  d r ain   b ias,  ca n   b ex p r ess ed   in   ter m s   o f   in tr in s ic  v o ltag e s   as:       ( 1 )     W h er W   is   th ch a n n el  wid th ,   L   is   th c h an n el   len g th ,   C o x   is   th o x id e   ca p ac itan ce ,   μ eff   is   th e   ef f ec tiv f r ee - ca r r ier   m o b ilit y ,   V G   is   th in tr in s ic  g ate  v o lt ag e,   V D   th in tr in s ic  d r ain   v o ltag an d   V t   is   th th r esh o ld   v o ltag e.   I f   th s o u r c e - an d - d r ain   s er i es  r esis tan ce   is   s ig n if ican t,  th d ev ice’ s   in tr i n s ic  g ate  an d   d r ain   v o ltag es a r e:         ( 2 )       ( 3 )     W h er V g   an d   V d   ar th ex t er n ally   ap p lied   g ate  an d   d r ai n   v o ltag es,  r esp ec tiv ely ,   R sd   i s   th to tal   s o u r c e - an d - d r ain   s er ies r esis ta n ce   as sh o wn   in   Fig u r 1 .             Fig u r 1 .   I n tr in s ic  an d   ex ter n a lly   ap p lied   v o ltag es in   MO SF E T         T h m o d el  o f   v ar iatio n   m o b ilit y   with   ef f ec tiv f ield   co n s id er s   th at  th atten u atio n   o f   ef f ec tiv m o b ilit y   is   p ar ticu lar ly   d u to   Su r f ac R o u g h n ess   Scatter in g   [ 4 ] .   T h is   wo r k   g e n er aliz ed   all  th clas s ical   m o d els [ 4 ,   10,   1 2 ] ,   an d   p r o v id ed   p h y s ical  m ea n in g   to   d if f e r en t u s ed   p a r am eter s .       T h ef f ec tiv m o b ilit y   is   g iv e n   b y   th ex p o n en tial m o d el  in   s tr o n g   in v e r s io n   [ 4 ,   1 2 ] :       ( ) ( ) Gt . e x p V V e f f 0 =   ( 4 )     W h er e     ox si . . . C =   ( 5 )   ( ) d e f f o x G t D W I C V V V L =   sd G g d R V V I . 2 =−   D d d s d V V I . R =− Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 7 2 2 - 3 2 2 1   C o m p u t.  Sci.  I n f .   T ec h n o l. ,   V o l.  5 ,   No .   1 Ma y   20 20 26 - 31   28   θ  is   th in tr in s ic  atten u atio n   co ef f icien o f   m o b ilit y ,     i s   co n s tan p ar am eter   eq u al  to   0 . 5   f o r   elec tr o n s   an d   0 . 3 3   f o r   h o les  [ 4 ] ,     q /k T   is   th in v er s o f   th th er m al  p o ten tial,  si   s ilico n   p er m itti v ity   is   th s u r f ac r o u g h n ess   am p litu d e,   µ 0   r ep r esen ts   th lo w - f ield   m o b ilit y .       Ass u m in g   th at  V g     V t   >> I d .R sd /2 ,   an d   s u b s titu tio n   o f   ( 4 )   in   ( 1 )   y ield s :       ( ) ( ) ( ) gt d sd g t g t d VV I K . K . R e x p V V V V V = +   ( 6 )   W h er e     0 o x d W K . . C . V L =   ( 7 )     2. 2 .     E x t r a ct io n m e t ho d   T h p r o ce d u r e   is   b ased   o n   ca l cu latin g   th f u n ctio n   R ( V g )   :     ( ) ( ) g t g t sd g g t g t d d d V V V R 1 R V . e x p V . V I I K V = = = +   ( 8 )     T h p r o b lem   co n s is ts   to   m in im ize  th f o llo o b jectiv f u n c tio n :     ( ) ( ) 2 N i , t h g t i s d i , e x p i1 S R V , K, R R = =−   ( 9 )     I i, cal   is   th th eo r etica l c h a r ac ter is tic  th at  ca n   b r ewr itten   u s in g   th ( 1 )   :     ( ) sd i , th g ti i g ti d R 1 R V . E X P . V KV =+   ( 1 0 )     W h er E XPi is   g iv en   b y     ( ) i g t i E X P e x p . V =   ( 1 1 )     R i, exp  an d   V gti   ar th m ea s u r ed   R   an d   v o ltag at  th ith   p o in an d   is   th n u m b er   o f   m e a s u r ed   d ata   p o in ts .   