I nte rna t io na l J o urna l o f   E lect rica l a nd   Co m p ute E ng in ee ring   ( I J E CE )   Vo l.   9 ,   No .   2 A p r il   201 9 ,   p p .   8 9 4 ~9 0 1   I SS N:  2 0 8 8 - 8708 DOI : 1 0 . 1 1 5 9 1 / i j ec e . v9 i 2 . pp 894 - 9 0 1          894       J o ur na l ho m ep a g e h ttp : //ia e s co r e . co m/ jo u r n a ls /in d ex . p h p / I JE C E   Displa ce m ent   m e cha nica l a m pli fie rs desig ned on  po ly - silico n       Ra m o n Ca bel lo - Ruiz 1 ,   M a r g a rit a   T ec po y o t l - T o rr es 2 ,   Alf o ns o   T o rr es J á co m e 3 ,   G er a r do   Ver a - Di m a s 4 Sv et la na   K o s hev a y a 5 ,   P edro   Va rg a s - Cha ble 6   1, 2, 4, 5 , 6 I n stit u t o   d e   In v e stig a c io n   e n   Cien c ias   Ba sic a y   A p li c a d a s,    Ce n tro   d e   In v e stig a c n   e n   I n g e n i e ría  y   Cie n c ias   A p li c a d a s (IICBA -   CIICA p ),     Un iv e rsid a d   A u to n ó m a   d e Estad o   d e   M o re lo s (UA EM ) M e x ico   3 In stit u t o   Na c io n a d e   A stro f ísica ,   Óp ti c a   y   El e c tró n ica ,   ( INA OE) ,   M e x ico       Art icle  I nfo     AB ST RAC T   A r ticle  his to r y:   R ec eiv ed   Ma y   23 ,   2 0 1 8   R ev i s ed   No v   9 ,   2 0 1 8   A cc ep ted   Dec  7 ,   2 0 1 8       Us in g   P o ly - S il ico n ,   th e   im p le m e n tatio n   o f   n o v e Disp lac e m e n t - a m p li fy in g   Co m p li a n M e c h a n ism s   (Da CM ),   in   tw o   g e o m e tri e s   o f   a c c e lero m e t e rs,   a ll o w f o re m a rk a b le  i m p ro v e m e n ts  in   th e ir  o p e ra ti o n   f re q u e n c y   a n d   d isp lac e m e n se n siti v it y ,   w it h   d iff e re n p ro p o rt io n s.  S im il a Da CM ´s   g e o m e tri e w e r e   p re v io u sly   i m p le m e n ted   b y   u s w it h   S il ico n .   In   a ll   m e n ti o n e d   cas e s,  th e   g e o m e tri e o f   Da CM ´ s   a re   a d ju ste d   in   o rd e to   u se   th e m   w it h   Co n v e n ti o n a Ca p a c it iv e   Ac c e lero m e ter   (CC A a n d   Ca p a c it iv e   A c c e lero m e ter  w it h   Ex ten d e d   Be a m (C A EB),   w h ich   o p e ra te  in - p l a n e   m o d e ,   (y - a x is).   It  sh o u l d   b e   n o te d   th a t   CA EB  sh o w i m p ro v e m e n ts  (9 5 . 3 3 % in   d isp lac e m e n se n siti v it y   c o m p a re d   to   A CC.  S im u latio n re su lt s,  c a rried   o u t   u sin g   A n s y W o rk b e n c h   so f tw a r e ,   v a li d a te  th e   s y ste m ’s  p e rf o r m a n c e   d e sig n e d   w it h   P o ly - S il ico n .   F in a ll y ,   a   c o m p a riso n   w it h   th e   sim il a s y ste m s,   p re v io u sly   d e sig n e d   w it h   S i li c o n ,   is  a lso   c a rried   o u t.   K ey w o r d :   A cc eler o m eter   C o m p lia n m ec h a n is m s   Fre q u en c y   MEMS   Sen s iti v it y   Co p y rig h ©   2 0 1 9   In stit u te o A d v a n c e d   E n g i n e e rin g   a n d   S c ien c e   Al rig h ts  re se rv e d .   C o r r e s p o nd ing   A uth o r :   Ma r g ar ita  T ec p o y o tl T o r r es   I n s tit u to   d I n v e s ti g ac io n   e n   C ien cias B asica s   y   A p licad as,     C en tr o   d I n v e s ti g ac n   e n   I n g en ier ía  y   C ie n cia s   A p licad as  ( I I C B A -   C I I C A p ) ,     Un i v er s id ad   Au to n o m d el  E s tad o   d Mo r elo s ,   Av .   Un iv er s id ad   1 0 0 1 ,   C o l Ch a m ilp a,   6 2 2 0 9 ,   C u er n a v ac a,   Mo r elo s ,   Me x ico .   E m ail: te cp o y o t l @ u ae m . m x       1.   I NT RO D UCT I O N   Mic r o - ac ce ler o m eter s   ar d ev ices  u s ed   to   m ea s u r ac ce ler atio n   ( o r   g - f o r ce ) /d ec eler atio n ,   v elo cit y ,   g r av it y ,   p o s it io n ,   v ib r atio n   a n d   s h o ck .   A b o u t h eir   u s e   i n   s e v er al,   ar ea s   s u c h   as:   E n g in ee r i n g ,   B io lo g y ,   I n d u s tr y ,   B u ild in g   an d   s tr u ctu r al  m o n ito r in g ,   Me d ica ap p licatio n s ,   Nav ig at io n ,   T r an s p o r ta tio n ,   Vo lcan o lo g y ,   C o n s u m er   E lectr o n ics,  Mo ti o n   in p u t,  Or ie n tatio n   s en s i n g ,   I m a g s tab il izatio n ,   an d   Dev ice  in te g r it y ;   in f o r m atio n   ca n   b f o u n d   in   [ 1 ] .   A n o th er   clas s i f icatio n ,   i n   ac co r d an ce   w it h   th eir   ap p licatio n s   b y   d is cip li n es ,   is   m ad i n   ac ad e m ic  an d   co n s u m er - d r iv e n   [ 2 ] .     A b o u s p ec i f ic  ap p licatio n s ,   o n o f   th m o s e x p lo r ed   ar ea   co r r esp o n d s   to   ac ce ler o m eter s   o n   s m ar tp h o n es.  I n   [ 3 ] ,   d escr ip tio n   an d   e v al u atio n   o f   s y s te m   th at  u s e   p h o n e - b ased   ac ce ler o m e ter s   to   p er f o r m   h u m a n   ac ti v it y   r ec o g n itio n   ar p r esen ted .   Use f u k n o w led g ab o u h ab its   o f   u s er s   w er o b tain ed ,   j u s b y   h av i n g   t h e m   ca r r y   ce ll  p h o n e s   in   th eir   p o ck e ts .   A   co m p r e h en s i v s u r v e y   o f   t h r ec en t   a d v an ce s   in   ac tiv it y   r ec o g n itio n   w i th   s m ar tp h o n es ´ s   s e n s o r s   is   p r e s en ted   in   [ 4 ] .   