I nte rna t io na l J o urna l o f   Adv a nces in Applie d Science s   ( I J AAS)   Vo l.   5 ,   No .   1 Ma r ch   2 0 1 6 ,   p p .   1 ~ 12   I SS N:  2252 - 8814          1       J o ur na l ho m ep a g e h ttp : //ia e s jo u r n a l.c o m/o n lin e/in d ex . p h p /I J AAS   Effec o No v el N a no co m po site Ma terials  f o r En ha ncing   Perf o r m a nce  of T hin Fil m   Tra nsis t o r TFT Mo del         Yo us s ef   M o ba ra k * , * * ,   M o a m e n At ef * *   *   D e p a rt m e n o f   El e c tri c a En g in e e rin g ,   F a c u lt y   o f   En g in e e rin g ,   Ra b ig h ,   Kin g   A b d u laz iz Un iv e rsit y ,   S a u d A ra b ia   * *   De p a rt m e n o f   El e c tri c a En g i n e e rin g ,   F a c u lt y   o f   En e rg y   En g in e e rin g ,   A s wa n   Un iv e rsit y ,   Eg y p t       Art icle  I nfo     AB ST RAC T     A r ticle  his to r y:   R ec eiv ed   Dec   1 2 ,   2 0 1 5   R ev i s ed   Feb   18 ,   2 0 1 6   A cc ep ted   Feb   2 7 ,   2 0 1 6     T h e   p o ten ti a im p a c o f   h ig h   p e rm it ti v it y   g a te  d iele c tri c o n   th in   f il m   tran sisto rs  sh o rt  c h a n n e a n d   c i rc u it   p e rf o rm a n c e   h a b e e n   stu d ied   u sin g   h ig h ly   a c c u ra te  a n a l y ti c a m o d e ls .   In   a d d it io n ,   t h e   g a te - to - c h a n n e c a p a c it a n c e   a n d   p a ra siti c   f rin g e   c a p a c it a n c e h a v e   b e e n   e x tr a c ted .   T h e   su g g e ste d   m o d e in   th is  p a p e h a b e e n   in c re a se d   th e   su r f a c e   p o ten ti a a n d   d e c re a se d   th e   th re sh o ld   v o l tag e ,   w h e n e v e th e   c o n v e n ti o n a sili c o n   d i o x id e   g a te  d iele c tri c   is  re p lac e d   b y   h i g h - g a te  d iele c tri c   n o v e n a n o c o m p o site   P VP/ L a 2 O 3 K ox = 2 5 .   A lso ,   it   h a b e e n   in v e stig a ted   th a a   d e c re a se   in   p a ra siti c   o u ter  f rin g e   c a p a c it a n c e   a n d   g a te - to - c h a n n e c a p a c it a n c e ,   w h e n e v e th e   c o n v e n ti o n a sili c o n   n it ri d e   is  re p lac e d   b y   lo w - g a te  sid e wa ll   sp a c e r   d iele c tri c   n o v e n a n o c o m p o site   P T F E/ S iO 2 K sp = 2 . 9 .   F i n a ll y ,   it   h a b e e n   d e m o n stra ted   th a u sin g   lo w - K g a te sid e w a ll w it h   h ig h - K g a te i n s u lato rs ca n   b e   d e c re a se d   th e   g a te  f rin g in g   f ield   a n d   th re sh o ld   v o lt a g e .   I n   a d d it i o n ,   f a b rica ti o n   o f   n a n o c o m p o sites   f ro m   p o ly m e rs  a n d   n a n o - o x i d e   p a rti c les   f o u n d   to   h a v e   p o ten ti a c a n d id a tes   f o u sin g   it   i n   a   w id e   ra n g e   o f   a p p li c a ti o n in   lo w   c o st d u e   t o   l o w   p ro c e ss   tem p e ra tu re   o f   th e se   n a n o c o m p o sites   m a teria ls.   K ey w o r d :   C OM S   Nan o co m p o s ite   g ate  d ielec tr ic   Sid e w al l sp ac er   T h in   Fil m   T r an s is to r   ( T F T )   T h r esh o ld   v o ltag e   Co p y rig h ©   201 6   In s t it u te o A d v a n c e d   E n g i n e e rin g   a n d   S c ien c e   Al rig h ts  re se rv e d .   C o r r e s p o nd ing   A uth o r :   Yo u s s e f   Mo b ar ak ,     Dep ar te m en t o f   E lectr ical  E n g in ee r in g ,   Facu lt y   o f   E n er g y   E n g i n ee r in g ,   A s w a n   Un iv er s it y ,   8 1 5 2 8 ,   A s w an ,   E g y p t .   E m ail:  y s o li m a n @ a s w u . ed u . e g       1.   I NT RO D UCT I O N     I n teg r ated   C ir cu it s   I C s   ca n   i n clu d a s   m a n y   as  h u n d r ed   m illi o n   tr an s is to r s   o r   m o r e.   As  in cr ea s e d   g ate  lea k ag e   is   o n m aj o r   li m i tin g   f ac to r   o n   a g g r es s i v s ca li n g   ef f ec ti v g ate - d ielec tr ic  t h i ck n e s s   w ill  r eq u ir alter n ati v m ater ial s   w it h   h ig h er   p er m itti v it y s   Ko x   an d   g r ea ter   p h y s ical  th ic k n ess es,  f ac to r   o f   ( Ko x /KSiO2 )   to   p r ev en d ir ec g ate  t u n n el in g   [ 1 ] ,   [ 3 ] .   Ho w ev er ,   th u s o f   h ig h - g ate  m ater ial  m a y   r esu lt   in   d ielec tr ic  th ic k n e s s e s   co m p ar ab le  to   th d ev ice  g at len g t h ,   f r i n g i n g   f ield s   f r o m   th g a te   to   th e   s o u r ce /d r ain   r eg io n s   co m p r o m is in g   t h s h o r t - ch a n n el  p er f o r m an ce   i n cr ea s i n g .   Ku m ar   an d   C h a u d h r y   [ 4 ]   h av e   ea r lier   d ev elo p ed   m o d el  f o r   th t h r es h o ld   v o lta g f o r   d u al  m ater ial  g ate   SOI - MO S F E T s .   