T E L K O M N I K T elec o m m un ica t io n,  Co m pu t ing ,   E lect ro nics   a nd   Co ntr o l   Vo l.   1 9 ,   No .   4 A u g u s t   2 0 2 1 ,   p p .   13 49 ~ 13 56   I SS N:  1 6 9 3 - 6 9 3 0 ,   ac cr ed ited   First Gr ad b y   Kem en r is tek d i k ti,  Dec r ee   No : 2 1 /E/KPT /2 0 1 8   DOI : 1 0 . 1 2 9 2 8 /TE L KOM NI K A. v 1 9 i 4 . 1 8 7 9 0     1349       J o ur na l ho m ep a g e h ttp : //jo u r n a l.u a d . a c. id /in d ex . p h p /TELK OM N I K A   Cha ra cter iza tion  a nd struc tural a n a ly sis  of RF  ma g n etron  sputter ed  st ro nti um sta nna te  thin   film       Yus m a P a la pa   Wij a y a 1 ,   K h a irul Anua M o ha m a d 2 ,   Ab u B a k a Abdu l R a hm a n 3 ,   Af is ha h Alia s 4 M o ha m m a d Sy a hm i N o rdin 5   1 ,2 F a c u lt y   o f   El e c tri c a a n d   El e c tro n ic E n g i n e e rin g ,   Un iv e rsity   Tu n   Hu ss e in   On n ,   Jo h o r ,   M a lay sia   1, 2 M icro e lec tro n ics   a n d   Na n o tec h n o l o g y - S h a m su d d i n   Re se a rc h   Ce n tre,  Un i v e rsity   Tu n   Hu ss e in   O n n ,   Jo h o r,   M a lay sia   3 ,4 F a c u lt y   o f   Ap p li e d   S c ien c e s a n d   Tec h n o lo g y ,   P a g o h   Ca m p u s,  U n iv e rsit y   Tu n   H u ss e in   On n ,   Jo h o r ,   M a lay sia   5 S c h o o o f   Co m p u ter S c ien c e   a n d   El e c tro n ic E n g in e e rin g ,   U n iv e rsi ty   o f   Esse x ,   C o lch e ste r ,   Un i ted   K in g d o m       Art icle  I nfo     AB S T RAC T     A r ticle  his to r y:   R ec eiv ed   J u l 2 8 ,   2 0 2 0   R ev is ed   J an   7 ,   2 0 2 1   Acc ep ted   J an   2 0 ,   2 0 2 1       Th is  p a p e p re se n ts  p h y sic a a n d   m o rp h o lo g y   p r o p e rti e s   o f   stro n ti u m   sta n n a te  ( S rS n O 3 p e ro v s k it e - ty p e   a a   c a n d i d a te  o a n   n - ty p e   m a teria th i n   fil m   fo r   o rg a n ic - i n o r g a n ic  h y b rid   d io d e   h e tero ju n c ti o n   f o o p t o e lec tro n ics   a p p li c a ti o n .   Ty p ica we t - p r o c e ss   o S rS n O 3   d e p o siti o n   p ro d u c e   th ic k   fil m   a n d   h a v in g   1 0 - 8   S /cm   o r d e i n   c o n d u c ti v it y .   T h e   S r S n O 3   t h i n   f il m we re   d e p o sited   o n   ITO  g las su b stra tes   b y   R F   m a g n e tro n   sp u t terin g   u si n g   a   p u rit y   9 9 . 9 %   S rS n O 3   targ e t   with   5 . 0   m T o rr  o g a p re ss u re   a n d   1 0 0   W   o R F   p o we a ro o m   te m p e ra tu re .   Th e   g a s c o m p o siti o n   o f   p u re   a rg o n   ( 7 5 % a n d   re a c ti v e   o x y g e n   g a s   (2 5 % wa u se d   f o 6 0   m in .   XRD   d iffr a c ti o n   p a tt e rn s   re v e a led   th a t   t h e   t h i n   fi lms   a re   o rth o rh o m b ic  c ry sta stru c t u re   with   la tt ice   p a ra m e ter  a = 5 . 7 0 4 0   Ǻ,  b = 8. 0 6   Ǻ   a n d   c = 5 . 7 0 8 0   Ǻ   with   a   str o n g   o ri e n tatio n   i n   th e   ( 0 0 2 )   d irec ti o n .   S EM   ima g e s   sh o we d   th a fi lms   e x h ib it e d   u n if o rm   su rfa c e   m o rp h o l o g y   wit h   a   ro u g h n e ss   a v e ra g e   o R a = 2 . 2 5 8   n m   a n d   t h ick n e ss   o 3 1 1   n m .   T h e   EDX   sp e c tru m   c o n firme d   t h e   p re se n c e   o f   O,  S r,   a n d   S n   e lem e n ts  in   th e   fil m wit h   7 5 . 2 2 % ,   8 . 2 9 % ,   1 6 . 4 9 %   in   a to m ic   n u m b e r,   re sp e c ti v e ly .   Th e   f il m we r e   h a v in g   a   c o n d u c ti v i ty   o 8 . 3 3 10 2   S /cm   wi th   l o w res isti v it y   o 1 2 . 4 10 - 3   - cm.   K ey w o r d s :   Per o v s k ite   R F m ag n etr o n   s p u tter in g   SrSn O 3   Stro n tiu m   Stan n ate   T h in   Fil m   T h is i a n   o p e n   a c c e ss   a rticle   u n d e th e   CC B Y - SA   li c e n se .     C o r r e s p o nd ing   A uth o r :   Yu s m ar   Palap W ijay a   Facu lty   o f   E lectr ical  an d   E lectr o n ic  E n g in ee r in g   Un iv er s ity   T u n   Hu s s ein   On n   8 6 4 0 0 ,   Par it R aja,   B atu   Pah at,   J o h o r ,   Ma lay s ia   E m ail: y u s m ar . wijay a@ g m ail. co m       1.   I NT RO D UCT I O N     I n   r ec en t   y ea r s ,   th e   o r g an ic - in o r g a n ic  p n   ju n ctio n   h as  b ee n   in cr ea s in g   atten tio n   i n   r esear ch   co m m u n ities   o f   p h o to v o ltaics  an d   lig h t - em itti n g   d io d e s .   I n   m an y   d em o n s tr atio n s ,   a   p ar ticu lar   ty p o f   p er o v s k ite  h as  s h o wn   im p r o v em en co m p ar ed   to   cr y s tallin Si  an d   I I I - V   as  p h o to d et ec to r   m ater ial   [ 1 ] Per f o r m an ce   o f   p e r o v s k ite  t h a ab s o r b s   lig h ef f ec tiv ely   i n   t h b r o ad b an d   r an g with   p h o t o - g en e r atio n   y ield   im p r o v em e n an d   h i g h   ch a r g ca r r ier   m o b ilit y ,   co m b in atio n   th a p r o v i d es  p r o m is in g   p o ten tial  f o r   ex p lo itin g   s en s itiv an d   f ast  p h o to d etec t o r s   th at  ar tar g eted   f o r   im ag s en s in g ,   o p tical  co m m u n icatio n ,   en v ir o n m en tal   m o n ito r in g ,   ch e m ical  o r   b io lo g ical  d etec tio n   [2 ] ,   [ 3] .   