T h p o ten tial  o f   m o b ile  ac tiv it y   r ec o g n itio n   i s   attr ib u ted   to   its   ap p licatio n s   a cc o r d in g   to   th e   tar g eted   b en e f icial  s u b j ec ts ( 1 )   ap p licatio n s   f o r   t h e n d   u s er s   s u c h   as  f it n ess   tr ac k i n g ,   h ea lt h   m o n ito r in g ,   f al d etec tio n ,   b eh av io r - b ased   co n t ex t - a w ar e n ess ,   h o m an d   w o r k   au to m at io n ,   a n d   s el f - m an a g i n g   s y s te m ( 2 )   ap p licatio n s   f o r   th t h ir d   p ar ties ,   s u c h   a s   ta r g eted   ad v er tis in g ,   r esear ch   p latf o r m s   f o r   th d at co llectio n ,   co r p o r ate  m a n ag e m en t,  an d   ac co u n ti n g an d   ( 3 )   ap p licatio n s   f o r   th cr o w d s   a n d   g r o u p s ,   s u c h   as so cial  n et w o r k in g   a n d   ac tiv it y - b a s ed   cr o w d - s o u r cin g   [ 4 ] .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J   E lec  &   C o m p   E n g     I SS N:  2 0 8 8 - 8708       Dis p la ce men t m ec h a n ica a m p lifi ers   d esig n ed   o n   p o ly - s ilico n   ( R a mo n   C a b ello - R u iz )   895   A b o u t   d etec tio n   o f   f al ls ,   i n   [ 5 ]   n o v el  al g o r ith m   to   m ap   t h tr i - a x ial   ac ce ler o m eter   d ata   s tr ea m s   to   b it  p atter n s   an d   m in e s   th f r e q u en b it  p atter n   o cc u r r i n g   f o r   n o r m a ac tiv itie s   li k s i tti n g /s tan d i n g ,   l y i n g   an d   w al k i n g   w it h i n   ti m e - s e n s iti v s l id in g   w i n d o w .   Fall  h a v s ig n i f ica n p ea k   ac ce ler atio n   an d   it  i s   d etec ted   b y   s etti n g   m o s t s ig n i f ica n t b it o f   b it p atter n .   On   t h o th er   h a n d ,   in   [ 6 ] ,   s eis m ic  s i g n al  o f   m o v in g   tar g ets  w er s u cc ess f u ll y   m ea s u r ed   b y   a   m icr o ac ce ler atio n   m ea s u r e m e n s y s te m   a n d   ap p lied   n eu r al   n et w o r k s   to   t h r ec o g n itio n   o f   s eis m ic   s i g n a ls   f o r   v eh ic le  tar g et s .   A b o u m o n it o r in g   o f   p o w er   tu r b in e s ,   in   [ 7 ] ,   it  is   co n s id er ed   th at  an o t h er   ap p r o ac h   th at  is   g ain in g   in ter es a m o n g   u s er s   i s   to   m o u n ac ce ler o m eter s   o n   th b ea r in g   h o u s i n g s ,   in s id th m ac h i n e,   w h e n   th p o w er   t u r b in u s es r o lli n g   ele m e n t b ea r in g s .   I n   [ 8 ] ,   tech n o lo g ical  d ev elo p m e n i s   d escr ib ed ,   w h ich   in v o lv es  t h d etec tio n   o f   h a n d   tr e m o r s   an d   ca r d iac  p u ls m o n ito r in g ,   b y   m ea n s   o f   p o r tab le  p h y s ical  d ev ice.   T h alar m   is   i m p le m e n ted   b y   s e n d in g   a n   SMS  ( Sh o r Me s s a g Ser v ice ) ,   to   th ce ll  p h o n o f   th p r e - estab li s h ed   co n tact s ,   an d   also   b y   m ea n s   o f   an   au d ib le  alar m   i n s talled   i n   th p h y s ical  d ev ice.   Sev er al  A p p s   f o r   h ea lt h   m o n i to r in g   h a v b ee n   d ev elo p ed ,   w h ic h   tak t h eir   m ea s u r e m en ts   o r   d ata,   f r o m   ac ce ler o m eter s .   Oth er   o n es   ca n   m ea s u r an d   d is p la y   s eis m ic  s i g n a ls .   So m e   g a m A p p s   ar e   p la y ed   b y   tilt in g   t h d ev ice.   I is   n ec es s ar y   to   m en t io n   t h at  o t h er   s en s o r s   co u ld   b in v o l v ed   i n   th m ea s u r e m e n t s .   Dis tr ib u ted   m icr o - ac ce ler o m e ter s ,   g y r o s ,   f o r ce   an d   tactile   s en s o r s   ar e   u s ed   i n   t h d es ig n   o f   n o v el   w ea r ab le   f o r ce   an d   m o tio n   ca p t u r s u i t [ 9 ] .   A b o u m ec h an ica a m p li f ier s ,   w id f ield   o f   r esear c h   is   g i v e n   b y   m ec h a n ical  d is p lace m en t   a m p li f ier s   in te g r ated   w i th   a   p iezo elec tr ic  ( P Z T )   ac tu ato r ,   f o r   ap p licatio n s   s u c h   a s   p r ec is io n   s tag e s   i n   b io lo g ical  m an ip u latio n s   an d   in   h i g h - ac c u r ac y   d ev ice s   f o r   o p tical  f ib er s   alig n m e n ts   [ 1 0 ] .   P Z T   ac tu ato r s   ca n   p r o d u ce   lar g f o r ce s   [ 1 1 ] ,   b u t h e y   h a v r elativ e l y   s h o r m o tio n   r an g es  ( t y p ica ll y   ab o u 1 5 2 0   µm )   th at  ar n o s u f f icie n f o r   m an y   e n g in ee r in g   ap p licatio n s   [ 1 0 ] .   T h is   d is ad v an ta g ca n   b o v er co m b y   t h u s o f   a   d is p lace m e n t a m p li f icat io n   m ec h an i s m .     A b o u t   ac ce ler o m eter s   p er f o r m an ce ,   i n   o r d er   to   o b tain   t h e   ac ce ler atio n   v al u e,   ac ce ler o m eter   h as   a   m o v i n g   m as s   co n n ec ted   to   s u s p en s io n   b ea m s .   W h e n   t h er i s   an   ex ter n al  ac ce ler atio n ,   th e   m as s   i s   d is p lace d   f r o m   its   i n itial  p o s itio n .   T h m a g n it u d o f   th is   d is p lac e m en is   p r o p o r tio n al  to   th m a g n i t u d o f   th e   ac ce ler atio n   an d   in v er s el y   p r o p o r tio n al  to   th r ig id it y   o f   th e   s u s p en s io n   b ea m s   [ 1 2 ] .   T h ese  d ev ices  s tan d   o u t   d u to   th eir   h i g h   s en s iti v it y   o f   d is p lace m e n t o r   h ig h   o p er atio n   f r eq u e n c y   [ 1 3 ] .     