Int ern at i onal  Journ al of Ele ctrical  an d  Co mput er  En gin eeri ng   (IJ E C E)   Vo l.   10 ,  No.   3 June   2020 ,  pp.  2313 ~ 2321   IS S N: 20 88 - 8708 DOI: 10 .11 591/ ijece . v10 i 3 . pp2313 - 23 21          2313       Journ al h om e page http: // ij ece.i aesc or e.c om/i nd ex .ph p/IJ ECE   Accur ate l ea k age cur re n t models  for MOS FET   nanoscal e devi ce s       Ab d ou Rjou b 1 , Mam ou n  A l - Mis ta ri hi 2 , N edal  Al Tar adeh 3   1 Depa rtment  Co m pute Engi n ee r ing,   Jordan   Univ ersity   of   Sci enc e   and  Technol og y   Irbid,   Jordan   2 ,3 Depa rtment   of   Elec tr ical Engi n ee ring ,   Jordan   U nive rsit y   of  Sci e nce   and Technol og y   Irbid,   Jorda n       Art ic le  In f o     ABSTR A CT   Art ic le  history:   Re cei ved   Ma y   31, 201 9   Re vised N ov 25, 2 0 19   Accepte d De 9,   2019     Thi pape unde rli nes  c losed  f orm   of  M OS FE tra nsistor’s  lea kage   cur r ent  m ec hani sm in  t he  sub  100n m par adi gm . The   in co rpora ti on  of  dra i induc ed   bar rie l oweri ng   (DIBL),   Gate   I nduce Drain   L oweri ng  (GID L)  and  bo d y   eff ect  ( m on  the   sub - thre shol le aka g ( I sub )   was  inve stiga t ed  i detail.     The   Band - To - Ba nd  Tunne l ing  ( I B TB T due  to  the   s ourc and  Dr ai PN   rev erse   junc ti on  wer al so  m odel ed  with  a   cl ose  and  ac cur at m odel   using   recta ngul ar  ap proximati on  m ethod  (RJA ).   The   thre t y p es  of  gat l ea k ag e   ( I G were   al so  m odel ed  and  an aly z ed  for  par as it ic   ( I GO ),   inv ers ion  cha nne ( I GC ),   and  ga te   subs tra te   ( I GB ).   In  addi ti on ,   the  le aka g resour ce due  to     the   aggr essive   red uct i on  in   the   oxide   th ic kness  (<5nm)  have   be en  inve stigated .   Si m ula ti on  r esults   using  HS PI CE  exhi b it a   tre m endous   agr e ement   with   the   BS IM4  m odel .   Th dom ina n va lue   o th su b - thre shold   le ak age   was  due   to  the   DIBL  an GID eff ec ts.   Vari ous  rec om m enda ti ons  reg ard ing   m ini m iz ing   the  leaka g cur r ent  at  both   device   le v el   an the  ci r cuit   le ve wer sugge sted  a th e end  o thi p ape r .   Ke yw or d s :   Gate in du ce d d rain  l ow e rin g   Leaka ge  c urre nt m echan ism s   Lo w power  d e vices   Shor t c ha nn el   eff ect   Subth reshold   le akag e  curr ent   Copyright   ©   202 0   Instit ut o f Ad vanc ed   Engi n ee r ing  and  S cienc e   Al l   rights re serv ed .   Corres pond in Aut h or :   Abd ou l R joub ,   Com pu te E ng i neer i ng D e par t m ent ,   Jo r da n Un i ver s it y of  Scie nce  and Tec hnolog y ,   Un i ver sit y C a m pu s,  I rb i d 22110, P.  O. Bo x. 30 30 Jordan .   Em a il abdoul @just. edu . jo       1.   INTROD U CTION   R e c e nt l y ,   n a n o s c a l e   C M O S   d e v i c e s   h a v e   a   t r e m e n d o u s   d e m a n d   f o r   low   p o w e r / h i g h - p e r f o r m a n c e   a p p l i c a t i o n s   [ 1 ] .   T h i s   d e m a n d   w i l l   r e m a i n   i n c r e a s i n g   b e c a u s e   o f   t h e   p r o m i s i n g   e l e c t r o c h e m i c a l   p r o p e r t i e s   o f   S i   s e m i c o n d u c t o r ,   a m o n g   t h o s e   pr o p e r t i e s ,   l o w   p o w e r ,   h i g h - p e r f o r m a n c e   o p e r a t i o n ,   h i g h - s p e e d   s w i t c h i n g ,   a n d   i t s   i m m u ni t y   t o   p hysic al   v a r i a t i o n   [ 2 ] .   M e a n w h i l e ,   v a r i o u s   l i t e r a t u r e s   s t u d i e d   t h e   n a n o s c a l e   C M O S   t r a n s i s t o r ' s   b e h a v i o r a l   a n d   p r o p o s e d   f a s t   m o d e l s   f o r   c i r c u i t   s i m ul a t i o n s   [ 3 ] .   T h e   l e a k a g e   c u r r e n t   i s   t h e   m a i n   u n w a n t e d   r a t e   o f   c u r r e n t   f l o w   t h r o u g h   t h e   t h r e e   m a i n   t e r m i na l s   o f   M O S F E T   t r a n s i s t o r   ( S o u r c e ,   G a t e ,   a n D r a i n ) .   T h i s   c u r r e n t   i s   c a u s e d   b y   t he   S h o r t   C h a n n e l   E f f e c t   ( S C E )   a n d   a f f e c t s   t h e   o v e r a l l   b e h a v i or   o f   t h e   t r a n s i s t o r .     T h e r e   a r e   f i v e   t y p e s   o f   g a t e   l e a k a g e   w h i c h   a r e   t h e   p a r a s i t i c   g a t e   l e a k a g e   f r om   t h e   G a t e   t o   S / D   O v e r l a p   r e g i o n   ( I GO )   a nd   w h i c h   c r e a t e s   t w o   c u r r e n t s   ( I GSO )   a n d   ( I G D O ) ,   t h e   G a t e   t o   t h e   I n v e r t e d   C h a n n e l   L e a k a ge   ( I GC w h i c h   h a v e   t w o   p a r t s   ( I G C S )   a n d   ( I GCD ) ,   a n d   t h e   G a t e   t o   t h e   S u b s t r a t e   L e a k a g e   c u r r e n t   ( I GB [ 4 ] .   T h e   B a n d - to - B a n d   t u n n e l i ng   c u r r e n t   i s   c a u s e d   b y   t h e   h i g h   e l e c t r i c   f i e l d   d u r i n g   t h e   s t a n d b y   n o d e   b e t w e e n   t h e   d r a i n   a n d     t h e   d e p l e t i o n   l a y e r .   T h e   h i g h e r   v a l u e   o f   t h e   d r a i n   v o l t a g e   ( >   d e p l e t i o n   l a y e r   v o l t a g e )   a l l o w s   t h e   e l e c t r o n s   t o   t u n n e l   f r om  t h e   r e v e r s e   P N   j u n c t i o n   b e t w e e n   t h e   d r a i n   a n d   d e p l e t i o n   l a y e r   w i t h   a   d e n s i t y   d e p e n d s   o n   t h e   a p p l i e v o l t a g e s ,   t h e   de p l e t i o n   l a y e r   de p t h ,   d o p i n g   c o n c e n t r a t i o n s ,   a n d   o t h e r   f a c t o r s   t h a t   a r e   d i s c u s s e d   l a t e r .   T h e   h i g h e r   c om p l e x i t y   o f   c a l c u l a t i n g   t h e   i n t e g r a l s   t o   f i nd   t h e   v a l u e   o f   t u n n e l i n g   l e a k a g e   m a k e s   t h e   i m p o r t a n c e   o f   va r i o u s   a p p r o x i m a t i o n s   s u c h   a s   t h e   r e c t a n g u l a r   a p p r o x i m a t i o n   t o   f i nd   t h e   v a l u e s   o f   t h e   e l e c t r i c   f i e l d   a n d   l e a k a g e   c u r r e nt   a t   a ny   p o i n t   o f   t h e   i r r e g u l a r   P N   j u n c t i o n   [ 5 ] .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                          IS S N :   2088 - 8708   In t J  Elec  &  C om En g,   V ol.  10 , No 3 J une  2020    23 13   -   2321   2314     T h e r e   a r e   t w o   t y p e s   o f   B a nd - to - B a n d   T u n n e l i n g   c u r r e n t   ( I B T B T ) ,   o n e   f l o w s   f r o m   t h e   s o u r c e   t o     t h e   s u b s t r a t e   ( I B T B T S )   a n d   t h e   o t h e r   c u r r e n t   f l o w s   f r o m   t h e   dr a i n   t o   t h e   s u b s t r a t e   ( I B T B T D ) .   T h e   s o u r c e s   o f   l e a k a g e   c u r r e n t   i n   t h e   M O S F E T   t r a n s i s t o r   d u e   t o   t h e   n a n o s c a l e   a r e   s h o w n   i n   [ 5 ] .   K a u s h i k   R o y   e t   e t .   a l .   [ 5]   h a d   v a r i o u s   c o n t r i b u t i o n s   i n   t h e   m o d e l i n g   o f   l e a k a g e   c u r r e n t   i n   m i c r o   a n d   n a n o s c a l e   d e v i c e s ,   K .   