Ou r   s u g g ested   m o d el  f o r   th t h r esh o ld   v o lta g f o r   th s i n g le  n an o co m p o s ite  m ater ial  g ate  SOI - MO S FE T s   b y   in cl u d in g   t h e   ef f ec o f   t h in ter n al  f r in g c ap ac itan ce   o n   th t h r es h o ld   v o ltag e,   w h ic h   ca n   b ea s i l y ,   s o lv ed   u s in g   f e w   iter atio n s .   I n   o r d er   to   ac cu r at el y   ch ar ac ter ize  T FT  d ev ices,  th th r es h o ld   v o ltag m u s b w ell  f o r m u lated .   Ou r   s u g g e s ted   m o d el  w it h   n o v el  n an o   co m p o s i te  m ater ial  P VP /L a2 O3   w ith   h i g h   d ielec tr i co n s ta n e n h a n ce s   th p er f o r m a n ce   o f   MO SF E T s .   B y   i n cr ea s i n g   i n   t h s u r f ac p o ten tial  an d   d ec r ea s in g   t h t h r es h o ld   v o ltag e.   I t   h as  b ee n   d e m o n s tr ated   s u ita b le  lo w - p er m itti v it y   lo w - g a te  s id e w al s p ac er   d ielec tr ic  n o v el  n an o co m p o s ite   PT FE/SiO2 ,   Ksp =2 . 9 ,   w h ic h   ca n   r ep lace   Si3 N4 ,   Ksp =7 . 5   [ 4 - 1 1 ] .   T h en er g y   o f   t h b a n d   ed g e   is   th e   t h r esh o ld   co n d itio n   f o r   co n d u ctio n   i n   t h e   T DT   ( s o m a u t h o r s   r ed ef in t h T DT   m o d el  as  th m o b ilit y   ed g m o d el  [ 1 2 ]   b y   m o d i f y in g   t h tail   s h ap e) .   I ca n   b s h o w n   t h at   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8814   IJ AA S    Vo l.   5 ,   No .   1 Ma r ch   201 6     1     12   2   th e x p r ess io n s   f o r   μ o   d er iv e   d in   th T DT   [ 1 3 ]   an d   VR [ 1 4 ]   th eo r ies d if f er   b y   t w o   co n s t an t   m u ltip lier s   [ 1 5 ] T h is   s etti n g   v io lates  t h e   co n d itio n s   f o r   p r o p er   u s o f   th i n f i n ite  i n teg r atio n   li m it  i n   th e   g a m m f u n ctio n   in   t h t h eo r etica d er iv atio n s   in   [ 1 3 ] ,   [ 1 4 ].   T h is   p r o b lem   w a s   r ec en tl y   id en ti f ied   i n   [ 16 ] .   T h v ar iet y   o f   m o d els   f o r   OT F T s   is   lar g e,   r an g i n g   f r o m   s i m p le   p h e n o m e n o lo g ical  m o d el s   b ased   o n   s i m ilar it ies  t o   cr y s tal   FET s ,   to   f i n ite - ele m en m o d els  o f   t h T F T   s tr u ctu r e   [ 17 ] ,   an d   f r o m   th ad ap tatio n   o f   a - T FT   ch ar g s h ee m o d el s   [1 8 to   li m it in g   m o d els  [ 19 ] .   E ac h   o f   th e s m o d els  h as  ad v an ta g es   an d   d is ad v an ta g e s ,   ad d r ess in g   d if f er en is s u e s   s u c h   as  co m p le x it y ,   ac c u r ac y ,   r ep ea tab ilit y ,   p h y s ics,  ch ar a cter izatio n   tech n iq u es,  o r   co n v er g en ce .   O n   t h o th er   h a n d ,   t h o b j ec t o f   th e   m o d els is   t h s a m e   ac cu r ate   p r ed ictio n   o f   th e   elec tr ical   c h ar ac ter is tics   o f   OT FT s .   R ec en t l y ,   t h e   f r i n g i n g   ca p ac it an ce   w as   p r esen th r o u g h   t h e   c o n f o r m al  m ap p in g   o f   p o ten tial  s p ac e.   Fri n g in g   I n d u ce d   B ar r ier   L o w i n g   FIB L   i s   th e f f ec o f   c h ar g es  i n d u ce d   b y   th f r i n g i n g   ca p ac i tan ce s ,   t h r es h o ld   v o ltag ca s i n cl u d in g   th f r in g in g   ca p ac itan ce   e f f ec is   s tu d ied   an d   th i n f lu e n ce   o f   g ate  d ielec tr ic  o n   t h r es h o ld   v o ltag i s   d is cu s s ed   [ 20 - 27 ].       2.   T H I F I L M   T RANSI ST O R   T F T   M O DE L     A   m o d el  cr o s s - s ec t io n al  o f   a n   SOI - MO SF E T   w it h   h i g h - Ko k   g ate   d ielec tr ic  is   s h o w n   in   F ig u r e   1 ( a) ,   w it h   th f r in g i n g   f ield   lin es  f r o m   t h b o tto m   o f   th g a te  elec tr o d to   th d r ain   an d   s o u r ce   r eg io n s .   Fo r   s i m p lic it y ,   t h at  c ir cu lar   f ield   l in es  a s   s h o w n   i n   Fi g u r e   1 ( b ) ,   an d   to   th ap p r o ac h   u s ed   i n   s t u d ies  f o r   th o t h er   co m p o n e n t s   o f   p ar asit ic  ca p a cit an ce   [ 7 ] [ 8 ] .   T h in f in i te s i m a ca p ac itan ce s   i n   t h h i g h - Ko k   an d   s p ac er   r eg io n s ,   r esp ec ti v el y   ca n   b wr itten   as:                       (     )   , . an d                    (     ) (          )             ( 1 )       W h er K ok   is   t h p er m itti v it y   o f   th g ate  d ielec tr ic,   K SP   is   t h p er m itti v it y   o f   s p ac er   m ate r ial,   W   is   th w id t h   o f   th e   tr an s is to r   s tr u ctu r e,   a n d   to k   is   t h g ate - d ie lectr ic  th ic k n es s .   