On   th o t h er   h an d ,   Dis p lace m en t - a m p li f y in g   C o m p lia n Me ch an is m s   ( Da C M)   h av t h ab ilit y   t o   tr an s f o r m   th e   ap p lied   d is p lace m en at   th e   i n p u t   in to   an   a m p lif ied   v er s io n   o f   it,  o b tai n ed   a th e   o u tp u o f   t h e   s y s te m .   I u s es  ela s tic  d ef o r m atio n   o f   its   m e m b er s   to   tr an s f o r m   o r   tr an s f er   an   i n p u d is p lace m en t,  f o r ce   o r   en er g y   to   th e   o u tp u t.  Da C Ms   ar a m e n ab le  f o r   m icr o f ab r i ca tio n   b ec au s t h e y   d o   n o h av j o in ts   an d   th u s   m o s o f   t h e m   ar a v ailab le  in   o n p iece .   D u to ,   n o   wea r ,   b ac k lash   o r   f r ict io n   a s s o ciate d   w it h   j o in t s .   Fu r t h er m o r e,   th e y   m a k u s e   o f   2 g eo m e tr y   w it h   u n i f o r m   t h ic k n e s s   an d   h e n ce   th e y   ca n   ea s il y   b e   lith o g r ap h icall y   p atter n ed   an d   m icr o f ab r icate d .   I n   [ 1 4 ] ,   t h DaCM  w a s   d ev elo p ed   w i th   an   i n ter d ig itated   ac ce ler o m eter .   DaCM ´ s   allo a m p li f icatio n   o r   g ai n   o f   m ec h an ica s ig n al s   d u e   to   t h s i m p le  ass e m b l y   o f   its   pa r ts ,   s u ch   a s   r ig id   b ea m s   co n n ec ted   b y   b o lts   [ 1 5 ] .     DaCMs  w er f ir s u s ed   to   a m p lify   t h o u tp u o f   p iezo elec tr ic  s tack   ac t u ato r s .   P iezo - elec tr ic  m ater ial   h as  b ec o m i n cr ea s i n g l y   p o p u lar   in   p o s itio n i n g   d ev ice s   d u to   its   ac cu r ac y   an d   ea s o f   u s e   [ 1 6 ] .   T h ese  s tack s   g en er ate  h i g h   f o r ce s   b u t s m all   d is p lace m en ts   o f   ar o u n d   1 0   µm   f o r   1   c m   s tac k .   I n   th i s   p ap er ,   t w o   s y s te m s   c o n f o r m ed   b y   a n   ac ce ler o m et er   an d   DaCM,   ar d esig n e d   in   P o ly - Sil ico n ,   i n   o r d er   to   id en ti f y   th eir   p er f o r m a n ce   a n d   to   co m p ar th e m   w i th   t h co r r esp o n d in g   in d i v id u a l   ac ce ler o m eter   r e s p o n s e.   S u b s eq u en tl y ,   t h eir   p er f o r m a n ce   w il b co m p ar ed   w ith   th o s e   p r esen ted   in   [ 1 7 ] ,     to   v alid ate  o u r   s ca led   m o d els,  u s i n g   P o ly - S ilico n .         2.   RE S E ARCH   M E T H O D     T h en s itiv i t y   o f   d is p lace m en o f   ca p ac itiv ac ce ler o m et er   c an   b ca lcu lated   f r o m   E q u atio n   ( 1 )   [ 1 8 ] .       Sx = m a/ k                   ( 1 )     W h er m   is   t h m as s   o f   t h s y s te m ,   i s   t h e   ac ce ler atio n ,   x   i s   t h s e n s iti v it y   o f   d i s p lace m en a n d   k   i s   t h e   s tiff n es s   co n s tan t o r   s p r in g   co n s ta n t,  g iv e n   b y   E q u atio n   ( 2 ) .     k =E t( w b / lb ) 3                   ( 2 )     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 0 8 8 - 8708   I n t J   E lec  &   C o m p   E n g ,   Vo l.  9 ,   No .   2 A p r il 2 0 1 9   :   8 9 4   -   9 0 1   896   W h er E   is   th e   Yo u n g ´ s   m o d u lu s   o f   m ater ial,   t,  w b   a n d   lb   ar th th ic k n es s ,   w id e   an d   le n g th   o f   th e   s u s p en s io n   b ea m s ,   r esp ec tiv el y .   T h ac ce ler o m eter   w ill  h a v an   ad eq u ate  d is p lace m e n s e n s iti v it y   co r r esp o n d in g   to   ea ch   ac ce ler atio n   v a lu e ,   a s   lo n g   a s   n o   r e s o n a n ce   f r eq u en cie s   a r p r esen t.  T h is   i s   d u e   to ,   as   it  is   w ell   k n o w n ,     b ef o r an y   r eso n a n ce   f r eq u e n c y   is   g e n er ated ,   th d e v ic w ill  o p er ate  in   ac co r d an ce   w ith   th e   d esi g n   r eq u ir e m en ts ,   u n d er   w h ich   it  w a s   d ev elo p ed .   Fo r   th is   r ea s o n ,   it  is   r ec o m m e n d ed   to   d esig n   d ev ice s   f o r   h i g h   o p er atin g   f r eq u e n cie s ,   in   o r d er   to   av o id   lo w   r e s o n a n ce   f r eq u en cies.   I n   th i s   w o r k ,   a n   i m p r o v e m e n in   t h d is p lace m e n s e n s it iv it y   a n d   o p er atio n   f r eq u en c y   w it h   th e   DaCM  i m p le m en tatio n ,   i s   p r esen ted   in   ac co r d an ce   w i th   s i m u lat io n   r es u lt s .   T h co m p le x it y   o f   t h i m p le m en ted   s y s te m   m a k es a l s o   co m p le x   its   t h eo r etica l a n a l y s i s   as  w ell.   Op er atio n   f r eq u e n c y   o f   a n   ac c eler o m e ter   ca n   b ca lcu lated ,   b y   E q u a tio n   ( 3 ) ,   [ 1 8 ] .     f =( 1 /2 π) ( NE t w b 3 / m lb 3 ) 1 /2               ( 3 )     W h er is   th n u m b er   o f   s u s p en s io n   b ea m s .   A ll d es ig n s   a n d   s i m u latio n s   wer r ea lized   co n s id er in g   t h in - p lan m o d e.       3.   RE SU L T A ND  AN AL Y SI S   3 . 1 .     Str uct u re s   i m p le m ent e d in po ly - s ilico n   T h p u r p o s es  o f   th is   p ap er   a r e I m p r o v t h d is p lace m e n s e n s it iv i t y   an d   o p er atio n   f r eq u e n c y   o f   t h e   C o n v en t io n al  C ap ac iti v A cc eler o m e ter   ( C C A )   m ad i n   P o ly - Sil ico n ,   u s in g   e x te n d ed   b ea m s   ( C A E B )   an d ,   co m p ar th s i m u lated   p er f o r m an ce   o f   th s y s te m s   f o r m e d   b y   ea ch   ac ce ler o m eter   an d   th co r r esp o n d in g   DaCM,   d esig n ed   in   Sil ico n   [ 1 7 ]   w ith   s i m ilar   s y s te m s   d e s ig n ed   w it h   P o ly - S ilico n   ( S ec tio n   3 .2 . ) .           ( a)     ( b )     Fig u r 1 .   Di m e n s io n s   o f   ( a)   C C A   an d   ( b )   C A E B   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J   E lec  &   C o m p   E n g     I SS N:  2 0 8 8 - 8708       Dis p la ce men t m ec h a n ica a m p lifi ers   d esig n ed   o n   p o ly - s ilico n   ( R a mo n   C a b ello - R u iz )   897   Sil ico n   p r o p er ties   p r o p er ties   ar s h o w n   in   T ab le  1 .   T h d i m en s io n s   o f   t h C C A   a n d   C A E B   d esig n ed   in   th i s   m ater ial  ar s h o w n   in   Fig u r 1 .   Fo r   C A E B ,   b ea m s   a r ex ten d ed ,   w it h o u ex ce s s i v el y   r ed u ce   th v al u e   o f   th m as s ,   in   ac co r d an ce   w it h   s e n s iti v it y   E q u at io n   ( 1 ) .     T ab le  1 .   P r o p er ties   o f   P o ly - Sil ico n   [ 1 9 ]   P r o p e r t y   V a l u e   D e n si t y   ( ρ ) ,   k g / m 3   2 3 2 0   T h e r mal   e x p a n si o n   c o e f f i c i e n t   ( α ) ,   1 / ° C   2 . 6 x 1 0 - 6   Y o u n g ´ s M o d u l u s ( E ) ,   G p a   1 6 0   P o i sso n   r a t i o ,   ( d i me n si o n l e ss)   0 . 2 2       T o   o b tain   d is p lace m e n t   s e n s i tiv it y   a n d   o p er atio n   f r eq u e n c y   f o r   C C A   a n d   C AE B E q u atio n s   ( 1 )     an d   ( 3 ) ,   w er e   u s ed   T ab le  2 .   I n   o r d er   to   v alid ate   th e   a n al y tical   v al u es,   1   g   ( 9 . 8 1   m /s 2 )   is   ap p lied   i n   t h e   s i m u lat io n s   t h er r o r   b et w ee n   th eo r etica an d   s i m u lated   v al u es  ar lo w er   th a n   2 w h ile  f o r   C A E B ,   th er r o r   is   lo w er   t h an   t h 1 %.       T ab le  2 .   Valu es o f   C C A   an d   C A E B   P ar am eter s   I n - P la n Mo d e   P a r a me t e r   C C A     C A EB   T h e o r e t i c a l   V a l u e   S i mu l a t e d   V a l u e   Er r o r   T h e o r e t i c a l   V a l u e   S i mu l a t e d   V a l u e   Er r o r   D i sp l a c e me n t   se n si t i v i t y ,   S x   0 . 0 5 6   µ m / g   0 . 0 5 7   µ m / g   1 . 7 8 %   1 . 2 3   µ m / g   1 . 2 2   µ m / g   0 . 8 1 %   O p e r a t i o n   f r e q u e n c y ,   f   2 , 0 9 3   H z   2 , 0 8 7   H z   0 . 3 %   4 4 7 . 9   H z   4 5 1 . 2 2   H z   0 . 7 4 %       A   co m p ar is o n   o f   p er f o r m a n ce   b et w ee n   C C A   a n d   C A E B ,   is   s h o w n   i n   T ab le  3 .   I is   o b s er v ed   th at  th e   lar g est  v al u o f   d is p lace m en t   s en s iti v it y   co r r esp o n d s   to   C A E B ,   b u t,  f o r   t h ca s e   o f   o p er atio n   f r ec u en c y ,     th lar g e s t v al u i s   o f   C C A .       T ab le  3 .   C o m p ar is o n   o f   S i m u l ated   P ar am eter s   o f   C C A   a n d   C A E B   P a r a me t e r   CCA   C A EB   I mp r o v e me n t   D i sp l a c e me n t   se n si t i v i t y ,   S x   0 . 0 5 7   µ m / g   1 . 2 2   µ m / g   C A EB   9 5 . 3 3 %   O p e r a t i o n   f r e q u e n c y ,   f   2 , 0 8 7   H z   4 5 1 . 2 2   H z   C C A   7 8 . 3 8 %       Fo r   DaCM  i m p le m en ta tio n ,   t h ac ce ler o m eter ´ s   m a s s   w ill  b r ed u ce d   at  h al f   o f   its   o r ig in a s ize ,     in   o r d er   to   i m p r o v e   b o th ,   d is p l ac e m en t se n s iti v it y   a n d   o p er atio n   f r eq u en c y .   F ig u r 2   s h o w s   th d i m e n s io n s   o f   C C an d   C A E B ,   w it h   th e   in t eg r atio n   o f   t h DaCM,   r e s p ec tiv el y .   As  it   ca n   b o b s er v ed ,   th ac ce ler o m eter ´ s   h eig h t i s   h al v ed ,   co m p ar ed   to   th C C A   a n d   C A E B ,   r esp ec tiv el y   Fi g u r 1 .   Geo m etie s   o f   Da C Ms a r d if f er en t.           ( a)   ( b )     Fig u r 2 .   Di m e n s io n s   o f   ( a)   C C A   an d   ( b )   C A E B   w it h   Da C M,   r esp ec tiv el y     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 0 8 8 - 8708   I n t J   E lec  &   C o m p   E n g ,   Vo l.  9 ,   No .   2 A p r il 2 0 1 9   :   8 9 4   -   9 0 1   898   Si m u latio n s   w er ca r r ied   o u t   as  in   th e   ca s es  p r ev io u s l y   s h o w n .   F ig u r e   3   an d   Fi g u r 4   s h o w   t h e   s i m u lated   r es u lt  o f   th d is p lace m en s e n s iti v it y   a n d   th o p er atio n   f r eq u en c y   f o r   C C A   an d   C A E B ,   r esp ec tiv el y .           ( a)   ( b )     Fig u r 3 .   ( a)   Dis p lace m e n s e n s it iv i t y   a n d   ( b )   o p e r atio n   f r eq u en c y   o f   C C A   w i th   Da C M           ( a)   ( b )     Fig u r 4 .   ( a)   Dis p lace m e n s e n s it iv i t y   a n d   ( b )   o p e r atio n   f r eq u en c y   o f   C A E B   w ith   Da C M       T ab le  4   s h o w s   co m p ar i s o n   o f   th r e s u l ts   o b tain ed   b y   s i m u latio n   b et w ee n   t h i n d iv id u a C C an d   th C C A   w it h   DaC M.   As  it  c an   b o b s er v ed ,   th i m p r o v e m en ts   i n   d is p lace m e n s e n s iti v it y   a n d   in   o p er atio n   f r eq u en c y   ar n ea r   to   5 0 %.       T ab le  4 .   