I
nte
rna
t
io
na
l J
o
urna
l o
f
E
lect
rica
l a
nd
Co
m
p
ute
r
E
ng
in
ee
ring
(
I
J
E
CE
)
Vo
l.
9
,
No
.
6
,
Dec
em
b
er
201
9
,
p
p
.
4
6
7
5
~4
6
8
3
I
SS
N:
2
0
8
8
-
8708
,
DOI
: 1
0
.
1
1
5
9
1
/
i
j
ec
e
.
v9
i
6
.
p
p
4
6
7
5
-
4683
4675
J
o
ur
na
l ho
m
ep
a
g
e
:
h
ttp
:
//ia
e
s
co
r
e
.
co
m/
jo
u
r
n
a
ls
/in
d
ex
.
p
h
p
/
I
JE
C
E
Perf
o
r
m
a
nce
of
c
o
m
plia
nt
m
echa
n
is
m
s a
ppli
ed
to a
m
o
difi
ed
sha
pe accelero
m
e
ter
o
f
sing
le and d
o
uble lay
er
M
.
T
ec
po
y
o
t
l
-
T
o
rr
es
1
,
R.
C
a
bello
-
Ruiz
2
,
P
.
Va
rg
a
s
-
Cha
ble
3
,
J
.
G
.
Ver
a
-
Di
m
a
s
4
,
A.
O
ca
m
po
-
Dia
z
5
1,
3,
5
Re
se
a
rc
h
In
stit
u
te o
f
Ba
sic
a
n
d
A
p
p
li
e
d
S
c
ien
c
e
s
-
Re
se
a
rc
h
Ce
n
ter o
f
En
g
in
e
e
rin
g
a
n
d
A
p
p
li
e
d
S
c
ien
c
e
s
(IICBA
-
CIIC
A
p
),
o
f
A
u
to
n
o
m
o
u
s Un
iv
e
rsit
y
o
f
th
e
S
tate
o
f
M
o
re
l
o
s (UA
EM
),
M
o
re
lo
s
,
M
é
x
ico
2
T
e
c
h
n
o
lo
g
ic Un
iv
e
rsity
E
m
il
ian
o
Zap
a
ta (
UT
EZ
),
Em
il
ian
o
Za
p
a
ta
,
M
o
re
lo
s,
M
e
x
ico
4
Ch
e
m
ic
a
l
S
c
ien
c
e
s a
n
d
En
g
in
e
e
r
in
g
F
a
c
u
lt
y
,
o
f
A
u
to
n
o
m
o
u
s Un
iv
e
rsit
y
o
f
th
e
S
tate
o
f
M
o
re
lo
s (U
A
EM
),
M
é
x
ico
Art
icle
I
nfo
AB
ST
RAC
T
A
r
ticle
his
to
r
y:
R
ec
eiv
ed
J
an
1
,
2
0
1
9
R
ev
i
s
ed
Ma
y
1
1
,
2
0
1
9
A
cc
ep
ted
J
u
n
2
6
,
2
0
1
9
A
c
c
e
lero
m
e
ter
s
a
re
w
id
e
l
y
u
se
d
in
se
v
e
ra
l
m
e
c
h
a
n
is
m
s
o
f
h
ig
h
s
e
n
sit
iv
it
y
.
T
h
e
y
a
r
e
e
m
p
lo
y
e
d
f
o
r
e
x
a
m
p
le
in
ti
lt
-
c
o
n
tr
o
l
in
sp
a
c
e
c
ra
f
t,
in
e
rti
a
l
n
a
v
ig
a
ti
o
n
,
o
il
e
x
p
lo
ra
ti
o
n
,
se
ism
ic
m
o
n
it
o
rin
g
,
e
tc.
In
o
rd
e
r
to
im
p
ro
v
e
th
e
se
n
siti
v
it
y
o
f
th
e
m
e
a
su
re
m
e
n
ts,
i
m
p
le
m
e
n
tatio
n
o
f
Disp
lac
e
m
e
n
t
-
a
m
p
li
fy
in
g
Co
m
p
li
a
n
t
M
e
c
h
a
n
ism
s
(Da
C
M
s)
in
a
c
a
p
a
c
it
iv
e
a
c
c
e
lero
m
e
t
e
r
h
a
v
e
b
e
e
n
re
p
o
rted
in
t
h
e
li
tera
tu
re
.
I
n
th
is
p
a
p
e
r,
a
s
y
ste
m
c
o
m
p
o
se
d
o
f
tw
o
e
le
m
e
n
ts;
c
a
p
a
c
it
iv
e
a
c
c
e
lero
m
e
ter
w
it
h
e
x
ten
d
e
d
b
e
a
m
s
(CA
EB)
a
n
d
a
Da
CM
g
e
o
m
e
tr
y
,
o
f
sin
g
le
a
n
d
so
u
b
le
lay
e
r,
a
re
a
n
a
ly
se
d
.
T
h
re
e
m
a
t
e
rials
w
e
r
e
c
o
n
sid
e
re
d
,
in
t
h
e
c
a
se
,
f
o
r
th
e
se
c
o
n
d
lay
e
r
.
T
h
e
Da
CM
i
m
p
le
m
e
n
tatio
n
i
m
p
ro
v
e
s
th
e
o
p
e
ra
ti
o
n
f
re
q
u
e
n
c
y
a
n
d
d
isp
lac
e
m
e
n
t
s
e
n
siti
v
it
y
,
u
n
d
e
r
d
iff
e
re
n
t
p
ro
p
o
rti
o
n
s,
a
t
th
e
sa
m
e
ti
m
e
.
F
u
rth
e
rm
o
re
,
th
re
e
sw
e
e
p
s
w
e
re
p
e
rf
o
r
m
e
d
:
a
ra
n
g
e
o
f
th
ick
n
e
ss
fro
m
2
5
µ
m
u
p
to
3
0
µm
(to
d
e
term
in
e
th
e
a
p
p
ro
p
riate
sili
c
o
n
m
a
ss
v
a
lu
e
,
u
sin
g
S
OI
tec
h
n
o
l
o
g
y
),
a
ra
n
g
e
o
f
se
c
o
n
d
lay
e
r
th
ick
n
e
ss
(to
c
h
o
o
se
th
e
m
o
re
a
p
p
ro
p
riate
m
a
teria
l
a
n
d
it
s
t
h
ick
n
e
ss
)
a
n
d
a
ra
n
g
e
o
f
g
ra
v
i
ty
v
a
lu
e
s
(to
d
e
term
in
e
th
e
m
a
x
i
m
u
m
n
o
rm
a
l
str
e
ss
in
t
h
e
b
e
a
m
s,
w
h
ic
h
d
e
f
in
e
s
th
e
su
p
e
rio
r
v
a
lu
e
o
f
th
e
g
o
p
e
ra
t
io
n
ra
n
g
e
).
T
h
e
in
-
p
lan
e
m
o
d
e
(
y
-
a
x
is)
wa
s
c
o
n
sid
e
re
d
i
n
a
ll
a
n
a
ly
se
d
c
a
se
s.
T
h
is
c
h
a
ra
c
teriz
a
ti
o
n
w
a
s
d
e
v
e
l
o
p
e
d
u
sin
g
th
e
F
i
n
it
e
E
lem
e
n
t
M
e
th
o
d
.
S
tr
u
c
tu
ra
l
a
n
d
m
o
d
a
l
a
n
a
ly
sis
re
sp
o
n
se
s
w
e
re
u
n
d
e
r
s
t
u
d
y
.
K
ey
w
o
r
d
s
:
A
cc
eler
o
m
eter
DaCM
Fre
q
u
en
c
y
MEMS
Sen
s
iti
v
it
y
Co
p
y
rig
h
t
©
2
0
1
9
In
stit
u
te o
f
A
d
v
a
n
c
e
d
E
n
g
i
n
e
e
rin
g
a
n
d
S
c
ien
c
e
.
Al
l
rig
h
ts re
se
rv
e
d
.
C
o
r
r
e
s
p
o
nd
ing
A
uth
o
r
:
R
a
m
o
n
C
ab
ello
-
R
u
iz,
T
ec
h
n
o
lo
g
ic
Un
i
v
er
s
i
t
y
E
m
ili
an
o
Z
ap
ata,
Av
.
Un
iv
er
s
id
ad
T
e
cn
o
ló
g
ica
1
,
P
alo
E
s
cr
ito
,
6
2
7
6
5
E
m
ilia
n
o
Z
ap
ata,
M
o
re
lo
s,
M
e
x
ico
.
E
m
ail:
r
a
m
o
n
.
ca
b
ello
@
u
ae
m
.
m
x
1.
I
NT
RO
D
UCT
I
O
N
A
cc
eler
o
m
eter
s
m
ea
s
u
r
e
th
e
ac
ce
ler
atio
n
o
f
a
n
o
b
j
ec
t
b
y
u
tili
zi
n
g
t
h
e
clas
s
ical
Ne
w
to
n
ian
L
a
w
o
f
Fo
r
ce
s
,
w
h
er
e
f
o
r
ce
s
o
f
t
h
e
s
a
m
e
m
a
g
n
itu
d
e
w
il
l
b
e
g
e
n
er
at
ed
in
t
h
e
o
p
p
o
s
ite
d
ir
ec
tio
n
o
f
th
e
ap
p
lied
f
o
r
ce
.
T
h
is
f
o
r
ce
is
n
o
r
m
all
y
d
etec
te
d
b
y
a
m
o
v
ab
le
p
ar
t
in
t
h
e
ac
ce
ler
o
m
e
ter
an
d
is
tr
an
s
lated
in
to
elec
tr
ical
s
ig
n
al
u
s
i
n
g
v
ar
io
u
s
elec
tr
ical
p
r
i
n
c
ip
les
f
o
r
f
u
r
th
er
p
r
o
ce
s
s
in
g
a
n
d
d
ata
e
x
tr
ac
tio
n
[
1
]
.
T
h
ese
m
ea
s
u
r
e
m
e
n
ts
ar
e
p
er
f
o
r
m
ed
i
n
o
n
e,
t
w
o
o
r
th
r
ee
o
r
th
o
g
o
n
al
a
x
es.
T
h
e
ac
ce
ler
atio
n
m
ea
s
u
r
e
m
en
ts
ar
e
t
y
p
icall
y
u
s
ed
to
ca
lcu
late
i
n
-
p
la
n
e
v
elo
cit
y
an
d
p
o
s
itio
n
,
in
clin
a
tio
n
,
tilt
o
r
o
r
ien
tatio
n
in
t
w
o
o
r
th
r
ee
d
im
e
n
s
io
n
s
w
it
h
r
esp
ec
t
to
th
e
ac
ce
ler
a
tio
n
o
f
g
r
av
it
y
(
g
,
eq
u
iv
ale
n
t
to
9
.
8
1
m
/s
2
)
,
as
w
e
ll
as
to
m
ea
s
u
r
e
v
ib
r
atio
n
an
d
i
m
p
ac
t
[
1
-
3
]
.
T
h
e
f
ir
s
t
b
atch
-
f
ab
r
icata
b
le
ac
ce
ler
o
m
eter
w
a
s
r
ep
o
r
ted
in
1
9
7
9
[
4
]
.
I
t
w
as
ca
p
ab
le
o
f
m
ea
s
u
r
i
n
g
ac
ce
ler
atio
n
s
f
r
o
m
0
.
0
0
1
to
5
0
g
o
v
er
a
1
0
0
Hz
b
an
d
w
id
t
h
.
Sin
ce
1
9
9
0
,
ac
ce
ler
o
m
eter
s
ar
e
co
m
m
er
cialize
d
an
d
w
id
el
y
u
s
ed
i
n
t
h
e
au
to
m
o
b
ile
in
d
u
s
tr
ies
f
o
r
tr
ig
g
er
in
g
ai
r
-
b
ag
s
y
s
te
m
in
co
n
v
er
tib
le
s
[
1
]
.