Fo r   m in im izin g   th o b j ec tiv f u n ctio n   S,  we  m u s t so lv th f o llo win g   s y s tem :     ( ) ( ) N i , th i , th i , e x p i1 N i , th i , th i , e x p i1 s d s d R S 2 R R 0 ( 1 / K ) ( 1 / K ) R S 2 R R 0 RR = = = =  = =    ( 1 2 )     Af ter   s o m m ath em atica l m an ip u latio n s   th ab o v s y s tem   o f   th r ee   eq u atio n s   is   ex p r ess ed   a s :       N N N 2 sd i i gti i i , e xp i 1 i 1 i 1 d N N N 2 sd i gti gti i , e xp gti i 1 i 1 i 1 d R 1 EX P EX P . V EX P R KV R 1 EX P . V V R V KV = = = = = = += +=   ( 1 3 )     Af ter   r eso lv in g   t h p r e v io u s   s y s tem ,   th ex p r ess io n s   o f   an d   R s d   as f u n ctio n   o f   θ  ar e   g iv e n   b y :     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
C o m p u t.  Sci.  I n f .   T ec h n o l.         E xtra ctio n   o f ser ies r es is ta n ce   a n d   mo b ilit d eg r a d a tio n   p a r a mete r   in   MOS F E Ts …  ( N o u r e d d in Ma o u h o u b )   29   ( ) ( ) 2 sd d 2 a . c b K d . c b . e a . e b . d R V . a . c b = =   ( 1 4 )       W h er a,   b ,   c,   d   an d   ar g iv e n   b y :     N N N 22 sd i i g ti g ti i 1 i 1 i 1 d NN i i , e x p i , e x p g ti i 1 i 1 R a E X P , b E X P . V ; c V V d E X P R ; e R V = = = == = = = ==    ( 1 5 )       W ith   th aim   o f   th e   ex tr ac tio n   o f   p a r am eter   θ,   we  u s an   ite r ativ tech n iq u wh ich   f o n d   t h o p tim al   v alu o f   θ  at  th m in im u m   o f   t h R MSE :     ( ) N 2 i , e x p i , th i1 1 R M SE R R N = =−   ( 1 6 )     T h alg o r ith m   o f   th p r o p o s ed   m eth o d   to   e x tr ac th s er ies  r esis tan ce ,   th m o b ilit y   a tten u atio n   p ar am eter   is   s u m m ar ized   i n   th F ig u r 2 .             Fig u r 2 .   Flo ch a r t o f   ca lc u latin g   p ar am eter s         3.   RE SU L T S AN D I SCU SS I O N   I n   o r d e r   to   v alid ate  th p r ese n ted   m eth o d ,   th MO SF E T   tr an s is to r   m ea s u r ed   in   th is   wo r k   h as  th f o llo win g   p a r am eter s ch an n e wid th   W   4 µm ,   g ate  o x id th ick n ess   to x   5 n m ,   ch a n n el  len g th   L   0 . 1 µm ,   an d   ch an n el  d o p in g   Na  1 0 16   cm - 3 .   T h th r esh o ld   v o ltag o f   th is   d ev ice  is   V t   0 . 2 V.   T h p r o p o s ed   m eth o d   was im p lem en ted   in   MA T L A B .     T ab le  1   s h o ws  th e x tr ac ted   p ar am eter s   u s in g   th e   p r o p o s e d   m eth o d   o b tain ed   f o r   th is   d ev ice  an d   co m p ar ed   with   two   m et h o d s   u s ed   th s am e   d e v ice  an d   t h s am ex p o n e n tial  m o d el  o f   m o b ilit y .   