Internati o nal  Journal of Ele c trical   and Computer  Engineering  (IJE CE)  Vol.  3, No. 6, Decem ber  2013, pp. 857~ 862  I S SN : 208 8-8 7 0 8           8 57     Jo urn a l  h o me pa ge : h ttp ://iaesjo u r na l.com/ o n lin e/ind e x.ph p / IJECE  Applicat ion of  Pi ezoelect ric M a t e rials in S m art  Roads and  MEMS, PMPG Power Generation   with Tra n sver se Mo de  Thin  Film PZT      Aqs a  Abb a si   Department o f  Electronics  Engin eering ,  Mehr an  Univer sity  of  En gineer ing and  Technolog y ,  Jamshoro, Pakistan       Article Info    A B STRAC T Article histo r y:  Received Oct 3, 2013  Rev i sed   No v 2, 201 Accepted Nov 12, 2013      Due to the  incre a s e  in e l ec tri c it y energ y  cons um ption and th e fa ct th at abo u t   90 % of fuels b e ing used now  carbon dioxid e  pollutan t  and th e crisis has   been caused b y  greenhouse gases have  made moving to war d  renewable  energies unavoidable. At pr esent,  consid ering  ele c tri c it y crisis   in  Pakist an,   although on ly   46% of the po pulation  of Pak i stan hav e   the  facility   of   ele c tri c it and  t h e rem a in ing  ar e stil living  in   darkness but st il l we f a c e   major power crisis. Modern technolog y  n eeds  a huge amount  of electrical  power for its v a rious operation s. In  this paper, we have presented an d   reviewed a meth od to produce pollution  fre e ele c tri c it y b y  s o m e  techniques   like Pie z oel e c t ri c effe ct in p y roe l ec tric  cr y s tal  an d power generat i on b y  th in   film MEMS, PZT, PMPG and using th em  in pie z oel ect ric  roads ,  a s   congestion on  ro ads is becoming  inevitab le with  the fan c y  of masses towards   personal transpo r tation s y s t em s for their  growing  m obilit y. Accor d ingl y, i t  is  an object of  the present inv e ntion to  provide a method of electrical power   generation  that d o es not n e ga tive l y im pact   th e env i ronm ent .   Keyword:  Piezoelectric e ffect    Piezoelectricity   Q u ar z  cr ys ta l   Sm art Roads   Zico n a te Titanate    Copyright ©  201 3 Institut e  o f   Ad vanced  Engin eer ing and S c i e nce.  All rights re se rve d Co rresp ond i ng  Autho r Aqsa  Abbasi    Depa rtem ent of Electr oni cs  E ngi neeri n g ,   M e hra n   Uni v er si t y  of E n gi nee r i n g a n d  Tech n o l o gy ,   Jam s h o r o, Si nd h, Pak i stan.       1.   INTRODUCTION   Ener gy   har v est i ng i s  a n  a r ea  of act i v e  resea r ch . M a ny  m e tho d ha ve  bee n  em pl oy ed f o r ha r v est i n g   ener gy  f r om  t h e e nvi r o nm ent .  T h e m o st  fam i l i a r am bi ent  ene r gy  s o ur ce i s  sol a p o w er . Ot her e x am pl es  i n cl ude el ect r o m a gnet i c  fi el d s  (use d i n  R F  po we red  ID  ta gs, inductively powered sm art cards, etc.), t h erm a gra d i e nt s,  fl ui d fl o w , e n er gy  pr od uce d  by   t h e h u m a n bo dy , an d t h e ac t i on o f  g r avi t a t i onal  fi el ds. F i nal l y vi b r at i onal  e n e r gy  ca be  use d  as a n  am bi ent  so u r ce.  p o we ge nerat o r  base on  t r a n sdu c i n g m echani cal   vi b r at i ons  can  be encl ose d  t o   pr ot ect  i t  fr om  a har s h e n vi r o nm ent ,  and i t  f unct i o ns i n  a c onst a nt  t e m p erat ure   fi el d. T h e m o st  im m e di at e appl i cat i ons  fo r s u ch a  de vi ce i s  t o  p o w er m i cro se ns or s an d/ o r  l o w p o w e r  ve ry   larg e scale in teg r ation  (VLSI) circu its . Ag g r essi ve p o we r s cal i ng t r en ds o v er t h e l a st  dec a de ha ve res u l t e d i n   po we r co ns um pt i on i n   onl y  t h e 1 0 s t o   1 0 0 s of  μ W f o r l o w t o  m e di um  thr o ug h put   Di g i t a l  Si gnal  Pr o cessi ng   (DS P ) ci rcui t s  and  ot her  di g i t a l  VLSI ci rc ui t s . As  t h ese  po we r t r e nds i m prove, e n e r g y  har v est i n g d e vi ce s   becom e   m o re  viable as porta b le power s o urces over  ordinary chem ical  batteries . Dig i t a l VLSI techno log y   req u i r es a n  “ o n” v o l t a ge  o f   app r oxi m a t e ly 3V  o r  m o re.  In  or de r t o  ac com p l i s h suc h  a hi g h   vol t a g e , t h pi ezoel ect ri c e n er gy   har v est i n g  m e t hod i s   m o st  useful ,  es peci al l y  wi t h  t h d3 pi ezoel ect ri c m ode.    From  hi st o r i cal  poi nt   of  vi e w , t h e  fi rst   dem onst r at i o n   of t h pi ezoel ect ri c effe ct  was   gi ven  i n  1 8 8 0   by  t h e b r ot he r s  Pi erre C u ri and  Jacq ues C u ri usi n g cry s t a l s  of t o urm a li ne, q u a r t z , t o paz, ca ne s uga r, a n d   Ro ch elle salt (so d i u m  p o t assi u m  tartrate tetra h ydrate) [1 ].  Wh ile th is  was a scien tific cu ri o s ity for t h e n e x t   th ird   o f  a cen t u r y,  with  th work   of Lang ev in  it p r o duc e d  o n of t h pr i n ci pal  el ectromechanical transduce r   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I J ECE   I S SN 208 8-8 7 0 8     App lica tio n o f   Piezo e lectric Ma teria l s i n   Sm a r Road and  MEMS, PMPG  Po wer … (Aq s a Ab ba si)  85 8 effects. Quartz first use d   as a  tran sducer, a l so recei ved  wide use  in c ont rolling oscillat o rs a n d in selective   wave  filters.  Qua r tz wa s soon re placed  by Rochelle sal t   for tra n sduce r s. This is a  rather unstable crystal,  whi c h,  h o we v e r,  was t h e  f i rst  fer r oel ect r i c havi ng  an in trin sic  po larizatio n   b e tween  its two   Cu ri t e m p erat ures . I n  t h i s  pa pe r, w e  have  revi e w ed t ech ni que to ge nerate electric powe by  using special crystal  nam e d as pyroelectric crystal.  A  m a terial somewhat sim ila r to a ferroelectric is elec trets. These ha ve be com e   very use f ul in transm itters and receive rs. Fi nally, thin  films of piez oelectric crysta ls are useful for produci ng  hi g h   fre que nci e s i n  s u c h   devi ces as t h e  aco u s t i c   m i crosco p e  [ 2 ] .     Howev e r t h basic p i ezo elect ricity d eals with  th e ab ility o f  so m e   m a terial s - m o st no tably crystals   and certai n  ceram ics,  including bone - to generate an  electric p o t en tial in  resp on se to  ap p lied  pressu re.  Piezoelectric  materials m a y include   Qua r tz  cr ystal, PZT (Lead  Zi rcon ate Titan a te).    The Pi ez oel ect ri c M i cro P o w e r Ge nerat o ( P M P G )  i s  a M E M S  base devi ce  desi g n e d  t o   har v est   vi b r at i onal  e n e r gy  f r o m  t h e am bi ent  source .  It  can  gene rat e  a hi g h   ope ci rcui t  v o l t a ge  sui t a bl e f o v o l t a ge  rect i f i cat i on and f o r po we ri ng l o w p o we r  VLSI ci rc u i t s W e  envi si on  t h at  several  PM PG de vi ce s coul d   gene rat e  p o w e r  o n  t h or der  of  10  μ W within  an  area of ap pro x i m a tel y   1  mm aq u a re.  