Si n ce   d C 1   a n d   d C 2   ar i n   s er ie s ,   th n et  i n f i n ites i m a l c ap ac itan ce   ca n   b w r itte n   as:                                                         (                             )           ( 2 )       T h to tal  in ter n al  f r in g ca p ac itan ce   ca n   b o b tain ed   b y   in te g r atin g   ( 2 )   o v er   th g at e - d ielec tr ic   th ic k n e s s   as  f r i n g i n g :                                       (                             )                        ( 3 )                                     (           )    (           ) :               ( 4 )       Fro m   th e n tire   p er i m eter   o f   t h b o tto m   ed g o f   t h g ate  ele ctr o d as:           ( (          )      )                         ( 4 )       F or                 ,   an d                    W h er e:        is   th g ate  len g t h .       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
IJ AA S   I SS N:  2252 - 8814       E ffect  o f No ve l Na n o co mp o s ite  Ma teri a ls   fo r   E n h a n cin g   P er fo r ma n ce   o f Th in   F ilm  … ( Yo u s s ef  Mo b a r a k )   3           Fig u r 1 ( a ) .   C r o s s - s ec t io n al  o f   an   SOI - M OSFET I n ter n al  p ar asit ic  f r in g ca p ac i tan ce   Fig u r 1 ( b ) .   C r o s s - s ec tio n al  o f   an   SOI - M OSFET Frin g in g   f ield   b o tto m   o f   t h g ate  elec tr o d e       T h to tal  f r i n g ca p ac ita n ce   c an   b o b tai n ed   b y   E q u atio n   ( 4 ) ,   an d   th e   p er i m eter   o f   t h e   b o tto m   ed g e   o f   t h g ate  e lectr o d [ 2 ] .   Sin c th e   ac co u n f o r   elec tr ic   f ield   lin es   f r in g i n g   f r o m   t h e   b o tto m   ed g o f   t h g ate   to   eith er   th s o u r ce   o r   th d r ain   r eg io n   o n l y ,   t h in ter n al  f r in g ca p ac itan ce   ca n   b w r i tten   a s :                     ( (          )        )       (       )          ,             ( 5 )       Fo r                     an d                      I ca n   b s e en   th at  E q u .   ( 3 )   r e d u ce s   to   E q u atio n   ( 5 )   in   th li m it  K ok   →  K SP   b u f o r   co n s t an f ac to r .   T h is   d if f er en ce   ar is e s   b ec au s o f   th a s s u m p t io n   o f   th f r in g in g   elec tr ic  f ield   li n es  is   b ein g   cir cu lar   w h ile   d er iv in g   E q u atio n   ( 3 ) .   th u s ,   m u ltip lied   b y   t h ab o v f ac to r   eq u all y   0 . 1 5   to   o b tain                         (       )                     (             )    (             )             ( 6 )       T h ese  ex p r ess io n   r ed u ce s   to   E q u .   ( 5 )   th li m i K o k   →  K SP ,   an d   h en ce   E q u .   ( 6 ) ,   th at   t h e   s ep ar atio n   b et w ee n   th elec tr o d es  is   v er y   s m all  i n   co m p ar is o n   to   th le n g t h   o f   t h elec tr o d es  [ 1 0 ] .   T h is   is   ce r tai n l y   n o t   th ca s e   i n   s h o r ch a n n el  h i g h - k   d ielec tr ic  SOI - M OSFET s .   F u r th er   m o d if ied   to   r ep r esen t h tr u p ictu r e,   a n d   th f r in g i n g   f ield   f r o m   t h g at to   th s o u r ce /d r ain   r e g io n s   i n cr ea s es a s   f u n c tio n   o f   ( t ox /L g ) .   T h is   i s   t h e f f ec t   o f   th in cr ea s ed   cr o w d i n g   o f   f ield   li n es  i n   t h s p ac er   r eg io n   f o r   lar g g ate - d ielec tr ic  t h ick n e s s es,  f o r   to x   co m p ar ab le  to   L g ,   t h f r in g c ap ac itan c i n   t h s p ac er   r eg io n   is   m o r t h a n   w h at  h as  b ee n   ass u m ed   w h ile   E q u .   ( 6 ) .   to   ac co u n t f o r   th i s ,   an   e f f e ctiv s p ac er   d ielec tr ic  co n s ta n t a s :                (              )                        ( 7 )       Su b s ti tu t in g   ( 7 )   i n   p lace   o f   K SP   i n   ( 6 ) ,   th e n   o b tai n   t h f i n al  e x p r ess io n   f o r   th e   p ar asit ic  in ter n al   f r in g ca p ac itan ce   a s :                       (       )                            ( 8 )       W h er e:                                         (             )     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8814   IJ AA S    Vo l.   5 ,   No .   1 Ma r ch   201 6     1     12   4   2 . 1 .   Su g g este d H ig h - K   G a t Dielec t ric  M o del a nd   Select ed  Na no - M a t er i a ls   T h p ar asit ic  ca p ac itan ce s   ar b ec o m in g   an   i m p o r ta n i s s u f o r   d esi g n in g   lo g ic  c ir cu it s   to   r ed u c e   MO tr an s is to r   d i m e n s io n s   i n to   th d ee p   s u b - m icr o m eter   r e g i m e.   Hen ce ,   an   ac c u r ate  s u g g ested   m o d el  i n   o f   b o tto m   f r i n g in g   ca p ac ita n ce s   is   n ec es s ar y   to   p r ed ict  cir cu it  p er f o r m an ce   b ef o r f ab r icatio n ,   t h u s t h e   s u g g e s ted   m o d el  i s   an   e f f ic ien to o in   d e s ig n i n g   an d   ch ar ac ter izatio n   o f   h i g h - g ate - d ielec tr ic  SOI - MO SF E T s   in cl u d in g   t h e f f ec ts   o f   p ar asit ic  in ter n al  f r in g c ap ac itan ce   [ 2 8 ] .   