T
h
e
y
h
a
v
e
s
ee
n
s
ig
n
i
f
ica
n
t
s
u
cc
es
s
in
a
lar
g
e
s
p
ec
tr
u
m
o
f
ap
p
licatio
n
s
,
r
an
g
i
n
g
f
r
o
m
th
e
a
u
to
m
o
t
iv
e
co
n
tr
o
l
an
d
s
af
e
t
y
s
y
s
te
m
s
,
co
n
s
u
m
er
elec
tr
o
n
ic
s
f
o
r
m
o
b
ile,
g
a
m
i
n
g
,
w
ea
r
ab
le
an
d
h
ea
lt
h
ca
r
e
d
ev
ices,
a
n
d
also
i
n
i
n
d
u
s
tr
ial,
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
SS
N
:
2
0
8
8
-
8708
I
n
t J
E
lec
&
C
o
m
p
E
n
g
,
Vo
l.
9
,
No
.
6
,
Dec
em
b
er
2
0
1
9
:
4
6
7
5
-
4
6
8
3
4676
g
eo
p
h
y
s
ical,
a
n
d
m
i
litar
y
/aer
o
s
ec
to
r
s
[
2
,
5
-
9
]
.
C
ap
ac
itan
c
e
ac
ce
ler
o
m
e
ter
s
m
a
y
b
e
m
o
r
e
s
u
i
tab
le
f
o
r
s
o
m
e
ap
p
licatio
n
s
lik
e
a
u
to
m
o
ti
v
e
cr
ash
d
etec
tio
n
an
d
air
-
b
ag
d
ep
lo
y
m
e
n
t
(
h
i
g
h
g
f
o
r
ce
,
s
u
ch
a
s
5
0
g
)
[
2
]
.
C
o
m
b
i
n
atio
n
o
f
d
esira
b
le
f
ea
t
u
r
es
li
k
e
s
m
all
s
ize,
lo
w
p
o
w
er
d
is
s
ip
atio
n
,
h
i
g
h
s
e
n
s
i
tiv
it
y
an
d
lo
w
co
s
t
ar
e
n
ea
r
l
y
al
w
a
y
s
n
ee
d
ed
f
o
r
m
a
n
y
o
f
t
h
eir
ap
p
licatio
n
s
[
2
]
.
P
ar
t
o
f
th
eir
r
esear
c
h
is
f
o
cu
s
ed
o
n
th
e
o
p
ti
m
izatio
n
o
f
th
e
d
e
v
ices
s
en
s
iti
v
it
y
,
lo
o
k
in
g
f
o
r
a
b
etter
ef
f
icie
n
c
y
.
T
h
er
e
ar
e
d
iv
er
s
e
t
y
p
es
o
f
ac
ce
ler
o
m
e
ter
s
i
n
th
e
m
ar
k
et,
i
n
[
1
]
th
e
y
ar
e
class
i
f
i
ed
as:
C
ap
ac
itiv
e,
P
iezo
elec
tr
ic,
P
iezo
r
esis
tiv
e,
Hall
E
f
f
ec
t,
Ma
g
n
e
to
r
esis
ti
v
e,
Hea
t
T
r
an
s
f
e
r
,
Op
tical,
an
d
T
u
n
n
elli
n
g
.
Sev
er
al
m
ater
ials
h
av
e
b
ee
n
s
t
u
d
ied
to
p
r
o
v
id
e
s
o
m
e
ad
v
a
n
ta
g
es
i
n
th
e
f
ab
r
icatio
n
o
r
in
th
e
r
esp
o
n
s
e
o
f
ac
ce
ler
o
m
eter
s
,
a
s
i
n
[
1
0
]
.
A
s
t
u
d
y
o
f
a
co
n
tr
o
llab
le
alu
m
i
n
iu
m
d
o
p
ed
zin
c
o
x
id
e
(
A
Z
O)
p
atter
n
in
g
b
y
w
et
etch
in
g
f
o
r
ME
MS
ap
p
licatio
n
s
is
g
i
v
en
i
n
[
1
1
]
.
Oth
er
s
tr
u
ctu
r
e
s
h
a
v
e
b
ee
n
d
ev
elo
p
ed
to
in
cr
ea
s
e
th
e
d
is
p
lace
m
e
n
t
o
b
tain
ed
in
s
e
v
er
al
ac
ce
ler
o
m
eter
s
,
s
u
ch
as
m
ec
h
an
ical
a
m
p
li
f
ier
,
w
h
ich
ca
n
tr
an
s
f
o
r
m
t
h
e
d
i
s
p
lace
m
e
n
t
ap
p
lied
to
th
e
i
n
p
u
t
i
n
an
a
m
p
l
if
ied
v
er
s
io
n
o
f
it,
o
b
t
ai
n
ed
at
t
h
e
o
u
tp
u
t
o
f
t
h
e
s
y
s
t
e
m
.
Me
ch
a
n
ical
a
m
p
li
f
ier
s
ca
n
h
a
v
e
v
er
y
s
i
m
p
le
g
eo
m
etr
ie
s
,
as
le
v
er
d
ev
ice
s
[
1
2
-
1
4
]
.
Mo
r
e
co
m
p
lex
d
ev
ice
s
ar
e
al
s
o
i
m
p
le
m
e
n
ted
,
s
u
c
h
a
s
t
h
e
Di
s
p
lace
m
e
n
t
-
a
m
p
li
f
y
i
n
g
C
o
m
p
lian
t M
ec
h
a
n
is
m
(
Da
C
M)
s
h
o
w
n
i
n
[
1
5
]
.
DaCMs ar
e
co
m
p
l
ian
t e
q
u
i
v
al
en
t o
f
d
i
s
p
lace
m
e
n
t
-
a
m
p
li
f
y
i
n
g
le
v
er
s
,
b
u
t
t
h
e
y
d
o
n
o
t
tr
an
s
f
er
t
h
e
e
n
tire
e
n
er
g
y
av
a
ilab
le
to
t
h
e
m
at
th
e
i
n
p
u
t
to
t
h
e
o
u
tp
u
t
b
ec
au
s
e
s
o
m
e
o
f
it
i
s
s
to
r
ed
as
th
e
ela
s
tic
s
tr
ai
n
e
n
er
g
y
w
it
h
in
th
e
m
ec
h
an
i
s
m
[
1
6
]
.
A
DaCM
is
u
s
ed
i
n
[
1
7
]
to
en
h
a
n
ce
b
o
th
t
h
e
s
e
n
s
iti
v
it
y
an
d
b
an
d
w
id
t
h
o
f
i
n
-
p
lan
e
ca
p
ac
itiv
e
m
icr
o
m
ac
h
in
ed
ac
ce
l
er
o
m
eter
.
T
h
e
in
p
u
t
o
f
th
e
DaCM
is
a
ttach
ed
to
t
h
e
p
r
o
o
f
-
m
a
s
s
,
allo
w
i
n
g
to
o
b
tain
a
m
p
li
f
icatio
n
o
r
g
ai
n
o
f
m
ec
h
a
n
ical
s
i
g
n
als,
d
u
e
to
th
e
ass
e
m
b
li
n
g
o
f
s
i
m
p
l
e
p
ar
ts
s
u
ch
a
s
r
ig
id
b
ea
m
s
co
n
n
ec
ted
b
y
a
s
s
e
m
b
l
y
b
o
lts
[
1
8
]
.
T
h
is
p
ap
er
is
f
o
cu
s
ed
o
n
ca
p
a
citiv
e
ac
ce
ler
o
m
eter
s
,
w
h
ic
h
u
s
es
t
h
e
c
h
an
g
e
i
n
ca
p
ac
ita
n
ce
as
a
m
ea
n
f
o
r
m
ea
s
u
r
in
g
t
h
e
ac
ce
ler
atio
n
o
f
an
o
b
j
ec
t.
T
h
ey
co
n
s
is
t
o
f
a
m
o
v
ea
b
le
ce
n
tr
al
p
r
o
o
f
m
as
s
w
h
ic
h
p
r
o
v
id
es
th
e
n
ec
e
s
s
ar
y
i
n
er
tia
f
o
r
p
r
o
v
id
in
g
t
h
e
ac
ce
ler
atio
n
f
o
r
ce
f
o
r
m
ea
s
u
r
e
m
e
n
t,
a
f
i
x
ed
ca
p
ac
itiv
e
elec
tr
o
d
e
to
f
o
r
m
a
ca
p
ac
ito
r
w
it
h
t
h
e
m
o
v
ea
b
le
p
r
o
o
f
m
ass
,
a
n
an
c
h
o
r
f
o
r
p
r
o
v
id
in
g
s
u
p
p
o
r
t
an
d
s
p
r
in
g
s
to
p
r
o
v
id
e
th
e
f
le
x
u
r
e
o
f
t
h
e
p
r
o
o
f
m
as
s
.
Stru
ctu
r
al
s
u
p
p
o
r
ts
o
f
m
as
s
a
r
e
ca
lled
s
u
s
p
e
n
s
io
n
b
ea
m
s
.
T
h
e
o
b
j
ec
tiv
es o
f
th
i
s
w
o
r
k
ar
e,
b
y
m
ea
n
s
o
f
s
i
m
u
latio
n
an
d
u
s
i
n
g
th
e
i
n
-
p
lan
e
m
o
d
e:
a.
Ma
k
e
v
ar
iat
io
n
s
i
n
t
h
e
t
h
ick
n
ess
o
f
t
h
e
m
o
v
ea
b
le
ce
n
tr
al
p
r
o
o
f
m
as
s
,
m
ad
e
w
it
h
a
Si
lico
n
la
y
er
,
f
r
o
m
2
5
to
3
0
µm
to
o
b
s
er
v
e
th
e
ch
an
g
es
p
r
o
d
u
ce
d
in
S
x
,
an
d
in
th
e
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
f
o
r
a
s
in
g
le
ca
p
ac
iti
v
e
ac
ce
ler
o
m
eter
w
i
th
e
x
te
n
d
ed
b
ea
m
s
(
C
AE
B
)
an
d
f
o
r
th
e
ar
r
an
g
e
m
e
n
t C
A
E
B
-
Da
C
M.
b.
An
al
y
s
e
t
h
e
ch
a
n
g
e
o
n
t
h
e
S
x
an
d
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
w
h
e
n
a
s
ec
o
n
d
la
y
er
m
ad
e
o
f
Alu
m
i
n
iu
m
,
S
ilico
n
Nitr
id
e
o
r
C
o
p
p
er
(
m
ater
ial
s
co
m
m
o
n
l
y
u
s
ed
in
ME
MS
f
a
b
r
icatio
n
)
is
d
ep
o
s
ited
o
v
er
a
Sil
ico
n
la
y
er
o
f
th
ic
k
n
e
s
s
t
1
=2
5
µ
m
a
n
d
to
p
er
f
o
r
m
v
ar
iatio
n
s
i
n
t
h
e
th
ick
n
es
s
es o
f
t
2
,
f
r
o
m
1
u
p
to
5
µm
.
c.
De
m
o
n
s
tr
ate
t
h
at
t
h
e
i
m
p
le
m
en
tatio
n
o
f
d
o
u
b
le
-
la
y
er
DaC
Ms
i
m
p
r
o
v
es
S
x
a
n
d
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
e
n
c
y
i
n
th
e
d
o
u
b
le
-
la
y
er
ac
ce
ler
o
m
ete
r
s
,
w
it
h
t
h
e
p
r
o
p
o
s
ed
m
ater
ial
s
.
d.
P
er
f
o
r
m
a
s
w
ee
p
o
f
g
r
a
v
it
y
v
a
lu
es
to
k
n
o
w
th
e
o
p
er
a
tin
g
li
m
it
o
f
d
o
u
b
le
-
la
y
er
C
A
E
B
an
d
C
A
E
B
-
Da
C
M
.
E
x
tr
e
m
e
o
p
er
atin
g
co
n
d
itio
n
s
w
er
e
o
b
tain
ed
u
s
in
g
t
h
e
an
al
y
s
is
o
f
s
tr
ess
.