T h er e   ar s em ico n d u cto r   d ev ices  th at  d etec an   o p tical   s ig n al  s u ch   as  p h o to d io d e,   p h o to co n d u cto r   an d   p h o to - f iel d   ef f ec t   tr an s is to r   ( FET )   [ 4 ] Per o v s k ite  s u ch   as  s tr o n tiu m   s tan n ate  ( SrSn O 3 )   also   r ep o r ted   h av i n g   g o o d   p h o to lu m in escen ce   an d   p h o to ca ta ly s p r o p er ties   [ 5 ] Acc o r d in g   to   its   v alen ce   b an d   an d   c o n d u ctio n   b an d   co n d itio n ,   th e   SrSn O 3   th in   f ilm s   h as  p o s s ib ilit y   to   s p lit   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                    I SS N :   1 6 9 3 - 6 9 3 0   T E L KOM NI KA   T elec o m m u n   C o m p u t E l Co n tr o l Vo l.  1 9 ,   No .   4 Au g u s t   2 0 2 1 :    13 49     13 5 6   1350   wate r   in to   h y d r o g en   a n d   o x y g en   [ 6 ] T h lar g b a n d   g a p   o f   th is   s em ico n d u cto r   ( 4 . 1   e V )   d esira b le  f o r   th o p to elec tr o n ic   d ev ice  at   s h o r wav elen g th   [ 6 ] .   I n   th e   d ev el o p m en o f   o r g an ic - in o r g a n ic  p - n   ju n ctio n   b ased   o n   SrSn O 3 ,   th s y n th esizatio n   o f   SrSn O 3   as  n - ty p p air ed   with   o r g an ic  p - p o ly an ilin ( p - PANI )   b y   Fais al  e a l.   an d   co m b in atio n   o f   o r g an ic   p - ty p r e d u ce d   g r a p h en e   o x id e   ( r GO)   with   SrSn O 3   b y   Ven k atesh   et  a l.   as  a   n an o co m p o s ite  u s ed   to   e n h an c p h o to ca taly tic  ac tiv ity   [ 7 ] ,   [ 8 ]   T h s tan n ate  b ased   p er o v s k it e - ty p m ater ials   h av g en er al  f o r m u la  o f   ASn O 3   b y   g r o u p   alk alin e - ea r th   s tan n ate  f o r   m o lec u le   th at  ar B a,   Sr,   o r   C with   th io n ic  r ad iu s   o f   1 3 5   p m ,   1 1 8   pm   an d   1 0 0   p m ,   r esp ec tiv ely   [ 5 ] Sn O 3   h as  wid ap p licatio n   s u ch   as  n ew  c h em ical  s en s o r ,   s tab le  ca p ac ito r ,   f lat  p an el  d is p lay   an d   h u m id ity   s en s o r   [ 9 ] As   s tated   in   o th er   p ap e r s ,   s tr o n tiu m   s tan n ate  h as  ac h iev e d   ch ar g m o b ilit y   o f   1 8 . 5   cm 2 V - 1 s - 1   b y   T d o p in g   u s in g   p u ls ed   laser   d ep o s itio n   ( PLD)   tech n iq u [ 1 0 ] Stro n tiu m   s ta n n ate  is   p er o v s k ite  ty p m ater ial   wh ich   is   class if ied   as  n - t y p e   s em ico n d u ct o r   d u to   o x y g e n   v a ca n cy   [ 1 1 ] ,   [ 1 2 ] .   Sy n th esis   o f   SrSn O 3   h as  b ee n   r e p o r ted   b y   m an y   r esear c h er s   th at   th d ev elo p m en t   o f   th in   f ilm s   f r o m   p o w d er   u s in g   ch em ical  d ep o s itio n   tech n iq u th r o u g h   h y d r o th er m al,   s o l - g el  an d   s o lid - s tate  r atio   [ 1 3 ] I n   wet - p r o ce s s   tech n iq u e,   th th in   f ilm s   s h o th ick n ess   r an g o f   s ev er al  m icr o m eter s .   As  th ic k   f i lm ,   it  ex h ib its   lo w   co n d u ctiv ity   v alu es  o f   o r d e r   1 0 - 8   S/cm .   Ho wev er ,   th er ar f ew  r esear ch er s   r ep o r ted   o n   th d ep o s itio n   o f   SrSn O 3   u s in g   d r y - p r o ce s s es  s u ch   as  s p u tter in g   d ep o s itio n .   W ak an et  a l .   h av d ep o s ited   s tr o n tiu m   m ater ial  to   m ag n esiu m   o x i d ( Mg O)   s u b s tr ate  b y   an   5 0 - W   R s p u tter in g   tech n iq u e   at  g as p r ess u r o f   8 0   m T o r r   wit h   g as  co m p o s itio n   5 0 o f   p u r ar g o n   an d   5 0 o f   o x y g e n .   T h tar g et  p o s itio n   was  s et  p er p en d icu la r   ( 9 0 o )   to   th s u r f ac s u b s tr ate  [ 1 4 ] Alth o u g h   PLD  tech n iq u h as  b ee n   u s ed   to   d ep o s it  d o p ed   SrSn O 3   th in   f ilm s   o n to   s tr o n tiu m   titan ate  cr y s t al  ( ST O)   s u b s tr ate  [ 1 0 ] ,   p r ep ar atio n   an d   f ab r icatio n   o f   SrSn O 3   th in   f ilm s   h av n o b ee n   r ep o r ted   b y   a   s p u tter in g   d e p o s itio n   o n   g lass   s u b s tr ates.  I n   th i s   p ap er ,   we  r e p o r t   th p r ep a r atio n   an d   d ep o s itio n   o f   tr an s p ar en an d   c o n d u ctiv SrSn O 3   th in   f ilm s   b y   an   R m ag n etr o n   s p u tter in g   o n to   an   I T co ated   g lass   s u b s tr ate   at  r o o m   tem p er at u r e .   T h s tr u ctu r e ,   s u r f ac e   m o r p h o lo g y   an d   elec tr ical   co n d u ctiv ity   wer e   s y s tem atica lly   in v esti g ated   to   r ev ea l its   p o ten tial f o r   o p to ele ctr o n ics ap p licatio n s .       2.   RE S E ARCH   M E T H O D   Fig u re   1   s h o ws  f lo wch ar t   o f   f ab r icatio n   an d   d ep o s itio n   o f   S r Sn O 3   f ilm   o n   I T co ated   g las s   s u b s tr ate   u s in g   an   R m ag n etr o n   s p u tte r in g   tech n iq u e.   T h p r e p ar atio n   o f   s am p le  s tar ts   th p r o ce s s   b y   clea n in g   u s in g   u ltra - b ath ,   th e n   lo ad   it  in to   s p u tter in g   ch am b e r .   I n   t h f o llo wi n g   s tep s ,   th s ettin g   o f   p ar a m eter s   r eq u ir ed   s h o u ld   b ad ju s ted   an d   p r o ce s s   o f   d ep o s itio n   will b ac tiv ated .           Fig u r 1 .   Flo wch ar o f   f a b r ica tio n   an d   d ep o s itio n   o f   SrSn O 3   th in   f ilm       2 . 1 .     Su bs t ra t P re pa ra t io n   I n d iu m   tin   o x id ( I n 2 O 3 :Sn )   k n o wn   as  I T co ated   g lass   was  u s ed   as  s u b s tr ate  with   d i m en s io n   o f   2 2   cm 2 .   T h s u b s tr ates  wer clea n ed   u s in g   ac eto n e,   m eth a n o l an d   d e - i o n ized   wate r   with   s o n icatio n   f o r   1 5   m in   ea ch   [ 1 5 ] .   Af ter   th e   s o n ic atio n   p r o ce s s ,   th e   s u b s tr ate s   w er e   d r ie d   i n   a   o v en   f o r   1 0   m i n   at  tem p er atu r e   o f   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