As  it  ca n   b s ee n ,   t h r esu lts   o b tain ed   u s in g   th p r o p o s ed   m eth o d ,   h a v g o o d   ag r ee m e n t w ith   th o s p r ev io u s ly   p u b lis h e d   in   th two   wo r k s .   T h s u r f ac e   r o u g h n ess   am p litu d is   ex tr ac t ed   u s in g   th ( 5 ) .       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 7 2 2 - 3 2 2 1   C o m p u t.  Sci.  I n f .   T ec h n o l. ,   V o l.  5 ,   No .   1 Ma y   20 20 26 - 31   30   T ab le  1 .   E x tr ac tio n   p ar am eter s   u s in g   th p r o p o s ed   m et h o d   P a r a me t e r   R sd ( Ω )   θ( V - 1 )   Δ (n m)   P r o p o se d   m e t h o d   1 0 8 . 8 2   0 . 3 6   0 . 2 8   M e t h o d   i n   [ 1 0 ]   1 0 8 . 8 0   0 . 3 6   0 . 2 8   M e t h o d   i n   [ 4 ]   1 0 7 . 5 3   0 . 3 6   0 . 3 1         Fig u r 3   s h o ws  th p lo o f   t h R MSE   v er s u s   th m o b ilit y   d eg r ad atio n   p a r am eter ,   th e   v a lu o f   Δ θ   u s ed   in   th is   alg o r ith m eq u al  to   0 . 0 1 .   As it c an   b s ee n ,   th o p tim al  v alu o f   θ  th at  r ep r o d u ce   th lo west v alu o f   R MSE   2 . 4 0 3   is   0 . 3 6   V - 1   Fig u r 4   s h o ws  th e   ex p e r im en tal  ch ar ac ter is tic  an d   th e   th eo r etica o n o f   th r esis tan ce   R   v er s u s   Vg at  o h m ic  r e g im e.   T h e   th eo r etica v alu es  o f   R   ar ca lcu lated   b y   in jectin g   th v alu e s   o f   th ex tr ac te d   p ar am eter s   u s in g   o u r   m eth o d   in   th ( 8 ) .   I is   clea r   th at   th c alcu lated   cu r v u s in g   th o b ta in ed   p ar a m eter s   f it   th ex p er im e n tal  cu r v e   with   a cc u r ac y .     T h ex p e r im en tal  c h ar ac ter is tic  o f   th e   d r ain   cu r r en v er s u s   V an d   th t h eo r etica cu r v ca lcu lated   f r o m   th ex tr ac ted   p a r am eter s   an d   u s in g   th ( 6 )   ar p lo tte d   in   F ig u r 5 .   T h e   ap p licatio n   o f   th p r esen ted   g iv es   b est f it with   ex p er im en tal  d a ta  in   o h m ic  r e g im e.             Fig u r 3 .   Plo t o f   R MSE   v s .   th eta             Fig u r 4 .   Plo t o f   ex p e r im en tal  an d   th eo r etica ch ar ac ter is tics   o f   R   v s .   Vg t     Fig u r 5 .   Plo t o f   ex p e r im en tal  an d   th eo r etica l I d   v s .   Vg   ch ar ac ter is tics       4.   CO NCLU SI O N   I n   th is   p ap er ,   an   iter ativ m eth o d   f o r   th ex tr ac tio n   o f   th p ar asit ic  s er ie s   r esi s tan ce   an d   th m o b i lity   atten u atio n   p ar a m eter s   in   MO SF E T   tr an s is to r s   wa s   p r ese n ted .   T h is   tech n iq u is   b ased   o n   th a n aly tical   ex p r ess io n   o f   th s er ies  r esis tan ce   an d   th m o b ilit y   at  l o f i eld   u s in g   lin ea r   least  s q u ar es  m eth o d   a n d   s o lv i n g   0 0 . 1 0 . 2 0 . 3 0 . 4 0 . 5 0 . 6 0 . 7 0 50 100 150 200 250 300 t h e t a R M S E 0 . 2 0 . 4 0 . 6 0 . 8 1 1 . 2 1 . 4 1 . 6 1 . 8 2 0 . 6 0 . 8 1 1 . 2 1 . 4 1 . 6 1 . 8 2 x   1 0 4 V g t ( V ) R ( o h m )     E x p e r i m e n t a l   d a t a S i m u l a t e d   d a t a 0 0 . 5 1 1 . 5 2 0 0 . 2 0 . 4 0 . 6 0 . 8 1 1 . 2 x   1 0 -4 V g ( V ) I d ( A )     E x p e r i m e n t a l   d a t a S i m u l a t e d   d a t a Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