2.
R
E
S
E
ARCH
M
E
T
H
O
D
Fo
r
th
e
ca
s
e
o
f
ca
p
ac
iti
v
e
ac
ce
ler
o
m
e
ter
,
S
x
,
ca
n
b
e
ca
lcu
late
d
f
r
o
m
(
1
)
[
1
9
]
=
⁄
(
1
)
w
h
er
e
m
is
t
h
e
m
a
s
s
o
f
t
h
e
s
y
s
te
m
,
a
is
th
e
ac
ce
ler
atio
n
,
an
d
k
is
th
e
s
t
if
f
n
e
s
s
o
r
s
p
r
in
g
co
n
s
tan
t,
g
i
v
en
b
y
:
=
(
⁄
)
3
(
2
)
w
h
er
e
E
i
s
t
h
e
Yo
u
n
g
´
s
m
o
d
u
l
u
s
o
f
m
ater
ial,
t
,
w
b
a
n
d
l
b
ar
e
th
e
t
h
ic
k
n
e
s
s
,
w
id
th
a
n
d
le
n
g
t
h
o
f
th
e
s
u
s
p
e
n
s
io
n
b
ea
m
s
,
r
esp
ec
tiv
e
l
y
.
T
h
e
ac
ce
ler
o
m
eter
w
i
ll
h
a
v
e
a
n
ad
eq
u
ate
S
x
co
r
r
esp
o
n
d
in
g
t
o
ea
ch
ac
ce
ler
atio
n
v
al
u
e,
as
l
o
n
g
a
s
n
o
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
cies
ar
e
p
r
esen
t.
I
t
is
w
ell
k
n
o
w
n
,
th
at
b
ef
o
r
e
an
y
r
eso
n
a
n
ce
f
r
eq
u
en
c
y
i
s
g
e
n
er
ated
,
th
e
d
ev
ice
w
ill
o
p
er
ate
in
ac
co
r
d
an
ce
w
it
h
th
e
d
esi
g
n
r
eq
u
ir
e
m
e
n
t
s
.
Fo
r
th
is
r
ea
s
o
n
,
it
is
r
ec
o
m
m
e
n
d
ed
to
d
esig
n
d
ev
ices
f
o
r
h
ig
h
o
p
er
atin
g
f
r
eq
u
e
n
cie
s
in
o
r
d
er
t
o
av
o
id
lo
w
r
eso
n
an
ce
f
r
eq
u
e
n
cies.
Op
er
atio
n
f
r
e
q
u
e
n
c
y
ca
n
b
e
ca
lcu
lated
,
b
y
(
3
)
,
[
1
9
]
.
=
(
1
2
⁄
)
(
3
3
⁄
)
1
2
⁄
(
3
)
w
h
er
e
N
is
t
h
e
n
u
m
b
er
o
f
s
u
s
p
en
s
io
n
b
ea
m
s
.
A
b
o
u
t
t
h
e
i
m
p
le
m
en
ted
d
ev
i
ce
s
,
C
A
E
B
is
d
ep
icted
in
F
ig
u
r
e
1
,
its
ele
m
e
n
ts
a
n
d
d
im
en
s
io
n
s
,
ar
e
g
iv
e
n
i
n
T
ab
le
1
.
T
ab
le
2
s
h
o
w
s
th
e
p
r
o
p
er
ties
o
f
S
ilic
o
n
an
d
t
h
e
ad
d
itio
n
al
la
y
er
m
ater
i
als.
R
e
s
u
lt
s
f
o
r
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
n
t
J
E
lec
&
C
o
m
p
E
n
g
I
SS
N:
2
0
8
8
-
8708
P
erfo
r
ma
n
ce
o
f c
o
mp
lia
n
t m
e
ch
a
n
is
ms a
p
p
lied
to
a
mo
d
ifie
d
s
h
a
p
e
a
cc
elero
mete
r
…
(
M.
Tecp
o
yo
tl
-
To
r
r
es
)
4677
Sil
ico
n
C
A
E
B
o
f
co
n
s
tan
t th
ic
k
n
e
s
s
,
co
n
s
id
er
in
g
t
h
e
i
n
-
p
la
n
e
m
o
d
e
an
d
o
n
e
g
ap
p
lied
w
er
e
p
u
b
lis
h
ed
i
n
[
1
9
]
;
th
e
y
ar
e
u
s
ed
in
t
h
i
s
p
ap
er
o
n
ly
f
o
r
co
m
p
ar
is
o
n
p
u
r
p
o
s
es.
T
ab
le
1
.
C
A
E
B
d
i
m
en
s
io
n
s
v
a
lu
es
El
e
me
n
t
V
a
l
u
e
(m
m)
El
e
me
n
t
V
a
l
u
e
(m
m)
B
e
a
m l
e
n
g
t
h
,
L
b
4
.
5
A
n
c
h
o
r
l
e
n
g
t
h
,
L
a
0
.
0
1
B
e
a
m w
i
d
t
h
,
W
b
0
.
0
2
5
R
e
d
u
c
e
d
m
a
ss
w
i
d
t
h
,
W
r
0
.
7
0
M
a
ss
l
e
n
g
t
h
,
L
m
7
R
e
d
u
c
e
d
m
a
ss l
e
n
g
t
h
,
L
r
2
M
a
ss
w
i
d
t
h
,
W
m
5
.
5
5
T
ab
le
2
.
P
r
o
p
er
ties
v
alu
e
s
P
r
o
p
e
r
t
i
e
s
S
i
l
i
c
o
n
A
l
u
mi
n
i
u
m
A
l
u
mi
n
i
u
m N
i
t
r
i
d
e
C
o
p
p
e
r
(
S
e
mi
c
o
n
d
u
c
t
o
r
)
(
M
e
t
a
l
)
(
P
i
e
z
o
e
l
e
c
t
r
i
c
)
(
M
e
t
a
l
)
D
e
n
si
t
y
,
ρ
[
k
g
/
m
3
]
2
3
3
0
2
6
8
9
3
2
6
0
89
33
T
h
e
r
mal
Ex
p
a
n
s
i
o
n
C
o
e
f
f
i
c
i
e
n
t
,
α
[
1
/
°
C
]
2
.
6
x
1
0
-
6
2
4
x
1
0
-
6
3
.
3
x
1
0
-
6
1
6
.
5
x
1
0
-
6
Y
o
u
n
g
´
s mo
d
u
l
u
s,
E
[
G
P
a
]
1
3
1
65
2
8
0
1
2
0
P
o
i
sso
n
r
a
t
i
o
[
D
i
me
n
s
i
o
n
-
l
e
ss]
0
.
3
3
0
.
3
3
0
.
3
2
0
.
3
4
T
e
n
si
l
e
y
i
e
l
d
st
r
e
n
g
t
h
,
[
M
P
a
]
2
5
0
1
4
0
1
2
0
2
7
0
Fig
u
r
e
1
.
C
A
E
B
(
a)
elem
e
n
ts
an
d
(
b
)
tr
an
s
v
er
s
al
s
ec
tio
n
,
t
h
e
th
ick
n
e
s
s
o
f
t
h
e
s
il
ico
n
la
y
er
an
d
th
e
ad
d
itio
n
al
la
y
er
(
w
h
e
n
it is
ap
p
lied
)
ar
e
t
1
an
d
t
2
,
r
esp
ec
tiv
el
y
3.
RE
SU
L
T
S
A
ND
AN
AL
Y
SI
S
I
n
all
s
i
m
u
lated
ca
s
es
o
f
s
u
b
s
e
ctio
n
s
3
.
1
-
3
.
3
,
o
n
e
g
is
ap
p
lied
at
Y
ax
is
d
ir
ec
tio
n
.
3
.
1
.
Dis
pla
ce
m
ent
s
e
ns
it
iv
it
y
a
nd
o
pera
t
ing
f
re
qu
ency
o
f
Sil
ico
n CA
E
B
o
f
diff
er
ent
t
hic
k
ne
s
s
I
n
T
ab
le
3
,
ca
lcu
lated
(
w
it
h
eq
.
(
1
-
3
)
)
an
d
s
i
m
u
lated
v
al
u
es
o
f
p
ar
am
eter
s
u
n
d
er
an
al
y
s
is
ar
e
s
h
o
w
n
.
T
h
er
e
ar
e
v
er
y
s
m
all
v
ar
iatio
n
s
i
n
b
o
th
p
ar
a
m
eter
s
,
w
h
ic
h
ca
n
b
e
co
n
s
i
d
er
ed
as
n
e
g
li
g
i
b
le.
Ho
w
e
v
er
,
it
is
i
m
p
o
r
tan
t
to
m
e
n
tio
n
t
h
at
th
er
e
ar
e
v
er
y
s
m
all
p
er
ce
n
ta
g
es
o
f
v
ar
iat
io
n
b
et
w
ee
n
t
h
e
t
h
eo
r
etica
l
an
d
s
i
m
u
lated
r
esu
lt
s
,
o
f
0
.
4
6
%
an
d
0
.
1
5
%,
f
o
r
th
e
d
is
p
lace
m
e
n
t
s
en
s
iti
v
it
y
a
n
d
th
e
o
p
er
atio
n
,
r
esp
ec
tiv
el
y
.
I
t
ca
n
b
e
s
aid
th
at
th
e
p
r
o
p
o
s
ed
eq
u
atio
n
s
an
d
t
h
e
b
o
u
n
d
ar
y
co
n
d
itio
n
s
(
f
ix
ed
a
n
c
h
o
r
s
)
e
s
tab
li
s
h
ed
i
n
t
h
e
s
i
m
u
latio
n
o
f
th
e
d
ev
ice
s
ar
e
ad
eq
u
ate,
s
in
c
e
th
e
y
p
r
o
v
id
e
v
ar
iatio
n
s
o
f
le
s
s
t
h
an
1
%
,
i
n
b
o
th
ca
s
es.
T
ab
le
3
.
P
ar
am
eter
v
al
u
es
f
o
r
C
A
E
B
m
ad
e
o
n
l
y
w
it
h
Sil
ico
n
T
h
i
c
k
n
e
ss
[
µ
m]
C
a
l
c
u
l
a
t
e
d
v
a
l
u
e
s
S
i
mu
l
a
t
e
d
v
a
l
u
e
s
S
x
[
µ
m
/
g
]
f
[
H
z
]
S
x
[
µ
m
/
g
]
f
[
H
z
]
25
1
0
.
7
4
1
5
2
.
0
6
1
0
.
7
9
1
5
1
.
8
2
26
1
0
.
7
4
1
5
2
.
0
6
1
0
.
7
9
1
5
1
.
8
2
27
1
0
.
7
4
1
5
2
.
0
6
1
0
.
7
8
1
5
1
.
9
4
28
1
0
.
7
4
1
5
2
.
0
6
1
0
.
7
9
1
5
1
.
8
2
29
1
0
.
7
4
1
5
2
.
0
6
1
0
.
7
9
1
5
1
.
8
2
30
1
0
.
7
4
1
5
2
.
0
6
1
0
.
7
9
1
5
1
.
8
1
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
SS
N
:
2
0
8
8
-
8708
I
n
t J
E
lec
&
C
o
m
p
E
n
g
,
Vo
l.
9
,
No
.
6
,
Dec
em
b
er
2
0
1
9
:
4
6
7
5
-
4
6
8
3
4678
3
.
2
.
Dis
pla
ce
m
ent
s
e
ns
it
iv
it
y
a
nd
o
pera
t
ing
f
re
qu
ency
o
f
do
ub
le
la
y
er
CAEB
I
n
T
ab
le
4
,
p
ar
am
eter
v
alu
e
s
f
o
r
th
e
C
A
E
B
ar
e
s
h
o
w
n
,
w
h
en
Sil
ico
n
la
y
er
o
f
2
5
μ
m
t
h
ic
k
n
e
s
s
w
a
s
u
s
ed
an
d
an
o
t
h
er
la
y
er
w
as
ad
d
ed
.