T E L KOM NI KA   T elec o m m u n   C o m p u t E l Co n tr o l         C h a r a cteriz a tio n   a n d   s tr u ctu r a l a n a lysi s   o R F   ma g n etro n   s p u tter ed ...   ( Yu s ma r   P a la p a   Wij a ya )   1351   70   o C .   T h is   p r o ce s s   is   esen tial   to   en s u r th s u b s tr ate  s u r f ac clea n   f r o m   an y   im p u r ities   th at  co r r elate d   to   its   co n tact  q u ality .     2 . 2 .     Depo s it io n o f   t hin   f ilm       Fig u r e   2   d ep icts   s ch em atic  o f   s p u tter in g   ch am b er   an d   its   co m p o n e n ts .   T h p re - s p u tter in g   tech n iq u e   h as  b ee n   u s ed   to   en s u r th s u b s tr ate s   was  f r ee   f r o m   an y   o x i d lay er s   d u r in g   1 5   m in u tes.  T h er ar two   ty p es   o f   p o wer   s o u r c f o r   s p u tter in g   in   co m m o n ,   n am ely   as  d ir ec cu r r en ( DC )   an d   r ad io   f r eq u e n cy   ( R F).   R p o wer   s o u r ce   o f ten   ass ig n ed   to   ac h ie v a   s m o o th er   g r o win g   r esu lt  o n   th e   s u r f ac e   o f   a   th in   f ilm   [ 1 6 ] .   I n   th is   e x p er im e n t,  d ep o s itio n   co n d itio n   was  s et  u p   u s in g   1 0 0 - W   R p o wer   s o u r ce ,   an   o p er atin g   f r eq u en cy   o f   1 3 6 5   Hz,   ch am b e r   b ase  p r ess u r o f   7 . 7     10 - 6   T o r r   an d   g as  p r ess u r o f   5   m T o r r .   Pu r ar g o n   was  u s ed   as  s p u tter   g as  an d   o x y g e n   as  r ea ctiv g as  b y   c o m p o s itio n   7 5 an d   2 5 %,  r esp ec tiv ely   [ 1 7 ] .   Dis tan ce   b etwe en   tar g et   an d   s u b s tr ate  is   ab o u t   1 2 0   m m   n o n - p er p en d icu la r   an d   d ep o s itio n   tim o f   6 0   m in .   Stro n tiu m   s tan n ate  d is with   p u r ity   9 9 . 9 %,  3 - in c h   in   d iam eter   an d   0 . 1 2 5 - in ch   in   t h ick n ess   ( Plas m ater ials )   is   u s e d   as  s p u tter   tar g et.   Fr o m   two   ca th o d es  av ailab le   in   th s p u tter in g   ch am b er ,   o n l y   o n e   ca th o d e   was c h o s en   to   c o n n ec t w ith   R F p o wer   s o u r ce ,   an d   its   an g le  o f   th e   tar g et  to   th b ase  is   4 5 o   as d ep icted   in   Fig u r e   2 .           Fig u r 2 .   R F m ag n etr o n   s p u tte r in g   p r o ce s s   an d   s tr u ctu r e   o f   t h in   f ilm       Fo r   elec tr ical   co n d u ctiv ity ,   alu m in iu m   ( Al)   was  u s ed   as  a   m etal  co n tact  f o r   th SrSn O3   th in   f ilm s   u s in g   th er m al  ev ap o r atio n   tec h n iq u e.   Al  wir was  p lace d   i n s id th b o tto m   o f   an   ev ap o r atio n   ch am b er   i n   a   tu n g s ten   b o at.   T h b o at  in itially   was h ea ted   u p   an d   in cr ea s t h te m p er atu r b y   in cr ea s in g   t h cu r r en t u n til Al   in s id r ea ch   th m eltin g   p o in at  lar g cu r r e n o f   3 9   with   s m all  v o ltag e.   T h ev ap o r ati o n   tim was  s et  f o r   2 5   m in .     2 . 3 .    M ea s urem ent   a nd   cha r a ct er iza t io n   X - r ay   d if f r ac tio n   ( XR D)   m ea s u r em en t w as d ep lo y e d   to   an al y ze   th s tr u ctu r o f   th m ater i al.   XR i s   th n o n - d estru ctiv tech n iq u an d   u s ed   wid ely   f o r   s tr u ctu r al  an aly s is .   I ca n   b u s ed   to   in v esti g ate  s tr u ctu r al  q u an titi es  s u ch   as  lattice  p ar am eter s   o f   cr y s t als,  s tr ain   s tate,   cr y s tallin o r ien tatio n ,   l ay er   th ick n ess   an d   ch em ical  co m p o s itio n   o f   allo y   [ 1 8 ] Me a n wh ile,   T h e   s u r f a ce   m o r p h o lo g ies  wer o b s er v ed   b y   ato m ic  f o r ce   m icr o s co p ( AFM) ,   an d   th p er p en d icu lar   s u r f ac ar ea   ch ar ac ter is tic  was   in v esti g ated   b y   f ield - em is s io n   s ca n n in g   elec tr o n   m icr o s co p ( FESE M)   [ 1 9 ] .   T h s ca n n in g   e lectr o n s   in ter ac with   ato m s   o n   s u r f ac p r o d u ci n g   s ig n als  o f   s u r f ac to p o g r ap h y .   B esid es,  en er g y   d is p er s iv e   X - r ay   s p ec tr o s co p y   ( E DX)   w as  s et  u p   to   o b tain   m ater ial  co m p o s itio n   [ 2 0 ] L a s t ly th co n tact  a n g le  m ea s u r em en was  u s ed   to   ass ess   wettab ilit y ,   h o r izo n tal,   s m o o th ,   h o m o g e n o u s   an d   m as s iv s o lid   s y s tem .       3.   RE SU L T A ND  D I SCU SS I O   3. 1     T hin   f ilm   cha ra ct er is t i cs   Fig u r 3   s h o ws  th e   SEM   im ag o f   th c r o s s - s ec tio n   o f   SrSn O 3   th in   f ilm .   As  d e p icted   in   Fig u r 3   ( b ) ,   SrSn O 3   th ick n ess   at  o b s er v e d   len g th   im ag e   ar ea   h as  ev e n   d e p th ,   ap p r o ac h in g   3 1 0   n m .   Fo r   6 0   m in u tes  o f   th e   p r o ce s s   d u r atio n ,   it  r esu lts   in   3 1 1 - n m   o f   th ick n ess   o v er   2 0 3 - n m   th ick   o f   I T f ilm   wh ich   m ea s u r ed   b y   SEM   cr o s s - s ec tio n   an d   its   d ep o s itio n   r ate  r ea ch es   + 5 . 1 8   n m   p er   m in .   T h u s ,   th d ep o s itio n   tim af f ec ts   th ato m ic   n u m b er   d ep o s ited   in to   th s u b s tr ate  in   b u lk   ty p e .