M .   C a o   [ 6 ]   p r o p o s e d   a   m o d e l   f o r   g a t e   c u r r e n t   ( I G )   i n   B S I M 4   m o de l   w i t h   a   g o o d   a g r e e m e nt   c o m p a r e d   w i t h   t h e   s i m ul a t i o n   m o d e l .   U d i t   M o n g a   a n d   o t h e r s   [7]   p r o p o s e d   a   m o d e l   f o r   s u b t h r e s h o l d   c u r r e n t   i n   s h o r t   c h a n n e l   e f f e c t   a n d   d o u b l e - g a t e   M O S F E T   b y   a s s um i n g   t h a t   t h e   e l e c t r o s t a t i c   f i e l d s   a r e   d om i na t e d   b y   t h e   c o u p l i n g   c a p a c i t a n c e s ,   J .   P .   S u n   [8]   p r o p o s e d   a   m od e l   f o r   g a t e   c u r r e n t   a n d   c a p a c i t a n c e   f o r   C M O S   d e v i c e   i n   t h e   n a n o s c a l e   p a r a d i gm   c o n s i d e r i n g     t h e   f u l l   c o n s i s t e n t   s o l u t i o n   f o r   S c h r o d i n g e r - P a s s i o n   E q u a t i on ,   a   u n i f i e d   a n d   a c c u r a t e   s t u d y   f o r   t h e   g a t e   s t r u c t u r e   t o   m o d e l   i t s   c u r r e n t   a n d   c a p a c i t a n c e .   A.   Ra stog a nd  his   te am   in   [9]   pr o p o s e d   a   m o d e l   f o r   t o t a l   l e a k a g e   a t   S u b - Mi c r o n   p a r a d i gm   w i t h   t h e   i n c l u s i o n   o f   s om e   o f   i t s   s o u r c e s   s u c h   a s   t h e   s u b - t h r e s h o l d   l e a k a g e   a n d   B a n d - To - B a n d   T u n n e l i n g   ( B T B T ) .   H o w e v e r ,   w i t h   t h e   s c a l i n g   d o w n  o f   t h e   d e v i c e   d i m e n s i o n s ,   o t h e r   t y p e s   o f   l e a k a g e   w i l l   b e   d o m i n a n t   a nd   n e e d   t o   b e   m o d e l e d .     I n   t h i s   p a p e r ,   a c c u r a t e   m o d e l s   o f   l e a k a g e   c u r r e n t   f o r   n a n o s c a l e   C M O S   t r a n s i s t o r s   us i n g   s i m p l e   e q u a t i o n s   a r e   p r o p o s e d .   T h e   p r o p o s e d   m o d e l s   a p p l i e d   u s i n g   d i f f e r e n t   S P I C E   p a r a m e t e r s   u n d e r   v a r i o u s   c o n d i t i o n s   a n d   s h o w e d   t h e i r   s u p e r i o r i t y   i n   c om p a r i n g   w i t h   o t h e r   m o d e l s .   T h e   r e s t   o f   t h e   p a p e r   i s   o r g a n i z e d   a s   f o l l o w s :   S e c t i o n   2   p r e s e n t s   t h e   m o d e l i n g   m e c h a n i s m s   f o r   l e a k a g e   c om p o n e n t s .   S e c t i o n   3   p r e s e n t s   t h e   s i m ul a t i o n s   a n d   r e s u l t s .   F i n a l l y ,   s e c t i o n   4   c o n c l u d e s   t h e   p a p e r .       2.   RESEA R CH MET HO D     T h e   m a i n   b a r r i e r   o f   t h e   n a n o s c a l e   t r a n s i s t o r   i s   t h e   l e a k a g e   c u r r e n t ,   l o w e r i n g   t h e   l e n g t h   o f   t h e   c h a n n e l   t o   l e s s   t h a n   9 0   nm   c a u s e s   s e v e r a l   c h a l l e n g e s   s u c h   a s   t h e   h e a t   a n d   t h e   p o w e r   d i s s i p a t i o n .   T h e   p o w e r   d i s s i p a t i o n   i s   c a u s e d   b y   t h e   l e a k a g e   c u r r e n t s .   T h e s e   l e a k a g e s   a r e   S u b - T h r e s h o l d   l e a k a g e   ( I sub ) ,   G a t e   l e a k a g e   ( I G ) ,   a n d   B a n d - t o - B a n d   T u n n e l i n g   ( I B T B T )   r e s p e c t i v e l y .   I n   o r d e r   t o   a n a l y z e   a n d   a d o p t   n e w   m o d e l s   t o   m e a s u r e   t h e s e   l e a k a g e   c u r r e n t s ,   s p e c i a l   t o o l s   w e r e   us e d ,   t h e s e   t o o l s   a r e   t h e   H S P I C E   a n d   t h e   M A T L A B .   T h e   H S P I C E   i s   n e e d e d   t o   m e a s u r e   t h e   l e a k a g e s   u s i n g   d i f f e r e n t   t y p e s   o f   t r a n s i s t o r s ,   w h i l e   t h e   M A T L A B   i s   u s e d   t o   e x t r a c t   t h e   p r o p o s e d   m o d e l s   a n d   t v e r i f y   t h e i r   e f f e c t i v e n e s s   c om p a r e d   w i t h   ot h e r   m o d e l s   s u bm i t t e d   f r om   d i f f e r e n t   r e f e r e n c e s .   T h e   p r o p o s e d   m o d e l s   s e e m e t o   b e   m o r e   a c c u r a t e   t h a n   t h e   p r e v i o u s   m o d e l s   s h o w n   i n   d i f f e r e n t   r e f e r e n c e s .     2 . 1 .     M o d e l i n g   o f   s u b t h r e s h o l d   l e a k a g e     T h e   d o m i n a n t   t y p e   o f   l e a k a ge   c u r r e n t   i n   t h e   n a n o s c a l e   M O S F E T   d e v i c e s   i s   c a u s e d   b y   t h e   S h o r t   C h a n n e l   E f f e c t   ( S C E ) .   T h e   s i m u l a t i o n   r e s u l t   s h o w e d   f o r a   c h a n n e l   l e n g t h   o f   22   n m   a n d   t h e   D r a i n   t o   S o u r c e   a p p l i e d   v o l t a g e   ( V DS )   e q u a l s   t 0 . 8   V  b y   u s i n g   s o u r c e   v o l t a g e   ( V CC )   a t   0 . 2   V  i s   e q u a l   t o   ( 0 , 2 5 × 1 0 - 7 )   A .   T h i s   t y p e   o f   l e a k a g e   i s   c a u s e d   b y   t h e   r e v e r s e   b i a s i ng   v o l t a g e   o f   t h e   t r a n s i s t o r   a t   t h e   s t a n d b y   m o d e .   T h e r e   a r e   f o u r   s i g n i f i c a n t   p a r a m e t e r s   t h a t   a f f e c t   di r e c t l y   i t s   va l u e   a n d   s p e e d ;   t h e s e   p a r a m e t e r s   h a v e   o c c u r r e d   a t   w e a k   i n v e r s i o n   r e g i o n   e f f e c t   w h i c h   i s   t h e   D r a i n   I n d u c e d   B a r r i e r   L o w e r i n g   ( D I B L ) ,   t h e   G a t e   I n d u c e d   D r a i n   L o w e r i n g   ( G I D L ) ,   a n d   t h e   B o d y   E f f e c t   F a c t o r   ( m ) .   S i m u l a t i o n   r e s u l t s   s h o w e d   t h a t   t h e s e   f a c t o r s   a r e   a s s um e d   t o   b e   l e s s   s e n s i t i v e   t h a n   t h e   t e r m i na l   v o l t a g e s   a n d   o t h e r   p a r a m e t e r   v a r i a t i o n s   i t h e   l o n g   c h a n n e l   m o d e l s .   T he   v a r i a t i o n s   o f   t h e s e   e f f e c t i v e   p a r a m e t e r s   a r e   m o de l e d   a n d   a d d e d   i n   t h e   s u b t h r e s h o l d   e q u a t i o n .   T h e   w e a k   i n v e r s i o n   c u r r e n t   w h i c h   i s   t h e   m a i n   p a r t   o f   t h e   s u b t h r e s h o l d   c u r r e n t   t ha t   i n i t i a l i z e s   w h e n   t h e   g a t e   v o l t a g e   i s   l o w e r   t h a n   t h e   t h r e s h o l d   v o l t a g e   ( V th )   i s   a n a l y z e d   t o o .   T h e   l o w e r   v a r i a t i o n   o f   t h e   p o t e n t i a l   a c r o s s   t h e   i n v e r t e d   c ha n n e l   c a u s e s   a   s m a l l   v a r i a t i o n   i n   t h e   E f f e c t i v e   E l e c t r i c   F i e l d .   I n   t h e   w e a k   i n v e r s i o n   r e g i o n ,   m o s t   o f   t h e   c a r r i e r   c o n c e n t r a t i o n   i s   l a r g e ,   s o   t h e   d r a i n   vo l t a g e   d r o p s   a c r o s s   t h e   r e v e r s e - b i a s e d   d r a i n - s u b s t r a t e   P N   ju n c t i o n   a n d   t h e   d r i f t   c om p o n e n t   i s   i g n o r e d .   