C o m p ar is o n   o f   Si m u l atio n   R es u lt s   f o r   C C A’ s   S i m u l ated   P ar am eter s ,   w it h   an d   w it h o u t D a C M   D i sp l a c e me n t   S e n si t i v i t y   O p e r a t i o n   F r e q u e n c y   CCA   C C A   w i t h   D a C M   I mp r o v e me n t   w i t h   D a C M ,   %   CCA   C C A   w i t h   D a C M   I mp r o v e me n t   w i t h   D a C M ,   %   0 . 0 5 7   µ m / g   0 . 0 8 4   µ m / g   47   2 , 0 8 7   H z   3 , 2 2 5 . 9   H z   54       T ab le   5   s h o w s   th co m p ar i s o n   o f   th r es u lts   o b tain ed   b y   s i m u latio n   b et w ee n   th s i n g le  C A E B   an d   th C A E B   w it h   DaCM.   I n   th is   ca s e,   b o th   p ar a m eter s   s h o w   i n cr e m en t s ,   b u in   d if f er en p r o p o r tio n ,     v er y   s ig n i f ica n t o n l y   f o r   th c ase  o f   o p er atio n   f r eq u e n c y .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J   E lec  &   C o m p   E n g     I SS N:  2 0 8 8 - 8708       Dis p la ce men t m ec h a n ica a m p lifi ers   d esig n ed   o n   p o ly - s ilico n   ( R a mo n   C a b ello - R u iz )   899   T ab le  5 .   C o m p ar is o n   o f   Si m u l atio n   R es u lt s   f o r   C A E B s   P ar am eter s ,   w it h   an d   w it h o u t D aC M   D i sp l a c e me n t   S e n si t i v i t y   O p e r a t i o n   F r e q u e n c y   C A EB   C A EB   w i t h   D a C M   I mp r o v e me n t   w i t h   D a C M ,   %   C A EB   C A EB   w i t h   D a C M   I mp r o v e me n t   w i t h   D a C M ,   %   1 . 2 2   µ m / g   1 . 3 1   µ m / g   7   4 5 1 . 2 2   H z   7 8 2 . 1 7   H z   73       3 . 2 .     Co m pa ri s o n bet w ee po ly - s ilico n a nd   s ilico n str uct ures   I n   th i s   s ec tio n ,   co m p ar is o n   o f   s i m u la ted   p ar am eter s   f o r   s t r u ctu r es  i m p le m en ted   w i th   P o l y - Sil ico n   h er i m p le m en ted w i th   s i m i lar   s tr u ctu r e s   d esig n ed   an d   s i m u lated   in   Si lico n   [ 1 8 ] ,   is   p er f o r m ed .   T ab le  6   s h o w s   co m p ar i s o n   o f   t h d is p lace m e n s e n s it iv i t y   i n   C C A   a n d   C A E B   w it h o u D aCM  an d   w it h   t h e   in te g r atio n   o f   t h ese  i n   P o l y - Sil ico n   an d   Sil ico n .       T ab le  6 .   C o m p ar is o n   o f   Dis p l ac e m en t Sen s iti v it y   an d   Op er a tio n   Fre q u e n c y   S i m u lated   Val u es  f o r   C C A   a n d   C A E B ,   w it h   a n d   w i th o u t D aC M   M a t e r i a l   D i sp l a c e me n t   se n si t i v i t y ,   µ m / g   CCA   C C A   w i t h   D a C M   I mp r o v e me n t   w i t h   D a C M ,   %   C A EB   C A EB   w i t h   D a C M   I mp r o v e me n t   w i t h   D a C M ,   %   S i l i c o n   1 . 1 2     1 . 7 2     53   1 0 . 7 7     1 3 . 1 8     47   P o l y - S i l i c o n   0 . 0 5 7     0 . 0 8 4     22   1 . 2 2     1 . 3 1     7     O p e r a t i o n   f r e q u e n c y ,   H z   S i l i c o n   4 7 1 . 0 5     7 1 1 . 5 2     51   1 5 2     2 4 5 . 3 8     61   P o l y - S i l i c o n   2 , 0 8 7     3 , 2 2 5 . 9     54   4 5 1 . 2 2     7 8 2 . 1 7   73       A b o u t d is p la ce me n t sen s itivity :   Fo r   Sil ico n ,   w it h   t h i m p le m en tatio n   o f   DaCM,   th d is p l ac e m en s en s iti v it y ,   co m p ar ed   w ith   t h e   in d iv id u al  ac ce ler o m eter s   h a s   s i m ilar   in cr e m en t,  n ea r   to   5 0 %,  b u n o m in al  v alu i s   b ig g er   f o r   th ca s o f   C A E B   w it h   DaC M.   W h en   P o ly - Sil ico n   i s   u s ed ,   th s e n s i ti v it y   in cr e m e n is   b ig g er   in   th ca s o f   C C   w it h   Da C M,   b u t,  C A E B   v a lu e s   r e m ai n   b ig g er .   P o ly - Sil ico n   i m p le m en ta tio n   i s   s u g g es ted   to   p r o v id d is p l ac e m en s e n s i tiv it y   b elo w   1   μ m / g ,   an d   f o r   o p er atin g   f r eq u e n cie s   r an g f r o m   4 5 0   u p   to   3 , 2 0 0   Hz.   A b o u o p era tio n   fr eq u e n cy :   Fo r   Sil ico n ,   w i th   th e   i m p le m e n tatio n   o f   DaCM,   t h i n cr e m en o f   o p er atio n   f r eq u e n c y   i s   b ig g er   f o r   C A E B   w it h   Da C M,   b u n o m i n al  v alu e   is   b ig g er   to   C C A   w it h   DaCM.   W h en   P o l y - Sil ico n   is   u s ed ,     th i n cr e m e n o f   o p er atio n   f r eq u en c y   w it h   Da C i s   b ig g e r   f o r   th ca s o f   AC B E ,   b y   5 4 %,  b u th b i g g est   n o m i n al  v alu i s   f o r   t h ca s o f   C C A   w it h   Da C M.   I n   g e n er al,   f o r   th m ater ial s   u n d er   an al y s is ,   b i g g er   v al u es  o f   d is p lace m en s en s iti v it y   co r r esp o n d s   in   g en er al  to   C A E B   w it h   DaC M,   b u f o r   th ca s o f   o p e r atio n   f r eq u en c y ,   b ig g er   v al u es  co r r esp o n d   to   C C A   w it h   DaCM.   A b o u th s ize  o f   th s tr u ct u r es,  th d i m e n s io n s   i n   th XY - p la n es  ar s h o w n   i n   T ab le  7 .   A r ea s   o f   th e   s y s te m s   ac ce ler o m eter - DaCM   in   s il ico n   ar e   eq u i v alen t,  b u t   in   P o l y - Si lico n ,   ar lig h tl y   b i g g er   f o r   t h ca s o f   C A E B   w i th   Da C M.     T ab le  7 .   C o m p ar is o n   o f   Di m e n s io n s   M a t e r i a l   D i me n si o n s   C C A   X Y - p l a n e   [ mm ]   C C A   w i t h   D a C M   X Y - p l a n e   [ mm ]   A r e a   [ mm 2 ]   C A EB   X Y - p l a n e   [ mm ]   C A EB   w i t h   D a C M   XY - p l a n e   [ m m]   A r e a   [ mm 2 ]   S i l i c o n   1 1 . 