I
n
Fig
u
r
e
2
,
a
r
ep
r
esen
tati
v
e
ca
s
e
o
f
S
x
a
n
d
o
p
er
atin
g
f
r
eq
u
e
n
c
y
o
f
a
d
o
u
b
le
-
la
y
er
C
A
E
B
is
s
h
o
w
n
(
th
e
r
est
o
f
ca
s
es
ar
e
s
i
m
ilar
)
.
Fig
u
r
es
o
f
Sil
ico
n
C
A
E
B
w
e
r
e
r
ep
o
r
te
d
in
[
1
9
]
.
Fro
m
(1
-
3
)
,
S
x
an
d
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
h
a
v
e
a
d
ir
ec
t
an
d
i
n
v
er
s
el
y
p
r
o
p
o
r
tio
n
al
r
elatio
n
s
h
ip
s
to
th
e
m
a
s
s
o
f
th
e
s
y
s
te
m
,
r
esp
ec
tiv
el
y
.
T
h
is
f
ac
t
is
also
o
b
s
er
v
ed
in
th
e
r
es
u
lts
s
h
o
w
n
i
n
T
ab
le
4
.
Fo
r
ex
a
m
p
le,
th
e
s
tr
u
ctu
r
e
m
ad
e
w
ith
ad
d
itio
n
a
l
C
o
p
p
er
la
y
er
h
as
h
i
g
h
er
S
x
(
4
5
.
1
8
μ
m
/g
)
.
Ho
w
ev
er
;
it
i
s
th
e
o
n
e
w
it
h
th
e
lo
w
es
t
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
(
7
4
.
2
2
Hz)
.
T
h
e
o
p
p
o
s
ite
ca
s
e
is
s
h
o
w
n
b
y
th
e
s
tr
u
c
tu
r
e
w
it
h
ad
d
itio
n
al
la
y
er
o
f
A
l
u
m
i
n
iu
m
Ni
tr
id
e,
w
h
ic
h
p
r
esen
t
s
h
i
g
h
er
f
r
eq
u
e
n
c
y
(
1
8
7
.
6
Hz)
,
b
u
t lo
w
er
S
x
v
a
lu
e
(
7
.
0
6
μ
m
/g
)
.
(
a)
(
b
)
Fig
u
r
e
2
.
a)
S
x
an
d
b
)
Op
e
r
at
in
g
f
r
eq
u
e
n
c
y
o
f
A
l
u
m
in
i
u
m
o
v
er
Sil
ico
n
T
ab
le
4
.
P
ar
am
eter
v
al
u
es o
f
C
A
E
B
o
f
d
o
u
b
le
la
y
er
(
t
1
=2
5
µ
m
o
f
Si
lico
n
)
,
o
b
tain
ed
f
r
o
m
s
i
m
u
lat
io
n
A
d
d
i
t
i
o
n
a
l
l
a
y
e
r
t
h
i
c
k
n
e
ss
[
µ
m
]
A
l
u
mi
n
i
u
m o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
A
l
u
mi
n
i
u
m N
i
t
r
i
d
e
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
C
o
p
p
e
r
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
S
x
[
µ
m
/
g
]
f
[
H
z
]
S
x
[
µ
m
/
g
]
f
[
H
z
]
S
x
[
µ
m
/
g
]
f
[
H
z
]
1
1
0
.
4
6
7
1
5
2
.
0
1
9
.
8
2
1
5
9
.
1
7
1
1
.
5
3
1
4
6
.
8
9
2
1
0
.
7
7
1
1
5
1
.
9
7
9
.
6
7
1
6
0
.
6
8
1
2
.
4
4
1
4
1
.
4
1
3
1
1
.
0
1
2
1
5
0
.
2
9
9
.
4
9
1
6
1
.
8
9
1
3
.
4
4
1
3
5
.
9
9
4
1
1
.
2
2
4
1
4
8
.
8
9
9
.
2
9
1
6
3
.
5
9
1
4
.
3
5
1
3
1
.
6
3
5
1
1
.
4
3
6
1
4
7
.
4
7
9
.
1
2
1
6
5
.
0
6
1
5
.
2
0
1
2
7
.
8
7
3.
3
.
Dis
pla
ce
m
ent
s
e
ns
it
iv
it
y
a
nd
o
pera
t
ing
f
re
qu
ency
o
f
do
ub
le
la
y
er
CAEB
-
Da
CM
.
Fo
r
th
e
C
A
E
B
s
tr
u
ct
u
r
e
m
ad
e
o
n
l
y
w
it
h
Sil
ico
n
,
th
e
i
m
p
l
e
m
en
tatio
n
o
f
a
DaCM
i
m
p
r
o
v
es
b
o
t
h
p
ar
am
eter
s
s
i
m
u
ltan
eo
u
s
l
y
[
1
9
]
.
I
n
th
is
s
u
b
s
ec
tio
n
,
t
h
e
ef
f
ec
t
o
f
d
is
p
lace
m
e
n
t
a
m
p
li
f
ier
o
n
th
e
C
A
E
B
o
f
Silic
o
n
,
w
it
h
d
if
f
er
en
t
t
h
ic
k
n
e
s
s
es
as
s
h
o
w
n
in
T
ab
le
5
,
an
d
w
it
h
d
o
u
b
le
-
la
y
er
also
w
it
h
d
if
f
er
en
t
t
h
ick
n
e
s
s
as
s
h
o
w
n
i
n
T
ab
le
6
.
T
h
e
s
h
ap
e
o
f
t
h
e
d
is
p
lace
m
en
t
a
m
p
li
f
ier
is
s
i
m
ilar
to
t
h
e
g
i
v
e
n
i
n
[
1
9
]
.
Fo
r
ea
ch
ca
s
e
o
f
d
o
u
b
le
-
la
y
er
C
A
E
B
s
,
th
e
co
r
r
esp
o
n
d
in
g
d
is
p
lace
m
e
n
t a
m
p
li
f
ier
s
,
h
a
v
e
also
a
n
ad
d
itio
n
al
l
a
y
er
.
T
ab
le
5
.
P
ar
am
eter
v
al
u
es o
f
C
A
E
B
-
Da
C
M,
m
ad
e
w
it
h
Si
li
co
n
o
f
d
if
f
er
en
t t
h
ic
k
n
e
s
s
T
h
i
c
k
n
e
ss
[
µ
m]
S
x
[
µ
m/
g
]
f
[
H
z
]
25
1
3
.
1
5
2
4
5
.
6
2
2
6
1
3
.
1
4
2
4
5
.
6
6
27
1
3
.
1
4
2
4
5
.
7
2
28
1
3
.
1
5
2
4
5
.
6
3
29
1
3
.
1
4
2
4
5
.
7
6
30
1
3
.
1
5
2
4
5
6
.
6
2
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
n
t
J
E
lec
&
C
o
m
p
E
n
g
I
SS
N:
2
0
8
8
-
8708
P
erfo
r
ma
n
ce
o
f c
o
mp
lia
n
t m
e
ch
a
n
is
ms a
p
p
lied
to
a
mo
d
ifie
d
s
h
a
p
e
a
cc
elero
mete
r
…
(
M.
Tecp
o
yo
tl
-
To
r
r
es
)
4679
T
ab
le
6
.
P
ar
am
eter
v
al
u
es o
f
d
o
u
b
le
la
y
er
C
A
E
B
-
DaCM.
Si
l
ico
n
la
y
er
h
a
s
t
1
=
2
5
µ
m
S
e
c
o
n
d
l
a
y
e
r
t
h
i
c
k
n
e
ss
[
µ
m
]
A
l
u
mi
n
i
u
m o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
A
l
u
mi
n
i
u
m N
i
t
r
i
d
e
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
C
o
p
p
e
r
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
S
x
[
µ
m
/
g
]
f
[
H
z
]
S
x
[
µ
m
/
g
]
f
[
H
z
]
S
x
[
µ
m
/
g
]
f
[
H
z
]
1
1
2
.
2
2
2
5
4
.
8
1
2
.
8
5
2
5
7
.
3
4
1
2
.
9
2
4
7
.
8
5
2
1
3
.
5
2
2
4
2
.
6
9
1
2
.
0
8
2
5
7
1
5
.
5
9
2
2
6
.
2
2
3
1
3
.
9
3
2
3
8
.
8
4
1
1
.
8
9
2
5
8
.
7
3
1
6
.
9
7
2
1
6
.
4
9
4
1
4
.
2
7
2
3
5
.
8
9
1
1
.
7
7
2
5
9
.
8
4
1
8
.
2
5
2
0
8
.
6
9
5
1
4
.
5
3
2
3
4
.
0
8
1
1
.
5
8
26
2
.
2
8
1
9
.
3
1
2
0
3
.
2
3
I
n
Fig
u
r
e
3
,
a
r
ep
r
esen
tativ
e
c
ase
o
f
th
e
b
eh
a
v
io
u
r
o
f
th
e
d
i
s
p
lace
m
e
n
t
s
e
n
s
it
iv
it
y
an
d
t
h
e
o
p
er
atin
g
f
r
eq
u
en
c
y
o
f
d
o
u
b
le
la
y
er
C
A
E
B
-
DaCM
,
ar
e
s
h
o
w
n
.
Sil
i
co
n
ca
s
e
w
a
s
p
r
ev
io
u
s
l
y
r
ep
o
r
ted
[
1
9
]
.
W
id
th
o
f
C
A
E
B
w
a
s
r
ed
u
ce
d
at
o
n
e
h
alf
o
f
t
h
e
o
r
ig
i
n
al
s
ize,
s
h
o
wn
in
Fig
u
r
e
1
,
in
o
r
d
er
to
o
b
tain
lo
w
er
m
a
s
s
to
i
m
p
r
o
v
e
th
e
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
e
n
c
y
,
s
in
ce
t
h
e
i
m
p
le
m
e
n
tatio
n
o
f
th
e
DaCM
w
i
ll
i
m
p
r
o
v
e
S
x
.
T
h
e
to
tal
len
g
th
o
f
d
is
p
lace
m
e
n
t a
m
p
li
f
ier
is
1
1
m
m
a
n
d
its
w
id
t
h
is
3
.
5
m
m
.
Dif
f
er
en
ce
s
i
n
t
h
e
p
ar
a
m
eter
v
alu
e
s
f
o
r
t
h
e
ca
s
e
o
f
v
ar
iat
io
n
p
ar
a
m
eter
s
f
o
r
Sil
ico
n
C
A
E
B
-
DaCM
,
as
s
h
o
w
n
in
T
ab
le
5
,
a
r
e
n
eg
lig
ib
le
f
o
r
th
e
ca
s
e
o
f
S
x
an
d
s
lig
h
t
f
o
r
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
,
w
h
e
n
ad
d
itio
n
al
la
y
er
h
a
s
d
if
f
er
en
t
t
h
ic
k
n
ess
as
s
h
o
w
n
i
n
T
ab
le
6
.
Fr
o
m
T
ab
le
6
,
alth
o
u
g
h
t
h
e
i
n
cr
e
m
en
t
o
cc
u
r
s
i
n
b
o
th
p
ar
am
eter
v
alu
e
s
,
it
is
m
u
ch
h
ig
h
er
i
n
th
e
ca
s
e
o
f
t
h
e
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
e
n
c
y
,
co
m
p
ar
ed
to
th
e
ca
s
e
o
f
s
in
g
le
C
A
E
B
s
tr
u
ct
u
r
e
r
esp
o
n
s
e.
T
ab
le
7
s
h
o
w
s
t
h
e
p
er
ce
n
t
ag
es
o
f
i
m
p
r
o
v
e
m
e
n
t
i
n
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
e
n
c
y
,
f
r
o
m
6
1
.