C o m p u t.  Sci.  I n f .   T ec h n o l.         E xtra ctio n   o f ser ies r es is ta n ce   a n d   mo b ilit d eg r a d a tio n   p a r a mete r   in   MOS F E Ts …  ( N o u r e d d in Ma o u h o u b )   31   s y s tem   o f   two   e q u atio n s   as  f u n ctio n   m o b ilit y   atten u atio n   p ar am eter .   T h e   m o b ilit y   d eg r ad atio n   p ar am ete r   is   d eter m in ed   iter ativ ely   as  th o n e,   th at  m in im izes  th R MS E   v alu e.   T h v alid atio n   o f   th is   m eth o d   u s in g   a   s in g le  d ev ice  s h o ws  g o o d   ag r ee m en with   ex p er im en tal  d at a.   T h o b tain ed   p ar am et er   v al u es  h av b ee n   also   co m p ar ed   with   th p ar am eter s   o b tain ed   f o r   t h s am d ev ic u s in g   o th er   m et h o d s   av aila b le  in   th liter atu r e.   C o n s is ten cy   b etwe en   th r esu l ts   h as b ee n   d em o n s tr ated .         RE F E R E NC E S   [1 ]   A.  Ortiz - Co n d e ,   J.J.  Li o u ,   W.   W o n g ,   F . J.   G a rc ía - S á n c h e z ,   si m p le  m e th o d   to   e x trac t   th e   d i ffe re n c e   o th e   d ra i n   a n d   so u rc e   se ries   re sista n c e s in   M OSF ET s El e c tro n .   L e tt .   3 0 ,   p p .   1 0 1 3 - 1 0 1 5 1 9 9 4   [2 ]   A.  Ortiz - Co n d e ,   F . J.  G a rc ía - S á n c h e z ,   J.J.  Li o u ,   An   imp r o v e d   m e th o d   fo e x trac ti n g   th e   d iffere n c e   b e twe e n   d ra in   a n d   so u rc e   re sista n c e s in   M OSF E Ts S o l id   S ta te E lec tro n .   39 ,   p p .   419 - 4 2 1 1 9 9 6   [3 ]   G .   Niu ,   J.D.  Cre ss ler,  S . J.  M a t h e w,  S .   S u b b a n n a ,   to tal  re si sta n c e   slo p e - b a se d   e ffe c ti v e c h a n n e m o b il it y   e x trac ti o n   m e th o d   f o d e e p   su b m icro n   C M OS  tec h n o l o g y I EE E   T r a n s.  El e c tro n   De v .   4 6 ,     p p .   1 9 1 2 - 1 9 1 4 1 9 9 9   [4 ]   A.  EL   A b b a ss i ,   Y.  A m h o u c h e ,   E.   B e n d a d a ,   R .   R m a il y   a n d   K.  R a is.  Ch a ra c teriz a ti o n   o se ries   re sista n c e   a n d   m o b il it y   a t ten u a ti o n   p h e n o m e n a   in   s h o rt   c h a n n e l   M OS   tran sisto r s” .   Active   a n d   P a ss ive   El e c tro n i c   Co mp o n e n ts v o l.   2 4 ,   n o 1 ,   p p .   1 3 - 2 2 ,   2 0 0 1 .     [5 ]   G . S .   Ka r,   S .   M a ik a p ,   S . K.  Ba n e rjee ,   S . K.   Ra y ,   S e ries   re sista n c e   a n d   m o b il it y   d e g ra d a ti o n   fa c to r   i n   C - in c o rp o ra te d   S iG e   h e tero stru c tu re   p - ty p e   m e tal - o x i d e   se m ico n d u c t o rfield - e ffe c tran sisto rs S e mic o n d .   S c i.   T e c h n o l .   1 7 ,   p p .   938 - 9 4 1 2 0 0 2   [6 ]   F . J.  