T h co n v e n ti o n al  g ate  d ielec tr ic   s tr u ct u r d iag r a m   o f   t h T FT  d ev i ce s   u n d er   s t u d y   is   s h o wn   i n   F ig u r e   2 ( a) ,   s ilico n   d io x id w i th   d ielec tr ic   co n s ta n K ox =3 . 9   h as  b ee n   u s e d   as  g ate  o x id m ater ial  f o r   d ec ad es.  T h s u g g ested   m o d el   s tr u ctu r as  s h o wn   in   Fi g u r e   2 ( b )   w h ic h   in c lu d es   g ate  d ielec tr ic  w it h   h ig h - v alu f o r   en h an ci n g   th e   p er f o r m an ce   T FT   d ev ices  b y   u s i n g   n o v el  n a n o co m p o s ite   w it h   h ig h   d ielec tr ic  co n s tan v alu K ox =2 5 .                 Fig u r 2 ( a) .   Sin g le  la y er   co n v en tio n al  g ate  d ielec tr ic  an d   s u g g ested   o f   g ate  d ielec tr i T F T s C o n v en tio n al   g ate  d ielec tr ic  o x id e   Fig u r 2 ( b ) .   Sin g le  la y er   co n v en tio n al  g ate  d ielec tr ic  an d   s u g g ested   o f   g ate  d ielec tr i T F T s No v el   n an o co m p o s i te  g ate  d ielec tr ic       T h s u g g e s ted   n a n o co m p o s it e   m ater ial s   h av p o te n tial  ca n d id ates  f o r   u s in g   i n   w id r an g e   o f   ap p licatio n s   i n   lo w   co s d u t o   lo w   p r o ce s s   te m p er atu r o f   th ese  d e v ices  m a y   p av w a y   f o r   ac h ie v i n g   h i g h   p er f o r m a n ce   f o r   T FT   d ev ices.  I n s er ti n g   n an o co m p o s i te  m at er ials   b et w ee n   t h g ate  a n d   S / co n tact s   ar v er y   ef f ec tiv e   in   r ela x i n g   th e   r eq u i r e m en t s   o n   th v ir t u al  s o u r ce   v elo cit y .   L a n t h a n u m   o x id L a 2 O 3   b len d ed   w it h   p o ly v i n y p h en o P VP   in s tea d   o f   s ilico n   d io x id e.   So   th at,   h o m o g e n eo u s   o r g an ic - i n o r g a n ic  s l u r r y   h a s   b ee n   o b tain ed ,   1 0 w t%   P VP   an d   L a 2 O n a n o   p ar ticles,   to   i n tr o d u c g ate  d ielec tr ic   n a n o co m p o s ite  g ate  w it h   h i g h - k   d ielec tr ic  co n s tan t   an d   u s ed   in   t h s u g g e s ted   m o d el.   A cc o r d in g   to   th m o b ilit y   d eg r ad atio n   is   o n o f   t h m aj o r   ch allen g es   f o r   MO SF E T s   w it h   h ig h - g ate  d iele ctr ics,  th is   m o d e MO S FET s   w it h   P VP /L a 2 O 3   d ielec tr ic  f il m   h as   b ee n   s o lv e d   th is   p r o b lem ,   a s   P VP   w h ic h   h as   b ee n   e n h a n ce d   elec tr o n   m o b il it y   an d   o n - o f f   r atio s .     2 . 2 .   Su g g este d L o w - K   G a t Sid ew a ll Spa ce M o del a nd   Select ed  Na no - M a t er i a ls   E s ti m a tio n   o f   elec tr o n ic  cir cu it  p er f o r m a n ce   is   n ec e s s ar y   i n   t h d esi g n   p h a s to   b e   en s u r ed   p r o p er   r eliab ilit y .   T h u s ,   f r i n g i n g   ca p ac itan ce   is   o n o f   t h e   m aj o r   co n tr ib u to r s   to   th e   d eg r ad atio n   p er f o r m an ce   an d   s ig n al  i n te g r it y   p r o b le m s   i n   s u b - 100 - n m   c ir cu it s .   Hen ce ,   an   ac cu r ate  s u g g e s ted   m o d el  o f   f r i n g i n g   ca p ac itan ce s   h as   b ee n   in v es ti g ated   to   e n h a n ce   a n d   p r ed ict  th c ir cu it   p er f o r m a n ce   b e f o r f ab r icatio n .   T h e   co n v e n tio n al  g ate  s tr u c tu r d iag r a m   o f   t h T F T   d ev i ce s   u n d er   s tu d y   is   s h o w n   i n   Fig u r e   3 ( a)   in   th is   s tr u ct u r e.   Sh r i n k i n g   th co n v e n tio n a MO SF E T   b ey o n d   t h 4 5 n m   t ec h n o lo g y   n o d r eq u ir es  in n o v atio n s   to   s u p p r es s   p ar asit ic  f r in g i n g   ca p ac itan ce s   an d   s h o r c h an n el  e f f ec t s .   T h u s ,   th s u g g e s ted   m o d el  s t r u ctu r as  s h o w n   in   Fig u r e   3 ( b )   h as  b ee n   in clu d ed   g ate  s id e w al s p ac er   v alu e n h a n ce s   t h g ate  co n tr o o f   s h o r t - c h an n el  ef f ec t s   SC E s .                 Fig u r 3 ( a) .   A   s i n g le  la y er   co n v en t io n al  a n d   s u g g e s ted   m o d el  o f   g ate  s p ac e r   T FT s C o n v en tio n al  g ate  d ielec tr ic  s p ac er   Fig u r 3 ( b ) .   A   s in g le  la y er   co n v e n tio n al  an d   s u g g e s ted   m o d el  o f   g ate  s p ac e r   T FT s ,   No v el  n an o co m p o s i te  g ate  d ielec tr ic  s p ac er   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