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                    I SS N :   1 6 9 3 - 6 9 3 0   T E L KOM NI KA   T elec o m m u n   C o m p u t E l Co n tr o l Vo l.  1 9 ,   No .   4 Au g u s t   2 0 2 1 :    13 49     13 5 6   1352     ( a)     ( b )     Fig u r 3 .   T h ese  f ig u r es a r e :   ( a )   d ep o s itio n   o f   SrSn O 3   t h in   f ilm ,   ( b )   cr o s s - s ec tio n   o f   SEM   i m ag f o r   th ick n ess   m ea s u r em en t ( 5 0 0 0 0 x ,   5 k V)   o n   I T O - c o ated   g las s   s u b s tr ate       Fig u r e   4   p r esen ts   th XR p atter n s   o f   SrSn O 3   th in   f ilm   u s in g   C u     r ad iatio n   ( λ   0 . 1 5 4 6   n m ) .   T h e   p atter n s   o f   two   s am p les   in d i ca ted   a   s im iliar   s tr o n g   o r ien t atio n   in   th ( 0 0 2 )   d i r ec tio n .   T h SrSn O 3   is   th o r th o r h o m b ic   p er o v s k ite  cr y s t al  s tr u ctu r e,   an d   its   i n ter p lan a r   s p ac in g   ca n   b ca lc u lated   u s in g   th f o llo win g   f o r m u la:     1 2 =   2 2 + 2 2 + 2 2     ( 1 )           Fig u r 4 .   XR p atter n   o f   an   R F m ag n etr o n   s p u tter ed   SrSn O 3   th in   f ilm s .     T h in s et  s h o ws th SEM - E DX  r esu lt s       wh er d   is   in ter p lan ar   s p ac in g ,   h kl   r ep r esen ts   th p lan o r ien tatio n   an d   abc   r ep r esen ts   th la ttice  len g th .   T h u s ,   th v alu e   o f   d   =   0 . 2 9 4   n m   was  o b t ain ed .   T o   in s p ec t h cr y s tallin ity ,   it  is   n ec ess ar y   to   m ea s u r f u ll - wid th   h alf   m ax im u m   ( FW HM )   o f   th e   d if f r ac tio n   p atter n .   T h FW HM   o f   ( 0 0 2 )   d if f r ac tio n   as  th e   h ig h est  in ten s ity   is   0 . 4 7 2 ,   an d   its   cr y s tallite  s ize  s tr u ctu r s h o wed   d elta  o f   2   1 o T ab le  1   s u m m ar izes  th p ea k s   p o s itio n   an d   cr y s tal  ch ar ac ter is tics   o f   th SrSn O 3   th in   f ilm .       T ab le  1 .   Peak s   p o s itio n   an d   its   cr y s tal  ch ar ac ter is tic   P e a k   N o .     P o s o   [2 ]   F W H M   ( h k l )   C r y s t a l l i t e   S i z e   ( Ǻ   1     3 0 . 3 5 7   0 . 4 7 2   0 0 2     1 7 7   2     3 5 . 2 5   0 . 2 8 9   1 0 2     2 9 7   3     5 2 . 4 1 1   0 . 4 7 2   3 1 1     1 9 1   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
T E L KOM NI KA   T elec o m m u n   C o m p u t E l Co n tr o l         C h a r a cteriz a tio n   a n d   s tr u ctu r a l a n a lysi s   o R F   ma g n etro n   s p u tter ed ...   ( Yu s ma r   P a la p a   Wij a ya )   1353   R esid u al  s tr es s   h as  s h if ted   p ea k s   in   o n e   an d   o th er   d ir ec tio n s   wh ich   ar c o r r elate d   with   b ala n ce   s tr ess   at  g r ain   b o u n d ar ies  an d   s atis f y   co n s tr ain ts   o n   th s tr ain   ten s o r   [ 2 1 ] .   I s h o ws  o r th o r h o m b ic  cr y s tal  s tr u ctu r e   with   lattice  p ar am eter   =   5 . 7 0 4 0   Ǻ,   b   =   8 . 0 6   Ǻ   an d   c   5 . 7 0 8 0   Ǻ  ( a     b     c) .   T h a n g les  b etwe en   th e   lattice    α   β  γ   9 0 o ,   p er p e n d icu lar   ea ch   o th er .   T h v alu o f   lattice  alm o s s im ilar   as  r ep o r ted   b y   Ma r y   C . F.    Alv es  et  a l . ,   wh ich   p r o v i d lat tice  d ata  f o r   te m p er atu r tr ea t m en to   SrSn O 3   th in   f ilm   with   8 . 0 7 2 7 4   Ǻ,   b   5 . 7 1 1 2 2   Ǻ  a n d   5 . 7 1 2 5 1   Ǻ  b ased   o n   R ietv eld   r ef i n em en [ 2 2 ] I is   in d icatin g   th at   th cr y s tal  lattice   p er s p ec tiv led   to   an   in ter c h an g o f   lattice  d ata  v alu e.   C r y s ta llit s ize  ca n   b m ea s u r ed   u s Sch er er s   eq u atio n   in v o lv in g   B r ag g   a n g le  in   th e   s tr u ctu r [ 2 3 ]   T h E DX  s p ec tr al  r ev ea led   th p r esen ce  o f   elem en ts   an d   co m p o s itio n   p er ce n tag with   co n tain s   of   O   ( 3 0 . 9 6 %),   Sr  ( 1 8 . 6 9 %),   Sn   ( 5 0 . 3 5 %)  in   weig h an d   7 5 . 2 2 % ,   8 . 2 9 %,  1 6 . 4 9 in   ato m ic  n u m b er ,   r esp ec tiv ely u s in g   E DX  ap p ar atu s   with   5 - k eV  p o wer .   Ho wev er ,   th is   r esu lt  is   s lig h tly   d if f er en with   its   d atab ase  with   th e   p er ce n tag e   f o r   th e   weig h t   o f   ( 1 8 . 0 7 3 % ) ,   Sr  ( 3 4 . 4 5 % ) Sn   ( 4 6 . 6 7 % an d   its   ato m ic   n u m b er   o f   5 7 . 1 4 %,   3 0 . 1 5 %,   1 2 . 6 9 %,   r esp ec tiv ely .   T h e   s am p les  h a v a   lar g e r   p er ce n tag e   n u m b er   f o r   o x y g e n   ( O)   an d   tin   ( Sn )   co m p ar ed   to   d ata b ase,   wh ich   it  co u l d   b e   ca u s ed   b y   e x p o s u r o f   E DX  b ea m   r ea c h in g   I T lay er   wh ich   co n s is t   two   elem en ts   ab o v e.   Fig u r 5   s h o ws  th r ee - d im e n s io n al  ( 3 D)   s u r f ac m o r p h o lo g i es  o f   th SrSn O 3   th in   f ilm s   d ep o s ited   o n   ITO   co ated   g lass   u s in g   1 0 0 - W   R m ag n etr o n   s p u tter in g .   T h ese  im ag es  in d icate d   th at  t h u n if o r m ity   o f   th e   d ep o s ited   ato m s   was  ac h iev ed .   As  s o lid   m ater ial  s u r f ac e,   it   also   in d icate s   m a s s iv b o m b ar d m en o f   io n   f r o m   tar g et  to   th r o tatin g   s u b s tr ate.     F i g u r e   6   s h o ws   t h r o u g h n e s s   a v e r a g e   ( R a )   a n d   t h e   g r ai n   s iz e   o f   S r S n O 3   t h i n   f i l m s   b as e d   o n   a n   a r e r a n g i n g   f r o m   1 0 0 0   t o   5 0 0 0   n m 2 .   