I nte rna t io na l J o urna l o f   E lect rica l a nd   Co m p ute E ng in ee ring   ( I J E CE )   Vo l.   8 ,   No .   1 Feb r u ar y   201 8 ,   p p .   4 2 1 ~ 4 2 8   I SS N:  2088 - 8708 DOI : 1 0 . 1 1 5 9 1 / i j ec e . v 8 i 1 . p p 4 2 1 - 4 2 8           421       J o ur na l ho m ep a g e h ttp : //ia e s co r e . co m/ jo u r n a ls /in d ex . p h p / I JE C E   M o deling  and Si m ula tion  of Bia x ia l St ra ined  P - M O SFETs Applica tion  to a  S ing le and Dua C ha nnel Hetero st r ucture       A m ine M o ha m m ed  T a ber k it Ahla m   G ue n - B o ua zz a ,   B en y o un es B o ua zz a   Re se a rc h   Un it   o f   M a teria ls  a n d   R e n e wa b le E n e rg ies ,   De p a rtme n o f   El e c tro n ic an d   El e c tri c a En g in e e rin g ,   Un iv e rsity   o A b o u - Ba k rBe lk a id ,   T le m c e n ,   A l g e ria       Art icle  I nfo     AB ST RAC T   A r ticle  his to r y:   R ec eiv ed   Feb   8 ,   2 0 1 7   R ev i s ed   A u g   6 ,   2 0 1 7   A cc ep ted   A u g   2 4 ,   2 0 1 7     T h e   o b jec ti v e o f   th is  w o rk   a re   fo c u se d   o n   t h e   a p p li c a ti o n   o f   stra in e d   sili c o n   o n   M OSF ET   tran sisto r.   T o   d o   th i s,  im p a c a n d   b e n e f it o b tain e d   with   th e   u se   o f   stra in e d   sili c o n   tec h n o lo g y   o n   p - c h a n n e M OSF ET a re   p re s e n ted .   T h is  re se a rc h   a tt e m p to   c re a te  c o n v e n ti o n a a n d   tw o - stra in e d   sili c o n   M OSF ET f a b rica ted   f ro m   th e   u se   o f   T C AD ,   w h ich   is  a   sim u latio n   to o f ro m   S il v a c o .   In   o u re se a rc h ,   tw o - d im e n sio n a si m u latio n   o f   c o n v e n ti o n a M OS F ET ,   b iax ial   stra in e d   P M OS F ET   a n d   d u a c h a n n e stra in e d   P - M O S F ET   h a b e e n   a c h iev e d   to   e x trac th e ir  c h a ra c teristics .   AT HEN A   a n d   ATLA S   h a v e   b e e n   u se d   t o   sim u late   th e   p ro c e ss   a n d   v a li d a t e   th e   e lec tro n ic  c h a ra c teristics .   Ou re su lt a ll o w   sh o w in g   im p ro v e m e n ts  o b t a in e d   b y   c o m p a rin g   th e   th re e   stru c tu re a n d   th e ir  c h a ra c teristics .   T h e   m a x i m u m   o c a rrier   m o b il it y   i m p r o v e m e n is   a c h iev e d   w it h   p e rc e n tag e   o 3 5 . 2 9   %   a n d   7 0 . 5 9   %   re sp e c ti v e l y ,   b y   re su lt   a n   im p ro v e m e n in   d r iv e   c u rre n w it h   p e rc e n tag e   o f   3 6 . 5 4   %   a n d   2 3 6 . 7 1   % ,   a n d   re d u c ti o n   o f   lea k a g e   c u rre n w it h   p e rc e n tag e   o f   5 9 . 4 5   %   a n d   8 2 . 7 5   % ,   t h e   th re sh o l d   v o lt a g e   is  a lso   e n h a c e d   w it h   p e rc e n tag e   o f 6 0   %   a n d   6 1 . 4 % .   Ou r   sim u latio n   re su lt s h ig h li g h t h e   i m p o rtan c e   o f   in c o rp o ra ti n g   stra in   tec h n o l o g y   in   M OS F ET   tran sisto rs.   K ey w o r d :   B iax ial  s tr ai n     C MO S tec h n o lo g y     SIL V AC O - T C A D   Stra in ed   s ilico n   la y er s   Co p y rig h ©   2 0 1 8   In stit u te o A d v a n c e d   E n g i n e e rin g   a n d   S c ien c e   Al rig h ts  re se rv e d .   C o r r e s p o nd ing   A uth o r :   Am i n Mo h a m m ed   T ab er k it,    R esear ch   U n it o f   Ma ter ials   a n d   R en e w ab le  E n er g ies,   Dep ar t m en t o f   E lectr o n ic  an d   E lectr ical  E n g i n ee r i n g ,     Un i v er s it y   o f A b o u - B ak r B elk a id ,   1 3 0 0 0 ,   T lem ce n ,   . A l g er ia.   E m ail: ta b er k i t.a m i n e @ y a h o o . f r       1.   I NT RO D UCT I O N   I n   1 9 6 5 ,   Go r d o n   Mo o r p r e d icted   th at  tr an s is to r   d en s it y   o n   a n   i n te g r ated   cir cu i w o u ld   d o u b le  ap p r o x im a tel y   e v er y   2   y ea r s   [ 1 ] .   T h m eta o x id s e m ico n d u cto r   f ield   ef f ec tr a n s i s to r   ( MO SF E T )   is   o n o f   th m aj o r   an d   i m p o r tan co m p o n en ts   in   t h s e m ico n d u cto r   in d u s tr y .   Sin ce   its   f ir s p r ac tical  u s f if t y   y ea r s   ag o ,   th e   MO SF E T   h a s   m a j o r   u s in   i n te g r a ted   cir cu i ts   ( I C s )   to   s er v as   b asic  o p er atin g   d e v ice  i n   s w itc h in g   f u n ctio n s   f o r   d ig ital   cir cu its   a n d   as a n   a m p lifie r   d ev ice  f o r   an alo g   ap p licatio n s .   W h ile  t h b asic  p la n ar   s tr u ct u r o f   t h MO S FET   h as  r e m ai n ed   m o s tl y   u n c h an g ed ,   it s   s iz h as   b ee n   s h r u n k   b y   m a n y   o r d er s   o f   m a g n i tu d o v er   th e   p ast  t h ir t y   y e ar s ,   h o w ev er ,   No   e x p o n e n tial   is   f o r ev er .   