IJ AA S   I SS N:  2252 - 8814       E ffect  o f No ve l Na n o co mp o s ite  Ma teri a ls   fo r   E n h a n cin g   P er fo r ma n ce   o f Th in   F ilm  … ( Yo u s s ef  Mo b a r a k )   5   A l s o ,   r ed u ce s   th e   s o u r ce - to - d r ain   lea k ag e   c u r r en a n d   e n h a n ce s   th e   p er f o r m a n ce   T FT s   d ev ices   b y   u s i n g   s p ac er   w it h   lo w   v a l u K SP =2 . 9   o f   Sil ico n   d io x id b len d ed   w ith   P o ly   ( tetr af l u o r o eth y len e)   P T FE   in s tead   o f   s ilico n   n i tr id i n   th s id e w al s p ac er s . T h er ef o r e,   in s er ti n g   n a n o co m p o s ite  m ate r ials   ( 2 0 w t%  S iO n an o -   p ar ticle s   a n d   P T FE)   b et w ee n   t h e   g ate   a n d   S/D   co n tac ts   i s   e f f ec ti v i n   r ela x i n g   t h r eq u ir e m e n ts   o n   th e   v ir tu a s o u r ce   v e lo cit y   an d   f o r   in tr o d u ci n g   g ate  d ielec tr i c   s p ac er   w it h   lo w - d ielec tr ic  co n s ta n t.  I f   s i lico n   d io x id co n ce n tr atio n   i n cr ea s es  u p   to   v alu o f   2 0 w t%,  it  m a y   b r es u lt  in   t h h ig h er   l ea k ag c u r r en also   s tr u ct u r d ef ec ts   i n d u ce d   b y   t h p r esen t o f   h i g h   co n ce n tr atio n   SiO 2 .     2 . 3 .   E s t i m a t io n o f   F ring ing - Ca pa c it a nce  a nd   Su rf a ce   P o t ent i a l o f   L o w - K   G a t Sid ew a ll S pa ce r   Fro m   s tu d ies   ca s e s   o f   MO S F E T [ 6 - 1 6 ] ,   th f r i n g i n g   ca p ac itan ce s   o f   lo w - g ate  d ie lectr ic  ar s h o w n   in   F ig u r e   4 ,   w h er C of   is   th g a te  d ielec tr ic  f r in g i n g   ca p ac itan ce ,   C gf   i s   th g ate   elec tr o d f r in g i n g   ca p ac itan ce ,   C ox   is   t h g ate  d i elec tr ic  ca p ac itan ce   b et w ee n   t h g a te  an d   c h a n n el,   T ox   an d   T g   ar th p h y s ical   th ic k n e s s   o f   t h g ate  d ielec tr ic  an d   g ate  elec tr o d e,   r esp ec t iv el y ,   L   an d   L ar ch an n el  l en g t h   an d   d is ta n ce   b et w ee n   s o u r ce /d r ain   elec tr o d an d   g ate  d ielec tr ic  r esp ec tiv el y ,   is   w id t h   o f   o v er la p   r eg io n   b et w ee n   s o u r ce /d r ain   an d   g ate  elec tr o d e,   is   th o r ig i n   o f   t h ( x , y )   c o o r d in ate  s y s te m .             Fig u r 4 .   Frin g in g   ca p ac itan ce s   f o r   MO SF E T       2 . 4 .   E s t i m a t io n o f   Su rf a ce   P o t ent ia   T h f ield   lin es  ter m i n ate   at  th s u r f ac o f   t h s o u r ce /d r ain   r eg io n s ,   lead in g   to   an   in cr ea s o f   th g at e   elec tr o d f r in g in g - ca p ac itan ce .   Fo r   g iv e n   g a te  d ielec tr ic  co n s ta n t,  th g ate  d ielec tr ic  f r in g i n g - ca p ac ita n ce   in cr ea s es  w it h   th d ielec tr ic  co n s ta n o f   t h s id e w a ll  s p ac er .   I h as  b ee n   t h at  d eg r ad ati o n   in   s h o r t - ch a n n el   p er f o r m a n ce   w it h   h i g h - k   d iel ec tr ics  is   ca u s ed   b y   t h f r i n g in g   f ield s   f r o m ,   b ec a u s t h f r in g i n g   f ield s   ca n   af f ec th elec tr ic  p o ten tial  in   th ch a n n el,   b y   w ea k en i n g   th e   g ate  co n tr o [ 2 ] .   W h en   V ds   is   s m a l l,  V d   V s =V bi W h er V s   an d   V d   ar th s o u r ce   an d   d r ain   v o ltag e s ,   V bi  is   b u ilt - i n   p o ten tial  o f   t h s o u r ce /s u b s tr ate  an d   d r ain /s u b s tr ate  j u n ct io n s ,   V ds   is   t h p o ten tial   d if f er en ce   b etw ee n   d r ain   an d   s o u r ce .   T h u s ,   th i n d u ce d   c h ar g e   d en s it y   at  th s u r f ac o f   s o u r ce   o r   d r ain   r eg io n   b y   t h f r i n g i n g   f ield   li n es o f   C of   is                       (            )                         ( 9 )       W h er   V G =V g V fb          T h ese  ch ar g es p r o d u ce   an   elec tr ic  f ield   in   t h ch a n n el,   an d   t h r elev an t s u r f ac p o ten tial is  [ 7 ] .         (       )                 ( (         )    (     )        (     )        (     ) )         ( 1 0 )       Fo r   th s a m r ea s o n ,   th s u r f a ce   p o ten tial in d u ce d   b y   C g f   ca n   b f o u n d :            (       )                 ( (         )    (     )     (     )          (     ) )         ( 1 1 )     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8814   IJ AA S    Vo l.   5 ,   No .   1 Ma r ch   201 6     1     12   6   W h er e:           (         )                     (         )                                                                                                                      C g f   ( VG    Vb i) .       