As   s h o w n   i n   F i g u r e   6 ,   l i n ea r   t r e n d s   s h o w e d   b e tw e e n   t h e   s u r f a c e   r o u g h n e s s   a n d   t h e   g r a i n   s i z e .   A t   a r e a   5 0 0 0   n m 2 ,   i t   r e s u l ts   i n   a   R a   =   2 . 2 5 8   n m   a n d   g r a i n   s i z e   1 9 7 . 2   n m ,   w h i c h   i n d i c a t e d   a   u n i f o r m   s u r f a c e .   T h e   v a l u e   o f   R a   m a y   be   a f f e c t e d   b y   t h e   1 0 0 - W   R F   p o w e r   c o n d i t i o n ,   a n d   t h a x i s   o f   t h e   s p u t t e r i n g   t a r g e t   o f   4 5 o   a s   t h i n   f i l m   d e p o s it e d   w i t h   p e r p e n d i c u la r   a x i s   g e n e r a t e s   s m o o t h e r   r o u g h n e s s   ( <   1   n m )   [ 1 4 ] .         ( a)     ( b )         ( c)         ( d )     Fig u r 5 AFM  im ag es o f ( a)   ar ea   1 x 1   µm 2 ,   ( b )   ar ea   5 x 5   µm 2   with   r esp ec tiv SEM   im ag es o f ,     ( c)   1 0 0 . 0 0 0 x   m a g n if icatio n ,   ( d )   5 0 . 0 0 0 x   m ag n if icatio n   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                    I SS N :   1 6 9 3 - 6 9 3 0   T E L KOM NI KA   T elec o m m u n   C o m p u t E l Co n tr o l Vo l.  1 9 ,   No .   4 Au g u s t   2 0 2 1 :    13 49     13 5 6   1354       Fig u r 6 .   R o u g h n ess   a v er a g ( R a an d   g r ain   s ize  o f   SrSn O 3   t h in   f ilm       Sm o o th   r o u g h n ess   o f   th s u r f a ce   ca n   b ac h ie v ed   by   ad ju s t in g   p o wer   lo we r   th an   1 0 0   W ,   as  m en tio n ed   b y   o th e r   r esear ch e r [ 2 4 ] .   I n   c h em ical  s y n th esis   g r o wth   m ec h an is m ,   u n if o r m   a n d   r eg u lar   s h ap in   t h f o r m   o f   n an o r o d   d e v elo p ed   [ 1 3 ] B ased   o n   R m ag n etr o n   s p u tter in g   d ep o s itio n   p r o ce s s ,   W ak an et  a l .   h as  ac h iev ed   s m o o th er   r o u g h n ess   co m p ar e d   to   th is   ex p er im e n b y   lo wer   p o wer   ( 5 0   W ) .   Fig u r 7   s h o ws  th co n tact  an g le   b etwe en   liq u id   a n d   th th i n   f ilm   s u r f ac e.   T h e   m ea s u r em e n o f   c o n tact  a n g le  o f ten   co r r e l ates  with   p r o p er ties   s u ch   as  ad h esio n ,   s u r f a ce   en e r g y   a n d   wettin g   o f   m ater ial.   Sm all  wate r   d r o p let  was  lo ca l ized   to   a v o id   wate r   s u r f ac f latten in g   ca u s ed   b y   g r av itatio n al  f o r ce   [ 2 5 ] T h th in   f ilm s   s h o an g le  v alu = 5 7 . 5 0   o   ( 9 0 o )   th at   m ea n s   th s am p le  h as h ig h   s u r f ac e - en er g y   ( m etal - lik e )   [ 2 6 ] .           Fig u r 7 C o n tact  a n g le  o f   SrSn O 3   f ilm   s u r f ac e       3 . 2 .       E lect rica l c o nd uct iv it y   E lectr ical  co n d u ctiv ity   p lay s   an   ess en tial   r o le  in   th elec tr o n ic  ap p licatio n   o f   s em ico n d u cto r   th i n   f ilm .   T h r esis tiv ity   o f   SrSn O 3   th in   f ilm   was  m ea s u r ed   u s in g   f o u r - p o in p r o b a n d   r esu lted   in   elec tr ical  r esis tiv ity   o f   1 2 . 4 10 - 3   - c m ,   wh ich   eq u iv alen to   th e   co n d u ctiv ity   o f   8 . 3 3 10 2   S /cm .   T h elec tr ical   co n d u ctiv ity   o f   an   R s p u tt er ed   SrSn O3   th in   f ilm   is   th s im ilar   o r d er   o f   m ag n itu d with   r ep o r ted   th e     m etal - d o p ed   SrSn O3   t h in   f il m s   o f   s tib iu m - ,   n e o d y m iu m - ,   an d   tan talu m - d o p ed   SrSn O 3 wh ich   th v alu es  ar e   0 . 1 10 - 5   - cm ,   2 3 10 - 3   - c m ,   21 10 - 3   - cm   an d   3 . 3 3 10 - 3   - cm ,   r esp ec tiv ely   [ 5 ] .   T h u n if o r m   o f   g r ain   s ize  an d   b o u n d ar y   o b s er v ed   in   th th in   f ilm s   r esu lted   in   th m in i m u m   elec tr ical  r esis tiv ity ,   th u s   th s tr u ctu r o f   th f ilm s   af f ec ted   th elec tr ical  p r o p er ties .       4.   CO NCLU SI O N   I n   co n clu s io n ,   th R m ag n etr o n   s p u tter in g   tech n iq u p r o d u ce   th SrSn O 3   th in   f ilm   with   a   th ick n ess   o f   3 1 1   n m   a n d   ev en   th ick n ess   s p r ea d s   all  o v er   I T co ated   g lass   s u r f ac e.   T h XR p atter n s   s h o wed   th s h ar p   cu r v o f   ( 0 0 2 )   r ef lectio n   p ea k   d ep icts   s m all  FW HM   v alu o f   0 . 4 7 o .   I ts   s tr u ctu r was  o r t h o r h o m b ic  b y   f i n d in g   th eir   d if f e r en lattice  v alu es  as  m en tio n ed ,   a= 5 . 7 0 4 0   Ǻ,   b =8 . 0 6   Ǻ,   c= 5 . 7 0 8 0   Ǻ   o r     b     a n d   α   β  =   γ   =   9 0 o ,   p er p en d icu lar   ea c h   o th e r .   B ased   o n   s u r f ac o b s er v atio n ,   it  w as  class if ied   as  u n if o r m   s u r f ac e,   an d   its   r o u g h n ess   (R a )   v al u is   2 . 2 5   n m .   T h R a   c o u ld   ac h iev s m o o th er   v alu b y   lo wer in g   th R p o wer   in   th e   s p u tter in g   p r o ce s s .   I n   th c o n tact  an g le   m ea s u r em en t,  h ig h   s u r f ac e n er g y   was  o b tain ed   o n   th th i n   f ilm   b ec a u s th an g le  is   less   th an   9 0 o ,   wh ich   i n d icate s   SrSn O 3   f ilm   is   m etal - lik ty p an d   ca n   b f u n ctio n e d   with   o r g an ic  m ater ial  in   a   h eter ju n ctio n   t y p s tr u ctu r e .   T h elec tr ical  r esis tiv ity   o f   1 2 . 4 10 - 3   - cm   f o r   th t h in   f i lm   o f   SrSn O 3   th at  o b tain ed   is   co m p ar ab le  to   th at  o f   lu s tr o u s   m etal - d o p ed   SrSn O 3   th in   f ilm s   with   th c o n d u ctiv ity   o f     8 . 3 3 10 2   S/cm .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