B u y o u   ca n   d ela y   f o r e v er ”  [ 2 ] .   Fu r th er ,   MO SF E T s   s ca lin g   d o w n   ca u s e s   s h o r ch a n n el  ef f ec t s   ( SC E s ) ,   to   in te n s if y ,   ac co r d in g l y   d e g r ad in g   t h cu r r en t d r iv ab ilit y ,   elec tr o n   m o b ilit y ,   w i th   a n   ap p ar itio n   o f   h i g h   leak a g cu r r en t.  I n   o r d er   to   en h an ce   co n v e n tio n al   MO SF E T s ,   I T R p r esen ted   tw o   alter n a tiv e s ,   th f ir s o n h as  b ee n   t h u s o f   n e w   d esig n s   s u c h   as  F DSOI ,   P DSOI ,   MU GFET s   o n   SOI   a n d   o th er s   tech n o lo g ie s ,   th s e co n d   o n e ,   w as  ab o u t   u s i n g   m ater ial s   w it h   h i g h   p er m itti v it y   a n d   m o b ilit y .   Am o n g   th e s tech n o lo g ie s ,   w f i n d   d ev ices  b ased   o n   s tr ain ed   s ilico n   tech n o lo g y .   T h u s o f   Stra in ed   Sil ico n   ( S - S i)   ch an n el  is   o n o f   t h ex p ec ted   tech n o lo g y   b o o s ter s   in tr o d u ce d   b y   t h I T R r o ad m ap   to   s u s tai n   th e   i m p r o v e m e n o f   p er f o r m a n c in   f u t u r d ev ice   g en er atio n s   [ 3 ] .   T h in ter est  i n   t h s tr ai n   en g i n ee r i n g   h as  in   f ac b ee n   s p ee d - u p   r ec en tl y   a s   n ee d   i n   s p ee d   s ca lin g   o f   C MO tec h n o lo g y   d ev ices  f o r   h i g h - s p ee d   a n d   lo w   p o w er   ap p licatio n s .   O n   an o th er   s id e,   tr an s p o r Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 0 8 8 - 8708   I n t J   E lec  &   C o m p   E n g ,   Vo l.  8 ,   No .   1 Feb r u ar y   201 8   :   4 2 1     4 2 8   422   p r o p er ties   im p r o v e m e n o f   n e w   m ater ial s   s u c h   a s   h ig h - k   g ate  d ielec tr ic s ,   m etal  a n d   m id g ap   g ate  m eta l   elec tr o d es,  s tr ain ed - Si,  s ilico n - g er m an i u m   allo y s an d   I I I - V   s e m ico n d u cto r s   alo n g   w it h   n e w   d ev ice  d esi g n s ,   s u c h   as  d u al - g a te  an d   tr i - g ate  Fin FET s   ca n   d ec r ea s th g at leak ag cu r r e n an d   g ate  r es is tan ce ,   r ed u ce   th e   p o ly - g ate  elec tr o d d ep letio n   ca p ac itan ce ,   an d   i n cr ea s t h d ev ice  s p ee d .   No n - c lass ica C MO s tr u c tu r es   o f f er   b etter   co n tr o o f   S C E s ,   i m p r o v ed   I on   cu r r en via   ch an n el  m o b ilit y ,   lo w er   lo ad   ca p ac itan ce   an d   lo w er   p r o p ag atio n   d elay   ti m e.   T h ese   s tr u ct u r es  also   o f f er   lo w er   I off  cu r r en a n d   lo w er   s w i tch i n g   en er g y .   I n   ad d itio n ,   th co m b i n atio n   o f   s tr ain   tec h n iq u e s   w it h   o th er   o p tio n s ,   s u c h   as  Mu ltip le  Gate   MO S FET s ,   h i g h - k   m ater ial s   an d   m etal  g ates,  ar cu r r en tl y   co n s id er ed   to   k ee p   o n   tr ac k   w i th   Mo o r e’ s   la w .   I n   th i s   p ap er ,   th co m b in atio n   o f   s tr ain   tec h n iq u e s   w it h   h ete r o s tr u ctu r d u al  P - c h a n n e M OSET ,   h as  b ee n   co n s id er ed   to   k ee p   o n   tr ac k   w it h   Mo o r e’ s   la w .   T o ,   d o   th is ,   t w o   d i m en s i o n al  s i m u latio n   o f   co n v e n tio n al  M OSFET ,   b iax i al  s tr ain ed   P - MO S FET   an d   d u al  ch a n n el  h e ter o s tr u ct u r s t r ain ed   P - MO SF E T   h as b ee n   d o n e   to   co m p ar t h es d ev ices   ch ar ac ter i s tics .   T h i s   s tu d y   allo w s   s h o w i n g   t h i m p r o v e m e n t o b tain ed   w it h   Stra in ed   S ilico n   c h a n n el s . C o m p ar is o n   b et w ee n   th u n s tr ain ed   a n d   s tr ain ed   MO SF E T   allo w s   p r o v in g   th at  s tr ai n ed   s ilico n   w it h   id en t ical  ch an n el  le n g th   p er f o r m s   b etter   th an   a n   u n s tr ain ed   MO S FET .     1 . 1 .   F un da m ent a ls   o f   Str a in T ec hn o lo g y   A   w a y   o f   i m p r o v i n g   MO SF E T   tr an s is to r s   p er f o r m a n ce s   is   t o   ch an g t h p r o p er ties   o f   m at er ials   u s ed   in   t h eir   co n ce p tio n .   T h p r o p er t y   o f   s ilico n   to   e x h ib it  m o d i f ied   ch ar ac ter is tics   o f   tr an s p o r p ar am eter s   w h i le   s tr ain ed   is   u s ed   f o r   th is   p u r p o s [ 4 ] ,   [ 5 ] .   