T h elec tr ic  p o ten tial  o f   s h o r ch a n n el   MO S FET   w it h o u t h i n f lu e n ce   o f   th e   f r i n g in g   f ield s   w as   d er iv ed   to   b [ 1 1 ] :           (       )       (   )   (                 )         (     )         (     )                      (         )         (     )         ( 1 2 )       W h er       (   )   is   th elec tr ic  p o ten tia l o f   lo n g   c h a n n el  C MO S ;                             ( 1 3 )         C MO S;     is   ch ar ac ter i s tic  le n g th   d escr ib i n g   th s h o r t - ch a n n el  ef f ec t;  y d   i s   w id th   o f   th d ep letio n   r eg io n   i n   th s u b s tr ate  [ 1 1 ] .   C o n s id er in g   th in f l u e n ce   o f   th f r i n g in g   ca p ac itan ce s ,   th th r es h o ld   v o ltag V th   is   d ef in ed   as th g ate  v o lta g w h en   t h t o tal  s u r f ac p o ten tial a t th lo ca tio n   o f   m in i m u m   s u r f ac p o ten tial ( x 0 )           (     )        (     )        (     )                     ( 1 4 )       W h er e:                   (         )          th Fer m i   p o ten tial  o f   th s u b s tr ate,   w h e n   V ds   is   s m all,   x 0   L /2 .   T h er ef o r e,   th e   th r es h o ld   v o ltag ca n   b f o u n d   b y   E q s .   ( 1 2 )   an d   ( 1 4 )                             (                     (     )        (     ) )          (       )                 ( 1 5 )       W h er e,   Vth o   r ep r esen ts   t h t h r es h o ld   v o lta g o f   lo n g   ch a n n el   MO SF E T ,   an d   t h t h r es h o ld   v o lta g r o ll - o f f   in cr ea s es  w i th   K SP   in   t h s h o r t - ch a n n el  r eg io n .       3.   RE SU L T A ND  D I SCU SS I O N   T h is   p ap er   h as  b ee n   d is cu s s e d   th f o llo w i n g   ite m s en h an cin g   T FT s   u s in g   h i g h - g a te   d ielec tr ic  n an o co m p o s i te  m ater ial,   e n h a n cin g   T FT s   u s in g   lo w - g ate   s p ac er   n an o co m p o s ite  m a ter i al,   an d   f in a ll y   t h e   m o d i f icat io n   o f   e n h a n ci n g   T F T s   u s in g   h i g h an d   lo w - g ate   s id e w a ll sp ac er   w ith   n a n o co m p o s i te  m ater ial.     3 . 1 .   E nh a nci ng   T F T s   us ing   H ig h - K   G a t Dielec t ric  Na no co m po s it M a t er ia   Fig u r 5   a n d   6   ill u s tr ate   t h ef f ec o f   n a n o co m p o s ite  g ate  d ielec tr ic   f il m   i n   i n ter n al  f r i n g e   ca p ac itan ce   C botto m   b y   t h p r o p o s ed   m o d el.   Fig u r e   5   s h o w s   th in ter n al  f r in g ca p ac ita n c C botto m   v er s u s   t h e   g ate  s p ac er   d ielec tr ic  p er m i tti v it y .   I t s   c lear ed   th at   f r in g i n g   ca p ac itan ce   C botto m   in cr ea s es  w it h   in s er ti n g   K ox   b y   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
IJ AA S   I SS N:  2252 - 8814       E ffect  o f No ve l Na n o co mp o s ite  Ma teri a ls   fo r   E n h a n cin g   P er fo r ma n ce   o f Th in   F ilm  … ( Yo u s s ef  Mo b a r a k )   7   n o v e n an o co m p o s ite   m ater i al  h i g h er   t h an   co n v en t io n al  g a te  d ielec tr ic.   F i g u r e   6   s h o w s   t h i n ter n a f r in g i n g   ca p ac itan ce   as  f u n ctio n   o f   n o r m al ized   g ate  len g t h   f o r   n o v el  an d   co n v e n tio n al  g ate  d iel ec tr ics.  T h is   f ig u r e   illu s tr ates   t h f r in g i n g   ca p ac it an ce   C b otto m   d ec r ea s es  w it h   i n cr ea s in g   t h g a te  le n g t h   f r o m   1 0 n m   to   8 0 n m ,   b u t   P VP /L a 2 O 3   g i v es   th e   h i g h est  f r in g i n g   ca p ac ita n ce   f r o m   co n v en tio n al   g ate   d ielec tr ic  w it h   S iO 2 ,   at  g iv e n   d r ai n   b ias V D =0 . 0 5   V.           Fig u r 5 .   E f f ec t o f   g ate  s p ac er   d ielec tr ic  co n s tan t o n   in ter n al   f r in g i n g - ca p ac ita n ce   C botto m   u s in g   P VP /L a 2 O 3   an d   SiO 2   g ate  d iel ec tr ic  K ox           Fig u r 6   E f f ec t o f   g ate  le n g t h   o n   in ter n al  f r i n g in g - ca p ac itan ce   C botto m   u s i n g   P VP /L a 2 O 3   a n d   SiO 2   g ate  d ielec tr ic  K ox       Fig u r 7   an d   8   s h o w   t h ef f e ct  o f   n a n o co m p o s ite   h i g h - g ate  d ielec tr ic  f il m ,   a n d   p ar asit ic  in ter n al   f r in g ca p a cita n ce   o n   t h s u r f ac p o ten tial.   Fig u r e   7   s h o w s   th e   in f l u e n ce   o f   h ig h - d iele ctr ics  a n d   s id e w all   s p ac er s   o n   g ate  s u r f ac p o te n tial,  it s   n o ticed   t h at  n o v e n a n o co m p o s ite   g ate  d ielec tr ic   g iv es   h i g h er   s u r f ac e   p o ten tial  t h an   co n v en t io n al  g ate  d ielec tr ic  co n s tan t   w it h   i n cr ea s i n g   g ate   s p ac er   d ielec t r ic  co n s ta n t.  