PZT th in   film s  h a v e   attracted attention for m a ny a pplications suc h  as accel erometers, force se nsors ,   actuat o rs, gyroscopes, m i cro  pum ps, t u nabl e opt i c s, fe rr oe l ect ri c R A M ,  and  di spl a y  sy st em s. PZT M E M S  devi ces ha ve m a ny  advant ages   suc h   as fine  resol u tion ,   lar g e fo rce gene ration ,   fa st re sponse  tim e , zero  m a gnet i c  fi el ds,  l o po we r   co nsu m p tio n ,   v acuu m  an d  clean  ro o m  co mp atib ility an d  o p e ration  at cryo g e n i c te m p eratu r es. Howev e r, it is   m o re difficult to fabricate a PZT MEMS device vers us  a similar bea m -structured el ectrostatic device becaus e   PZT film  is n o t a no rm al  m a t e rial for  g e n e ral silico n   p r o c essin g o f ten  req u i ring  m a n y  m o re  m a sk  step [8 ].  Piezoelectric d31 type se ns ors and act ua tors ha ve a  cantil ever beam  struct ure t h at cons ists of a m e mbra ne   fi lm , bot t o m  elect ro de,  pi ezoe l ect ri c fi lm , and t o p el ect ro de . The  d 31 t y pe  devi ces  re qui r e   m a ny   m a sk st ep s   (3~ 5   m a sks) for patterning of each  layer  while ha ve  very l o w induced voltage.    Th e m a in  object is to  i n v e stig ate th ro le of  PMPG, M E MS power generation i n   piezoelectric  net w or k f o r s m art  roads .  T h e rem a i nder of  t h e pa per i s   arrang ed  as fo llows. Section-2   p r ov id es th o r ig in   of  piezoelectric e ffect in c r ystal. Th e d e t a i l  of t h e p r o p o s e d t ech ni q u has be en  di sc usse d i n  sect i o n - 4.  Sim u l a t i on pa ram e t e rs and resul t s  ha ve  been  gi ve n i n  sect i on- 5. B a sed u p on t h e sim u l a t i on resul t s concl u si o n s ha ve been   d r a w n  and   s o m e   recom m e ndat i ons f o r   f u t u re wo rk  have   bee n  p r o p o se i n   sect i o n - 6 .       2.   ORIGIN OF  PIEZ OELECTRIC  EFFECT IN  CRYSTAL  The origi n  of the piezoele c tric  effect  w a s, i n  ge ne ral ,  cl ear fr om   t h e very   begi nni ng . Th e   displacem ent of ions  from  their equ ilibri um positions caused  by a m echani cal stress i n   crystals that lack a   cen tre of symmetry  m u st res u lt in  th e g e n e ratio n  of an  el ectric  m o m e n t , i . e., in  electric p o l arizatio n .   Atte m p ts  t o  cal cul a t e  t h e  pi ezo c o n s t a nt s of a c r y s t a l  b a sed  on t h i s  m odel   were  fi rst   un de rt ake n  by   t h e b r ot hers C u ri e as  sho w n i n  f o l l o wi n g  Fi gu re  1.           Fi gu re 1.   O r i g i n  of   pi ez oel ectric effect and  polarization    Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                        I S SN 2 088 -87 08  IJECE Vol. 3, No. 6, D ecem ber 2013   857 – 862  85 9 We assu m e  t h at so m e  crys tals h a v e  spon tan e o u s po larizatio n .  Thu s , o n l y so m e  c r ystals lik p y ro electric crystals th at h a ve an   u n i q u e   po lar ax is, along  wh ich th e sp on tan e ou p o larizatio n  ex ists, are  considere d . T h ese are the crystals of  cl asses 6m m ,  4 m m ,   m m 2 , 6, 4, 3m , 3, 2 ,  m ,  and 1. F o r rea s o n t h at  are  obvious ,  crystals of class 1  will not be c o nside r ed  further. T h e specia l  polar  a x is— c rystallophysic a l axis  X3 —coi nci d es  wi t h  t h e a x es  L6,  L4 , L 3 ,  an d L 2   of  t h e c r y s t a l s  or  l i e s i n  t h uni que  pl a n e P  (cl a ss “m ”).  Thu s , all co nsid ered  crystals h a v e  sp on t a n e ou pol a r i zat i on Ps =  P3.  