C a r r i e r s   m o v e   a l o n g   t h e   s u r f a c e   l i k e   t h e   c h a r g e   t r a ns p o r t ,   a n d   t h e   s u b t h r e s h o l d   c o n d u c t i o n s   a r e   l i m i t e d   b y   t h e   d i f f u s i o n   c u r r e n t .   T h e   w e a k   i n v e r s i o n   c u r r e n t   e q u a t i o n   i s   e x p r e s s e d   i n   [ 1 0 ] .   F i g u r e   1   s h o w s   t h e   m a i M O S F E T   t r a n s i s t o r   t e r m s   ( S o u r c e ,   G a t e ,   a n D r a i n )   a n d   t h e   l o c a t i o n s   o f   e a c h   l e a k a g e   c u r r e n t s   s o u r c e s .   T h e   d r a i n   c u r r e n t   f o r   t h e   h i g h e r   d r a i n   v o l t a g e   i s   g i v e n   b y   t h e   f o l l o w i n g   f o r m u l a :      (  ) = { 0 .  (   ) × [ 1  (  / ) ]   (1)     w h e r e :   γ   i s   b o d y   e f f e c t ,   v T   i s   t h e   t h e r m a l   v o l t a g e   a n d   i t  i s   e qu a l   t o   k T / q a n d  t h e   d r a i n   c u r r e n t   w i t h  t h e   l o w e r   d r a i n   v o l t a g e   i s   g i v e n   b y   t h e   e q u a t i o n :      (  ) = { 0 .  (   ) × [ 1  (  / ) ]     (2)     b u t   t h e   h i g h e s t   d r a i n   v o l t a g e   i s   e q u a l   t o   i t s   l o w e s t   v a l u e   p l u s   t h e   d i f f e r e n c e   i n   b e t w e e n .   D i v i d i n g   e q u a t i o n   4   b y   6   a n d   s u b s t i t ut i ng   t h e   v a l u e   o f   t h e   d r a i n   v o l t a ge   w i t h   r e s p e c t   t o   t h e   l o w e s t   v a l u e   w i l l   g i v e   t he   f o l l o w i n g   f o r m u l a :   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In t J  Elec  &  C om En g     IS S N: 20 88 - 8708       Accur ate leak age c ur re nt mo de ls f or  M O SFE na no sc ale  de vi ces  ( Abdo ul  Rjoub )   2315    (  )  (  ) = { 0 . (   ) 0 . (  ) ×   ( 1  (  +  / ) 1  (  / ) )       (3)           Figure 1.   Lea ka ge  c urren sour ces in a  transi stor         S i m pl i f y i n g   t h e   e q u a t i o n   a b o v e   t h e n   t a k i n g   t h e   l o g   f o r   b o t h   s i d e s ,   t h e n   d o i n g   s om e   m a t h e m a t i c s   w e   w i l l   g e t   t h e   Δ V ds ,   r e f e r e n c e   [ 1 1 ]   h a s   m o r e   d e t a i l s   a n d   e x p l a n a t i o n s   r e g a r d i n g   t h e   e x t r a c t i o n   a n d   d e r i v a t i o n   o f   t h e   a b o v e   e q u a t i o n s .   T h e   f i n a l   e x p r e s s i o n   f o r   t h e   D I B L   e q u a t i o n   c a n   b e   d e t e r m i ne d   b y   t h e   e q u a t i o n   b e l o w :     = {           ( 1 + ( 2  ) 1 )  2 [ [ (  ) (  ) ] ] }               (4)     w h e r e :   V d s H V d s L   i s   t h e   h i g h e r   a n d   t h e   l o w e r   d r a i n   v o l t a g e .     i s   t h e   w i d t h   o f   t h e   d e p l e t i o n   l a y e r ,     j u n c t i o n   d e p t h   f o r   t h e   d r a i n   a n d   s o u r c e .   t ox   i s   t h e   o x i d e   t h i c k n e s s .   I t   c a n   b e   o b s e r v e d   f r o m   e q u a t i o n   4   a b o v e   t h a t   m o s t   o f   t h e   s i g n i f i c a n t   n a n o s c a l e   p a r a m e t e r s   t h a t   a f f e c t   D I B L   i s   c o n s i d e r e d   w i t h   d i r e c t   r e l a t i o n s h i p   a n d   s i m pl e   e q u a t i o n s .   T h e   G I D L   i s   a n o t h e r   f a c t o r   t h a t   a f f e c t s   t h e   s ub t h r e s h o l d   c u r r e n t   b e c a u s e   o f   t h e   h i g h e r   p ot e n t i a l   a c r o s s   t h e   o v e r l a p p i n g   r e g i o n   o f   t h e   g a t e   a n d   d r a i n .   A   s i g n i f i c a n t   a m ou n t   o f   c u r r e n t   a n d   d e c a y i n g   d e l a y   i s   a d d i n g   t o   t h e   s u b t h r e s h o l d   c u r r e n t   b e c a u s e   o f   G I D L .   T h i s   a m o u n t   o f   l e a k a g e   i s   c a u s e d   b y   t h e   r e d u c e d   t hi c k n e s s   o f   t h e   g a t e   i n s u l a t o r   a n d   t h e   h i g h e r   e l e c t r i c   f i e l d   t h r o u g h   t h e   d e v i c e .   A s   a   r e s u l t ,   t h e   p a r a s i t i c   a n d   t h e   o x i d e   c a p a c i t a n c e   a l l o w   t h e   c u r r e n t   t o   t u n n e l   f r o m   t h e   g a t e   t o   t h e   c h a n n e l   a nd   d r a i n .   T h i s   c u r r e n t   d e n s i t y   c a n   b e   d e s c r i b e d   a s   s h o w n   i n   [ 1 2 ]   w h e r e   m o r e   a n a l y s i s   a n d   d e s c r i p t i o n s   o f   t h e   m o d e l ' s   e x t r a c t i o n   a n d   e x p l a i ni n g     t h e  p a r a m e t e r  e q u a t i o n s  a r e  f o u n d  t h e r e .   A f t e r  a d d i n g  t h e s e  f a c t o r s  t o  t h e  t ot a l   s u b t h r e s h o l d   l e a k a g e ,  t h e  l e a k a g e   c u r r e n t   v a l u e s   c a n   b e   f o r m u l a t e d   a s   t h e   f o l l o w i n g :      =     {  4 . (  ) 2 ×  (  ϒ   ) × ( 1  (   )  (   ) ) }     (5)     w h e r e   φ R   =   ( φ B   -   Δ φ B )   i s   t h e   r e a l   b a r r i e r   h e i g h t ,   ϒ   i s   t h e   l i n e a r i z a t i o n   f a c t or   f o r   t h e   b o d y   e f f e c t ,   Θ   i s   t h e   G I D L   t e r m ,   Ξ   i s   t h e   D I B L   t e r m .     2.2. M od el ing   of t he  ga te to  i nv er ted  c hann el  leakage   L e a k a g e   c u r r e n t ,   i n   g e n e r a l ,   f l o w s   f r o m   t h e   g a t e   t o   t h e   c h a n n e l   t h r o u g h   t h e   f o r b i d d e n   e n e r g y   g a p   a t     t h e   S iO2   l a y e r   w h e n   t h e   p o t e n t i a l   o f   t h e   o x i d e   i s   l o w e r   t h a n   t h e   b a r r i e r   h e i g h t   ( φ ox ) .   T h e   c a l c u l a t i o n   o f   t h e   g a t e   l e a k a g e   i s   s t a r t e d   b y   a s s um i n g   t h a t   t h e   g a t e   v o l t a g e   i s   e q u a l   t o   z e r o   a n d   b a s e d   o n   t h e   a n a l y t i c a l   m o d e l   p r e s e n t e i n   [ 1 0 ] .   T h e   G a t e   t o   t h e   i n v e r t e d   c h a n n e l   ( I GC )   m o d e l i n g   c o n t a i n s   t w o   t y p e s   o f   e l e c t r o n s   t u n n e l i n g   m e c ha n i s m s   F o w l e r N o r d h e i m   ( F N )   t u n n e l i n g   a n d   d i r e c t   t u n n e l i n g .   T h e   c u r r e n t   d e n s i t y   d e s c r i b e d   i n   e q u a t i o n   ( 6 )   c a n   b e   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                          IS S N :   2088 - 8708   In t J  Elec  &  C om En g,   V ol.  10 , No 3 J une  2020    23 13   -   2321   2316   a p p r o x i m a t e d   u s i n g   t h e   c u r r e n t   d e n s i t y   d i r e c t i o n   a n d   c o n t i n u i t y   e q u a t i o n s   i n   [ 6 ]   t o   h a v e   a   s i m p l e   d e n s i t y   e q u a t i o n   w i t h   a   h i g h   a c c u r a c y   w h e n   t h e   p o s i t i o n   o f   t u n n e l i n g   x   a n d   t h e   a p p l i e d   v o l t a g e   i s   l a r g e r   t h a n   t h e   l e n g t h   L   a s   f o l l o w :     { 0  2  [ 1  ] 0  2  [ 1  (  ) ] 0  ( 1 ) }   (6)     w h e r e   G * 1   i s   m o d e l e d   f r o m   t h e   c u r r e n t   d e n s i t y   e q u a t i o n   w i t h     t o   b e   w i t h   f i t t i n g   p a r a m e t e r ,     i s   t h e   v o l t a g e   a t   a n y   p o i n t   o f   t h e   c h a n n e l   l e n g t h ,   w h i c h   i s   d e s c r i b e d   a s   i n   [ 8 ] .   