Fu n d a m e n tall y ,   th e r ar e   d if f er en k in d s   o f   s tr a in   th at  ar ess en tiall y   ten s i le  s tr ai n   a n d   co m p r ess iv e   s tr ain ,   d ep en d i n g   o n   t h la tti ce   co n s ta n ts   o f   t w o   d i f f er en m ater ials . T h v al u e   o f   t h latt ice  p ar a m eter   o f   t h Si 1 - Ge x   allo y   at  g i v e n   Ge  co m p o s itio n   " x "   is   d eter m i n ed   f o llo w i n g   t h e   Veg ar d   la w   a n d   r esear ch   w o r k   o f   DI SMUKE S e t a [ 6 ] ,   w h ic h   ar d escr ib ed   b y   th eq u a tio n s   g iv e n   b elo w :                         =        (1 - x)   +      x               ( 1 )                            + 0 . 2 0 0 3 2 6 ( 1 - x)   + (           )   x 2           ( 2 )     T h e   co n ce p o f   s tr ain ed   Sil ico n   b asicall y   r elies  o n   an   alter at io n   o f   t h eq u ilib r i u m   lattice  c o n s ta n o f   s ilico n   t h r o u g h   e x ter n all y   ap p lied   s tr ess .   I n   t h i s   ca s e,   t h el ec tr o n ic  b an d   s tr u ct u r o f   S ili co n   is   ch a n g ed   d u to   th m o d if ied   lattice  co n s ta n t.  T h is   m o d if ica tio n   r es u lts   i n   s u p er io r   elec tr o n ic  p r o p er ti es,  p ar ticu lar l y ,   th e   ca r r ier   m o b ilit ies  ar e   en h a n ce d ,   w it h   th e   m o b ilit y   e n h an ce m en b ein g   s tr o n g   f u n ctio n   o f   t h m ag n it u d a n d   th d ir ec tio n   i n   w h ic h   t h cr y s tal  is   s tr es s ed .   T h f ab r icatio n   o f   s tr ai n ed   tr an s i s to r s   r elied   h ea v il y   o n   e p itax ial  d ep o s itio n   o f   SiGe  o n to   s ilico n   s u b s tr ate s .   C o n v en tio n all y ,   s t r ain   is   cr ea ted   b y   an   ep ita x ia g r o w n   o f   th i n   f il m   o f   Si  o n   r elax ed   b u f f er   la y er   o f   SiGe   allo y ,   k n o w n   as  v ir t u al  s u b s tr ate   ( VS)   [ 7 ] .   T h lattice  m is m atc h   b et wee n   t h t w o   la y er s   ca u s e s   b iax ial  te n s ile  s tr ain   in   t h S i,  li k i i s   s h o w n   i n   Fi g u r e   1 ,   r esu lti n g   in   i m p r o v e m e n t s   o f   its   elec tr ical  p r o p er ties .           Fig u r e   1 .   ( a)   A   s ch e m atic  d ia g r a m   o f   th b u lk   la ttice  co n s tan t o f   th i n   Si 1 x Ge f i l m   to   b g r o w n   o n   to p   o f   th i n   b u l k - s ilico n   la y er .   ( b )   A   s ch e m a tic  d iag r a m   s h o w in g   t h e   tetr ag o n al  lattice  d i s to r tio n   wh en   t h t w o   f il m s   f r o m   ( a)   ar p lace d   to g eth er   w ith   t h to p   Si 1− x Ge x f il m   b ein g   co m p r es s i v el y   s tr ain ed .   ( c)   A   s ch e m atic  d ia g r a m   o f   th b u l k   latt ice   co n s ta n ts   o f   b u lk - Si  f il m   to   b g r o w n   o n   to p   o f   b u lk - Si 1− Ge y f il m .   ( d )   A   s c h e m atic  d iag r a m   o f   t h t w o   f il m s   i n   ( c)   p lace d   to g eth er   w i th   t h to p   f i l m   b ein g   te n s ile  s tr ain ed   [ 8 ]   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J   E lec  &   C o m p   E n g     I SS N:  2088 - 8708       Mo d elin g   a n d   S imu la tio n   o f B ia xia l S tr a in ed   P - M OS F E Ts :   A p p lica tio n   to   a   …. ( A min Mo h a mme d   Ta b erkit)   423   W h en   s ilico n   la y er   is   d ep o s ited   o n   Si 1 - x Ge x   la y er ,   as  m en tio n ed   b e f o r e ,   w n o tice  s y m m etr y   b r ea k in g   alo n g   th e   ax is   o f   g r o w t h .   T h co m p o n e n t s   o f   t h e   d ef o r m atio n   te n s o r   i n   th e   s il i co n   la y er   ar g iv e n   b y :     ε II  =                                                    ( 3 )       ε                     ε II                    ( 4 )     W h er e:  ε II   is   th p ar allel  s tr ain   d ef o r m at io n   f o llo w i n g   th g r o w t h   p lan ( x ,   y ) ,   ε   is   th ep er p en d icu lar   d ef o r m atio n   to   t h p la n o f   g r o w t h   ( z) ,   C 11   1 6 7   Gp a n d   C 12   =   6 5   Gp ar t h ela s tic  co n s tan ts   o f   Si.   T h ef f ec ti v m o b ilit y   i s   ex p r ess ed   b y :         μ eff   = ( q . τ ) /m *                   ( 5 )       W h er q is   th ch ar g o f   ca r r ier s ,   1   th co llis io n   f r eq u en c y   o f   ca r r ier s ,   an d   m *:   th eir   ef f ec tiv m a s s .   T h m o b ilit y   i m p r o v e m e n i s   d u to   th r ed u ctio n   o f   t h ef f ec ti v m as s   m *   th at  is   i ts el f   d u to   th b an d   e n g in ee r i n g   w h er t h v ala n ce   b an d   s p litt i n g   o f   h ea v y   h o le  a n d   li g h tl y   h o le  is   m o r s ig n i f ica n [ 1 3 ] .   