T E L KOM NI KA   T elec o m m u n   C o m p u t E l Co n tr o l         C h a r a cteriz a tio n   a n d   s tr u ctu r a l a n a lysi s   o R F   ma g n etro n   s p u tter ed ...   ( Yu s ma r   P a la p a   Wij a ya )   1355   ACK NO WL E DG E M E NT S   T h is   wo r k   is   f in an cially   s u p p o r ted   b y   Min is tr y   o f   Hig h e r   E d u ca tio n   Ma lay s ia  u n d er   Fu n d am en tal   R esear ch   Gr an Sch em ( FR GS/1 /2 0 1 8 /TK 1 0 /UT HM /0 3 /7 )   f u n d   an d   Un iv er s iti  Ma lay s ia  Sab ah   R esear ch   Gr an t Sch em ( SB K0 345 - 2 0 1 7 ) .       RE F E R E NC E   [1 ]   M .   Ah m a d i,   T.   W u ,   a n d   B. Hu ,   re v iew   o n   o r g a n ic i n o r g a n ic  h a li d e   p e ro v s k it e   p h o t o d e tec to rs:  d e v ice   e n g in e e rin g   a n d   fu n d a m e n tal  p h y sic s,”   Ad v .   M a ter . ,   v o l.   2 9 ,   n o .   4 1 ,   S e p .   2 0 1 7 ,   d o i:   1 0 . 1 0 0 2 /a d m a . 2 0 1 6 0 5 2 4 2 .   [2 ]   H.  Wan g   a n d   D.  H.  Kim ,   P e ro v sk it e - b a se d   p h o to d e tec to rs:  m a ter ials  a n d   d e v ice s,”   Ch e m.  S o c .   Rev . ,   v o l .   4 6 ,     p p .   5 2 0 4 - 5 2 3 6 ,   2 0 1 7 . ,   d o i:   1 0 . 1 0 3 9 /C6 CS 0 0 8 9 6 H.   [3 ]   F .   Di  G iac o m o ,   A.  F a k h a ru d d in ,   R.   Jo se ,   a n d   T.   M .   Br o wn ,   P r o g re ss ,   c h a ll e n g e a n d   p e rsp e c ti v e in   flex ib le   p e ro v s k it e   so lar ce ll s,”   R.   S o c .   Ch e m. ,   p p .   1 - 2 6 ,   S e p .   2 0 1 6 ,   d o i 1 0 . 1 0 3 9 /C 6 EE 0 1 1 3 7 C .   [4 ]   Y.  Ya n g ,   H.  T.   Da i,   F e n g   Ya n g ,   a n d   Ya ti n g   Z h a n g ,   All - P e r o v sk it e   P h o t o d e tec to r   with   F a st  Re sp o n se ,   Na n o sc a le   Res .   L e tt . ,   v o l .   1 4 ,   De c .   2 0 1 9 ,   d o i 1 0 . 1 1 8 6 /s1 1 6 7 1 - 0 1 9 - 3 0 8 2 - z.   [5 ]   A.  B.   A.  Ra h m a n ,   M .   S .   S a rjad i,   A.  Alias ,   a n d   M .   A.   Ib ra h im3 ,   F a b rica ti o n   o S tan n a te  P e r o v sk it e   S tru c t u re   a s   Op to e lec tro n ics   M a teria l :   An   Ov e rv iew   F a b rica ti o n   o f   S ta n n a te  P e ro v sk i te Op to e lec tro n ics   M a teria l  An   Ov e rv iew   S tru c tu re   a s,”   J .   P h y s.  Co n f.   S e r. ,   v o l.   1 3 5 8 ,   No v .   2 0 1 9 ,   d o i:   1 0 . 1 0 8 8 /1 7 4 2 - 6 5 9 6 /1 3 5 8 /1 /0 1 2 0 4 3 .   [6 ]   Ch e n   a n d   N.  Um e z a wa ,   S e n siti z a ti o n   o f   P e ro v sk i te  S tr o n ti u m   S ta n n a te S rS n O   3   t o wa rd Visi b le - Li g h t   Ab so r p ti o n   b y   D o p i n g ,   I n t.   J .   Ph o t o e n e rg y ,   p p .   3 - 6 ,   Au g .   2 0 1 4 ,   d o i:   1 0 . 1 1 5 5 / 2 0 1 4 / 6 4 3 5 3 2 .   [7 ]   M .   F a isa l,   F .   A.  Ha rra z ,   A.  A.  Is m a il ,   M .   A.  Alsa iari,   a n d   S .   A.  Al - sa y a ri,   No v e sy n t h e sis  o P o l y a n il in e /S r S n 3   n a n o c o m p o sites   wit h   e n h a n c e d   p h o t o c a taly ti c   a c ti v it y ,   Ce ra m.  I n t. ,   v o l .   4 5 ,   n o .   1 6 ,   p p .   2 0 4 8 4 - 2 0 4 9 2 ,   No v .   2 0 1 9 d o i:   1 0 . 1 0 1 6 /j . c e ra m in t. 2 0 1 9 . 0 7 . 0 2 7 .   [8 ]   G .   V e n k a tes h ,   M .   G e e rth a n a ,   S .   P ra b h u ,   R.   Ra m e sh ,   a n d   K.  M .   P ra b u ,   Op ti k   En h a n c e d   p h o t o c a taly ti c   a c ti v it y   o f   re d u c e d   g ra p h e n e   o x i d e /S rS n 3   n a n o c o m p o site  fo r   a q u e o u o r g a n ic  p o ll u tan d e g ra d a ti o n ,   Op t. - In t.   J .   L ig h t   El e c tro n   Op t . ,   v o l .   2 0 6 ,   n o .   De c e m b e 2 0 1 9 ,   p p .   1 6 4 0 5 5 ,   2 0 2 0 .   [9 ]   E.   M o re ira,  J.  M .   He n ri q u e s,  D.  L.   Az e v e d o ,   E.   W.   S .   Ca e tan o ,   V.  N.  F re ire,  a n d   E.   L .   Alb u q u e rq u e ,   S tru c tu ra ,   o p t o e lec tro n ic  ,   in f ra re d   a n d   Ra m a n   sp e c tra  o o rth o r h o m b ic  S rS n 3   fro m   DFT   c a lcu latio n s,”   J .   S o li d   S ta te  Ch e m. v o l.   1 8 4 ,   n o .   4 ,   p p .   9 2 1 9 2 8 ,   Ap r.   2 0 1 1 ,   d o i:   1 0 . 1 0 1 6 /j . jssc . 2 0 1 1 . 0 2 . 0 0 9 .   [1 0 ]   Q.  Li u ,   J.  Da i,   X.  Z h a n g ,   G .   Zh u ,   Z.   Li u ,   a n d   G .   Din g ,   P e ro v sk it e - ty p e   tran s p a re n a n d   c o n d u c ti v e   o x i d e   fi  lms  :     Sb -   a n d   Nd - d o p e d   S rS n 3 ,   T h i n   S o l id   Fi lms ,   v o l.   5 1 9 ,   n o .   1 8 ,   p p .   6 0 5 9 - 6 0 6 3 ,   Ju l .   2 0 1 1   d o i:   1 0 . 1 0 1 6 /j . tsf. 2 0 1 1 . 0 3 . 0 3 8 .   [1 1 ]   M .   A.  G re e n ,   K.  P ra ss id e s,  P .   Da y ,   a n d   D.  A.  Ne u m a n n ,   S tru c t u r e   o th e   n = 2   a n d   n =   m e m b e o t h e   Ru d d les d e n - P o p p e S rS n On 1 1   n   3 n 1 1 ,   I n t.   J .   In o r g .   M a ter .   2 ,   v o l .   2 ,   p p .   3 5 - 4 1 ,   2 0 0 0 .   [1 2 ]   K.  P .   On g ,   X.   F a n ,   A.  S u b e d i,   M .   B.   S u ll iv a n ,   D.   J.  S i n g h ,   a n d   D.   J.  S i n g h ,   Tran sp a re n t   c o n d u c ti n g   p r o p e rt ies   o f   S rS n O3   a n d   Zn S n O3 ,   AP L   M a ter . v o l.   3 ,   n o .   6 ,   p p .   0 6 2 5 0 5 ,   Ju n .   2 0 1 6 ,   1 0 . 1 0 1 6 /j . tsf . 2 0 1 1 . 0 3 . 0 3 8 .   [1 3 ]   M .   A.  