G a rc ía - S á n c h e z ,   A.  Ortiz - Co n d e ,   A.   Ce rd e ira,  M .   Estrad a ,   D.  F lan d re ,   J . J.  Li o u ,   A   m e th o d   t o   e x trac m o b il i ty   d e g ra d a ti o n   a n d   to tal  se ries   re sista n c e   o fu l ly - d e p lete d   S OI   M OSF ET s IEE E   T ra n s.  El e c tro n   De v .   4 9   pp.   82 - 88 2 0 0 2   [7 ]   D.W .   Li n ,   M . L .   Ch e n g ,   S . W. Wa n g ,   C . C. Wu , M . J.  C h e n ,   c o n st a n t - m o b il it y   m e th o d   t o   e n a b le  M OSF ET   se ries - re sista n c e   e x trac ti o n IEE E   El e c t ro n   De v .   L e tt .   2 8 ,   p p .   1 1 3 2 - 1 1 3 4 2 0 0 7   [8 ]   W. P . N.  C h e n ,   P .   S u ,   K . I.   G o t o ,   C. H.  Día z ,   S e ries   re sista n c e   a n d   m o b il it y   e x trac ti o n m e th o d   in   n a n o sc a le   M OSF ET s J .   E lec tro c h e m.  S o c .   1 5 6 ,   p p .   H3 4 - H3 8 2 0 0 9   [9 ]   A.  Ortiz - Co n d e ,   F . J.  G a rc ía  S á n c h e z ,   J.  M u c i,   D.C.   Lu g o   M u ñ o z ,   A.D.  Lato rre   Re y ,   C. - S.   Ho ,   J.J.  Li o u ,   In d irec t   fit ti n g   p r o c e d u re   to   se p a ra te  th e   e ffe c ts  o m o b il it y   d e g ra d a ti o n   a n d   so u rc e - a n d - d ra in   re sista n c e   in   M OSF E T   p a ra m e ter ex trac ti o n M icr o e lec t ro n .   Rel ia b .   4 9 p p .   6 8 9 - 6 9 2 2 0 0 9   [1 0 ]   J.  M u c i,   D.  L u g o   M u ñ o z ,   A.  L a to rre   Re y ,   A.  Ortiz - Co n d e ,   F . J.   Ga rc ía - S á n c h e z ,   C. - S .   Ho ,   J.J.  Li o u ,   n e w   in teg ra ti o n - b a se d   p r o c e d u re   to   se p a ra tely   e x trac se ries   re sista n c e   a n d   m o b i li ty   d e g ra d a ti o n   i n   M OS F ET s S e mic o n d .   S c i .   T e c h n o l .   2 4 ,   p .   1 0 5 0 1 5 2 0 0 9   [1 1 ]   J.  M u c i ,   A.   Lato rre - Re y ,   F . J .   G a rc ía - S á n c h e z ,   D.  L u g o - M u ñ o z ,   A.   Ortiz - Co n d e ,   C .   Ho ,   J.J.   Li o u ,   M . A.  P a v a n e ll o ,   R.   Do ria,  E x trac ti o n   o f   m o b il it y   d e g ra d a ti o n   a n d   s o u rc e - a n d d ra in   re sista n c e   i n   M OSF ET s   J .   In teg r.  C irc u it s a n d   S y st .   5 ,   p p .   1 0 3 - 10 9 ,   2 0 1 0   [1 2 ]   N.  M a o u h o u b ,   K .   Ra is,  Ch a ra c teriz a ti o n   o se ries   re sista n c e   a n d   m o b il it y   d e g ra d a ti o n p a ra m e ter  a n d   o p ti m izin g   c h o ice   o o x i d e   t h ick n e ss   i n   th i n   o x i d e   N - c h a n n e lM O S F E T Active   a n d   P a ss ive   El e c tro n .   C o mp o n .,     p .   7 1 3 1 2 9 2 0 1 1   [1 3 ]   Y. - H.  Ch a n g ,   Y. - J.   Li u ,   A   se lf - c o n siste n t   e x trac ti o n   p r o c e d u re   fo r   so u rc e /d ra i n   re sista n c e   i n   M O S F ET s M icr o e lec tro n .   Relia b .   5 1 ,   p p .   2 0 4 9 - 2 0 5 2 2 0 1 1   [1 4 ]   T.   Ch u ,   R. A.  Ve g a ,   E.   Al p tek i n ,   D.  G u o ,   H.  