The  final  m od el  f or the  gat e to an in ver t ed  c hannel is  de scribe as:     {     1  | = 0  = 0   ( [ ( 1 ) (  ( 1 ) ) ] + (  ( 1 ) 1 ) ( 1 ) 2 ) }     (7)     w h e r e     i s  a p p r o x i m a t e d  a s   i n  [ 1 2 ] .  I t   i s  o b s e r v e d  t h a t   t h e  g a t e  t o   t h e  i n v e r s i o n  c h a n n e l  c u r r e n t  i s  a f f e c t e d   b y   t h e   o x i d e   t h i c k n e s s   a n d   g a t e   v o l t a g e s ,   w i dt h ,   e l e c t r i c   f i e l d ,   a n d   l e n g t h ,   f o r   m o r e   d e t a i l s   a n d   a n a l y s i s   r e g a r d i n g   t h e   m a t h e m a t i c a l   e q u a t i o n s   a nd   p a r a m e t e r s ;   t h e y   a r e   e x p l a i ne d   i n   [ 1 3 ] .     2.3. M od el ing   of gat e  to s ou r ce and dr ain  overl appi ng l ea kage     T h i s   t y p e   o f   l e a k a g e   o c c u r s   d u e   t o   t h e   c o u p l i ng   c a p a c i t a n c e   a t   t h e   o v e r l a p p i n g   r e g i o n  b e t w e e n   t h e   g a t e   a n d   t h e   d r a i n   or   s o u r c e s .   I t s   v a l u e   i s   s i g n i f i c a n t   a t   n a n o s c a l e   t e c h n o l o g y   w i t h   t h e   s h o r t   c h a n n e l   e f f e c t   a n d   t h i o x i d e   i n s u l a t o r .   I n   2 0 1 1   a   m od e l   b a s e d   o n   t r a p   a s s i s t e d   t u n n e l i n g   m o d e l   h a s   b e e n   p r o p o s e d   b y   [ 1 0 ] .   A s   i t   i s   e x p l a i n e d   i n   [ 1 4 ] ,   t h e   f l o w i n g   o f   e l e c t r o n s   f r o m   t h e   s i l i c o n   t o   t h e   o x i d e   c a us e s   a n   i m a ge   c h a r g e   a t   t h e   i nt e r f a c e   b e t w e e n   t h e   S i   a n d   S i O 2   o n   t h e   o x i d e   r e g i o n ,   t h i s   c a u s e   a l s o   a   r e m a r k a b l e   r e d u c t i o n   a t   t h e   O x i d e   E l e c t r o s t a t i c   P o t e n t i a l   ( O E P )   a n d   c a u s e s   a n   i n c r e a s i n g   i n   t h e   g a t e   c u r r e n t   b y   t h e   v a l u e   o f   ( Δ Φ ox ) .   A c c o r d i n g   t   t h e   c a n c e l l a t i o n   o f   n e g a t i v e   a n d   p o s i t i v e   t r a p   c h a r g e   a t   t h e   e d g e   o f   t h e   ov e r l a p p i n g   r e g i o n   n e a r   t h e   g a t e   s i d e ,     t h e   t e r m   o f   t h e   f l a t   b a n d   v o l t a g e   w i l l   c a n c e l   e a c h   o t h e r ,   m o r e   d e t a i l s   r e g a r d i n g   t h i s   f l a t   b a n d   v o l t a g e   e q u a t i o n   o f   t h e  e l e c t r i c  fi e l d  f o r  t h e  o v e r l a p p i n g  r e g i o n  i s   g i v e n  b y  [ 1 1 ,  1 2 ]  T h e   t o t a l   l e a k a g e  o v e r l a p p i n g  l e a k a g e  wi l l  b e  a s   i n   t h e   e q u a t i o n   ( 8 )   [ 1 1 ,   1 2 ,   1 5 ] .      / 0 = {                   ( /  ) 2 ×  (             (         1 ( 1 /  [ 3 ( 2 / 2 +  / ) 4   ] ) )          )             }                     (8)       2.4 . Th gate  t su bst r ate le akag e   curren t  mo d el ing     T h i s   t y p e   o f   c u r r e n t   t u n n e l s   f r om   t h e   g a t e   t h r o u g h   t h e   o x i d e   i n s u l a t o r   t o   p a s s   t h e   i n v e r s i on   l a y e r   t h e l e a d s   i n t o   t h e   de p l e t i o n   l a y e r .   T h e   v a l u e s   o f   I GB   a r e   v e r y   l o w   i n   c om p a r i s o n   w i t h   t h e   o t h e r   t y p e s   o f   g a t e   l e a k a g e   e s p e c i a l l y   f o r   h i g h e r   d o p i n g   c o n c e n t r a t i o n   a n d   r e v e r s e   b i a s i n g   at   n a n o s c a l e   t e c h n o l o g y .   T h e   v a l u e   o f   I GB   b e c om e s   s i g n i f i c a nt   i n   t h e   n e xt   g e n e r a t i o n   t e c h n o l o g i e s   w h e n   t h e   t r a n s i s t o r   d i m e n s i o n s   a r e   r e d u c e d   t o   b e   l o w e r   t h a n   5   nm .   T he   m e t h o d   f o r   c a l c ul a t i n g   t h e   b a s e   c u r r e n t   c a n   b e   c a l c u l a t e d   a s   t h e   s a m e   m e t h o d   o f   c a l c u l a t i n g     t h e   p r e v i o u s   t y p e s   o f   g a t e   l e a k a g e .     2.4.1.  M od el in g of band  t b an d  t u nneli ng     T h i s   t y p e   o f   l e a k a g e   o c c u r s   a t   r e v e r s e   b i a s i n g   w i t h   a   h i g h   e l e c t r i c   f i e l d ,   t h e s e   a l l o w   a   r e m a r k a b l e   a m o u n t   o f   t u n n e l i n g   c u r r e n t   f l o w s   t h r o u g h   t h e   r e v e r s e   p - n   j u n c t i o n   d u e   t o   t h e   m o t i o n   o f   e l e c t r o n s   f r o m     t h e   v a l e n c e   o f   t h e   j u n c t i o n   t o   t h e   c o n d u c t i o n   r e g i o n .   B T B T   c u r r e n t   i nc l u d e s   t h e   p h o n o n s   d i s t r i b u t i o n   o f     t h e   e l e c t r o n s ,   a n d   i t   o c c u r s   w h e n   t h e   b a n d g a p   v o l t a g e   i s   l e s s   t h a n   t h e   v o l t a ge   d r o p   a c r o s s   t h e   p   j u n c t i o n .   M a n y   w o r k s   o f   l i t e r a t u r e   t r e a t  t h e   p r o b l e m   o f   e x p r e s s i n g   t h i s  t y p e   o f   l e a k a g e   s t a r t i n g   f r o m   c a l c u l a t i n g   t h e   I B T B T   c u r r e nt   d e n s i t y   [ 9 ,   1 0 ] ,   m o r e   d e t a i l s   r e g a r d i n g   t h e   B T B T   c u r r e n t   c o u l d   b e   f o u n d   i n   [ 1 1 ,   1 2 ] .   W h e n  t h e   b i a s e d   v o l t a g e   a t   o x s G S VV * 1 g c d 1 o x o x s G P G t V g c d P V 1 () Vx Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In t J  Elec  &  C om En g     IS S N: 20 88 - 8708       Accur ate leak age c ur re nt mo de ls f or  M O SFE na no sc ale  de vi ces  ( Abdo ul  Rjoub )   2317   t h e   s o u r c e   a n d   d r a i n   i s   l a r g e r   t h a n   t h e   s u b s t r a t e   v o l t a g e ,   a n   a m ou n t   o f   c u r r e n t   w i l l   f l o w   t h r o u g h     t h e   d r a i n / s o u r c e - s u b s t r a t e   j u n c t i o n .   T h e   s u m   o f   t h e s e   t w o   j u n c t i o n s   f l o w i n g   c u r r e n t   r e p r e s e n t s   t h e   t o t al   M O S F E T   B T B T   l e a k a g e   c u r r e n t   i s   s h o w n   i n   t h e   f o l l o w i n g   f o r m u l a   [ 1 6 ] .   T h e   t o t a l   B T B T   l e a k a g e   c u r r e n t   c a n   b e   d e s c r i b e d   u s i n g   t h e   r e c t a n g u l a r   j u n c t i o n   a p p r o x i m a t i o n   h a v i n g   t h e   f o l l o w i n g   e q u a t i o n :      = {  +   = [  ( , ) 2 1  |  ] + [  ( , ) 2 1  |   ] }   (9)     w h e r e :   ( x j ,   y j )   a r e   t h e   s i d e   a n d   b o t t om   j u n c t i o n   p o s i t i o n s ,   w h i c h   a r e   i n   f a c t   p e r p e n d i c u l a r   t o   e a c h   ot h e r .   