Riza ,   S .   S e p e a i,   N.  A.  Lu d i n ,   M .   A.  M .   Teri d i,   a n d   M .   A.  Ib ra h im,  S y n th e sis  a n d   Ch a ra c teriz z a ti o n   Of  S rS n O3   Us in g   Diffe re n S y n th e sis M e t h o d s,”   M a l a y sia n   J .   A n a l.   S c i. ,   v o l.   2 3 ,   n o .   1 ,   p p .   1 0 0 - 1 0 8 ,   2 0 1 9 ,   d o i:   1 0 . 1 7 5 7 6 /mja s - 2 0 1 9 - 2 3 0 1 - 12.   [1 4 ]   H.  Wak a n a ,   e a l. ,   Ex a m in a ti o n   o d e p o sit io n   c o n d i ti o n f o S rS n O3   in s u latin g   la y e fo r   sin g l e   flu x   q u a n t u m   c ircu it s,”   Ph y s.  C ,   v o l.   4 3 1 ,   p p .   1 4 9 5 1 5 0 1 ,   Oc t.   2 0 0 5 ,   d o i:   1 0 . 1 0 1 6 /j . p h y sc . 2 0 0 5 . 0 1 . 0 7 4 .   [1 5 ]   W.   G a o   a n d   Z.   Li ,   Zn th in   fil m p ro d u c e d   b y   m a g n e tro n   sp u tt e rin g ,   Ce ra m.  In t. ,   v o l.   3 0 ,   n o .   7 ,   p p .   1 1 5 5 - 1 1 5 9 ,   2 0 0 4 ,   d o i:   1 0 . 1 0 1 6 / j. c e ra m in t. 2 0 0 3 . 1 2 . 1 9 7 .   [1 6 ]   M .   P a rk ,   W.   Lee ,   J.  G .   Lee ,   a n d   C.   Lee ,   Co m p a ris o n   o t h e   M e c h a n ica P ro p e rti e o R F -   a n d   DC -   sp u tt e r - d e p o site d   Cr  T h in   F il m s,   M a ter .   S c i.   F o ru m ,   v o l.   5 4 6 ,   p p .   1 6 9 5 - 1 6 9 8 ,   M a y   2 0 0 7   d o i:   1 0 . 4 0 2 8 /www . sc ien ti fic. n e t/ M S F . 5 4 6 - 5 4 9 . 1 6 9 5 .   [1 7 ]   A.  I.   Jo u rn a l,   Y.   Ch e n ,   a n d   Y.   S h e n ,   G ro wth   a n d   d iele c tri c   c h a ra c teriz a ti o n o z i n c   sta n n a te  t h in   fil m d e p o site d   b y   R F   m a g n e tr o n   sp u tt e ri n g ,   I n teg r.   Fer ro e lec tr. ,   v o l.   1 9 2 ,   n o .   1 ,   p p .   80 8 7 ,   2 0 1 9 ,     d o i:   1 0 . 1 0 8 0 /1 0 5 8 4 5 8 7 . 2 0 1 8 . 1 5 2 2 2 1 2 .   [1 8 ]   B.   Alsh e h r i,   De sig n   ,   fa b rica ti o n   a n d   c h a ra c teriz a ti o n   o f   III - n it ri d e s - b a se d   p h o t o d i o d e s :   a p p l ica ti o n   t o   h i g h - s p e e d   d e v ice s ,   HAL   a rc h ive s - o u v e rte s ,   2 0 1 7 .   [1 9 ]   A.  Rit a ,   F .   Alv e s,   A.  De   M e irele s,  a n d   E.   L o n g o ,   Ch e m istry   S rS n O 3   p e ro v sk it e   o b tain e d   b y   th e   m o d i   fi   e d   P e c h in i   m e th o d - I n sig h ts ab o u it s p h o t o c a taly ti c   a c ti v it y ,   J .   P h o to c h e m.  P h o t o b i o l.   A ,   v o l .   3 6 9 ,   p p .   1 8 1 - 1 8 8 ,   2 0 1 9 .   [2 0 ]   A.  Ah m e d ,   M .   N.  S id d iq u e ,   U.   Ala m ,   T.   Ali,   a n d   P .   Tr ip a th i,   Ap p li e d   S u rfa c e   S c ien c e   Im p ro v e d   p h o t o c a taly ti c   a c ti v it y   o f   S r   d o p e d   S n O 2   n a n o p a rti c les  :  A r o le  o f   o x y g e n   v a c a n c y ,   Ap p l.   S u rf.   S c i .   J . ,   v o l .   4 6 3 ,   p p .   9 7 6 - 9 8 5 ,   Au g .   2 0 1 9 .   [2 1 ]   A.  P e rro n ,   O .   P o li ta n o ,   a n d   V.   V ig n a l,   G ra in   siz e   ,   stre ss   a n d   s u rfa c e   ro u g h n e ss ,   S u rf.   In ter fa c e   An a l . ,   v o l.   4 0 ,     n o .   3 ,   p p .   5 1 8 - 5 2 1 ,   M a r.   2 0 0 8 ,   d o i:   1 0 . 1 0 0 2 /sia.2 8 4 9 .   [2 2 ]   A.  Alg h u n a im,  S .   Kir d p o n p a tt a ra ,   a n d   B.   Z.   Ne wb y ,   Tec h n iq u e fo d e term in i n g   c o n tac a n g le  a n d   we tt a b il it y   o f   p o wd e rs,”  P o wd e r T e c h n o l . ,   v o l.   2 8 7 ,   p p .   2 0 1 - 2 1 5 ,   Ja n .   2 0 1 6 ,   d o i:   1 0 . 1 0 1 6 / j. p o wte c . 2 0 1 5 . 1 0 . 0 0 2 .   [2 3 ]   A.  Ism a il ,   G .   B.   Ku m a r,   K.  A.   M o h a m a d ,   M .   S h a h r il   Os m a n ,   F .   P ien   Ch e e ,   Ism a il   S a a d ,   Co rr e latio n   st u d y   o f   stru c tu ra a n d   o p ti c a p r o p e rti e s   o f   Zn O   P TAA  h y b r id   h e tero j u n c ti o n   lay e r   c o rre latio n   st u d y   o str u c tu ra a n d   o p ti c a l   p ro p e r ti e s o Z n O /   P TAA h y b ri d   h e tero j u n c ti o n   la y e r,   J .   Ph y s.  C o n f.   S e r. ,   v o l.   1 3 5 8 ,   2 0 1 9 .   [ 2 4 ]   Y .   Z h a o ,   H .   W a n g ,   Z .   W a n g ,   F a n   Y a n g ,   S p u t t e r i n g   p o w e r   i n d u c e d   p h y s i c a l   p r o p e r t y   v a r i a t i o n   o f   n i c k e l   o x i d e   f i l m s   b y   r a d i o   f r e q u e n c y   m a g n e t r o n   s p u t t e r i n g ,   M a t e r .   R e s . vol .   2 1 ,   n o .   2 ,   p p .   7 - 1 0 ,   2 0 1 8 ,   d o i :   1 0 . 1 5 9 0 / 1 9 8 0 - 5 3 7 3 - mr - 2017 - 0836.   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                    I SS N :   1 6 9 3 - 6 9 3 0   T E L KOM NI KA   T elec o m m u n   C o m p u t E l Co n tr o l Vo l.  1 9 ,   No .   4 Au g u s t   2 0 2 1 :    13 49     13 5 6   1356   [2 5 ]   S .   P .   S a k ti ,   R iza Y.  Aji,   Lay l A m a li y a ,   M a sru ro h ,   Lo w - c o st  c o n tac a n g le  m e a su re m e n sy ste m   f o QCM  se n s o r   lo w - c o st  c o n tac a n g le  m e a su re m e n sy ste m   fo r   QCM  se n s o r,   T EL KO M NIKA  T e lec o m mu n ica ti o n   Co m p u ti n g   El e c tro n ics   a n d   C o n tro l ,   v o l.   1 5 ,   n o .   2 ,   p p .   5 6 0 - 5 6 9 ,   J u n .   2 0 1 7 ,   d o i 1 0 . 1 2 9 2 8 /T EL KO M NIK A.v 1 5 i 2 . 4 9 8 1 .   [2 6 ]   M .   C.   F .   Alv e s,   S .   C.   S o u z a ,   E .   C.   P a ris,   S .   J.  G .   G o m e s,  a n d   L.   R.   M ,   Th e rm a a n a l y sis  a p p li e d   in   t h e   c ry sta ll iza ti o n   stu d y   o S rS n O3 ,   T h e rm .   