T h is   is   w h y   t h er w ill b m o r h o les to   tr av el  w it h   li g h ter   e f f ec tiv m a s s .       2.   RE SU L T A ND  D I SCU SS I O N   As  cited   b e f o r e,   d if f er en t   h e t er o s tr u ctu r s u b s tr ates  ca n   b ap p lied   in   o r d er   to   o b tain   b i ax ial  s tr ai n   a n d   h i g h   m o b ilit y   ch a n n el  m ater ials . T o   d o   th is ,   ep itax ial l y   g r o w n   Si1 - x   Ge x   la y er s   o n   Si  b u lk   w af er s   ar u s u all y   ap p lied   ac tin g   a s   s u b s tr ate  f o r   s tr ai n ed   s ilico n   la y er   th at  g r o w s   o n   t h to p .   I n   t h is   w o r k ,   A T HE N an d   A T L A f r o m   SI L V AC O   T C A h av b ee n   u s ed   co n s ec u ti v el y   to   s i m u late  th p r o ce s s ,   an d   ex tr ac th e   elec tr ical  ch ar ac ter is tic s   o f   b iax ial  s tr ain ed   an d   s tr ai n ed   d u al  ch a n n el  h eter o s tr u ct u r P MO SF E T s .   Sil v ac o   T C AD  T o o is   u s ed   f o r   Vir tu al  f ab r icatio n   an d   s i m u latio n .   A T HE N A   p r o ce s s   s i m u lato r   is   u s ed   f o r   v ir t u al  f ab r icatio n   an d   A T L A S d ev ice  s i m u la to r   is   u s ed   f o r   d ev ice  c h ar ac ter izatio n .   [ 1 4 ]   I n   o r d er   to   s t u d y   w it h   ac c u ar cy   t h i m p ac o f   s tr ai n   o n   d ev ice  p er f o r m a n ce ,   SiG la y er   i s   in tr o d u ce d   in   th s tr u ct u r e.   T h n e w   s tr ai n ed   d ev ice  h as  t h s a m g eo m etr ical  d i m e n s i o n s ,   t h s a m S/ D   d o p in g   co n ce n tr at io n   an d   s a m m e s h   in i tializatio n ,   w h ic h   is   m o r r ef i n ed   in   t h ch a n n el  r eg io n .   I n   o u r   s tr u ct u r es,  t h d o p in g   co n ce n tr atio n   f o r   b u l k   Sil ic o n   is   s et  at  1   x   1 0 16   cm - 3 .   T h p S/ D   r eg io n s   w er f o r m ed   b y   an   i m p lan tatio n   at  2 0   k eV  w i th   d o s o f   3 x 1 0 15  cm - 2 .   A   s ilico n   s u b s tr ate  w it h   cr y s tal   o r ien tatio n   <1 0 0 w a s   u s ed   i n   o u r   s t u d y   d u to   t h b etter   in ter f ac e   b et w ee n   Si /Si O 2 .   T h o x id i s   d i f f u s e d   in to   t h s u r f ac o f   t h s tr ain ed   s ilico n   la y er   w it h   9 3 0 ° C   an d   p r ess u r o f   1   at m .   P o l y s ilico n   is   d ep o s ited   w it h   a   p h o s p h o r o u s   co n ce n tr atio n   o f   1 x   1 0 16   cm - 3 .   T h s tr ain e d - Si  d ev ices  w er f ab r icate d   u s i n g   s tr ai n ed - Si   ep itax ial  la y er s   g r o w n   o n   r elax ed - S iGe  b y   g a s   s o u r ce   MB E   at  8 0 0 ° C   . th i s   is   w h at  e x p l ain   o u r   ch o ice  o f   a   te m p er atu r o f   8 0 0 °C   w h ich   i s   v er y   i m p o r tan t p ar a m eter .   First,  w s i m u lated   co n v en ti o n al  s tr u c tu r f o r   w h ic h   4 3 . 9   n m   g ate  o x id t h ic k n e s s   i s   c h o s en ,   f o r   th s ec o n d   d ev ice,   w h ic h   is   a   s in g le  c h a n n e b iax ia s tr ain ed   P MO S,  g ate   o x id t h ic k n e s s   i s   ab o u t   1 0 n m .   Fo r   th is   s ec o n d   d ev ice,   1 5 n m   Si Ge  la y er   w it h   p r o p o r tio n   o f   Ge  s tar tin g   at  0   g r ad u all y   in cr ea s to   0 . 8   is   u s ed ,   2 7 . 1   n m   s ec o n d   la y er   i s   d ep o s ited   o n   to p   o f   th e   p r ev io u s   o n w i th   Ge  co n ce n tr atio n   o f   0 . 9 .   Fo r   th th ir d   s tr u ct u r th a is   d u al - ch a n n e b iax ial  s tr ain ed   P MO t h Si Ge  la y er   t h ick n e s s   i s   eq u al  to   1 7   n m ,   g r ad u a ll y   in cr ea s o f   Ge   p r o p o r tio n   f r o m   0   to   0 . 5   is   u s ed .   2 8   n m   Si 1 - y Ge y   la y er   t h ick n e s s   w it h   Ge   p r o p o r tio n   o f   0 . 8   is   d ep o s ited   o n   to p   o f   th p r ev io u s   la y er   f o llo w ed   b y   th in   SiO . L o m b ar d ( C VT )   Mo d el   in clu d i n g   N,   T ,   E //   an d   E   ef f ec ts ,   an d   S h o ck le y - R ea d - Hall  ( S R H)   ar u s ed   i n   o u r   s i m u latio n s .   T h s tr u ctu r es  o b tain ed   u s i n g   A T HE N A   p r o ce s s   s i m u lato r   ar u s in g   as  in p u ts   t h is   ti m ei n   A T L AS  to   ex tr ac a n d   s t u d y   t h c h ar ac te r is tics .   B y   th is   w a y ,   w e   ca n   a n al y s a n d   co m p ar t h p er f o r m an ce s   o f   t h t h r ee   s tr u ct u r es.  T h d if f er e n t r es u lt s   o f   o u r   co n v e n tio n al  P MO SF E T   a r g iv en   i n   Fi g u r 2 ,   Fig u r 3   an d   Fig u r 4 .   