S h a n g ,   Un d e rsta n d in g   sh o rt  c h a n n e m o b il it y   d e g ra d a t io n   b y   a c c u ra te   e x tern a re sista n c e   d e c o m p o siti o n   a n d   in tr in sic   m o b il it y   e x t ra c ti o n J .   Ap p l.   Ph y s.   1 1 7 ,     0 6 4 5 0 7 2 0 1 5   [1 5 ]   H.  Xia ,   X.  Ji ,   L.   M a ,   Y.  C h e n ,   F .   Ya n ,   T h e   c o m p a riso n   o v a rio u S /D  se ries   re sista n c e sm e t h o d s   fo r   d e e p l y   su b m icro n   M OSF E Ts El e c tro c h e m.  S o c .   T ra n s .   6 0 ,   p p .   9 6 3 - 9 6 8 2 0 1 4   [1 6 ]   J. - C.   G u o ,   Y. - Z.   L o ,   A n e w m e th o d   fo a c c u ra te ex trac ti o n   o so u rc e   re sista n c e   a n d   e ffe c ti v e   m o b il it y   in   n a n o sc a le  m u lt ifi n g e n M OSF ET s I EE T ra n s.  El e c tro n   De v .   6 2 ,   p p .   3 0 0 4 - 3 0 1 1 2 0 1 5   [1 7 ]   A.  S u c re - G o n z á lez ,   F .   Zára te - Rin c ó n ,   A.  Ort iz - Co n d e ,   R.   To rr e s - To rre s,  F . J.  G a rc íaSán c h e z ,   J.  M u c i,   R. S .   M u rp h y - Arte a g a ,   DC  m e th o d   to   e x trac m o b i li ty   d e g ra d a ti o n   a n d   se ries   re sista n c e   o m u lt ifi n g e m icro wa v e   M OSF ET s IEE T r a n s.  E lec tro n   De v .   63 ,   p p .   1 8 2 1 - 1 8 2 6 2 0 1 6   [1 8 ]   P. - H.  S u ,   Y.  L i,   De term in a ti o n   o so u rc e - a n d - d ra in   se ries   re sista n c e   in   1 6 - nm - g a   F in F ET   d e v ice s   IEE T ra n s.  E lec tro n   De v .   6 2 ,   p p .   1 6 6 3 - 1 6 6 7 2 0 1 5 .     [1 9 ]   S .   Ju n ,   H.   Ba e ,   H.  Kim ,   J.  Lee ,   S . . J.   Ch o i,   D . H.  Kim ,   D. M .   Ki m ,   Du a l - sw e e p   c o m b in a t i o n a tr a n sc o n d u c tan c e   tec h n iq u e   fo se p a ra te  e x trac ti o n   o p a ra siti c   re sista n c e s   in   a m o rp h o u t h i n   fil m   tran sisto rs IEE E   El e c tro n   De v .   L e tt .   3 6 ,   p p .   1 4 4 - 1 4 6 2 0 1 5   [2 0 ]   A.  Ce rd e ira,  M .   Estrad a ,   L. F .   M a rsa l,   J.  P a ll a re s,  B.   ig u e z ,   On   t h e   se ries   re sista n c e   in   sta g g e re d   a m o rp h o u t h i n   fil m   tran sisto rs M icr o e lec tro n .   Relia b .   6 3 ,   p p .   3 2 5 - 3 3 5 2 0 1 6   [2 1 ]   A.  Ortiz - Co n d e e a l. ,   re v iew   o DC  e x trac ti o n   m e th o d f o M OSF ET   se rie re sista n c e   a n d   m o b il it y   d e g ra d a ti o n   m o d e p a ra m e ters ,   M icr o e lec tro n .   Rel . ,   v o l.   6 9 ,   p p .   1 - 1 6 ,   F e b .   2 0 1 7 .     [2 2 ]   Ro d o lfo   R o d ri g u e z - Da v il a ,   A d e lmo   Ortiz - Co n d e   ,   S e n i o Ca rlo Av il a - Av e n d a n o   ,   a n d   M a n u e A.  Qu e v e d o - Lo p e z ,   Ne In te g ra ti o n - Ba se d   P r o c e d u re   t o   Ex trac th e   Th re s h o l d   Vo l tag e ,   t h e   M o b il i ty   En h a n c e m e n F a c to r,   a n d   t h e   S e ries   Re sista n c e   o Th in F il m   M OSF E Ts IEE T ra n s.  El e c tro n   De v ,   6 6 ,   p p .   2 9 7 9 - 2 9 8 5 ,   2 0 1 9 .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.