An a C a lo rim ,   v o l.   9 7 ,   p p .   1 7 9 - 1 8 3 ,   2 0 0 9 .       B I O G RAP H I E S O F   AUTH O RS       Yusm a r   Pa l a p a   Wij a y a   He   g ra d u a ted   with   h is  b a c h e lo r   (S . S i)   i n   P h y sic s   fro m   Un i v e rsity   G a d jah   M a d a ,   Yo g y a k a rta  in   2 0 0 1   a n d   re c e iv e d   h is   m a ste (M . T)  fr o m   El e c tro n ics   a n d   El e c tri c a En g in e e rin g   fro m   U n i v e rsity   In d o n e sia ,   Ja k a rta  a n d   m a ste o sc ien c e   e n g i n e e rin g   (M . S c . E n g fr o m   Un i v e riste  Bre tag n e   Oc c id e n tale ,   F ra n c e   in   2 0 1 1 .   He   j o i n e d   El e c tro n ics   En g i n e e rin g   De p a rtme n o f   P o l y tec h n ic  Ca lt e x   Riau ,   P e k a n b a ru ,   In d o n e sia   sin c e   2 0 0 2   a n d   c u rre n tl y   a P h stu d e n a n d   R e se a rc h   As sista n a M iNT - S RC  a n d   F a c u lt y   El e c tri c a a n d   El e c tro n ics   E n g i n e e rin g   Un i v e rsity   Tu n   H u ss e in   On n   M a lay sia .           K h a irul   Anu a r   Mo h a m a d re c e iv e d   th e   BE n g   i n   El e c tro n ics   fro m   Un iv e rsity   o El e c tro - c o m m u n ica ti o n s,  T o k y o ,   Ja p a n   in   2 0 0 1   a n d   th e   M S c   d e g re e   in   M icro e lec tro n ics   fro m   Un iv e rsity   o Ne wc a stle  u p o n   T y n e ,   UK   in   2 0 0 4 .   He   re c e iv e d   t h e   Do c to o E n g in e e rin g   (Dr.E n g )   fro m   M u r o ra n   I n stit u te  o Tec h n o lo g y ,   Ho k k a id o ,   Ja p a n   i n   2 0 1 1 .   He   j o in e d   Un i v e rsiti   M a lay sia   S a b a g   sin c e   2 0 0 2   a n d   wa p ro m o ted   t o   S e n i o Lec tu re r   p o siti o n   in   2 0 1 1 .   He   a lso   a   m e m b e o IEE a n d   IET   a n d   a   g ra d u a te m e m b e o f   Bo a r d   o En g i n e e M a lay sia   (BE M si n c e   2 0 0 8 .   Cu rre n tl y ,   h e   is  wo r k i n g   a Un iv e rsiti   Tu n   Hu ss e in   On n   M a lay sia   sta rti n g   fro m   2 0 1 7   a n d   a p p o i n ted   a a   p ri n c ip a l   re se a rc h e a M icro e lec tro n ic  a n d   N a n o tec h n o lo g y - S h a m su d d i n   Re se a rc h   Ce n te (M iNT - S RC)  i n   2 0 1 9 .   His  re se a rc h   i n tere sts  li e   in   t h e   a re a   o o rg a n i c   se m ico n d u c to r   th i n   fi lms   a n d   d e v ice s a n d   g re e n   tec h n o lo g y .         Abu   Ba k a r   Abd   Ra h m a n   is  a   Lec tu re in   th e   F a c u lt y   o S c ien c e   a n d   Na tu ra Re so u rc e a th e   Un iv e rsiti   M a lay sia   S a b a h   u n d e In d u strial  P h y sic p r o g ra m m e .   He   h a b e e n   a p p o in te d   a a   fa c u lt y   m e m b e sin c e   2 0 1 5 .   He   c o m p lete d   h is   M P h il   a th e   Un iv e rsi ty   o S o u t h a m p to n   i n   2 0 1 0 .   F o u n d e r g ra d u a te,  h e   c o m p lete d   i a Un iv e rsiti   Ke b a n g sa a n   M a lay s ia  in   2 0 0 0 .   His  b a c k g ro u n d   is  in   El e c tro n ics   En g in e e rin g .   His  re se a rc h   in tere sts  li e   in   th e   a re a   o M icr o e lec tro n ics ,   S e m ico n d u c to r,   M a teria S c ien c e   a n d   S o lar en e rg y .         Afisha h   Al ia s   re c e iv e d   h e r   B.   En g   (Ho n s)   i n   El e c tr o n ics   E n g i n e e rin g   fro m   U n iv e rsit y   o f   El e c tro - c o m m u n ica ti o n s,  T o k y o ,   Ja p a n   i n   2 0 0 1   a n d   M S c   fro m   Un iv e rsity   M a lay sia   S a b a h   (UMS sp e c ializin g   in   P h y sic in   2 0 0 8 .   In   2 0 1 1 ,   sh e   re c e iv e d   h e Do c to ra te   fro m   M u ro ra n   In stit u te   o Tec h n o lo g y ,   Ho k k a id o ,   Ja p a n   sp e c ializin g   in   Tran sp a r e n Co n d u c ti v e   O x id e .   S h e   h a b e e n   a   f u ll - ti m e   lec tu re in   U n iv e rsit y   M a lay sia   S a b a h   (UM S sin c e   2 0 0 6   a n d   is  p r o m o ted   a s a   S e n io Lec tu re in   2 0 1 1 .   S h e   is l e c tu rin g   i n   t h e   a re a   o P h y sic a n d   El e c tr o n ics .   C u rre n tl y ,   sh e   is wo rk i n g   a Un i v e rsiti   T u n   Hu ss e in   On n   M a lay sia   sta rti n g   si n c e   2 0 1 7 .         Mo h a m m a d   S y a h m No r d in He   re c e iv e d   B. S c   (P h y sic wit h   El e c t ro n ics a n d   M . S c   (P h y sic s)   d e g re e fro m   Un i v e rsiti   M a lay sia   S a b a h   i n   2 0 0 5   a n d   2 0 0 8   re sp e c ti v e ly .   He   o b tai n e d   h is   P h D   (Ap p li e d   P h y sic s)  in   2 0 1 8 ,   wh ic h   f o c u sin g   o n   d il u te  n it rid e   h e te ro stru c tu re   d e v ice fo r   th e   o p t o e lec tro n ic  a p p li c a ti o n .   His  d e v e lo p e d   d e v ice   h a b e e n   p a tt e r n e d   a th e   first  re so n a n c e   c a v it y   e n h a n c e d   p h o t o d e tec to r   wit h   i n ter n a g a in .   He   is   p re se n tl y   wo r k in g   a s S e n io r   Re se a rc h   Offic e r   in   t h e   S c h o o o Co m p u ter  S c ie n c e   a n d   El e c tro n ic  En g i n e e rin g   a t h e   Un iv e rsit y   o f   Esse x .   His   re se a rc h   c u rre n tl y   e n g a g e d   ( b u t   n o li m it e d   to i n   th e   field   o f   se m ico n d u c to m a teria ls,   o p t o e lec tro n ic  a n d   b i o m o lec u la d e v ice s,  e lec tro n ic  sy ste m   e n g in e e rin g   a n d   a rti ficia l   in telli g e n c e .       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.