Ou r   co n v e n tio n al  P MO d ev i ce   h as  th r es h o ld   v o ltag V TH = - 0 . 8 0 2 6 3 1 V,   s u b th r esh o ld   s l o p ( SS )   =   0 . 3 4 1 3 5 5   m V /d ec ad e,   I o n 5 . 3 9 8 3 6   μ A   an d   I off 5 1 . 2 6 0 8   n A   at  V DS - 0 . 1   V,   as sh o w n   in   Fig u r 3 .   T h r an g o f   g ate  v o lta g c h o s en   is   b et w ee n   - 1 . 2   v o lt   an d   0   v o lt  ,   d u to   t h in d u s tr y   n ee d s ,   to   h a v e   s m al ler   p o w er   co n s u m p tio n   an d   y et  n a n o - d e v ice s   co n s u m les s   p o w er ,   th u s   th is   r an g is   ch o s e n   also   to   p r o m o te  an d   g a in   b en e f it s   o f   o p er atin g   i n   lo w er   v o ltag e.     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 0 8 8 - 8708   I n t J   E lec  &   C o m p   E n g ,   Vo l.  8 ,   No .   1 Feb r u ar y   201 8   :   4 2 1     4 2 8   424         Fig u r e   2 .   C o n v e n tio n al  P - C h a n n el  M OSFET   s tr u ct u r u s in g   s i lco n   an d   A T HE NA   m o d u le     Fig u r e   3 T r an s f er   c h ar ac ter is t ic  f o r   th co n v en t io n al   P MO SF E T ,   o b tain ed   u s i n g   AT L A S M o d u le             Fig u r e   4 .   Ou tp u t c h ar ac ter is tic s   f o r   th co n v e n tio n al  s tr u ct u r e,   o b tain ed   u s i n g   A T L AS  m o d u le     Fig u r e   5 .   Me s h   i n itializa tio n   f o r   th th b iax ial  s tr ain ed   P - MO S FET ,   o b tain ed   u s i n g   A T HE N A   m o d u le       Me s h i n g   in it ializatio n   o f   th s tr ain ed   b iax ial  p - c h an n el  MO SF E T ,   tr an s f er   an d   o u tp u ch a r ac ter is tic s   ar g iv e n   in   Fig u r 5 Fig u r 6   an d   Fig u r 7 .             Fig u r e   6 .   T r an s f er   c h ar ac ter is t ic  f o r   th b iax ial  s tr ain ed   P - MO S FET ,   o b tain ed   u s i n g   A T L AS  m o d u le     Fig u r e   7 Ou tp u t c h ar ac ter is tic s   f o r   th B iax ia s tr ain ed   P - MO S FET ,   o b tain ed   u s i n g   A T L AS  m o d u le     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J   E lec  &   C o m p   E n g     I SS N:  2088 - 8708       Mo d elin g   a n d   S imu la tio n   o f B ia xia l S tr a in ed   P - M OS F E Ts :   A p p lica tio n   to   a   …. ( A min Mo h a mme d   Ta b erkit)   425   Ou r   s tr ai n ed   b iax ial  P MO d ev ice  h a s   t h r esh o ld   v o ltag e   V TH = - 0 . 3 1 6 0 4 5   V,   s u b th r esh o ld   s lo p ( SS )   0 . 1 5 9 5 1 3   m V/d ec ad e,   I on 7 . 3 7 0 8 6 μ A   an d   I off 2 0 . 7 8 8 3   n A   at  V DS - 0 . 1   V,   as  w c an   s ee   i n   Fi g u r 6 .   Me s h i n g   i n itializat io n ,   tr an s f e r   an d   o u tp u t c h ar ac ter is tic s   o f   th s tr ai n ed   d u al  c h an n el  h eter o s tr u ctu r e   p - ch a n n e l M OSFET   s tu d ied   a r g iv e n   in   Fig u r 8 Fig u r 9   an d   Fig u r 1 0 .             Fig u r e   8 .   Me s h   i n itializa tio n   f o r   th d u al  ch a n n el  h eter o s tr u ct u r P - MO S FET ,   o b tain ed   u s i n g   A T L A m o d u le     Fig u r e   9 .   T r an s f er   c h ar ac ter is t ic  f o r   th s tr ai n ed   d u al  ch an n el  h eter o s tr u ct u r P - MO SF E T ,   o b tain ed   u s in g   A T L AS  m o d u le           Fig u r e   10 .   Ou tp u t c h ar ac ter i s ti cs  f o r   th s tr ain ed   d u al  c h an n e l h eter o s tr u ct u r P - MO S F E T ,   o b tain ed   u s i n g   A T L AS  m o d u le       Ou r   s tr ai n ed   d u al  ch a n n e h et er o s tr u ctu r P MO d ev ice  h a s   th r es h o ld   v o ltag V TH = - 0 . 3 0 9 8 5 3   V,   s u b t h r esh o ld   s lo p ( SS )   0 . 1 3 1 5 9   m V/d ec ad e,   I on 1 8 . 1 7 7 1   μ A   an d   I off 8 . 8 4 2 2 2   n A   at  V DS - 0 . 1   V,   as  w e   ca n   s ee   i n   Fi g u r 1 0 .   T h e   f o llo w i n g   tab le:  T ab le  1   c o m p ar es b et w ee n   th r es u lt s   o b tain ed   in   t h th r ee   s tr u ct u r es:       T ab le   1 .   C o m p ar is o n   b et w ee n   th r esu lts   o b tain ed   i n   th t h r e s tr u ct u r es si m u lated     S t r u c t u r e   T h r e sh o l d   v o l t a g e   ( V t h )   D r i v e   c u r r e n t   ( I o n )   L e a k a g e c u r r e n t   ( I o f f )   S u b t h r e sh o l d   S l o p e   ( S S )   C o n v e n t i o n a l     - 0 . 8 0 2 6 1 3   V   5 . 3 9 8 3 6   μA     5 1 . 2 6 0 8   n A   0 . 3 4 1 3 5 5   mV / D e c     B i a x i a l   S t r a i n e d       - 0 . 3 1 6 0 4 5   V     7 . 3 7 0 8 6   μA     2 0 . 7 8 8 3   n A   0 . 1 5 9 5 1 3   mV / D e c   D u a l   st r a i n e d   c h a n n e l   H e t e r o st r u c t u r e   - 0 . 