We bel i e ve t h at  t h piezoelectric e ffect in  pyroelectric cr ystals arises as a resu lt o f  ch an g e s in  th eir spo n t an eou s   po larizatio n   unde r external effects (electric fiel ds,  m e c h anical stresse s). Moreover,  we believe thi s   m echanism  can be   rega rde d  as  t h e g ove rni n g  fa ct or.  Let  us  de m onst r at e, i n   general term s, that the  piezoel ectric effect in these   crystals is really a resu lt of chan g e s in Ps caused   by the  appl ied electric fiel or m echanical stress  [3].  For exam ple, i f  one  starts to  defo rm  suc h  a  crystal, its constituent pa rticles will be  slightly displaced  fro m  th eir equ ilib riu m  p o s ition s  as shown in   fo llowing   Figure  2 .           Fi gu re 2.   De fo rm ati on of  c r y s t a l .       Accordingly, this results  in the displacem e n t of t h e electric cen tres of positive an d ne gative charges  o f  an  elem en tary cell fro m  eq u ilibriu m  p o s itio n s , i.e., th e spo n t an eou s   p o l arizatio n   o f  th e crystal chan g e s.  Gen e rally, th is ch ang e  will h a v e  th e co m p on en ts along  all th ree ax es of  Δ Ps = ( Δ P1,  Δ P2,  Δ P3 )  [4 ].  Let u s   su ppo se t h at a  f i r s t appr ox imatio n ,   Δ Ps  =  ( Δ P1,  Δ P2,  Δ P3 ) is  propo rtion a l to  t h e m e c h an ical stresses cau si n g   it, i.e.,  Δ Pi  = di kl  Tkl  w h e r e Tkl  re pre s e n ts the m echanical stress and dikl  represe n ts the piez oe lectric   m odules. If  one accepts their values i n  the  abse nce of m e chanical stres s e or an electri c field as a  referenc e   poi nt  f o r t h e p o l a ri zat i on  st at e and  for t h e electric induction, the n   Δ Pi or  Δ Di can   j u st  be sub s titu ted   by Pi o r   Di , a n d  t h pi e z oel ect ri c ef fec t  equat i o ns  kee p  t h ei r c o n v e n t i onal   fo rm     3.   PIEZ OELECTRICIT Y AND POWE GENERATI ON USING TRANSVER SE MODE THIN  FILM PZ T AND ME MS , P M PG   As piezoelectric effect converts  m echanical strain  i n t o  el ect ri c curre n t  or vol t a ge a nd  gene rat e s   el ect ri c ener gy  fr om  wei g ht m o ti on,  vi brat i o n  an d  t e m p erat ure c h a nge s.  C onsi d eri n g pi ezoelectric effect in  th in   fil m  lead   zircon ate titanate, Pb (Zr,Ti)O3 (PZT), ME MS power g e neratin g d e v i ce  is d e v e lop e d [5 ]. It  is  d e sign ed  to  reso nate at sp ecific  fre que nci e s fr om  an ext e rnal   vi brat i o n en erg y  sour ce, th er eb y cr eatin electrical energy via the pie z oelect ric effe ct using electrom echanical  da m p ed m a ss a s  shown in followi ng  Fi gu re 3.           Fi gu re  3.  Sc he m a t i c  of ge ne r a t i ng  vi b r at i o n   con v e r t o r     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I J ECE   I S SN 208 8-8 7 0 8     App lica tio n o f   Piezo e lectric Ma teria l s i n   Sm a r Road and  MEMS, PMPG  Po wer … (Aq s a Ab ba si)  86 0   PM PG  de vi ces sh oul be  desi g n e d  s o  t h at  t h ey  m e chani cal l y  res o nat e  at  a f r e que ncy  t u ne d  t o  t h e   a m b i en tv ibratio n source in ord e r to   g e n e rate m a x i m u m  el e c tr ical p o w e r  as show n in  t h f o llow i ng   Figur 4 .           Fi gu re  4.  Tw m odes of  pi ez o e l ect ri c con v e r si on  f r om  i n p u t   m echani cal  st ress       4.   