Fi g .   8   s h o w s   t h ca lc u lated   s u r f ac p o ten tial  v ar iatio n   alo n g   th c h an n el  f o r   K ox =2 5   w it h   an d   with o u t h e f f ec o f   th f r in g ca p ac itan ce .   F ig u r e   1 0   s h o w s   th e f f ec o f   n a n o co m p o s ite   g ate  d ielec tr ic  f i l m   o n   t h t h r esh o ld   v o ltag e.   T h n o v el  n an o co m p o s ite   m ater ial  o f   P VP /L a 2 O 3   h as  lo w   t h r es h o ld   v o lta g a s   co m p ar ed   to   t h o s e   w it h   co n v en t io n al  SiO 2   o f   th s a m w id t h .   R elate d   to   h i g h   o f   p er m it tiv it y   o f   n a n o co m p o s ite   m ater ial s ,   t h e   f r in g i n g   g ate   ca p ac itan ce s   C b ottom   m u c h   h ig h   i n   T FT   d ev ices  an d   s o ,   h i g h   p er m itti v it y   o f   n a n o   co m p o s it e   m ater ial  i n cr ea s es  t h s u r f ac p o ten tial  as  r esu lt  o f   t h i n d u ce d   ch ar g e s   in   t h d r ain   an d   s o u r ce   r eg io n s   d u e   to   f r in g in g   f ield   lin e s   f r o m   th b o tto m   o f   t h g ate  elec tr o d e.   Fig u r e   9   ex p lain s   t h at  t h n o v el  n a n o   co m p o s ite   m ater ial  P VP /L a 2 O 3   h a s   le s s   t h r es h o ld   v o lta g as  co m p ar ed   w ith   co n v en t io n al  SiO 2   o f   t h s a m e   w id th .   As  a   r esu lt  o f   h i g h   p er m itt iv it y   o f   n an o co m p o s i te  m ater ia ls ,   t h f r in g i n g   g ate  ca p ac ita n ce s   C bo ttom   h a v m u c h   h ig in   T FT  d ev ices.  So ,   h ig h   p er m itti v it y   o f   n a n o co m p o s ite  m ater ial  i n cr ea s es  t h s u r f ac p o ten tial  o f   th e   in d u ce d   c h ar g es  in   t h d r ain   an d   s o u r ce   r eg io n s   d u to   f r in g i n g   f ield   li n es  f r o m   t h b o tto m   o f   th e   g at e   elec tr o d e.   T h d r o p   in   th th r esh o ld   v o ltag i s   as  h i g h   as  ab o u 2 5 m f o r   L g =6 0 n m   as  ε o x   in cr ea s es  f r o m   3 . 9   to   2 5 .   A ll th ese  r es u lt s   ar ea r ly   o n s et  o f   in v er s io n   th c h an n el  an d   h en ce   lo w er   t h r es h o ld   v o ltag e.     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8814   IJ AA S    Vo l.   5 ,   No .   1 Ma r ch   201 6     1     12   8       Fig u r e   7.   E f f ec t o f   g ate  s p ac er   d ielec tr ic  o f   n an o co m p o s ite  h ig h - g ate  d ielec tr ic  f il m ,   a n d   p ar asit ic  in ter n al  f r in g i n g   ca p ac ita n ce   o n   t h s u r f ac p o ten tial  f o r   d ev ices  w it h   SiO 2   a n d   h i g h   K ox   P VP /L a 2 O 3   g ate  d ielec tr ic  m ater ial.           Fig u r 8 .   E f f ec t o f   d is tan ce   al o n g   c h an n el  o f   n an o co m p o s i te   h ig h - g a te  d ielec tr ic  f il m ,   a n d   p ar asit ic  in ter n al  f r i n g in g   ca p ac itan ce   o n   t h s u r f ac p o ten tia l f o r   d ev ices  w it h   SiO 2   an d   h i g h   K ox   P VP /L a 2 O 3   g ate  d ielec tr ic  m ater ial.           Fig u r 9 .   I n f l u en ce   o f   K ox   v a l u o f   g a te  d ielec tr ic  f il m   o n   t h th r esh o ld   v o lta g e   o f   T FT       3 . 2 .   E nh a nci ng   T F T s   us ing   L o w - K   G a t Sp a ce Na no co m po s it M a t er ia   Fig u r 1 0   an d   1 1   illu s tr ate  th at  th ef f ec o f   n a n o co m p o s it s id e w al s p ac er   d ielec tr ic  f i l m   g a te  in   elec tr o d f r in g in g   ca p ac ita n ce   C gf .   T h s u g g ested   m o d el  i n d icate s   t h at  t h elec tr o d f r in g i n g   ca p ac ita n ce   C gf   d ec r ea s es  w it h   i n cr ea s i n g   T ox   d u to   in cr ea s in g   d is ta n ce   b etw ee n   th t w o   p lates  o f   C gf .   I is   clea r ed   th at,   th ca lcu lated   r esu lts   o f   th elec t r o d f r in g i n g   ca p ac ita n ce   C gf   f o r   n o v el  s u g g e s ted   n a n o co m p o s ite  m ater ial  o f   s id e - w all   s p ac er   d ielec tr ic  f il m   g a te  P T FE/SiO 2   h as  lo w er   th an   th co n v e n tio n al  s id e - wall  s p ac er   d ielec tr ic  f il m   g ate  S i 3 N 4   s p ac er   K sp   as   s h o w n   i n   Fi g u r e   1 0 .   I n   ca s o f   Fig .   1 1 ,   th v ar iatio n   o f   th g ate  elec tr o d f r in g i n g -   ca p ac ita n ce   h a s   b ee n   s h o w n   w i th   v ar y i n g   g ate   th ic k n e s s .   Fo r   g i v e n   E O T   an d   K ox ,   th g ate   elec tr o d f r in g in g - ca p ac itan ce   in cr ea s e s   w it h   T g .   Als o ,   it   is   c lear ed   th at,   t h ca lc u lated   r es u lts   o f   t h elec tr o d e   f r in g i n g   ca p ac itan ce   C gf   f o r   n o v el  s u g g e s ted   n a n o co m p o s it m ater ial  o f   s id e - w all   s p ac er   d ie lectr ic  f il m   g at e   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