3 0 9 8 5 3   V   1 8 . 1 7 7 1   μA     8 . 8 4 2 2 2   n A   0 . 1 3 1 5 9   mV / D e c       Ou r   r esu lts   al lo w   co m p ar in g   o u r   d ev ices  c h ar ac ter is tic s .   W ca n   s ee   t h I o n   c u r r en i n cr ea s in g ,   I off   cu r r en t d ec r ea s i n g   ar t w o   v er y   i m p o r tan t a ch ie v e m en ts   allo in g   to   h av f as ter   s w it h c h in g   d ev ices e s p ec iall y   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 0 8 8 - 8708   I n t J   E lec  &   C o m p   E n g ,   Vo l.  8 ,   No .   1 Feb r u ar y   201 8   :   4 2 1     4 2 8   426   f o r   d ig ital   cir cu i ts   ap p licati o n s .   T h is   im p r o v em en r es u lts   ca n   b ex p lain e d   b y   ef f ec tiv m o b ili ty   im p r o v em en t.  A s   th d r ain   cu r r en is   p r o p o r t i o n al  t o   ch an n el  m o b ilit y ,   th is   cu r r en a ls o   in cr ea s es  an d   is   h ig h e r   f o r   s tr ain e d   s i lic o n   PMO S t r an s is to r s   co m p a r e d   to   c o n v en ti o n al  o n es.   T h es s u p p o r t th e q u atio n   b el o w   f o r   th e   r el ati o n s h i p   b e tw ee n   cu r r en a n d   m o b i lity ,   as w ell  as   d r ain   b i as in c r em en t:           (      )                  (                     )                       ( 6 )        (       )           μ eff .   C ox   .              ) (               )                 ( 7 )     μ   is   th ch an n el   ca r r ie r   m o b il it y ,   W   is   t r an s is to r s   w id th ,   L   is   tr an s is to r s   len g th ,   an d   C ox   th o x i d e   ca p ac it an c e.   I n   th is   p ar o f   o u r   w o r k ,   w e   f o cu s ed   o u r   ef f o r ts   o n   t h u n iv er s al  p ar o f   t h m o b ili t y   c u r v e.   T h i s   m o b il it y   i m p r o v e m e n is   w e ll   illu s tr ated   i n   F ig u r 1 1   an d   Fig u r 1 2 ,   w h er w e   ca n   n o t ice  co n s id er ab le  en h a n ce m en o f   m o b ilit y   in   s in g le  b iax ial   s tr ai n ed   P - MO S FET   co m p ar ed   to   th co n v en tio n al  P - MO SF E T   an d   an   e x tr i m p r o v e m en t   o f   i t in   t h d u al  c h an n el  h eter o s tr u ctu r P - MO SF E T .   A n   i m p o r t a n t i m p r o v e m en t   is   ac h iev ed   a V g s = - 1 . 2 5   V,   with   t h v al u es   o f   ab o u t:  4 2 5 ,   5 7 5   an d   7 2 5 ,   w h ich   co n s t it u tes   an   i m p o r tan i m p r o v e m en t o f   3 5 . 2 9   % a n d   7 0 . 5 9   % r esp ec tiv el y .             Fig u r e   11 .   C o m p ar is o n   o f   m o b ilit y   v er s u s   g ate  v o ltag o b tain ed   i n   th t h r ee   d if f er en t s tr u ct u r u s in g   A T L AS  m o d u le     Fig u r e   12 .   C o m p ar is o n   o f   m o b ilit y   v er s u s   ch a n n el  f ield   o b tain ed   in   t h th r ee   d i f f er en t stru c tu r u s i n g   A T L AS  m o d u le           Fig u r e   13 .   E f f ec ti v E lectr o n   Mo b ilit y   v er s u s   E f f ec tiv Field   in   co n v e n tio n a l stru ct u r an d   d if f er e n t stra i n ed   s tr u c tu r u s i n g   d i f f er en t G p er ce n tag co n te n t   [ 1 1 ]       Fig u r e   14 .   Me asu r ed   elec tr o n   m o b il it y   e n h an ce m e n in   s tr ai n ed - Si MO S FET   co m p ar in g   to   t h Si - ch a n n e MO SF E T   an d   th ex tr e n h a n ce m en t in   t h d u al - ch an n el  s tr u ct u r e   [ 1 2 ]   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I n t J   E lec  &   C o m p   E n g     I SS N:  2088 - 8708       Mo d elin g   a n d   S imu la tio n   o f B ia xia l S tr a in ed   P - M OS F E Ts :   A p p lica tio n   to   a   …. ( A min Mo h a mme d   Ta b erkit)   427   Fig u r e   an d   Fi g u r e   s h o w   o u t p u cu r v e s ,   w it h   an   i m p r o v e m en o b tain ed   f o r   th b ia x ia s tr ain ed   MO SF E T   an d   an   ex tr i m p r o v e m en w it h   th d u a l c h a n n e l h eter o s tr u ctu r P MO FET .           Fig u r e   15 .   C o m p ar aiso n   b et wee n   th e   tr a n s f er ch ar ac ter is tic s   o b tain ed   in   co n v en t io n al  a n d   b iax ial  s tr ain ed   MO S FET       Fig u r e   16 .   I d /Vg s   E x tr ac tio n   o f   b iax ial s tr ai n ed   P MO SF E T   an d   d u al  ch an n e l h eter o s tr u ctu r P MO SF E T       Ou r   d if f er en r es u lts   allo w   ap p r ec iatin g   d i f f er e n i m p r o v e m e n t s   o b tain ed   u s i n g   d u a ch a n n e l   h eter o s tr u ct u r P MO SF E T   co m p ar ed   to   s in g le  c h an n et  a n d   co n v en tio n al  P - c h an n el  MO SF E T s .   