6
%
(
f
o
r
A
lu
m
i
n
i
u
m
Nitr
id
e
o
v
er
Sil
ico
n
)
u
p
to
7
0
%
(
f
o
r
A
l
u
m
in
i
u
m
o
v
er
Sil
ico
n
)
.
W
h
ile,
S
x
s
h
o
w
s
i
m
p
r
o
v
e
m
en
t
s
f
r
o
m
1
3
.
5
6
u
p
to
3
0
.
8
7
µm
/
g
.
I
n
b
o
th
ca
s
es,
a
s
ec
o
n
d
la
y
er
th
ic
k
n
es
s
o
f
1
µm
w
as c
o
n
s
id
er
ed
.
(
a
)
(
b
)
Fig
u
r
e
3
.
a)
S
x
an
d
b
)
Op
er
ati
n
g
f
r
eq
u
e
n
c
y
o
f
d
o
u
b
le
l
a
y
er
C
A
E
B
-
Da
C
M
(
A
lu
m
i
n
i
u
m
o
v
er
Sil
ico
n
)
T
ab
le
7
.
P
er
ce
n
tag
e
o
f
i
m
p
r
o
v
e
m
en
t f
o
r
C
A
E
B
-
DaCM
, c
o
m
p
ar
ed
to
s
in
g
le
C
A
E
B
r
esp
o
n
s
e
M
a
t
e
r
i
a
l
I
mp
r
o
v
e
me
n
t
o
f
S
x
,
%
I
mp
r
o
v
e
me
n
t
o
f
f
,
%
S
i
l
i
c
o
n
2
1
.
8
7
6
1
.
7
8
A
l
u
mi
n
i
u
m o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
1
3
.
5
6
70
A
l
u
mi
n
i
u
m N
i
t
r
i
d
e
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
3
0
.
8
6
1
.
6
C
o
p
p
e
r
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
1
1
.
8
8
6
8
.
7
3.
4
.
Ra
ng
e
o
f
g
f
o
r
s
ing
le
a
nd
do
ub
le
la
y
er
CAEB
.
T
h
e
r
an
g
e
o
f
g
r
a
v
itie
s
f
o
r
o
p
er
atio
n
w
ill
b
e
d
eter
m
i
n
ed
,
v
er
if
y
i
n
g
th
at
th
e
ela
s
tic
li
m
it
in
t
h
e
n
o
r
m
al
ef
f
o
r
t
is
n
o
t
ex
ce
ed
ed
in
ea
ch
ca
s
e.
L
i
m
it
v
al
u
es
o
f
g
r
av
it
y
a
r
e
g
iv
en
i
n
T
ab
les
8
an
d
9
f
o
r
C
A
E
B
m
ad
e
w
it
h
Sil
ico
n
a
n
d
d
o
u
b
le
la
y
er
,
r
es
p
ec
tiv
el
y
.
I
n
al
l
ca
s
e
s
,
t
h
e
c
h
an
g
e
s
o
n
t
h
e
n
o
r
m
al
s
tr
ess
v
alu
es
ar
e
s
m
all
f
o
r
th
e
co
n
s
id
er
ed
th
ick
n
es
s
v
alu
es.
G
r
av
it
y
v
a
lu
e
s
ar
e
s
m
aller
in
t
h
e
ca
s
e
o
f
d
o
u
b
le
la
y
er
C
A
E
B
.
I
n
Fi
g
u
r
e
4
,
th
e
zo
n
e
w
it
h
m
a
x
i
m
u
m
No
r
m
al
Stre
s
s
f
o
r
th
e
ca
s
e
o
f
C
A
E
B
o
f
d
o
u
b
le
la
y
er
m
ad
e
with
A
l
u
m
in
iu
m
o
v
er
Sil
ico
n
i
s
s
h
o
w
n
,
as
r
ep
r
ese
n
t
ativ
e
ca
s
e.
T
h
e
zo
n
e
o
f
t
h
e
h
i
g
h
er
n
o
r
m
al
s
tr
ess
f
o
r
all
th
e
s
e
ca
s
es
is
lo
ca
ted
at
th
e
s
a
m
e
ex
t
r
e
m
e
o
f
t
h
e
co
r
r
esp
o
n
d
in
g
s
u
s
p
en
s
io
n
b
ea
m
.
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
SS
N
:
2
0
8
8
-
8708
I
n
t J
E
lec
&
C
o
m
p
E
n
g
,
Vo
l.
9
,
No
.
6
,
Dec
em
b
er
2
0
1
9
:
4
6
7
5
-
4
6
8
3
4680
T
ab
le
8
.
L
i
m
it
v
alu
e
s
o
f
g
r
av
it
y
f
o
r
C
A
E
B
m
ad
e
w
it
h
Si
lico
n
o
f
d
if
f
er
en
t th
ic
k
n
es
s
T
h
i
c
k
n
e
ss
[
µ
m]
G
r
a
v
i
t
y
[
g
]
N
o
r
mal
S
t
r
e
ss,
[
M
P
a
]
25
49
2
4
9
.
0
4
26
48
2
4
4
.
8
5
27
48
2
4
6
.
2
28
49
2
4
8
.
9
2
29
49
2
4
8
.
6
30
48
2
4
7
.
7
3
T
ab
le
9
.
L
i
m
it
v
alu
e
s
o
f
g
r
av
it
y
f
o
r
C
A
E
B
o
f
d
o
u
b
le
la
y
er
(
t
1
=
2
5
µm
)
A
d
d
i
t
i
o
n
a
l
l
a
y
e
r
t
h
i
c
k
n
e
ss
[
µ
m
]
A
l
u
mi
n
i
u
m o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
A
l
u
mi
n
i
u
m N
i
t
r
i
d
e
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
C
o
p
p
e
r
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
G
r
a
v
i
t
y
[
g
]
N
o
r
mal
S
t
r
e
ss [
M
P
a
]
G
r
a
v
i
t
y
[
g
]
N
o
r
mal
S
t
r
e
ss [
M
P
a
]
G
r
a
v
i
t
y
[g
]
N
o
r
mal
S
t
r
e
ss [
M
P
a
]
1
23
1
3
5
.
4
16
1
1
4
.
2
5
12
2
3
4
.
6
3
2
23
1
3
6
.
1
5
16
1
1
4
.
8
6
12
2
3
5
.
9
1
3
23
1
3
4
.
8
4
16
1
1
3
.
7
9
12
2
3
3
.
5
6
4
23
1
3
4
.
6
7
16
1
1
3
.
6
1
12
2
3
3
.
3
3
5
23
1
3
6
.
9
9
16
1
1
5
.
6
12
2
3
7
.
2
8
3.
5
.
Ra
ng
e
o
f
g
f
o
r
CAEB
wit
h Da
CM
T
h
e
li
m
it
v
al
u
e
s
o
f
g
r
a
v
it
y
ar
e
s
h
o
w
n
i
n
T
ab
le
s
10
an
d
1
1
,
f
o
r
C
A
E
B
-
DaC
M
Sil
ico
n
a
n
d
d
o
u
b
le
la
y
er
s
tr
u
ctu
r
e
s
.
I
t
is
r
e
m
ar
k
ab
le
f
o
r
t
h
e
ca
s
es
w
it
h
ad
d
itio
n
al
la
y
er
s
,
u
n
d
er
a
n
o
t
lin
ea
r
v
ar
ia
tio
n
s
.
Ag
ai
n
,
g
r
a
v
it
y
v
al
u
e
s
f
o
r
d
o
u
b
le
la
y
er
C
A
E
B
-
DaC
M
ar
e
co
n
s
id
er
ab
l
y
r
ed
u
ce
d
,
co
m
p
ar
in
g
w
it
h
t
h
e
i
m
p
le
m
en
ta
tio
n
o
n
l
y
w
it
h
Sil
ico
n
,
e
x
ce
p
t
f
o
r
th
e
ca
s
e
o
f
C
o
p
p
er
o
v
er
Sil
ico
n
,
w
it
h
t
2
=1
u
m
.
Fi
g
u
r
e
5
s
h
o
w
s
t
h
e
m
ax
i
m
u
m
n
o
r
m
al
s
tr
ess
zo
n
e,
f
o
r
a
r
ep
r
esen
tati
v
e
s
y
s
te
m
m
ad
e
w
it
h
A
l
u
m
in
i
u
m
o
v
er
Sil
ico
n
(
all
ca
s
es h
a
v
e
s
i
m
i
lar
zo
n
e
lo
ca
tio
n
)
.
T
ab
le
10
.
L
im
it v
al
u
es o
f
g
r
a
v
it
y
f
o
r
C
A
E
B
-
Da
C
M
m
ad
e
w
i
th
Sil
ico
n
w
it
h
d
if
f
er
en
t th
ic
k
n
es
s
T
h
i
c
k
n
e
ss
[
µ
m]
G
r
a
v
i
t
y
[
g
]
N
o
r
mal
S
t
r
e
ss
[
M
P
a
]
25
1
0
0
2
4
7
.
6
26
1
0
2
2
4
8
.
9
27
1
0
1
2
4
8
.
8
28
1
0
4
2
4
7
.
2
29
1
0
5
2
4
9
.
0
2
30
1
0
3
2
4
9
.
3
T
ab
le
11
.
L
im
it v
al
u
es o
f
g
r
a
v
it
y
f
o
r
d
o
u
b
le
lay
er
C
AE
B
-
Da
C
M
(
t
1
=
2
5
µ
m
)
S
e
c
o
n
d
l
a
y
e
r
t
h
i
c
k
n
e
ss
[
µ
m
]
A
l
u
mi
n
i
u
m o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
A
l
u
mi
n
i
u
m N
i
t
r
i
d
e
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
C
o
p
p
e
r
o
v
e
r
S
i
l
i
c
o
n
G
r
a
v
i
t
y
[
g
]
N
o
r
mal
S
t
r
e
ss [
M
P
a
]
G
r
a
v
i
t
y
[
g
]
N
o
r
mal
S
t
r
e
ss [
M
P
a
]
G
r
a
v
i
t
y
[
g
]
N
o
r
mal
S
t
r
e
ss [
M
P
a
]
1
61
1
3
7
.
5
21
1
1
9
.
0
4
1
0
2
2
4
6
.
8
2
42
1
3
7
.
1
16
1
1
2
.
7
61
2
4
5
.
8
3
49
1
3
5
.
3
22
1
1
6
.
4
70
2
4
7
.
5
4
49
1
3
5
.
3
24
1
1
6
.
6
68
2
4
6
.
5
5
42
1
3
7
.
4
21
1
1
5
.
0
7
56
2
4
7
.
1
Fig
u
r
e
4
.
No
r
m
al
Stre
s
s
o
f
C
AE
B
o
f
A
l
u
m
in
i
u
m
o
v
er
Sil
ico
n
Fig
u
r
e
5
.
No
r
m
al
Stre
s
s
o
f
C
AE
B
-
DaCM
o
f
A
l
u
m
i
n
iu
m
o
v
er
S
ilic
on
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
n
t
J
E
lec
&
C
o
m
p
E
n
g
I
SS
N:
2
0
8
8
-
8708
P
erfo
r
ma
n
ce
o
f c
o
mp
lia
n
t m
e
ch
a
n
is
ms a
p
p
lied
to
a
mo
d
ifie
d
s
h
a
p
e
a
cc
elero
mete
r
…
(
M.
Tecp
o
yo
tl
-
To
r
r
es
)
4681
4.
CO
NCLU
SI
O
N
F
o
r
S
ilico
n
C
A
E
B
:
Valu
es
o
f
S
x
a
n
d
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
s
h
o
w
v
er
y
s
m
all
c
h
an
g
e
s
f
o
r
d
if
f
er
en
t
th
ic
k
n
e
s
s
(
2
5
to
3
0
μ
m
)
.
Ver
y
s
m
all
p
er
ce
n
tag
e
s
o
f
v
ar
iati
o
n
b
et
w
ee
n
th
e
t
h
eo
r
etica
l
an
d
s
i
m
u
lated
r
esu
lt
s
,
o
f
0
.