IJ AA S   I SS N:  2252 - 8814       E ffect  o f No ve l Na n o co mp o s ite  Ma teri a ls   fo r   E n h a n cin g   P er fo r ma n ce   o f Th in   F ilm  … ( Yo u s s ef  Mo b a r a k )   9   PT FE/SiO 2   h a s   lo w er   th a n   t h e   co n v e n tio n al   s id e - w all  s p ac er   d ielec tr ic  f il m   g ate  Si 3 N 4   s p a ce r   K sp   j n   s h o w n   i n   Fig u r e   1 1 .   I n   ca s o f   Fi g u r e   1 2 ,   th ef f ec t   o f   n an o co m p o s it e   s id e w all  s p ac er   d ielec tr ic  f il m   h as  b ee n   s h o wn   o n   th e   g a te  d ielec tr ic  f r i n g i n g - ca p ac itan ce   C of .   I i s   n o tices  t h at  t h g ate  d ielec tr ic   f r i n g in g - ca p ac itan ce   C of   b y   u s i n g   n o v el  n a n o co m p o s ite  s u g g e s ted   m ater ial  P T FE/Si O 2   is   lo w er   th a n   th g ate   d ielec tr ic  f r i n g i n g - ca p ac itan ce   C of  w it h   co n v en ti o n al  Si 3 N 4 ,   th is   m ea n s   t h at  th f ield   li n es   f r o m   t h b o tto m   o f   th e   g ate   elec tr o d ca n   ea s il y   g o   th r o u g h   t h i n t er f ac b et w ee n   t h g ate  d iele ctr ic  an d   s id e w all  s p ac er .   Fi g u r e   1 3   s h o w s   t h th r es h o ld   v o lta g r o ll - o f f   ( V rol l - off   V th   V tho )   f o r   d i f f er en K sp   v al u e s   o f   s id e w all   s p ac er .   I n   ca s o f   Fig   1 3 ,   it   h as  b ee n   d ep icted   th at   th e   ef f e ct  o f   n an o co m p o s i te  s id e w all   s p ac er   d ielec tr ic  f il m   o n   t h t h r es h o ld   v o lta g o f   MO SF E T   d eg r ad atio n   in   s h o r t - c h an n el  p er f o r m a n ce   ass o ci ated   w i t h   h i g h - K sp   d ielec tr ics.   T h u s ,   it  is   clea r ed   th at  r ep lace m e n o f   Si3 N4   with   P T FE/SiO 2   lead s   to   s i g n i f ican d eg r ad atio n   o f   th t h r esh o ld   v o lta g o f   MO SF E T .           Fig u r e   10.   E f f ec t o f   Gate   o x id th ick n e s s   T ox   o f   n an o co m p o s ite   s id e - w all  s p ac er   d ielec tr ic   f il m   g ate  i n   elec tr o d f r in g i n g   ca p ac itan ce   C gf   u s in g   P T FE/SiO 2   an d   Si 3 N 4   s p ac er   K sp           Fig u r e1 1 .   E f f ec t o f   Ga te  elec tr o d th ick n e s s   T g   o f   n a n o co m p o s ite  s id e - w a ll sp ac er   d ielec tr ic  f il m   g ate  in   elec tr o d f r in g in g   ca p ac itan ce   C gf   u s in g   P T FE/SiO 2   an d   Si 3 N 4   s p ac er   K sp           Fig u r 1 2 .   E f f ec t o f   g ate  o x id e   th ick n e s s   T ox   in   g ate  d ielec tr i f r in g i n g - ca p ac ita n ce   C of   w i t h   PT FE/SiO 2   an d   Si 3 N 4     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 2 5 2 - 8814   IJ AA S    Vo l.   5 ,   No .   1 Ma r ch   201 6     1     12   10       Fig u r e   13 .   I n f lu e n ce   o f   K sp   v al u o f   s id e w all  s p ac er   o n   th t h r esh o ld   v o ltag o f   MO S FET       3 . 3 .   M o difica t io o f   E nh a ncin g   T F T s   us ing   H ig h K   a nd   L o w - K   G a t Sid ew a ll   Sp a ce w it h   Na no co m po s it M a t er ia ls     Fig u r 1 4   s h o w s   t h ef f ec t   o f   b o th   n o v el  n an o co m p o s i te  g ate  an d   s p ac er   d ielec tr ic  f ilm   in   in ter n al   f r in g ca p ac itan ce   C botto m .   Fi g u r e 1 4   s h o w s   th v ar iatio n   o f   in ter n al  f r in g i n g   ca p ac itan c as  f u n ctio n   o f   n o r m alize d   g ate  le n g t h   f o r   b o th   n o v el  n a n o co m p o s ite  g a t d ielec tr ic  K ox   P VP /L a 2 O 3   an d   g ate  s p ac er   K sp   PT FE/SiO 2 ,   w it h   co n v en t io n al   g ate  d ielec tr ics  an d   g ate  s id ew all  s p ac er   d ielec tr ic   f il m .   T h is   f i g u r s h o w s   t h e   f r in g i n g   ca p ac ita n ce   C botto m   d ec r ea s es  w i th   in cr ea s in g   th e   g a te  len g t h   b u t h e   u s i n g   o f   n o v el  n a n o co m p o s ite s   g iv t h h ig h e s t b o tto m   f r i n g i n g   ca p ac ita n ce   o v er   co n v en tio n al  m a ter ials .             Fig u r e   14 .   E f f ec t o f   g ate  le n g t h   L g   on   in ter n al  f r in g i n g - ca p a citan ce   C b otto m   u s i n g   n o v el  n an o co m p o s i te  P VP /L a 2 O 3   as  g ate  d ielec tr ic  K ox   an d   P T FE/SiO 2   g ate  s id e w all  s p ac er   d ielec tr ic  f il m   K sp           Fig u r e   15 .   I n f lu e n ce   o f   n o v el  n an o co m p o s i te  K ox   an d   K sp   o n   th th r es h o ld   v o lta g o f   MO S FET   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.