2 ,   7   1 1 . 2 ,   7   7 8 . 4   1 1 . 2 ,   7   1 1 . 2 ,   7   7 8 . 4   P o l y - S i l i c o n   2 . 9 5 ,   1 . 7 4   2 . 9 5 ,   1 . 7 4   5 . 1 3 3   3 . 6 ,   2   3 . 6 ,   2   7 . 2       4.   CO NCLU SI O N S     I n   g en er al,   th i m p le m e n tat io n   o f   DaCM  s tr u ctu r es  r eq u ir e s   m o d if icatio n   in   th e ir   g eo m et r ies  an d   in   th ac ce ler o m eter ´ s   m a s s .   I w a s   co n s id er ed   th at  th s y s t e m   d id   n o ex ce ed   th ar ea   o f   ea ch   in d iv id u al   ac ce ler o m eter .     A b o u t h co m p ar is o n   o f   th ac ce ler o m e ter s   w it h   DaCM,   d esig n ed   w i th   P o l y - Sil ico n   a n d   Sil ico n ,   th co n cl u s io n s   ar e:   I t is s u g g es ted   th i m p le m en ta tio n   w it h   Si lico n   to   o b tain   s e n s it iv i t y   o f   d is p lace m en in   r an g o f   1   to   1 3   μ m /g ,   a n d   f o r   r an g i n   o p er atin g   f r eq u en cie s   o f   1 5 0   to   7 1 0   Hz.   T h im p le m e n tatio n   w it h   P o l y - Sil ico n   is   s u g g ested   in   o r d er   to   p r o v id d is p lace m e n s e n s iti v i t y   b elo w   1   μ m /g ,   an d   f o r   r an g in   o p er atin g   f r eq u en c ies o f   4 5 0   to   3 , 2 0 0   H z.   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 0 8 8 - 8708   I n t J   E lec  &   C o m p   E n g ,   Vo l.  9 ,   No .   2 A p r il 2 0 1 9   :   8 9 4   -   9 0 1   900   Fro m   th co m p ar is o n   p er f o r m ed ,   it  is   also   co n clu d ed   th at  th b eh av io r   o f   th s tr u ct u r es  in   b o th   m ater ials   i s   s i m ilar ,   alt h o u g h   th r es u lt s   ar e   g r ea ter   f o r   t h s en s iti v it y   o f   d is p lace m e n wh en   Sil ico n   is   u s ed ,   w h ile  t h h i g h er   o p er atio n   f r eq u en c y   co r r esp o n d s   to   th ca s o f   P o ly - Sil ico n ,   f o r   C AE B   an d   C C A   w ith   DaCM,   r esp ec ti v el y .   T h is   f ac is   d u to   t h m as s   i n v o l v ed   is   s m al ler   th a n   i n   th ca s o f   Sil ico n ,   as   it  i s   r eq u ir ed   b y   th d es ig n   r u le s .   T h s ize  o f   th e   s y s te m s   i m p le m en ted   in   P o l y - Sil ico n ,   ar ap p r o x i m atel y   o n e - t h ir d   s m aller   th an   t h o s e   i m p le m en ted   i n   S ilico n .   S y s t e m s ´   s izes  d o   n o s u r p as s   t h a o f   t h ac ce ler o m eter s   a n al y ze d   in d ep en d en tl y .   T h s h ap o f   t h Da C M   is   ad j u s ted   in   ea c h   ca s e ,   ac co r d in g   to   li m itatio n   o n   ar ea ,   an d   th e     d esire d   p er f o r m a n ce .   A b o u t   t h p r ac tical  i m p ac o f   Da C M,   d u to   i n cr ea s e s   i n   d is p lace m e n s e n s iti v it y   o r   o p er atin g   f r eq u en c y ,   it  m a y   n o b n ec ess ar y   to   u s a n   ex ter n al  a m p lif ier .   A s   f u t u r w o r k ,   th d e s ig n   o f   n e w   Da C M   g eo m etr ie s   f o r   g eo m etr ies o f   o th er   ac ce ler o m eter s   co u ld   also   b p er f o r m ed .       ACK NO WL E D G E M E NT   P .   Var g as  ex p r ess ed   t h eir   s i n ce r th an k s   to   C ON AC YT   f o r   t h s c h o lar s h ip   w i th   g r an ts   r ef er en ce   4 8 4 3 9 2 /2 7 3 9 2 8 .       RE F E R E NC E   [1 ]   En g in e e rs  ED G S o lu ti o n s   b y   De si g n ,   A c c e l e ro m e ter a b o u a n d   A p p li c a ti o n .   A v a il a b le  a t:   h tt p : // ww w . e n g in e e rse d g e . c o m /i n stru m e n tatio n /ac c e lero m e ters . h tm (a c c e ss e d   o n   M a y   3 th ,   2 0 1 7 ).     [2 ]   R.   G o o d rich ,   L iv e S c ien c e   c o n tri b u t o r.   A c c e lero m e ters W h a Th e y   A r e   &   Ho w   T h e y   W o rk .   O c to b e 1 ,   2 0 1 3 ,   h tt p : // ww w . li v e sc i e n c e . c o m /4 0 1 0 2 - a c c e lero m e ters . h t m (a c c e ss e d   o n   M a y   3 th ,   2 0 1 7 ).   [3 ]   J.  R.   Kw a p isz ,   G .   M .   W e iss,  S .   A .   M o o re ,   A c ti v it y   Re c o g n it io n   u sin g   Ce ll   P h o n e   A c c e lero m e ter s,‖   S e n so rKD D   ’1 0 ,   Ju ly   2 5 ,   2 0 1 0 ,   W a sh in g to n ,   DC,  USA .     [4 ]   X .   S u ,   H.  T o n g ,   a n d   P .   Ji.  Ac ti v it y   Re c o g n it io n   w it h   S m a rtp h o n e   S e n so rs‖ .   T sin g h u a   S c ien c e   a n d   T e c h n o l o g y 2 0 1 4   1 9   (3 2 3 5 - 2 4 9 .   IS S Nl l1 0 0 7 - 0 2 1 4 ll 0 2 / 1 1 ll .     [5 ]   C.   S w e e tl in   He m a lath a ,   V .   V a i d e h i,   F re q u e n t   Bit   P a t tern   M in i n g   Ov e T ri - a x ial  A c c e lero m e ter  Da ta  S trea m f o r   Re c o g n izin g   Hu m a n   A c ti v it ies   a n d   De tec ti n g   F a ll ,   Pro c e d i a   Co mp u ter   S c ien c e .   T h e   4 th   I n ter n a ti o n a Co n fer e n c e   o n   Am b ien t   S y ste ms ,   Ne two rk s a n d   T e c h n o l o g ies   2 0 1 3   1 9 .   5 6     6 3 )   [6 ]   J.   L a n ,   T .   L a n ,   a n d   S .   Na h a v a n d i,   No v e A p p li c a ti o n   o f   a   M icro a c c e lero m e ter  f o T a rg e Clas si fica ti o n ,   IEE E   S e n so rs   J o u rn a l ,   2 0 0 4   4   ( 4 5 1 9 - 5 2 4 .     [7 ]   M .   