4
6
% a
n
d
0
.
1
5
%,
w
er
e
o
b
tain
ed
f
o
r
S
x
an
d
o
p
er
atio
n
f
r
e
q
u
en
c
y
,
r
e
s
p
ec
tiv
el
y
.
F
o
r
tw
o
la
ye
r
C
A
E
B
:
S
x
a
n
d
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
,
h
a
v
e
a
d
ir
ec
t
a
n
d
i
n
v
er
s
e
l
y
p
r
o
p
o
r
tio
n
al
r
elatio
n
s
h
ip
s
to
t
h
e
p
r
o
o
f
m
as
s
,
r
esp
ec
tiv
e
l
y
,
a
s
f
o
r
ca
s
e
o
f
t
h
e
p
r
ev
io
u
s
ca
s
e
,
in
ac
co
r
d
an
ce
to
Eq
u
atio
n
s
(1
-
3
)
.
T
h
e
lo
w
er
v
a
lu
es
o
f
S
x
(
9
.
1
2
μ
m
/
g
)
co
r
r
esp
o
n
d
to
an
ad
d
itio
n
al
la
y
er
o
f
A
l
u
m
i
n
iu
m
Nitr
id
e
(
w
it
h
t
2
o
f
5
μ
m
)
a
n
d
t
h
e
b
i
g
g
er
o
n
e
(
1
5
.
2
0
μ
m
/
g
)
co
r
r
esp
o
n
d
s
to
C
o
o
p
er
(
w
i
th
t
2
=5
μ
m
)
.
T
h
e
lo
w
er
v
al
u
es o
f
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
(
1
2
7
.
8
7
Hz)
co
r
r
esp
o
n
d
f
o
r
C
o
p
p
er
(
w
ith
t
2
o
f
5
μ
m
)
a
n
d
th
e
b
ig
g
er
v
alu
e
(
1
6
5
.
0
6
Hz)
t
o
A
l
u
m
i
n
iu
m
N
itrid
e
(
w
it
h
t
2
=
5
μ
m
)
,
f
o
r
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
e
n
c
y
.
T
h
is
v
al
u
e
o
f
S
x
ex
ce
ed
s
th
e
co
r
r
esp
o
n
d
in
g
v
alu
e
o
f
t
h
e
Si
lico
n
C
A
E
B
b
y
4
0
.
8
7
%,
w
h
ile
t
h
e
b
ig
g
er
v
alu
e
o
f
(
A
l
u
m
i
n
i
u
m
Nitr
id
e
o
v
er
Sil
ico
n
)
ex
ce
ed
s
th
e
s
a
m
e
r
ef
er
e
n
ce
b
y
8
.
7
3
%.
F
o
r
S
ilico
n
C
A
E
B
-
Da
C
M
:
A
lig
h
t
i
n
cr
e
m
e
n
t
i
n
S
x
,
an
d
a
s
t
r
o
n
g
er
o
n
e
in
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
w
er
e
o
b
tain
ed
(
1
3
.
1
5
μ
m
/
g
an
d
2
4
5
.
6
2
Hz,
eq
u
iv
alen
t
to
2
1
.
8
7
%
an
d
6
1
.
7
8
%,
r
esp
ec
ti
v
el
y
)
,
co
m
p
ar
ed
to
th
e
Sil
ico
n
C
A
E
B
p
ar
a
m
eter
v
alu
es
w
i
th
o
u
t d
is
p
lace
m
e
n
t a
m
p
li
f
ier
.
C
A
E
B
-
Da
C
M
w
i
th
a
d
d
itio
n
a
l
C
o
p
p
er
la
ye
r
:
I
t
h
as
h
i
g
h
er
S
x
(
1
9
.
3
1
μ
m
/
g
)
.
Ho
w
e
v
er
,
it
is
th
e
o
n
e
w
it
h
th
e
lo
w
e
s
t
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
(
2
0
3
.
2
3
Hz)
.
T
h
e
o
p
p
o
s
ite
ca
s
e
is
p
r
ese
n
ted
b
y
th
e
s
tr
u
ct
u
r
e
w
i
th
ad
d
itio
n
al
la
y
er
o
f
A
l
u
m
in
i
u
m
Nitr
id
e,
w
h
ic
h
p
r
esen
t
s
h
i
g
h
er
f
r
eq
u
en
c
y
(
2
6
2
.
2
8
Hz)
,
b
u
t
lo
w
er
S
x
(
1
1
.
5
8
μ
m
/g
)
.
Gra
vities´
s
w
ep
t
a
p
p
lied
to
s
in
g
le
a
n
d
d
o
u
b
le
-
l
a
ye
r
C
A
E
B
a
cc
elero
mete
r
s
:
t
h
e
ef
f
e
ct
o
f
th
ei
r
th
ic
k
n
e
s
s
w
as
n
o
t
r
ele
v
a
n
t,
i
n
ea
ch
ca
s
e.
B
u
t,
th
e
r
an
g
e
i
s
co
n
s
id
er
ab
l
y
r
ed
u
ce
d
f
o
r
t
h
e
d
o
u
b
le
la
y
er
ca
s
es,
in
co
m
p
ar
is
o
n
w
it
h
t
h
e
s
in
g
le
la
y
er
C
A
E
B
,
esp
ec
iall
y
f
o
r
C
o
p
p
er
o
v
er
Sil
ico
n
(
7
5
%).
Fo
r
A
l
u
m
in
i
u
m
Nitr
id
e
(t
2
=1
µ
m
)
o
v
er
Sil
ico
n
,
t
h
e
r
ed
u
ctio
n
i
s
o
f
(
6
6
.
6
6
%).
Gra
vities´
s
w
ep
t
a
p
p
lied
t
o
C
A
E
B
-
Da
C
Ms
s
y
s
tem
s
:
g
v
alu
es
ar
e
co
n
s
id
er
ab
le
r
ed
u
ce
d
w
h
e
n
a
s
ec
o
n
d
la
y
er
i
s
i
m
p
le
m
e
n
ted
.
I
t
w
as
o
b
s
er
v
ed
th
at
d
i
f
f
er
e
n
t
v
a
lu
e
s
o
f
g
r
av
it
ies
p
r
o
d
u
ce
m
ax
i
m
u
m
n
o
r
m
a
l
s
tr
ess
v
al
u
es
,
d
ep
en
d
in
g
o
f
it
s
th
ic
k
n
e
s
s
v
alu
e,
u
n
d
er
a
n
o
n
li
n
ea
r
ten
d
en
ce
.
Valu
es
o
f
te
n
s
i
le
y
ield
s
tr
en
g
th
ar
e
n
ea
r
f
o
r
Sil
ico
n
a
n
d
C
o
p
p
er
,
b
u
t
d
if
f
er
en
ce
s
o
n
th
e
li
m
i
t
o
p
er
atio
n
r
an
g
e
o
f
g
v
a
lu
e
s
f
o
r
s
in
g
le
a
n
d
d
o
u
b
le
la
y
er
(
m
a
d
e
w
it
h
C
o
p
p
er
)
C
A
E
B
-
DaC
M
ar
e
co
n
s
id
er
ab
le,
v
ar
y
i
n
g
f
r
o
m
1
0
0
g
(
f
o
r
2
5
μ
m
)
u
p
to
1
0
5
g
(
f
o
r
2
9
μ
m
)
,
f
o
r
t
h
e
Si
lico
n
ca
s
e
,
an
d
f
r
o
m
1
0
2
g
(
f
o
r
2
5
μ
m
/1
μ
m
)
d
o
w
n
to
5
6
g
(
f
o
r
2
5
μ
m
/5
μ
m
)
,
f
o
r
th
e
d
o
u
b
le
la
y
er
ca
s
e,
i
m
p
r
o
v
in
g
t
h
e
d
o
u
b
le
la
y
er
C
A
E
B
r
esp
o
n
s
e.
T
h
e
lo
w
er
v
alu
e
o
f
g
co
r
r
esp
o
n
d
s
to
t
h
e
ca
s
e
o
f
ad
d
itio
n
al
la
y
er
o
f
A
l
u
m
i
n
iu
m
Nitr
id
e
o
v
er
Sil
ico
n
w
it
h
a
th
ic
k
n
e
s
s
r
atio
o
f
2
5
μ
m
/2
μ
m
,
o
f
o
n
l
y
1
6
g
.
C
A
E
B
-
Da
C
M
o
f
th
e
a
n
al
y
s
ed
ca
s
es
co
u
ld
b
e
u
s
ed
f
o
r
d
if
f
er
en
t
ap
p
licatio
n
s
,
i
n
ac
co
r
d
an
ce
to
th
e
r
eq
u
ir
e
m
e
n
ts
o
f
d
i
s
p
lace
m
e
n
t
s
en
s
iti
v
it
y
,
o
p
er
atio
n
f
r
eq
u
en
c
y
o
r
ac
ce
ler
atio
n
r
an
g
e.
ACK
NO
WL
E
D
G
E
M
E
NT
S
M.
T
ec
p
o
y
o
tl
-
T
o
r
r
es,
P
.
Var
g
as
-
C
h
ab
le
a
n
d
J
.
G.
Ver
a
-
Di
m
a
s
th
a
n
k
to
P
R
ODE
P
an
d
also
to
C
ON
AC
y
T
f
o
r
its
s
u
p
p
o
r
t
u
n
d
er
g
r
a
n
t
A
1
-
S
-
3
3
4
3
3
,
"P
r
o
y
ec
to
A
p
o
y
ad
o
p
o
r
el
Fo
n
d
o
Secto
r
ial
d
e
I
n
v
e
s
tig
ac
ió
n
p
ar
a
la
E
d
u
ca
ció
n
"
.
A
.
Oca
m
p
o
-
D
iaz
ex
p
r
ess
h
er
s
i
n
ce
r
e
th
a
n
k
s
to
C
ON
AC
y
T
f
o
r
th
e
s
ch
o
lar
s
h
ip
w
it
h
g
r
a
n
t r
ef
er
en
ce
5
5
5
9
5
4
.
RE
F
E
R
E
NC
E
S
[1
]
Y.
Ch
in
,
J.
Ha
slio
n
a
,
a
n
d
A
.
Nu
ru
l,
"
Clas
sif
ic
a
ti
o
n
o
n
M
E
M
S
A
c
c
e
lero
m
e
t
e
r
a
n
d
De
v
ice
A
p
p
li
c
a
ti
o
n
"
,
P
r
o
c
e
e
d
in
g
s
o
f
th
e
S
e
c
o
n
d
In
ter
n
a
ti
o
n
a
l
Co
n
fer
e
n
c
e
o
n
T
e
c
h
n
o
l
o
g
ica
l
Ad
v
a
n
c
e
s
in
El
e
c
trica
l,
El
e
c
tro
n
ics
a
n
d
Co
mp
u
ter
E
n
g
in
e
e
rin
g
(
T
AE
ECE
2
0
1
4
)
,
Ku
a
la L
u
m
p
u
r,
M
a
lay
si,
p
p
.
2
1
5
-
22
5
,
M
a
rc
h
2
0
1
4
.
[2
]
J.
F
e
n
n
e
ll
y
,
S
.
Din
g
,
J.
Ne
w
t
o
n
a
n
d
Y.
Zh
a
o
,
"
T
h
e
r
m
a
l
M
EM
S
A
c
c
e
lero
m
e
ters
F
it
M
a
n
y
A
p
p
li
c
a
ti
o
n
s
,
”
S
ENS
OR
M
AGAZ
IN
,
v
o
l
1
8
,
p
p
.
1
8
-
2
0
,
2
0
1
2
.
[3
]
D.
M
ize
ll
,
"
Us
in
g
G
ra
v
it
y
to
Esti
m
a
te
A
c
c
e
lero
m
e
ter
Orie
n
tatio
n
"
,
Pro
c
e
e
d
in
g
s
o
f
t
h
e
S
e
v
e
n
th
IEE
E
In
t
e
rn
a
ti
o
n
a
l
S
y
mp
o
si
u
m
o
n
W
e
a
ra
b
le
Co
mp
u
ter
s
(
IS
W
C’0
3
)
,
Ne
w
Yo
rk
,
USA
,
p
p
.