S o l v i n g   t h e s e   e q u a t i o n s ,   t h e   t o t a l   B T B T   l e a k a g e   c u r r e n t   b e c om e s   c o n s i s t i n g   o f   t h e   b o t t om - b o t t om   a n d   s i d e   c u r r e n t   de n s i t y   s i d e ,   w h i c h   d e f i n e d   a s   s h o w n   i n   [ 1 2 ,   1 3 ,   1 6 ,   1 7 ] .   A l l   t h e s e   f u n c t i o n s   a r e   s o l v e d   u s i n g   F i g u r e   1   w i t h   t r i v i a l   p r o c e d u r e   r e p o r t e d   i n   [ 1 3 ] .   W h e r e   N C   a n d   N V   a r e   t h e   e f f e c t i v e   d e n s i t i e s   f o r   t h e   s t a t e s   o f   c o n d u c t i o n   a n d   v a l e n c e  b a n d s ,     i s  t h e   i n v e r s e   o f  t h e  F e r m i - D e r e k  i n t e g r a l  w h i c h  i s  s o l v e d  us i n g  t h e   a p p r o x i m a t i o n s  p r o p o s e i n   [ 1 0 ,   1 2 ,   1 8 ] .       3.   SIMULATI O NS   A ND R ES ULTS   I n   t h e   s i m ul a t i o n   p a r t ,   t h e   a pp l i e d   v o l t a g e s   a r e   c h o s e n   t o   s a t i s f y   t h e   c o n d i t i o n   a t   t h e   s t a nd b y   m o d e   o f   M O S F E T   t r a ns i s t o r ,   t h e   c h a n n e l   l e n g t h   i s   c h o s e n   t o   b e   2 2   n m ,   t h e   o x i d e   t h i c k n e s s   i s   1 . 6 × 1 0 - 9   m ,   a n d     t h e   t h r e s h o l d   v o l t a g e   i s   e q u a l   t o   0 . 3 6 9 2   V.   T h e   a n a l y t i c a l   r e s u l t s   a r e   c o m p a r e d   t o   t h e   s i m ul a t i o n   r e s u l t   f o r     t h e   B S I M 4   m o d e l   w i t h   t h e   s a m e   s i m u l a t i o n   e n v i r o n m e n t .   T h e   e r r o r   i s   c a l c u l a t e d   u s i n g   t h e   A b s o l u t e   E r r o r   M e t h o d   ( A E M ) .     3.1.    Subthresh old   le ak age c urre nt   Comp ariso ns and  simul ati on resul ts     T h e   s i m ul a t i o ns   i n   t h i s   p a p e r   a r e   a d j u s t e d   t o   v e r i f y   t h e   a c c u r a c y   a n d   s i m p l i c i t y   o f   t he   p r o p o s e d   m o d e l s .   T h e   S P I C E   t o o l s   a r e   u s e d   t o   s i m ul a t e   t h e   p r o p o s e d   m o d e l s   u s i n P T M   M O S F E T   2 2   nm   t e c h n o l o g y .     T h e   p r o p o s e d   m o d e l s   a r e   c om p a r e d   w i t t h e   s i m ul a t i on   r e s u l t s   o f   o t h e r   m o d e l s   us i n g   t h e   s a m d e v i c e   s p e c i f i c a t i o n .   T h e   s u b t h r e s h o l d   l e a k a g e   c u r r e n t   ( I s u b )   m o d e l   i s   c om p a r e d   w i t h   t h e   H S P I C E   m o d e l   f o r   M O S F E T   w i t h   a   c h a n n e l   l e n g t h   e q u a l   t o   2 2   nm .   T h e   p r o p o s e d   e q u a t i o n s   f o r   l e a k a g e   c u r r e n t s   a r e   a l s o   a p p l i e d   f o r   hi g h e r   s i z e s   e . g .   ( 3 2   nm   a n d   4 5   nm )   a n d   l o w e r   s i z e   ( 1 6   nm )   t o   s h o w   t h e i r   h i gh e r   a c c u r a c y   f o r   h i g h e r   s c a l e   d u e   t   t h e   l o w e r   S C E .   A l s o ,   t h e   t h r e s h o l d   v o l t a g e   f o r   N - M O S F E T   i s   0 . 3 6 9 2   V   a n d   0 . 2 5 3 9 9   V   f o r   t h e   P - M O S F E T   t y p e .  T h e   a p p l i e d  d r a i n  v o l t a ge  i s  0 . 8   V  a n d   t h e  w i d t h  o f   t h e  P - M O S F E T  ga t e  i s   t r i p l e   t h e   w i d t h  o f  N - M O S F E T   b e c a u s e   t h e   m ob i l i t y   o f   N - M O S F E T   i s   t r i p l e   t h a n   t h e   m o b i l i t y   v a l u e   o f   P - M O S F E T .   T h e   p r o p o s e d   m o de l s   f o r   t h e   g a t e   c u r r e n t   ( I g )   a r e   a l s o   s i m u l a t e d   a n d   c o m p a r e d   w i t h   t h e   r e c e nt l y   p r o p o s e d   m o d e l s   f o r   t h e   s a m e   s p e c i f i c a t i o n ,   t h e n   a l l   o f   t h e m   a r e   c om p a r e d   w i t h   t h e   H S P I C E   [ 1 9 ] .   T h e   m o d e l s   o f   B a n d - to - B a n d   l e a k a g e   c u r r e n t   ( I B T B T )   a r e   a l s o   s i m u l a t e d   i n   t h i s   p a p e r   a n d   c om p a r e d   w i t h   t h e   r e f e r e n c e   m o d e l   u s i ng   H S P I C E .     Figure  2   sho ws  the  relat ion   betwee t he  ju nction  de pth   a nd   D I BL  var ia ti on  com par ed  to    the  sim ulati on   res ults  f or  BSIM4   re port ed  i [13]  w it dif fer e nt  values   of  de pleti on  la ye dep t h.    The  i ncr easi ng  de pleti on  la ye dep t h,   of  c ourse,   ca us es   an   increasin of  DI BL   val ue  be cause  of  inc rea ses  in   su bst rate  dopi ng  c on ce ntrati on  w hic in fl uen ce barrier   hei gh be neat the  channel   su rf ace  at   th dr ai n   j unct i on  side The  m axi m u m   value  of   DI B wh e th de pleti on   la ye de pth   e qu al   to  1.5 nm   is  7. 81  n a nd  it   is  equ al   to  27.5   nA  in  th case  of   4.5  nm   dep le ti on   la ye widt h.   Fi nally wh e th propose m od el   i s   com par ed  with   diff ere nt  publ ish ed  m od el li ke  in  [5 9,   10]   as  fu nctio of   c hannel  le ng t h,   the  pro po s e m od el   is  faster  and   cl os er  on to  the  sim ula te one  re port ed  in  [ 13]   with  lo west  ave ra ge  er ror  as  s hown   i Figure  3.  Acc ordi ng   to  t his  fi gur an at   cha nn el   le ngth 22  nm the  BSIM4  m od el   of  D I BL  current  is  e qu al   to   8.05 nA  w hile i t i s 7 . 81 nA  for  the  prop os e d m od el .   A c c o r d i n g   t o   F i g u r e   4 ,   t h e     D I B L   a n d   G I D L   c o m p o n e n t   d u e   t o   t h e   S u b t h r e s h o l d   c u r r e n t   i s   l ow   s e n s i t i vi t y ,   w h i c h   i s   u n s u i t a b l e   f o r   S C E   i n   t h e   n a n o s c a l e   d e v i c e s .   T he   p r o p o s e d   m o d e l   i n   [ 2 0 ]   us e s   a a p p r o x i m a t i o n   t h a t   d e c r e a s e s   t h e   e f f e c t   o f   h i g h e r   w e a k   i n v e r s i o n   c u r r e n t   b u t   w i t h   a dd i n g   a   n e w   f a c t o r   t o   t h e   d e l a y   p r o c e s s i n g   f o r   t h e   t r a n s i s t o r .   T h e   e x p o n e n t i a l   d e p e n d e n c e   o f   t h e   b o d y   f a c t o r   i n   [ 2 0 ,   2 1 ]   a l s o   a dd s   n e w   v a l u e s   o f   d e l a y   f o r   t h e   p r o p o s e d   m o d e l .   The  com par ison   bet ween  t he  pro pose m od el  an ot her  m od el s  sh ow in  the  sam figure  is  giv e us in the  sam e   SPI CE  pa ram et ers  V ds =1   V ,   T=3 00   K,  L eff =22   nm ,   W eff = 44   nm ,   N s =2× 10 20   cm - 3   a t   t h e   s a m e   e n v i r o n m e n t .       1 12 F Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                          IS S N :   2088 - 8708   In t J  Elec  &  C om En g,   V ol.  10 , No 3 J une  2020    23 13   -   2321   2318         Figure  2.   D IB L v s  ju nction d epth va riat ion     Fig ure  3 .   