M a a lo u f ,   G a T u rb in e   V i b r a ti o n   M o n it o ri n g     A n   Ov e rv i e w ,   Ap p li c a ti o n E n g i n e e r,  Ben tl y   Ne v a d a ®   Pro d u c ts  GE   En e rg y ,   ORBIT   2 0 0 5   2 5   ( 1 4 8 - 6 2 .   [8 ]   De v ic e   f o d e tec ti n g   m a n u a trem o rs  o f   c o n v u lsiv e   n a tu re   a n d   h e a rt  rh y th m ,   En d o rs e d   b y   th e   T e c h n ica Co u n c il   o CIICA p - UAEM .   F e b r u a ry   2 0 ,   2 0 1 7 .   T h e sis Re g ister:  Ja n u a ry   2 0 1 4 .   [9 ]   C.   L a tella,  N.  Ku p p u sw a m y   &   F .   No ri,   F o rc e   a n d   m o ti o n   c a p tu re   sy ste m   b a s e d   o n   d i strib u te d   m icro - a c c e lero m e t e rs,  g y ro s,  f o rc e   a n d   tac ti le  se n sin g ,   Co n fer e n c e   Pro c e e d in g 2 n d   I n ter n a ti o n a E lec tro n ic  Co n fer e n c e   o n   S e n so rs   a n d   A p p li c a ti o n s   2 0 1 5   1 - 6.   [1 0 ]   P .   R.   O u y a n g ,   W .   J.  Zh a n g ,   M .   M .   G u p ta,   A   Ne w   Co m p li a n M e c h a n ica Am p li f i e Ba se d   o n   a   S y m m e tri c   F iv e - Ba T o p o lo g y ,   J o u rn a o M e c h a n ica De sig n ,   Oc to b e 2 0 0 8 ,   v o l.   1 3 0   1 0 4 5 0 1 - 1   t o   1 0 4 5 0 1 - 5.   [1 1 ]   L a u re n ţi u ,   M e c h a n ica a m p li f ic a ti o n   sy ste m   f o d isp lac e m e n ts  p ro d u c e d   b y   p iez o e le c tri c   a c tu a to r s , .   U.P . B.   S c i.   Bu ll . ,   S e ries   D,  v o l.   7 3 ,   n o .   2 ,   2 0 1 1 ,   IS S N 1 4 5 4 - 2 3 5 8 ,   p p   2 3 9 - 2 4 8 .     [1 2 ]   S. A .   Ba z a z ,   A .   Iq b a &   M . S .   Kh a n ,   M o n o li t h ic  T ri - A x e Nic k e l - Ba se d   A c c e lero m e ter  De sig n   V e rif ied   T h ro u g h   F in it e   E lem e n A n a l y sis,‖   Ara b ia n   J o u r n a l   fo S c ien c e   a n d   En g in e e rin g ,   2 0 1 3 ; 3 8 ( 8 ); 2 1 0 3 2 1 1 3 .   [1 3 ]   J .   Zh a n g ,   Y.  S u ,   Q .   S h &   A .   Qiu ,   M icro e lec tro m e c h a n ica Re so n a n A c c e lero m e ter  D e sig n e d   w it h   a   Hig h   S e n siti v it y ,   S e n so rs ,   2 0 1 5 ,   1 5 ;( 1 2 ); 3 0 2 9 3 3 0 3 1 0 .   [1 4 ]   K.  S a m b u d d h a ,   De v e lo p m e n o f   M icro m a c h in e d   a n d   M e so - sc a le  M u lt i - a x is  A c c e lero m e ter w it h   Disp lac e m e n t - a m p li fy in g   Co m p li a n M e c h a n ism s,‖   A   th e sis   S u b m it ted   f o th e   De g re e   o f   d o c to o f   p h il o so p h y ,   F a c u lt y   o En g in e e rin g ,   In d ian   In stit u te o f   S c ien c e ,   Ba n g a lo re ,   Ju ly   2 0 1 3 .   [1 5 ]   H.D.  Ke n n e d y - Ca b re ra ,   J.  He rn a n d e z - T o rre s,  A . L .   He rre ra - M a y ,   J.  M i re les - Jr,  &   A . S a u c e d a - Ca rv a jal,   F a b rica c io n   y   c a ra c teriz a c io n   d e   u n   a m p li f ica d o m e c a n ico   f le x ib le,‖   Re v ista  m e x ica n a   d e   f isica   2 0 1 4     6 0   2 8 2 2 8 9 .   [1 6 ]   W . P .   R o b b in s,   D.L .   P o ll a   &   D.E . G lu m a c ,   Hig h - d isp lac e m e n p iez o e lec tri c   a c tu a to u ti li z i n g   m e a n d e r - li n e   g e o m e tr y P a rt  I:  Ex p e ri m e n tal  c h a ra c teriz a ti o n , ‖  IEE T ra n s.  U lt ra so n ics   Fer ro e lec trics   a n d   Fre q u e n c y   Co n tr o l   1 9 9 1   3 8   (5 4 5 4 4 6 0 .   [1 7 ]   R.   Ca b e ll o - Ru iz,  M .   T e c p o y o tl - To rre s,  A .   T o rre s - c o m e ,   V .   G ri m a lsk y ,   J. G . V e ra - Di m a &   P .   V a rg a s -   Ch a b lé,   No v e Disp lac e m e n t - a m p li fy in g   Co m p li a n M e c h a n ism   I m p le m e n ted   o n   a   M o d if ied   Ca p a c it iv e   A c c e lero m e ter,   In ter n a t io n a J o u rn a o E lec trica a n d   C o mp u ter   En g in e e rin g   ( IJ ECE ) ,   7 ( 4 ),   2 0 1 7 ,   p p .   1 8 5 8 - 1 8 6 6 .   [1 8 ]   X .   Jia n b in g ,   S .   M e n g   &   Y.  W e iz h e n g ,   A   h ig h   s e n siti v it y   m icro m a c h in e d   a c c e lero m e ter  w it h   a n   e n h a n c e d   in e rti a l   m a ss   S OI  M EM S   p ro c e ss ,   In   p ro c e e d in g Na n o /M icr o   En g in e e re d   a n d   M o lec u la S y ste ms   ( NE M S ),   8 th   IEE E   In ter n a t io n a C o n fer e n c e   o n   S u zh o u ,   2 0 1 3 .   Ch in a ,   p .   3 3 6 - 3 3 9 .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J   E lec  &   C o m p   E n g     I SS N:  2 0 8 8 - 8708       Dis p la ce men t m ec h a n ica a m p lifi ers   d esig n ed   o n   p o ly - s ilico n   ( R a mo n   C a b ello - R u iz )   901   [1 9 ]   El e m e n to s.  h tt p : // e lem e n to s.o rg . e s/p o ly _ s il icio .   (a c c e ss e d   o n   1 2   Ju l y   2 0 1 6 ).       BI O G RAP H I E S   O F   AUTH O RS          Ra m o n   C a b e ll o   R u iz   re c e iv e d   t h e   d e g re e   o f   M e c h a n ica En g in e e (2 0 1 0 f ro m   th e   A u to n o m o u s   Un iv e rsit y   o f   M o re lo (UA EM ),   M e x ico .   He   o b tai n e d   t h e   Dr . S c .   f ro m   Ce n ter  f o A p p li e d   Re se a rc h   in   En g i n e e rin g   a n d   A p p li e d   S c ien c e (CIICA p ),   M e x ico ,   in   2 0 1 7 .   Ra m o n   Ca b e ll o   tea c h a th e   Un iv e rsid a d   T e c n o l o g ica   Em il ian o   Zap a ta,  a n d   Un iv e rsid a d   P o li tec n ica   d e Estad o   d e   M o re lo s.         M a r g a r ita   Te c p o y o tl  To r r e s   re c e iv e d   th e   M a th e m a ti c ian   d e g re e   f ro m   th e   Un iv e rsit y   o P u e b la,   M e x ico ,   in   1 9 9 1 .   