2
5
2
-
2
5
3
,
Oc
to
b
e
r
2
0
0
3
DO
I:
1
0
.
1
1
0
9
/
IS
W
C.
2
0
0
3
.
1
2
4
1
4
2
4
.
[4
]
R.
L
.
M
ich
e
ll
e
a
n
d
B.
Ja
m
e
s
A
n
g
e
ll
,
"
A
b
a
tch
-
f
a
b
rica
ted
S
il
ico
n
a
c
c
e
lero
m
e
t
e
r
"
,
IEE
E
T
ra
n
s
a
c
ti
o
n
s
o
n
El
e
c
tro
n
De
v
ice
s
,
v
o
il
2
6
,
(
1
2
),
p
p
.
1
9
1
1
-
1
9
1
7
,
1
9
7
9
.
[5
]
C.
C.
Ya
n
g
a
n
d
Y.
L
.
Hs
u
,
"
A
R
e
v
ie
w
o
f
A
c
c
e
lero
m
e
tr
y
-
B
a
se
d
W
e
a
r
a
b
le
M
o
ti
o
n
De
tec
to
rs
f
o
r
P
h
y
sic
a
l
A
c
ti
v
it
y
M
o
n
i
to
ri
n
g
,
"
S
e
n
so
rs
,
v
o
l
1
0
,
p
p
.
7
7
7
2
-
7
7
8
8
,
2
0
1
0
,
I
S
S
N 1
4
2
4
-
8
2
2
0
,
DO
I:
1
0
.
3
3
9
0
/s1
0
0
8
0
7
7
7
.
[6
]
G.
Ciu
ti
,
L
.
Rico
tt
i,
A
.
M
e
n
c
i
a
s
si
a
n
d
P
.
Da
rio
,
"
M
EM
S
S
e
n
s
o
r
T
e
c
h
n
o
l
o
g
ies
f
o
r
Hu
m
a
n
Ce
n
tere
d
A
p
p
li
c
a
ti
o
n
s
in
He
a
lt
h
c
a
re
,
P
h
y
sic
a
l
Ac
ti
v
it
ies
,
S
a
f
e
t
y
a
n
d
En
v
iro
n
m
e
n
tal
S
e
n
sin
g
,
"
A
Rev
iew
o
n
Res
e
a
rc
h
Activiti
e
s
in
Ita
ly.
S
e
n
so
rs
,
v
o
l
1
5
,
p
p
.
6
4
4
1
-
6
4
6
8
,
2
0
1
5
,
DO
I:
1
0
.
3
3
9
0
/s
1
5
0
3
0
6
4
4
1
.
[7
]
G
.
L
a
m
m
e
l,
"
T
h
e
Fu
tu
re
o
f
M
e
ms
S
e
n
so
rs
In
Ou
r
Co
n
n
e
c
ted
W
o
rld
,
"
P
ro
c
e
e
d
in
g
s
o
f
M
EM
S
2
0
1
5
,
Esto
ri
l,
P
o
rtu
g
a
l,
p
p
.
6
1
-
6
4
,
Ja
n
u
a
ry
2
0
1
5
,
DO
I:
1
0
.
1
1
0
9
/M
E
M
S
YS.
2
0
1
5
.
7
0
5
0
8
8
6
.
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
SS
N
:
2
0
8
8
-
8708
I
n
t J
E
lec
&
C
o
m
p
E
n
g
,
Vo
l.
9
,
No
.
6
,
Dec
em
b
er
2
0
1
9
:
4
6
7
5
-
4
6
8
3
4682
[8
]
X
.
Zo
u
a
n
d
A
.
A
.
S
e
sh
ia,
"
A
Hig
h
-
Re
so
lu
ti
o
n
Re
so
n
a
n
t
M
e
m
s
Ac
c
e
lero
m
e
ter
,
"
Pro
c
e
e
d
in
g
s
o
f
T
r
a
n
sd
u
c
e
rs
2
0
1
5
,
A
n
c
h
o
ra
g
e
,
A
las
k
a
,
USA
,
p
p
.
1
2
4
7
-
1
2
5
0
,
Ju
n
e
2
0
1
5
.
[9
]
A
.
A
lb
a
rb
a
r
a
n
d
S
.
H.
T
e
a
y
,
"
Ch
a
p
ter
2
.
M
E
M
S
A
c
c
e
l
e
ro
m
e
ters
:
Tes
ti
n
g
a
n
d
P
ra
c
ti
c
a
l
A
p
p
ro
a
c
h
f
o
r
S
m
a
rt
S
e
n
sin
g
a
n
d
M
a
c
h
i
n
e
ry
Dia
g
n
o
stics
,
"
Ad
v
a
n
c
e
d
M
e
c
h
a
tro
n
ics
a
n
d
M
EM
S
De
v
ice
s
II,
M
icr
o
sy
ste
m
s
a
n
d
Na
n
o
sy
ste
ms
'
,
D.
Zh
a
n
g
,
B.
W
e
i,
e
d
s.,
p
p
.
1
9
-
4
0
,
2
0
1
7
,
DO
I
1
0
.
1
0
0
7
/
9
7
8
-
3
-
3
1
9
-
3
2
1
8
0
-
6
_
2
.
[1
0
]
V
.
S
e
e
n
a
,
"
A
n
o
v
e
l
p
iez
o
re
sistiv
e
p
o
ly
m
e
r
n
a
n
o
c
o
m
p
o
site
M
E
M
S
a
c
c
e
lero
m
e
ter
,
"
M
ic
ro
me
c
h
.
M
icr
o
e
n
g
,
v
o
l
2
7
,
9
p
p
,
2
0
1
6
DO
I:
1
0
.
1
0
8
8
/
0
9
6
0
-
1
3
1
7
/
2
7
/
1
/0
1
5
0
1
4
.
[1
1
]
M
,
Ra
li
b
,
A
.
No
rd
in
a
n
d
N.
M
a
l
ik
,
"
A
stu
d
y
o
n
c
o
n
tro
ll
a
b
le
a
lu
m
in
u
m
d
o
p
e
d
z
in
c
o
x
id
e
p
a
tt
e
rn
i
n
g
b
y
c
h
e
m
ica
l
e
tch
in
g
f
o
r
M
EM
S
a
p
p
l
ica
ti
o
n
,
"
M
icr
o
sy
st
T
e
c
h
n
o
l
,
v
o
l
2
3
,
p
p
.
3
8
5
1
–
3
8
6
2
,
2
0
1
7
,
DO
I
1
0
.
1
0
0
7
/s
0
0
5
4
2
-
0
1
5
-
2
7
8
3
-
1
.
[1
2
]
I.
Zeim
p
e
k
is,
I.
S
a
ri
a
n
d
M
.
K
ra
f
t,
"
Ch
a
ra
c
t
e
r
iza
ti
o
n
o
f
a
m
e
c
h
a
n
ica
l
m
o
ti
o
n
a
m
p
li
f
ier
a
p
p
li
e
d
t
o
a
M
E
M
S
a
c
c
e
lero
m
e
t
e
r
,
"
M
icr
o
e
le
c
tro
me
c
h
.
S
y
st
.
,
v
o
l
2
1
,
p
p
.
1
0
3
2
-
1
0
4
2
,
2
0
1
2
,
DO
I:
1
0
.
1
1
0
9
/J
M
EM
S
.
2
0
1
2
.
2
1
9
6
4
9
1
.
[1
3
]
C.
P
e
d
e
rse
n
a
n
d
A
.
S
e
sh
ia,
"
On
th
e
o
p
ti
m
iza
ti
o
n
o
f
c
o
m
p
l
ian
t
f
o
rc
e
a
m
p
li
f
ier
m
e
c
h
a
n
is
m
s
f
o
r
su
rfa
c
e
m
icro
m
a
c
h
in
e
d
re
so
n
a
n
t
a
c
c
e
lero
m
e
ters
,
"
M
ic
ro
me
c
h
.
M
icr
o
e
n
g
,
v
o
l
1
4
,
p
p
.
1
2
8
1
-
1
2
9
3
,
2
0
0
4
DO
I:
1
0
.
1
0
8
8
/0
9
6
0
-
1
3
1
7
/1
4
/1
0
/0
0
1
.
[1
4
]
X
.
S
u
a
n
d
H.
Ya
n
g
,
"
T
w
o
-
sta
g
e
c
o
m
p
li
a
n
t
m
icro
-
lev
e
r
a
g
e
m
e
c
h
a
n
ism
o
p
ti
m
iza
ti
o
n
in
a
re
so
n
a
n
t
a
c
c
e
lero
m
e
t
e
r
,
"
S
tru
c
t.
M
u
lt
id
isc
i
p
li
n
a
ry
Op
ti
m
,
v
o
l
2
2
,
p
p
.
3
2
8
-
3
3
6
,
2
0
0
1
,
DO
I:
1
0
.
1
0
0
7
/s0
0
1
5
8
-
0
0
1
-
0
1
5
3
-
3.
[1
5
]
G
.
Krish
n
a
n
a
n
d
G
.
K.
A
n
a
n
th
a
su
re
sh
,
"
A
s
y
ste
m
a
ti
c
m
e
th
o
d
f
o
r
th
e
o
b
jec
ti
v
e
e
v
a
lu
a
ti
o
n
a
n
d
se
lec
ti
o
n
o
f
c
o
m
p
li
a
n
t
d
isp
lac
e
m
e
n
t
a
m
p
li
fy
i
n
g
m
e
c
h
a
n
ism
s
f
o
r
se
n
so
r
a
p
p
li
c
a
ti
o
n
s
,
"
J
.
M
e
c
h
.
De
s
.,
v
o
l
1
3
0
,
(1
0
),
p
p
.
2
0
0
8
,
1
0
2
3
0
4
:
1
–
1
0
2
3
0
4
:
9
.
[1
6
]
G
.
Krish
n
a
n
.
:
"
Disp
lac
e
m
e
n
t
-
a
m
p
li
fy
in
g
c
o
m
p
li
a
n
t
m
e
c
h
a
n
is
m
s
f
o
r
se
n
so
r
a
p
p
li
c
a
ti
o
n
s
,
"
(
M
a
ste
r
o
f
S
c
ien
c
e
(
En
g
in
e
e
rin
g
)
th
e
sis
.
De
p
a
rtm
e
n
t
o
f
M
e
c
h
a
n
ica
l
En
g
in
e
e
rin
g
In
d
ia
n
In
sti
tu
te
o
f
S
c
ien
c
e
,
2
0
0
6
).
[1
7
]
K.
S
a
m
b
u
d
d
h
a
a
n
d
G
.
K.
A
n
a
n
th
a
su
re
sh
,
"
Im
p
ro
v
in
g
th
e
S
e
n
siti
v
it
y
a
n
d
Ba
n
d
w
id
th
o
f
In
-
P
l
a
n
e
Ca
p
a
c
it
iv
e
M
icro
a
c
c
e
lero
m
e
ters
Us
in
g
Co
m
p
li
a
n
t
M
e
c
h
a
n
ica
l
Am
p
li
f
iers
,
"
M
icr
o
e
lec
tro
me
c
h
a
n
ica
l
S
y
ste
ms
,
v
o
l
2
3
,
p
p
.
8
7
1
-
8
8
7
,
2
0
1
4
DO
I:
1
0
.
1
1
0
9
/
JME
M
S
.
2
0
1
4
.
2
3
0
0
2
3
1
.
[1
8
]
H.
D.
Ke
n
n
e
d
y
-
Ca
b
re
ra
,
J.
He
rn
a
n
d
e
z
-
T
o
rre
s,
A
.
L
.
He
rre
r
a
-
M
a
y
,
J.