D IB L m od el s w it h chan nel le ng t h variat io n         I n   a d d i t i o n ,   a p p l y i n g   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   us i n g   d i f f e r e n t   S P I C E   p a r a m e t e r s   i s   s h o w n   i n   F i g u r e   5.     T h e   c om p a r i s on   r e s u l t s   s h o w   t h e   s u p e r i o r i t y   o f   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   c om pa r e d   w i t h   t h e   s a m e   m o d e l s   p r o p o s e d   b y   B S I M 4   u s i n g   t h e   s a m e   S P I C E   p a r a m e t e r s .   S i m u l a t i o n   r e s u l t s   s h o w e d   t h a t   t h e   e r r o r   p e r c e n t a g e   w a s   m i ni m i z e d   w h e n   w e   a p p l i e d   t h e   n e w   m o d e l   u s i n g   h i g h e r   M O S   t r a n s i s t o r   d i m e n s i o n s   du e   t o   t h e   l o w e r   S C E .   I n   a d d i t i o n ,   t h e   p e r c e n t a g e   o f   e r r o r   b e t w e e n   t h e   n e w   a n a l y t i c a l   m o d e l   a n d   t h e   s i m ul a t e d   B S I M 4   m o d e l   i s   i n c r e a s i n g   t o   l o w e r   M O S   d i m e n s i o n s   f o r   t h e   i n c r e a s i n g   o f   S C E .   T h e   p e r c e n t a g e   e r r o r   o f   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   w i t h   3 2   nm   a nd   4 5   nm   c h a nn e l   l e n g t h s   i s   e q u a l   t o   2 . 2 3 %   a n d   1 . 9 8 %   r e s p e c t i v e l y   u s i n g   t h e   a b s o l u t e   e r r o r   m e t h o d  ( A E M ) .   O n  t h e  o t h e r  h a n d ,  t h e  p e r c e n t a g e  e r r o r  f o r  t h e  c h a n n e l  l e ng t h  o f  1 6   n m   i s  e q u a l  t o  4 . 9 2 %   u s i n g   t h e   H S P I C E  s i m u l a t o r   a n d   t h e   A E M  m e t h o d   f o r   e r r o r   c a l c u l a t i o n .   H e n c e ,   t h e   p e r c e n t a g e  e r r o r   i s   a l s o   l o w e r   t h a n   t h e   o t h e r   m o d e l s   f o r   1 6   n m .   The  pro posed  s ubth reshold   le a kag c urren m od el   is  giv e f or   diff e ren sca le of  V ds =0.8   V, T= 300   K,  W eff = 44   nm ,   N s =2× 10 20   cm - 3 .             Figure   4 .   Pro pose s ub t hr es hold   le a kage c urren m od el  v oth er  m od el s     Fig ure   5 .   Pro pose s ub t hr es hold   le a kage c urren m od el  f or d i ff e ren t scal es       3 . 2 .     G a t e   l e a k a g e   c u r r e n t   c om p a r i s o n   a n d   s i m u l a t i o n   r e s u l t s     T h e   g a t e   l e a k a g e   c u r r e n t   i s   s i m u l a t e d   a l s o   a t   t h e   d r a i n   v o l t a g e   o f   0 . 8   V ,   a n d   t h e   g a t e   v o l t a g e   o f   0 . 2   V.   T h e   p r o p o s e d   m o d e l s   a r e   c om p a r e d   w i t h   t h e   H S P I C E   m o de l   r e p o r t e d   i n   [ 1 9 ] .   I n   a d d i t i o n ,   t h e   p r o p o s e d   m o d e l s   a r e   c om p a r e d   w i t h   o t h e r   w e l l - k n o w n   p r o p o s e d   m o d e l s   w i t a   d e e p   e x p l a n a t i o n   f o r   t h e   r e a s o n s   o f   e r r o r s   i n   t h e s e   m o d e l s   a n d   t h e   m a i n   f a c t o r s   f o r   t h e   h i g h   a c c u r a c y   a n d   l o w   d e l a y   f o r   o u r   p r o p o s e d   m od e l s   F i g u r e   6   s h o w s     t h e   s i m ul a t i o n   r e s u l t s   f o r   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   w i t h   H S P I C E   u s i n g   t h e   B S I M 4   m o d e l   f o r   the  ga te   to  i nv erted   dr ai le aka ge  vs   dr ai n.   T he  sam resu lt ar giv e w hen  the  gat t in ve rted  s ource   le akag e   vs   the  s ource.   T h e   s a m e   r e s u l t s   a r e   s h o w n   i n   F i g u r e   6 .   F i g ur e   7   s h o w s   t h e   gate  to  in versi on   source  le a ka ge  as  functi on   of   dr ai vo lt a ge.   The  sam resu lt are  giv en  wh e the  sam m od el   app li ed  for  the  gat to  inv ersi on  so urc e   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In t J  Elec  &  C om En g     IS S N: 20 88 - 8708       Accur ate leak age c ur re nt mo de ls f or  M O SFE na no sc ale  de vi ces  ( Abdo ul  Rjoub )   2319   le akag a functi on  of  s ourc e.  From   bo th   f igures,  it   seem that  the  pro pose m od el   is  so   m uch   acc urat as   of   t he  H SP ICE   it s e l f .   T h e   r e s u l t s   o f   b o t h   f i gu r e s   p r o v i d e   a   m i ni m um   e r r o r   b e t w e e n   t h e   s i m u l a t i o n   r e s u l t s   a n t h e   H S P I C E   t a   v a l u e   e q u a l   t o   2 . 8 4 % .   T h e   m a xi m um   v a l u e   f o r   t h e   t o t a l   g a t e   l e a k a g e   c u r r e n t   i n   r e f e r e n c e   [ 1 9 ]   i s   e q u a l   t o   9 . 6 8   × 1 0 - 14  A .   S o m e   o f   t h e   w e l l - k n o w n   m o d e l s   a r e   s i m ul a t e d   u s i n g   H S P I C E   a n d   c om p a r e d   w i t h   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   a n d   r e f e r e n c e   m o d e l   t o   s h o w   t h e   g o o d   a g r e e m e n t   f or   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   c om p a r e d   w i t h   t h e   m a xi m um   v a l u e s   f o r   t h e s e   m o d e l s   r e g a r d i n g   t h e   v a l u e   o f   t h e   g a t e   l e a k a g e   c u r r e n t   f o r   r e f e r e n c e   [ 1 9 ] .   F i g u r e   8   s h o w s   t h e   t o t a l   l e a ka g e   c u r r e n t   f o r   t h e   r e f e r e n c e   a n d   t h e   p r o p o s e d   m o d e l s   w i t h   t h e   m o d e l s   r e p o r t e d   i n   [ 1 1 - 1 3 ]   r e f e r e n c e s .     3 . 3 .     B a n d - to - B a n d   t u n n e l i n g   l e a k a g e   c u r r e n t   c o m p a r i s on s   a n d   s i m u l a t i o n     T h e   p r o p o s e d   m o d e l s   f o r   t h e   t w o   t y p e s   o f   B a n d - to - B a n d   l e a k a g e   c u r r e n t   ( I B T B T )   i s   s i m ul a t e d   a l s o   w i t t h e   s a m e   d e vi c e   s p e c i f i c a t i o n   a n d   s i m u l a t i o n   c o n d i t i o n s .   T h e   s i m ul a t i o n   r e s u l t s   p r o v i d e   a   v e r y   g o o d   a g r e e m e n t   i n   c om p a r i s o n   w i t h   t h e   r e f e r e n c e   m o d e l   s i m u l a t i o n   u s i n g   t h e   H S P I C E   t o o l .   T h e   m a x i m um   v a l u e   f o r   t h e   B T B T   c u r r e n t s   t h a t   t un n e l   f r o m   t h e   s o u r c e / d r a i n   P N   j u n c t i o n   w i t h   t h e   d e p l e t i o n   l a y e r   i s   e q u a l   t o   5 . 3 4 × 1 0 - 11   A   a n d   5 . 3 8 × 1 0 - 11   A .   T h e   m a x i m um   B T B T   c u r r e n t   i n   r e f e r e n c e   [ 1 9 ]   m o d e l   i s   e q u a l   t o   5 . 6 5 × 1 0 - 11   A .   T h e   p e r c e n t a g e   e r r o r   f o r   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   a n d   t h e   r e f e r e n c e   o n e   i s   e q u a l   t o   5 . 6 % .   F i g u r e   9   s h o w s   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   r e l a t i o n s   f o r   t ot a l   l e a k a g e   c u r r e n t   w i t h   t h e   r e f e r e n c e   m o d e l   s i m u l a t i o n   r e s u l t s   u s i n g   H S P I C E .   