I n   t h liter at u r w e   ca n   f i n d   v er y   i m p o r ta n t a r ticle s   o n   t h i m p r o v e m e n t s   b r o u g h t   ab o u t b y   t h u s e   o f   th s tr ain ed   s ilico n   o r   t h i m p o r tan ce   o f   u s i n g   t h h eter o s tr u ctu r [ 9 ] ,   [ 1 5 ] ,   b u t h m a j o r ity   o f   t h w o r k s   co n ce n tr ate  o n   th p h y s ics  a n d   th o p er atio n   p r in cip le  as  well  as  t h i m p r o v e m e n ts   I n   ter m s   o f   m o b ili t y .   T h e   p ar ticu lar i t y   o f   o u r   w o r k   is   t h at  it  also   co v er s   o th er   i m p o r tan p ar a m eter s   th a co n tr ib u te  t o   g o o d   DC   an al y s i s   o f   s tr ai n ed   d ev ices.  T h is   a n a l y s allo w   to   g i v m o r clea r   id ea s   ab o u w h at  i s   ex p ec t ed   af ter   u s i n g   t h tech n o lo g y   o f   s tr ai n   s ilico n .         3.   CO NCLU SI O N   Scalin g   h a s   in cr ea s ed   tr an s i s to r   p er f o r m an ce ,   allo w in g   d is p la y i n g   e n h a n ce d   elec tr ical  p r o p er ties   s u c h   as  m o b ilit y   en h a n ce m en t   an d   lo w er   th r es h o ld   v o ltag e,   i n   th s a m w a y   s tr ai n   tech n iq u es  allo w   b o o s tin g   p er f o r m a n ce   f u r t h er   i n   f u t u r g en er atio n s   o f   C MO tr an s is to r s   w i th o u t h n ec e s s it y   to   r ad ically   s ca le   tr an s i s to r   d im e n s io n s .   T h c o m b i n atio n   o f   s tr ai n   tech n iq u es  w it h   o th er   o p tio n s ,   s u ch   as  Mu ltip le  Gate   MO SF E T s ,   h i g h - k   m ater ial s ,   is   g en er all y   u s ed   to   k ee p   o n   t r ac k   w it h   Mo o r e’ s   la w .   I n   t h i s   p ap er ,   i m p ac a n d   b en e f it s   o b tain ed   w it h   t h u s o f   s tr ain ed   s ilico n   tec h n o lo g y   o n   s i n g le  p - c h an n el  MO SF E T   an d   d o u b le  g ate  P - M OSFET   h a v b ee n p r esen ted .   T h d i f f er e n t r es u lt s   w e   o b tain ed   allo w   f ir s t to   s h o w   m o b ilit y   in cr ea s e s   o f   ca r r ier s   i n   t h c h an n el   o f   o u r   s tr ai n   d ev ice.   T h in cr ea s o f   th e   ca r r ier   m o b ilit y   i n   th c h an n el   th a i s   i m p le m en ted   b y   co r r ec s ilic o n   s tr ain   allo w s   p r o v id i n g   h ig h er   c u r r en d r iv e.   T h r esu lt s   o b tain ed   in   ter m s   o f   o u tp u t,  tr a n s f er   ch ar ac ter i s tics ,   a n d   leak a g cu r r en h i g h l ig h t h i m p o r ta n ce   o f   i n co r p o r atin g   s tr ain   tech n o lo g y   i n   MO SF E T   tr an s is to r s ,   an d   co n f ir m   w h a r esear ch er s   r ep o r t.  W co n clu d th at  th u s o f   s tr ai n   s ilico n   tech n o lo g y   is   v er y   i m p o r tan t to   i m p r o v co n s id er ab ly   t h m o b ilit y   o f   ca r r ier s   a n d   as r es u lts   t h d e v ice   p er f o r m a n ce s   w h i l m ai n tai n i n g   t h s a m s tr u ct u r an d   d ev i ce   p r o ce s s   o f   MO SF E T s .   A t t h en d   o f   o u r   s tu d y ,   w ca n   co n cl u d t h at  s tr ai n   te ch n iq u es i n tr o d u ctio n   h a s   b ee n   ab le  to   ex te n d   th Mo o r e’ s   l a w   f o r   n a n o m eter   o f   C MO g en er atio n s .   T h is   tech n iq u h as  b ec o m n o w ad a y s   t h m o s s u cc e s s f u tech n iq u f o r   th s tate - of - t h e - ar t p lan ar   C MO S tec h n o lo g ies .       RE F E R E NC E S   [1 ]   t.   r.   f .   se m ico n d u c to rs,  e m e rg in g   re se a rc h   d e v ice s su m m a r y ,   2 0 1 3 .   [2 ]   A .   A .   C.   C.   G .   T .   M istry ,   De la y in g   f o re v e r:  Un ia x ia stra i n e d   si li c o n   tra n sis t o rs   i n   a   9 0 n m   CM OS   tec h n o l o g y ,   S y m p o siu m   o n   V L S T e c h n o lo g y ,   p p .   5 0 - 5 1 ,   J u n e   2 0 0 4 .   [3 ]   D.  a .   A .   K.   T ir k e y ,   De sig n   a n d   S im u latio n   o f   Do u b le  Ga te  F E Ts  u sin g   A tl a s,”   B a c h e lo T h e sis,   De p a rtme n o f   El e c tro n ics   a n d   Co m m u n ica ti o n   En g .   Na ti o n a In stit u te  o f   T e c h n o lo g y   Ro u rk e la.,   2 0 1 4 .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   2 0 8 8 - 8708   I n t J   E lec  &   C o m p   E n g ,   Vo l.  8 ,   No .   1 Feb r u ar y   201 8   :   4 2 1     4 2 8   428   [4 ]   B.   C.   M a it i,   S train e d - S h e ter o stru c tu re   f ield   e f fe c tran sisto rs,”   S e mic o n d u c to S c i .   T e c h n o l o g y ,   v o l.   1 3 ,     p p .   1 2 2 5 - 1 2 4 6 ,   1 9 9 8 .   [5 ]   M .   