F r o m   th is  Un iv e rsit y ,   sh e   w a a lso   g ra d u a ted   a s E lec tro n ic E n g i n e e in   1 9 9 3 .   S h e   re c e iv e d   th e   M . S c .   a n d   P h . D.  d e g re e in   El e c tro n ics   f ro m   Na ti o n a I n stit u te  o f   A stro p h y sic s,   Op ti c a n d   El e c tro n ics ,   INA OE,   M é x ico ,   in   1 9 9 7   a n d   1 9 9 9 ,   re sp e c ti v e l y .   Dr.  T e c p o y o tl   w o rk s,  sin c e   1 9 9 9 ,   a CIICA p   o f   U A E M ,   M e x ico ,   w h e re   sh e   is  c u rre n tl y   ti tu lar  p ro f e ss o r.   S h e   h a b e e n   v isit in g   re se a rc h   sc ien ti st  in   Un i v e rsit y   o f   Bristo (2 0 0 1 ),   UK .   I n   2 0 1 5   sh e   w o n   t h e   th ird   p lac e   in   th e   Ro y a Ac a d e m y   o f   En g in n e ri n g   in   t h e   L e a d e rs  in   In n o v a ti o n   F e ll o w sh ip f in a p it c h   se ss io n ,   in   UK .   S h e   h o l d s th e   sta t u s o f   Na ti o n a Re se a rc h e (S NI),  in   M e x ico   sin c e   1 9 9 9 .         Alfo n s o   To r r e s   r e c e iv e d   th e   M . S .   d e g re e   f ro m   th e   Un iv e rsit y   o f   N e w   M e x ico ,   A lb u q u e rq u e ,   NM ,   USA ,   in   1 9 9 1 ,   a n d   t h e   P h . D.   d e g re e   in   m icro e lec tro n ics   f r o m   th e   Na ti o n a In stit u te  o f   A stro p h y si c s,  Op ti c a n d   El e c tro n ics   (INA OE),   P u e b la,  M e x i c o ,   in   1 9 9 7 .   He   h a b e e n   a   Re se a rc h e w it h   th e   El e c tro n ic G ro u p ,   INA OE,   sin c e   1 9 8 4 ,   a n d   is  c u rre n tl y   He a d   o f   th e   El e c tro n ics   De p a rtm e n a INA O a n d   th e   C h ief   o f   th e   L a b o ra to r y   o f   In n o v a ti o n   i n   M EM S .   His   c u rre n in tere st  a re   M EM S   d e sig n   a n d   fa b rica ti o n   a n d   n a n o stru c tu re d   m a teria ls  d e p o sit io n   a n d   c h a ra c teriz a ti o n .         J o   G e r a r d o   V e r a   is  g ra d u a ted   f ro m   th e   T e c h n o lo g ica In st it u te  o f   M o re li a   a El e c tro n ic  En g in e e r.   Cu rre n t ly ,   h e   is  o rg a n izin g   m e m b e o f   ROP EC  e d it io n s   V II  a n d   V III.   He   re c e iv e d   th e   EG RE T EC  2 0 0 9   a w a rd   a s   Yo u n g   G ra d u a ted   f ro m   th e   G r a d u a ted   As so c iatio n   o f   th e   T e c h n o lo g ica l   In stit u te  o f   M o re li a .   He   g o h is  M a ste d e g re e   w it h   h o n o rs  in   CIICA p ,   U A EM .   He   a lso   g o th e   P h d e g re e   in   En g in e e rin g   a n d   A p p li e d   S c ien c e   in   El e c tri c a a re a .   He   w a p a rt  o f   th e   w in n e tea m   o f   th e   Bo o tCam p   2 0 1 3   o rg a n ize d   b y   T e c h BA ,   a lso   h e   is  p a rt  o f   th e   w in n e tea m   o f   a   sc h o lars h ip   to   b e   p a rt  o f   th e   p ro g ra m   F ULL   IM M ERS ION   in   T e c h B A   S il ico n   Va ll e y .         S v e tla n a   K o s h e v a y a   o b tain e d   a   m a ste r' s d e g re e   in   th e   sp e c ialt y   o e lec tro n ics   in   th e   d e p a rtm e n o p h y sic a ra d io   o f   th e   Na ti o n a U n iv e rsity   o f   Kie v ,   Uk ra in e   in   1 9 6 4 ,   a   d o c to ra te  d ip l o m a   a th e   M il it a ry   In stit u te  o f   Ra d io   P r o b lem in   Kie v   in   1 9 6 9 ,   d ip l o m a   o f   d o c to o f   sc ien c e   f ro m   th e   Na ti o n a Un iv e rsity   o f   Ki e v ,   Uk r a in e   in   1 9 8 6 .   Dr.  K o sh e v a y a   w o rk e d   a a n   e n g in e e a M il it a ry   In stit u te  o f   Ra d io   P r o b lem in   Kie v   (1 9 6 4 - 1 9 6 8 ).   I n   1 9 7 0 - 1 9 7 2   sh e   w o rk   a a   p rin c ip a l   in v e stig a to a th e   ORIO M il it a r y   In stit u te.  I n   1 9 7 2 - 1 9 7 4   s h e   w o rk e d   in   th e   P h y sic a Ra d io   De p a rtme n o f   th e   Na ti o n a Un iv e rsit y   o f   Kie v ,   U k ra in e   a s   a   te n u re d   re se a rc h e r,   late a p ro f e s so r - re se a rc h e le v e 1   (1 9 7 4 - 1 9 8 0 ),   l e v e 2   (1 9 8 0 - 1 9 8 7 a n d   h ig h e le v e (1 9 8 7 - 1 9 9 5 ).   I n   M e x ico ,   sh e   sta rted   w o rk in g   a IN AO E.   Cu rre n tl y ,   sh e   w o rk a CIIC A p ,   U A EM .   S h e   is  a   m e m b e o th e   A c a d e m y   o f   S c ien c e s.         Ped r o   V a r g a Cha b   R e c e iv e d   th e   B.   S c .   De g re e   b y   th e   A u to n o m o u Un iv e rsity   Ju a re z   f ro m   T a b a sc o   in   2 0 0 8 .   F ro m   2 0 0 9   t o   2 0 1 2 ,   h e   w a T e c h n ica S p e c ialist  A s se s m e n o f   L ig h ti n g   Co n d it io n a n d   N o n - I o n izi n g   Ra d iatio n ,   NO M - 0 2 5 - S T P S - 2 0 0 8   a n d   NO M - 0 1 3 - S T P S - 1 9 9 3   re s p e c ti v e l y ,   in   En v iro n m e n tal  Tec h n o l o g y   S . o C. V .   In   2 0 1 4   h e   re c e iv e d   th e   M . S c .   De g re e   a th e   A u to n o m o u s Un iv e rsit y   o f   M o re lo s S tate   (U A EM ).   He   is   a   P h D stu d e n a th e   Re se a rc h   Ce n ter  o n   En g i n e e rin g   a n d   A p p li e d   S c i e n c e   (CIIC A p o f   th e   U A EM .   His  c u rre n re se a rc h   in tere st  a r e   F EA ,   m icro g rip p e r,   m icro a c tu a to rs an d   V L S I.   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.