T h e   m a xi m um   v a l u e   o f   t h e   t o t a l   l e a k a g e   c u r r e n t   i s   d om i n a t e d   b y   t h e   s u b t h r e s h o l d   l e a k a g e   a n d   e q u a l s   t o   5 4 . 1 0 2 × 1 0 - 9   A.   M o r e   d e t a i l s   a nd   m o r e   r e f e r e n c e s   r e l a t e d   t o   t he   n a n o s c a l e   t r a n s i s t o r   c o u l d   b e   f o u n d   i n   [ 2 2 - 2 5 ] .             Figure  6 .   The   gate to i nverte d dr ai le aka ge  v s.   dr ai n vo lt age     Fig ure  7 .   The   gate to i nversi on sou rce leak age   as   a f un ct io n of d rain v oltage             Figure  8 .   Com par is ons w it r ecent m od el includi ng HSP ICE fo total   ga te  cu r ren t     Figure  9 .   The  total  BTB T lea kag e  as a  fun ct ion   of  biasin g vo lt age           Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                          IS S N :   2088 - 8708   In t J  Elec  &  C om En g,   V ol.  10 , No 3 J une  2020    23 13   -   2321   2320   4.   CONCL US I O N   T h i s   p a p e r   d e a l s   w i t h   t h e   m od e l i n g   o f   l e a k a g e   c u r r e n t   m e c h a n i s m s   o f   C M O S   d e v i c e s   i n   t h e   s u b   1 0 0   nm   p a r a d i gm .   T h e   p r o p o s e d   m o d e l s   h a v e   b e e n   c om p a r e d   w i t h   t h e   B S I M 4   u s i n g   H S P I C E   w i t h   v e r y   g o o d   a g r e e m e n t ,   t h e   d e v i a t i o n   b e t w e e n   t h e   s i m ul a t e d   m o d e l   a n d   t h e   B S I M 4   i s   e q u a l   t o   0 . 6 8 % .   T h e   u s a g e   o f   t h e   i n s u l a t i o n   l a y e r   f o r   t h e   s u b s t r a t e   w i l l   m i ni m i z e   t h e   l e a k a g e   c u r r e n t   b y   4 7 . 7 % .   T h e   G a t e   l e a k a g e   ( I G r e s o u r c e s   a r e   a l s o   m o d e l e d   t oo   w i t h   a   g r e a t   c o n c e n t r a t i o n   i n   t h e   m e t h o d   o f   f i n d i n g   t h e   g a t e   t o   t h e   i n v e r s i o n   c h a n n e l   g a t e   l e a k a g e ,   w h i c h   i s   t h e   d om i n a n t   a s   w e   e x p l a i ne d   i n   c h a p t e r   f o u r .   W e   c o n c l u d e   t h a t   t h e   ga t e   t s u b s t r a t e   l e a k a g e   c u r r e n t   i s   t he   s m a l l e s t   t y p e   o f   g a t e   l e a k a ge   c u r r e n t   w i t h   a   v a l u e   o f   1 . 5 × 1 0 - 12   A .   T h e   g a t e   t o   t h e   s u b s t r a t e   w i l l   b e   s i g n i f i c a n t   f o r   t h e   f u t u r e   o f   M O S   t e c h n o l o g y   b e c a u s e   i t   d e p e n d s   d i r e c t l y   o n   t h e   t u n n e l i n f r o m   t h e   o x i d e   i n s u l a t o r   t h r o u g h   t h e   i n v e r s i on   c h a n n e l .   T h e   g a t e   t o   i n v e r s i o n   c h a n n e l   l e a k a g e   ( I GC )   i s   t he   o n l y   t y p e  o f  g a t e   l e a k a g e  t h a t  d e p e n d s  o n  t h e  a p p l i e d  g a t e  v o l t a g e  a s  s h o w n  i n  c h a p t e r  t h r e e .  Us i n g  t h e   H i K   i n s u l a t or   b e t w e e n   t h e   g a t e   a n d   i n v e r s i o n   c h a n n e l   i n   M O S   w i l l   d e c r e a s e   t h e   g a t e   l e a k a ge   b y   4 7 %   o f   i t s   v a l u e   i n   t h e   c a s e   o f   S i O 2   [ 3 ] .   I n   a d d i t i o n ,   u s i n g   t h e  m e t a l   g a t e   i n   M O S   n e w   t e c h n o l o g y   w i l l  m a x i m i z e   t h e   e f f i c i e n c y   o f   t h e   t r a n s i s t or   b y   m i n i m i z i n g   t h e   v a l u e   o f   l e a k a g e   c u r r e n t   d u e   t o   t h e   g a t e   a n d   B T B T .   T h e   e r r o r   o f   t h e   p r o p o s e d   m o d e l   f o r   t h e   t o t a l   l e a k a g e   c u r r e n t   w h e n   c om p a r e d   w i t h   t h e   s i m ul a t i o n   r e s u l t s   i n   H S P I C E   i s   e q u a l   t o   0 . 3 7 %   d u e   t o   t h e   a v o i d a n c e   o f   u s i n g   a p p r o x i m a t i o n s   i n   de r i v a t i o n   f o r   t h e s e   t y p e s   o f   l e a k a g e .   T h e   G a t e   l e a k a g e   w i l l   b e   t h e   s i g n i f i c a nt   t y p e   o f   l e a k a g e   f o r   t h e   f u t u r e   1 6   n m   M O S   t r a ns i s t o r .       ACKN OWLE DGME NT   This  resea rc is  su pport ed   financi al ly   by  EU,   FP 7,  In c o,   ER A - WIDE  “JE W EL”,  Pro j ect   No.  266507 .       REFERE NCE S   [1]   J.  Murali dhar an  P.  Manimegal a ,   Curre nt  Com par ison  Dom ino  base CHS Do m ino  Logi T echnique   for  Rap i Progress ion  and  Low  Pow er  Alle vi at ion ,   In te rnational   Jou rnal  of  E lectri cal   and  Comp ute Engi n ee rin g ,   7(5),     2468~2473 2017 .   [2]   M.  Madhusudhan  Redd y ,   M.   Sa il aja,  K.  Babu lu ,   Ene rg y   op ti m iz a ti on  of  6 S RAM   ce ll   using   low - volt ag an high - per form ance  inv ert er   struc ture s ,   Int ernat ional   Journal   o Elec tric al   an Computer  En gine ering ,   9(3) ,   1606~1619 ,   201 9 .   [3]   Am ine   Mohammed  Ta ber ki t,   Ahlam  Guen - Bouaz z a,   B en y oun es  Bouaz z a Modeli ng  and  Sim ula ti on  of  Biaxia l   Strai ned  MO SF ET s:  Applic a ti on  to  Singl and  Dua Ch anne He te rostr uct ure ,   In te rna ti onal  Journal  of   El e ct rica and   C omputer  Engi n e ering,   8(1) ,   421 - 428 ,   2018 .   [4]   Rashm Singh,  Raj esh  Mehr a Low  Noise  Am pli fier  using  Dar li ngton  Pa ir  At  90nm   Te chnol o g y ,   Int ernati on al  Journal  of   Elec t rical   and   Computer  Eng ine ering ,   8(4) ,   2054 - 2062 2018 .   [5]   Kaushik  Ro y ,   Saibal  Mukhopadh y a y ,   Le ak age   Curre nt  Mec han ism and  Le aka ge  Reduc t ion  Te c hnique in  Dee p - Sub m ic rom et er CM OS   Circ uit s ,   Journal   proce e dings of   the IE E E ,   91(   2);   305 - 3 27 2003 .   [6]   K.  M.  Cao   et  al .,  BS IM4  gat e   le ak age   m odel  i ncl uding  sour ce - dra in  p art i ti on , ”  Int ernati onal  El e ct ron  Dev ice s   Me eting  2000 .   T ec hni cal   Dig est.  IEDM  ( Cat.   No. 00CH37138) ,   San  Franc isco ,   CA ,   US A,  815 - 818 2000 .   [7]   Udit  Monga,   To A.  Fjel dl y ,   Co mpact  Subthreshold  Curr ent   Mode li ng  of  Short - Channel   Nanosc ale   Double - Gate   MOSFET I EE E   Tr ansacti ons On E l ec tron   Dev i ces ,   56(7),   1533 -   1 537 2009 .   [8]   J.  P.  Sun,   W ei   W ang;     Toru   To y ab e ,   Ning   Gu;  Pi naki  Mazum de r,   Modeli ng  of   Gate   Curr ent  an Capaci t ance  in   Nanosca le - MO S Struc tur es ,   IE E Tr ansacti ons  on  Elec tron   Dev ic es ,   53(12),   295 0 - 2957 2006 .   [9]   A.  Rastogi ,   W .   Chen  and  S.  Ku ndu,   On  Esti m at ing  Im pact  of  Loa ding  Eff e ct   on  Le ak age   Cur ren in  Sub - 65n Scal ed  CMO Circ uit Based  on  Newton - Raphson  Method ;   44 th   ACM/ IEEE  Design  Aut omation  Confe renc e ,     712 - 715 2007 .   [10]   Heung  Jun  Jeon,   Yong - Bin  Kim ,   Novel  Tech nique   to  M ini mi ze  Standby   Leak age   Powe in  N anoscale   CMOS   VLSI ,”   I EEE  Tr ansacti ons on  Inst rum ent ati on  and   Me asur eme nt ,   5 9(5),   1127 - 1133 2010 .   [11]   Mark  Lundstro m ,   Fundam ent al of  C arr i er  Trans port ,   2 nd   Ed it i on,   Cambr idge   Unive rs it y   Press ,   Cambr idge,  U K 2000 .   [12]   Chang   wook   Jeong,   Dim it ri  A.  Antonia dis , and  Mark  S.  Lundstro m ,   On  Bac ksca tt eri ng  and  Mobi li t y   in  Nanosc ale  Sili con  m osfets ,   IE EE Tr ansacti ons On E l ectron Dev i ce s ,   56(11 ),   2762 - 2769 20 09 .   [13]   K.  Ro y ,   e al ,   Modeli ng  and   Anal y s is  of  Lo ading  Eff e ct   in   Lea kage   of  Nano - Sc al ed  Bu lk - CMO Logi Cir cuits , ”  IEE Proceedi n gs  of  the  Desig n,   Au tomati on  and  Test  in  Eu rope  Confe ren c and  E xhi bi ti o ( DATE’05 ),   1,     224 - 229 2005 .   [14]   Abdoul  Rjoub,   Mam oun  Mistar ihi ,   Neda Ta r ad eh,   Basca t te rin Coeff ic i ent   Acc ura te   Model  f or  Nanosca le   Si - MO S FET  Tr ansi stor,   I EEE  F aib le   Tension   Fai b l Consom mation ,   June   20 - 21,   Par is - Franc e, 2013.   [15]   Abdoul   Rjoub,   Neda Ta rad eh   and  Mam oun   Mistari hi ,   Gate  Le aka g Curre nt  Acc ura t Models  for  Nanosca le  MO S FET  Tra ns istors The  24 th   Inte rnationa Workshop  on  P ower  and  Timi ng  Mode l ing ,   Optimiza ti o an d   Sim ul at ion  (PA TMOS ),   Palma - Mall orc a,  1 - 4 2 014   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In t J  Elec  &  C om En g     IS S N: 20 88 - 8708       Accur ate leak age c ur re nt mo de ls f or  M O SFE na no sc ale  de vi ces  ( Abdo ul  Rjoub )   2321   [16]   Abdoul  Rjoub,   Mam oun  Al - Mi stari hi ,   Neda Al - Ta rad eh,   Re ce nt  Tr ansport  Models  in  Nanosca le   MO SF ET  Tra nsistor    St ud y   and  An alys is ,”  The  8 th   J ordanian  Inte rn ati onal  Elec tri c al  and  El e ct ro nic Eng ine erin g   Confe renc e ,   Am m an - Jordan,   201 3.   [17]   Mam oun  Al - Mi stari hi ,   Abdoul  Rjoub,   Neda A l - Ta r ade h ,   New  Anal y t ic a l   Model  of  Drain   Induc ed  Barr i er  Lowe ring  DIBL   in  Nanosca le   Si - MO S FET ,”   t he  25th  Inte rna ti onal  Conf ere n ce   on  Mic ro el e ct ronics  ( ICM) ,   1 - 4,   2013 .   [18]   Abdoul  Rjoub,  Mam oun   Al - Mistari hi ,   Ned al   A l - Ta r ade h ,   Trans port  Mobili t y   and  Inj ec t ion  V el oc ity   Mode f or  Nanosca le   MO SF ET   Tra nsistor ,”  The  8 th   Jo rdanian  Inte rnational   Elec tric a and  El ectronic Engi ne erin g   Confe renc e ,   201 3.   [19]   Univer sit y   of   Ca li forni a B erk e ley ,   htt ps: // inst . e ec s.be rk ele y . edu /   [20]   Ahm ed  Mah m o od,   W ahe A.  Jabba r,   Yasir  Hashim ,   Hadi   Bin  Mana p,   Eff ec ts   of  downs ca li ng  cha n ne l   dimensionson  el ectrical   ch aracteristics  of  InAs - FinF ET   tra nsi sto,   Int ernati o nal  Journal  of   El ectric a and  Computer  Engi n ee ring ,   9(4), 290 2~2909,  Augus t 2019 .   [21]   W oo  W ei   Kai,  Nabiha b int i   Ahm ad,   Moham ad  Hair ol   bin  Jab bar ,   Vari abl e   Bod y   B ia sing  ( VBB)  base VL SI   Design  Approac to  Redu ce   St a ti Pow er , ”  In ter nati onal  Journ al  of  El e ct rica and  Computer  Engi ne ering ,   7( 6),   3010~3019,  Dec ember  2017.   [22]     Hakke Jung,  Thre shold  vol tage  roll - off  for  su b - 10nm   asy m m e tri doub le   ga te   MO S FET, ”  In ter nati onal  Journ al  of  E le c tric al   and   Computer  Eng i nee ring,   9(1), 16 3 - 169,   Feb .   201 9.     [23]   Nanda   B.   S.  Putta sw am y   P.S.  " Modeli ng   and  sim ula ti o of  gra phene  fie ld  eff ect  tr ansistor  (GF ET ), Inte rnational   Jo urnal  of El e ct ri c al  and  Comput er  Engi n ee ring ,   9( 6),   4826     4835 ,   Dec ember   2019 .     [24]     Am in   Boursali ,   Ahlam.  Guen,   Bouaz za,  Choukria   Sa y ah,   " DC  and  RF   ch ara c te rist ic of  20  nm   gat le ngth     InAlAs /InGa As / InP  HEMTs   for   high  fre quency  appl ic a ti on , Inte rnational   Jour nal  of  El ectric a and  Computer  Engi ne ering  ( IJ ECE ) ,   10  (2) ,   12 48 - 1254,   April   2 020.     [25]   El   Beq al ,   As m ae ,   Ba chi r ,   Benh al a ,   Iz eddi ne   Zo rka n,   "A   gen et i c   al gori thm  for  t he  opti m al   d esig of  m ult ist ag e   amplifi er , Int ernati o nal Journal   of El e ct ri cal   an Computer  Eng ine ering ,   10   (1),  129 - 138,   Febru a r y   2020.       BIOGR AP HI ES OF  A UTH ORS       Dr.   Ab dou l   Rj oub   is   IEE Senior  Mem ber ,   and  he  is  A ss oci at P rof.   at   Co m pute Engi nee r ing  Depa rtment  in  J orda Univer sit y   of  Scie n ce   a n Te chnol og y ,   Jordan  since   201 0,   Dr.  Rjoub   is   coor dinator  of   nat ion al  a nd  Inte rn at ion al   proj ects:   FP 7 - JEW EL ,   FP 7 - MOSAI C,   GREENBUILDIN G.  Dr.  Rjoub  has  m ore   tha n   70  publi cation in  int ern a ti on al   journ al and  conf ere n ce s,  h is  m ai rese arc in te rests  include  b ut  not  li m ited  to:  VLSI  Design  and  Applic ations,  Low  Pow er  Des ign  Methodo log ie s,  Mode li ng   T ran sistors,  Artif i ci a Int el l ige n f or  Low  Pow er   Applic a ti ons,  M odel ing  and  Sim ula ti on  Tool fo Nano  el e ct roni cs.   Dr.  Abdoul  i honore the   4 th   pla c in   the  inter nat ion al   st at i t i m ing  ana l y sis  co nte st  2014 ,   2 nd   p la c in   MED - Hac kat hon  contest  2016.   Dr.  Rjoub  is  gene ral   ch ai of  IEE In te rna ti ona Confer ence  of  Mic roe lectr oni cs  of  (ICM32 nd ),   202 0.         Mam oun   F.   Al - Mi starihi   r ec e i ved  the   B. Sc .   a nd  M.Sc.   degr e e in  El ectrical   E ngine er ing  from  Jordan  Univer si t y   of  Sc ie nc and  T ec hnolog y,   Irbid ,   Jordan ,   M.E . E.  and   Ph.D.  d egr ee s   in   El e ct ri ca Engi n ee ring  from   Univer sit y   of  Min nesota ,   Minn ea p oli s,  MN ,   US A ,   in  1992,   1996,   2005,   and  2005,   respe ctive l y .   From   1994   to  2000,   he  was  with  the   Ro y al   Scie nti f ic   Soci ety ,   Amm an,   Jordan .   Presently   h e   is  an  As socia te   Profess or  with  the   E lectr ic a Engi n ee rin g   Depa rtment,  Jordan  Univer sit y   of  Scie nc and  Te chno log y ,   Irb id,   Jordan .   His  rese arc h   intere st s   inc lud digital  si gnal   proc essing,   image  proc essing,   digital  signal  proc essing  for  c om m unic at ions,  wire le ss   comm unic at ions  a nd  m obil net works per form anc eva lu ation  of  wire less   comm unic at ion  s y stems   over   fad ing  cha nn el s,   s e cur ity   of   wire l ess  sy st ems ,   W iMAX ,   wire le ss   Ad  Hoc  net works ,   a nd  wire l ess sensor ne tworks         Nedal  Al  Tarad eh, Ph. D .   stud ent   a Univ ersity  of  Sherbrooke ,   Cana da ,   condu cting  rese arc on  Design,   Fabric a t ion,   and  Charact eri z at ion  of  V ertical  GaN  power  tra nsistors,  Neda l   hold s   his   M S.c   in  el e ct ri cal  eng ine er ing  from   J orda Univer sit y   of  Scie n ce   an Te chnol og y   a nd  Bac he lor’s   Degre in   Elec t ric a Engi n ee r in from   Birz eit   Univer sit y   Ram al l ah,   Pa le stin e   in  2009.   Ned al   rese arc h   in te rest i s   Modeli ng,   ME MS ,   Nano - Fabri ca t ion, a nd  B iosensors.     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.