Cu r rie,  S tra i n e d   sili c o n E n g i n e e re d   su b str a tes   a n d   d e v ice   in teg r a ti o n ,   c h e z   I n tern a ti o n a l   Co n f e re n c e   o n   In teg ra ted   Circu it   De sig n   a n d   T e c h n o lo g y ,   2 0 0 4 .   [6 ]   E.   L .   R.   P .   J.  Dism u k e J.  P . ,   L a tt ice   p a ra m e t e a n d   d e n si ty   in   g e rm a n iu m   sili c o n   a ll o y s,”   J . p h y s.ch e min s,  v o l.   6 8 ,   p p .   3 0 2 1 - 3 0 2 7 ,   1 9 6 4 .   [7 ]   G .   P .   W .   , .   & .   Nic h o las ,   I m p a c t   io n iza ti o n   in   stra in e d   S d e v ice s,”   J o u rn a o a p p li e d   p h y sic s,  v o l.   9 8 ,   n °   % 1 1 0 ,   2 0 0 5 .   [8 ]   D.  J.  P a u l ,   « S e m ico n d .   S c i.   T e c h n o l, »   v o l.   1 9 ,   p p .   R7 5 - R1 0 8 ,   2 0 0 4 .   [9 ]   E.   F .   M . L . L e e ,   O p ti m ize d   stra in e d   S i /S train e d   G e   d u a l -   c h a n n e h e tero str u c tu re   f o r   h ig h   m o b il it y   P   a n d   N   M OSF ET s,”   c h e z   IEDM ,   2 0 0 3 .   [1 0 ]   N.  X .   T . - J.  k .   L .   By ro n   Ho ,   p M OSF ET   p e rf o rm a n c e   e n h a n c e m e n w it h   stra in e d   S i1 - x G e x   c h a n n e ls,   v o l.   5 9 ,     % 1 0 5 ,   M a y   2 0 1 2 .   [1 1 ]   K.  e .   a l,   c h e z   IEE E   VL S T e c h .   S y mp ,   2 0 0 2 .   [1 2 ]   J.  Ho y t,   E n h a n c e d   m o b il it y   CM OS,   c h e z   ECS   Pr o c e e d in g s ,   2 0 0 4 .   [1 3 ]   F .   A .   H.  R.   I.   E n g   S iew   Ka n g ,   Ei n ste in   Re lati o n   o f   Tw o   Di m e n sio n a S trai n e d   S i /S i 1 - x   G e x   M OSF ET in   No n d e g e n e ra t e   Re g i m e   a n d   De g e n e ra te  R e g i m e ,   IAE S ,   In ter n a ti o n a J o u rn a o Na n o   De v ice s,  S e n so rs   a n d   S y ste ms   ( IJ - Na n o ),   v o l.   1 ,   n °   % 1 1 ,   p p .   1 2 - 1 8 ,   2 0 1 2 .   [1 4 ]   S u b stra te  Cu rre n Ev a lu a ti o n   f o L ig h tl y   a n d   He a v il y   Do p e d   M OSF ET a 4 5   n m   p ro c e ss   Us in g   P h y sic a M o d e ls,   IA ES   Bu ll e ti n   o El e c tri c a En g in e e rin g   a n d   In fo rm a ti c s ,   v o l.   5 ,   n °   % 1 1 ,   p p .   1 2 0 - 1 2 5 ,   2 0 1 6 .   [1 5 ]   M .   L .   L .   C.   W .   L .   a .   E.   F .   S a u ra b h   G u p ta,  « S train e d ,   Hig h   h o le  a n d   e lec tro n   m o b il it ies   u si n g   S tra in e d   S i/ S train e d   G e   h e tero stru c tu re s, »   c h e z   IEDM ,   2 0 0 3 .       B I O G RAP H I E S O F   AUTH O RS        M r .   Am i n e   M o h a m m e d   T a b e r k it   w a s   b o rn   in   T le m c e n   in   1 9 8 8 .   He   b e c a m e   a n   El e c tro n ic  En g in e e in   2 0 1 0   f ro m   th e   u n iv e rsit y   o f   T le m c e n ,   h e   g o th e   m a ste d e g re e   in   El e c tro n ic   in stru m e n tatio n   i n   2 0 1 2   f ro m   th e   u n iv e rsity   o f   T le m c e n ,   a n d   a c tu a ll y ,   h e   is  a   p h S tu d e n a th e   u n iv e rsity   o f   T le m c e n   a n d   a   m e m b e o f   th e   re se a rc h   Un it   o f   M a teria ls  a n d   Re n e w a b le  En e rg y   Re se a rc h   (URME R).   His   re se a r c h   in tere sts  in c lu d e   S train   S i lco n   T e c h n o lo g y   a n d   M OSF ET   tran sisto rs.  Em a il tab e rk it . a m in e @ y a h o o . f r         Pr.  Ah la m   B o u a z z a - G u e n   wa b o r n   i n   T lem c e n   in   1 9 6 5 .   S h e   re c e iv e d   th e   B. S   d e g re e   i n   El e c tro n ic  En g in e e ri n g   in   1 9 8 8   f ro m   Ora n   u n iv e rsit y ,   h e M S c   d e g re e   In   1 9 9 2 ,   h e p h d e g re e   in   M icro e lec tro n ics   in   2 0 0 7   f ro m   T le m c e n   u n iv e rsit y .   S h e   is   a   p ro f e ss o w it h   th e   e n g in e e rin g   d e p a rtm e n a n d   Re se a rc h   tea m   lea d e a th e   re se a rc h   Un it   o f   M a teria ls  a n d   Re n e w a b le  En e rg y   (URME R).   He re se a rc h   in tere sts  in c lu d e   M UG F ET   d e v ic e s,  CM OS  a n a lo g /m ix e d   ICs  a n d   in terc o n n e c ts.   E - m a il g u e n a h lam @ y a h o o . f r         Pr.  B e n y o u n e B o u a z z a   is  a   p ro f e ss o in A b o u Be k rBe lk a id   Un iv e rsit y ,   T le m c e n , fa c u lt y   o T e c h n o lo g y   De p a rt m e n o f El e c tro n ic   a n d   E lec tri c a En g in e e rin g ,   a lso   a   re se a rc h e a th e   re se a rc h   Un it   o f   M a teria ls  a n d   Re n e w a b le  En e rg y   (URME R),   a n d   re sp o n sib le  o f   th e   p h . p ro g ra m   o El e c tro n ic I n stru m e n tatio n .   E - m a i l:   b o u a g u e n @y a h o o . f r       Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.