M
irele
s
Jr
G
a
rc
ia,
a
n
d
A
.
S
a
u
c
e
d
a
-
Ca
rv
a
jal,
"
F
a
b
rica
c
ió
n
y
c
a
r
a
c
teriz
a
c
ió
n
d
e
u
n
a
m
p
li
f
ic
a
d
o
r
m
e
c
á
n
ico
flex
ib
le
,
"
Rev
ista
M
e
x
ica
n
a
d
e
Fí
sic
a
,
v
o
l
6
0
,
p
p
.
2
8
2
–
2
8
9
,
2
0
1
4
.
[1
9
]
R.
Ca
b
e
ll
o
-
Ru
iz,
M
.
T
e
c
p
o
y
o
tl
-
To
rre
s,
A
.
T
o
rre
s
-
J
a
c
o
m
e
,
V
.
G
ri
m
a
lsk
y
,
J.
G
.
V
e
ra
-
Di
m
a
s,
a
n
d
P
.
V
a
rg
a
s
-
Ch
a
b
le,
"
A
No
v
e
l
Disp
lac
e
m
e
n
t
-
a
m
p
li
fy
i
n
g
Co
m
p
li
a
n
t
M
e
c
h
a
n
ism
I
m
p
lem
e
n
ted
o
n
a
M
o
d
if
ied
Ca
p
a
c
it
iv
e
A
c
c
e
lero
m
e
ter
,
"
In
ter
n
a
t
io
n
a
l
J
o
u
rn
a
l
o
f
El
e
c
trica
l
a
n
d
Co
m
p
u
ter
En
g
in
e
e
rin
g
,
v
o
l
7
,
p
p
.
1
8
5
8
-
1
8
6
6
,
2
0
1
7
DO
I:
1
0
.
1
1
5
9
1
/i
jec
e
.
v
7
i4
B
I
O
G
RAP
H
I
E
S
O
F
AUTH
O
RS
M
a
r
g
a
r
ita
Te
c
p
o
y
o
tl
To
r
r
e
s
re
c
e
iv
e
d
th
e
M
a
th
e
m
a
ti
c
ian
d
e
g
re
e
a
n
d
w
a
s
g
ra
d
u
a
ted
a
s
El
e
c
tro
n
ic
En
g
in
e
e
r
f
ro
m
th
e
Un
iv
e
rsit
y
o
f
P
u
e
b
la,
M
e
x
ico
,
i
n
1
9
9
1
a
n
d
1
9
9
3
,
re
sp
e
c
ti
v
e
l
y
.
S
h
e
re
c
e
iv
e
d
th
e
M
.
S
c
.
a
n
d
P
h
.
D.
d
e
g
re
e
s
in
E
lec
tro
n
ics
f
ro
m
I
N
A
OE,
M
é
x
ico
,
in
1
9
9
7
a
n
d
1
9
9
9
,
re
sp
e
c
ti
v
e
ly
.
S
h
e
w
o
rk
s,
sin
c
e
1
9
9
9
,
a
t
CIICAp
o
f
U
A
EM
,
M
e
x
ico
,
w
h
e
re
is
c
u
rre
n
tl
y
ti
tu
lar
p
ro
f
e
ss
o
r.
S
h
e
h
a
s
b
e
e
n
v
isit
in
g
re
se
a
rc
h
sc
ien
ti
st
in
Un
iv
e
rsity
o
f
Bristo
l
(2
0
0
1
),
UK
.
S
h
e
led
t
h
e
W
in
n
e
r
tea
m
o
f
Bo
o
t
Ca
m
p
,
UA
EM
P
o
ten
ti
a
l
,
o
b
tain
i
n
g
a
sc
h
o
lars
h
ip
f
ro
m
T
E
CHBA
f
o
r
th
e
F
u
ll
Im
m
e
r
sio
n
p
ro
g
ra
m
in
S
il
ico
n
V
a
ll
e
y
(
2
0
1
4
)
.
In
2
0
1
5
sh
e
w
o
n
th
e
th
ir
d
p
lac
e
in
th
e
R
o
y
a
l
A
c
a
d
e
m
y
o
f
En
g
in
n
e
ri
n
g
in
t
h
e
Le
a
d
e
rs
in
In
n
o
v
a
ti
o
n
F
e
ll
o
w
sh
ip
s
f
in
a
l
p
it
c
h
se
ss
io
n
,
in
UK
.
S
h
e
h
a
s
f
o
u
r
p
a
ten
ts
ti
tl
e
s.
S
h
e
is
co
-
f
o
u
n
d
e
r
o
f
INN
T
ECV
ER.
S
h
e
h
o
ld
s
t
h
e
sta
tu
s
o
f
Na
ti
o
n
a
l
Re
se
a
rc
h
e
r
(S
NI),
in
M
e
x
ico
sin
c
e
1
9
9
9
.
Ra
m
o
n
C
a
b
e
ll
o
R
u
iz
re
c
e
iv
e
d
t
h
e
d
e
g
re
e
o
f
M
e
c
h
a
n
ica
l
En
g
in
e
e
r
(2
0
1
0
)
f
ro
m
th
e
A
u
to
n
o
m
o
u
s
Un
iv
e
rsit
y
o
f
M
o
re
lo
s (U
A
EM
),
M
e
x
ico
.
He
o
b
tain
e
d
t
h
e
M
.
S
c
.
f
ro
m
Ce
n
ter
f
o
r
A
p
p
li
e
d
Re
se
a
rc
h
in
En
g
in
e
e
ri
n
g
a
n
d
A
p
p
li
e
d
S
c
ie
n
c
e
s
(CIICA
p
),
M
e
x
ico
,
in
2
0
1
2
.
Ra
m
o
n
Ca
b
e
ll
o
is
stu
d
y
in
g
in
a
P
h
D
P
ro
g
ra
m
o
f
En
g
in
e
e
rin
g
in
CIICA
p
.
He
tea
c
h
s
a
t
th
e
F
a
c
u
lt
y
o
f
Ch
e
m
ic
a
l
S
c
ien
c
e
s
a
n
d
En
g
in
e
e
rin
g
a
t
th
e
UA
EM
.
Ped
r
o
V
a
r
g
a
s
Cha
b
lé
R
e
c
e
iv
e
d
th
e
B.
S
c
.
De
g
re
e
b
y
th
e
A
u
to
n
o
m
o
u
s
Un
iv
e
rsity
Ju
a
re
z
f
ro
m
T
a
b
a
sc
o
in
2
0
0
8
.
F
ro
m
2
0
0
9
t
o
2
0
1
2
,
h
e
w
a
s
T
e
c
h
n
ica
l
S
p
e
c
ialist
A
s
se
s
m
e
n
t
o
f
L
ig
h
ti
n
g
Co
n
d
it
i
o
n
s
a
n
d
N
o
n
-
I
o
n
izi
n
g
Ra
d
iatio
n
,
NO
M
-
0
2
5
-
S
T
P
S
-
2
0
0
8
a
n
d
NO
M
-
0
1
3
-
S
T
P
S
-
1
9
9
3
re
sp
e
c
ti
v
e
l
y
,
in
En
v
iro
n
m
e
n
tal
Tec
h
n
o
l
o
g
y
S
.
A
o
f
C.
V
.
In
2
0
1
4
h
e
r
e
c
e
iv
e
d
th
e
M
.
S
c
.
De
g
re
e
a
t
th
e
A
u
to
n
o
m
o
u
s Un
iv
e
rsit
y
o
f
M
o
re
lo
s S
tate
(U
A
EM
).
He
is
a
P
h
D stu
d
e
n
t
a
t
th
e
Re
se
a
rc
h
Ce
n
ter
o
n
En
g
i
n
e
e
rin
g
a
n
d
A
p
p
li
e
d
S
c
i
e
n
c
e
(CIIC
A
p
)
o
f
th
e
U
A
EM
.
His
c
u
rre
n
t
re
se
a
rc
h
in
tere
st
a
r
e
F
EA
,
m
icro
g
rip
p
e
r,
m
icro
a
c
tu
a
to
rs an
d
V
L
S
I.
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I
n
t
J
E
lec
&
C
o
m
p
E
n
g
I
SS
N:
2
0
8
8
-
8708
P
erfo
r
ma
n
ce
o
f c
o
mp
lia
n
t m
e
ch
a
n
is
ms a
p
p
lied
to
a
mo
d
ifie
d
s
h
a
p
e
a
cc
elero
mete
r
…
(
M.
Tecp
o
yo
tl
-
To
r
r
es
)
4683
J
o
sé
G
e
r
a
r
d
o
V
e
r
a
is
g
ra
d
u
a
ted
f
ro
m
th
e
T
e
c
h
n
o
lo
g
ica
l
In
st
it
u
te
o
f
M
o
re
li
a
a
s
El
e
c
tro
n
ic
En
g
in
e
e
r.
Cu
rre
n
t
ly
,
h
e
i
s
o
rg
a
n
izin
g
m
e
m
b
e
r
o
f
ROP
EC
e
d
i
ti
o
n
s
V
II
a
n
d
V
III
.
He
re
c
e
iv
e
d
th
e
EG
RE
T
EC
2
0
0
9
a
w
a
rd
a
s
Yo
u
n
g
G
r
a
d
u
a
ted
f
r
o
m
t
h
e
G
ra
d
u
a
ted
A
ss
o
c
iatio
n
o
f
th
e
T
e
c
h
n
o
l
o
g
ica
l
In
stit
u
te
o
f
M
o
re
li
a
.
He
g
o
t
h
is
M
a
ste
r
d
e
g
re
e
w
it
h
h
o
n
o
rs
in
th
e
Re
se
a
rc
h
Ce
n
ter o
f
En
g
in
e
e
rin
g
a
n
d
A
p
p
li
e
d
S
c
ien
c
e
s (CIIC
A
p
)
b
e
lo
n
g
in
g
to
th
e
A
u
to
n
o
m
o
u
s Un
iv
e
rsity
o
f
M
o
re
lo
s
S
tate
(UA
EM
).
He
a
ls
o
g
o
t
th
e
P
h
D
d
e
g
re
e
in
En
g
in
e
e
rin
g
a
n
d
A
p
p
li
e
d
S
c
ien
c
e
in
El
e
c
tri
c
a
l
a
re
a
.
G
e
r
a
rd
o
V
e
ra
is
p
a
rt
o
f
th
e
d
e
v
e
lo
p
m
e
n
t
o
f
th
e
c
u
rricu
lu
m
o
f
th
e
M
a
ste
r
in
Co
m
m
e
r
c
ializa
ti
o
n
o
f
In
n
o
v
a
ti
v
e
Kn
o
w
led
g
e
a
n
d
t
h
e
Ba
c
h
e
lo
r
o
n
T
e
c
h
n
o
l
o
g
y
,
b
o
th
o
f
CIICA
p
-
UA
EM
.
H
e
w
a
s
p
a
rt
o
f
th
e
w
in
n
e
r
tea
m
o
f
th
e
Bo
o
tCam
p
2
0
1
3
o
rg
a
n
ize
d
b
y
T
e
c
h
BA
,
a
lso
h
e
is
p
a
rt
o
f
th
e
w
in
n
e
r
tea
m
o
f
a
sc
h
o
lars
h
ip
t
o
b
e
p
a
rt
o
f
th
e
p
ro
g
ra
m
F
ULL
IM
M
ERS
ION
i
n
T
e
c
h
BA
S
il
ico
n
V
a
ll
e
y
.
O
ca
m
po
-
Dia
z
S
h
e
stu
d
ie
d
El
e
c
tri
c
a
l
En
g
in
e
e
rin
g
a
t
UA
EM
,
in
2
0
1
5
o
b
tai
n
e
d
t
h
e
M
a
ste
r'
s
De
g
re
e
in
En
g
in
e
e
ri
n
g
a
n
d
A
p
p
li
e
d
S
c
ien
c
e
s a
t
CIICA
p
,
UA
EM
.
Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.