PIEZ OELECTRIC SENSORS  NETWORK FOR  SMART ROAD  The p r esent  i nve nt i o n rel a t e s gene ral l y  to m e t hods  of  el ect ri cal po wer ge ne rat i o n, an d m o re  part i c ul a r l y  i s   m e t hod a nd  devi ce t o   ge ne rat e  el ect ri ci t y  by  usi n g t r a f f i c on e x i s t i ng  roa d way s  t o  d r i v e an   el ect ri cal  gene rat o r  [ 6 ] .  T h i s   pape pr o v i d es  t echni cal  re vi ew f o r t h pr o duct i o of  el ect ri c po we r u s i n g PZ T,   MEMS, PMPG in piez oelectric roa d s-Harvest traffic e n ergy to ge ne ra te electrici t y  a s  sh own  in  fo llo wing  Fi gu re 5.           Fi gu re  5.  Net w or fo r sm art  r o ad s a n d  ge ner a t i on  of  el ect ri c v o l t a ge       Si nce E n er gy  d e m a nd an hea v y  t r af fic corre l ation m o tivate  to dream   about a device in the roa d  that   wo ul har v est   t h e ener gy  f r o m  t h e vehi cl es dri v i ng  o v er i t . For this , embed  piezo elect ric  m a terial beneath a  roa d  ca n p r ovi de t h e m a gi c o f  co n v ert i n pr essur e  exe r t e by  t h e m ovi n g  vehi cl es  int o   electric current .  The   m e t hod  uses a n  el ect ri cal  generat i o n de vi c e  i n st al l e d ben eat h t h e ro ad b e d. T h e el ect ri cal  generat i o devi ce   i n cl ude s a pre ssure  pl at e co vere d wi t h   on e or m o re pr ot ect i on l a y e rs whi c h l i e  bene at h t h e su rface  of t h e   roa d .    In t h is  process ,  piez oelectric  material is e m bedd e d   beneat h t h e  r o ad  wi t h  the  electrical ge nerating  devi ce. Fo a r o ad wi t h   em bedde d pi ezoel ec t r i c   gene rat o rs,   part  of  t h en ergy   t h e ve hi cl expa n d s on r o ad s   d e fo rm atio n  is tran sform e d  i n to  elect ric energy (via di rec t  piezoelectric  effect) i n stea d of  being wa sted a s   therm a l energy  (heat).  This electrical gene rating de vice in cludes  pressure plates that are  c ove re d wi t h   p r ot ect i on l a y e o r   asph alt as sh own in   fo llo wi ng  Fi g u re  6 .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                        I S SN 2 088 -87 08  IJECE Vol. 3, No. 6, D ecem ber 2013   857 – 862  86 1     Figure  6.  Whe e ls pushi n g protected plates.      The  piezoelect ric effect c o nverts m echanical strain into  electrical cu rr ent  or v o l t a ge  a nd t h sy st em   is ex p ected  to   scale u p  to  40 0 k ilo watts fro m  a 1 - k ilo m e tre  stretch of dual  carriage w ay. T h e m echanical  force   is p r ov id ed   b y  th e wh eel of au to m o b ile v e h i cle, in  wh ich  grav itatio nal fo rces  (wei g h t ) is n o rm al  to  th surface  of roa d  that causes c o m p ression as  s h own in the  following  Figure   7.        Fi gu re  7.  De fo rm ati on (c om pressi o n )  i n  t h roa d   d u e t o  f r i c t i on a n d  wei g h t       5.   R E SU LTS AN D ANA LY SIS  The p r esent  i nve nt i o n rel a t e s gene ral l y  to m e t hods  of  el ect ri cal po wer ge ne rat i o n, an d m o re  part i c ul a r l y  i s   m e t hod a nd  devi ce t o   ge ne rat e  el ect ri ci t y  by  usi n g t r a f f i c on e x i s t i ng  roa d way s  t o  d r i v e an   el ect ri cal  gene rat o r .  E n e r gy   dem a nd a n d  h eavy  t r a ffi c correlatio n m o tiv ate to   d r eam  ab ou t a d e v i ce  in  the  roa d  t h at  w o ul d ha rve s t  t h e e n er gy  fr om  t h e vehi cl es  driv i n g   ov er it. Fo r th is,  em bed piezoelectric m a terial  beneat h a road can provide t h e m a gi c of con v e r t i ng  pres sure e x ert e d b y  t h m ovi ng  vehi cl es i n t o  e l ect ri c   cur r ent .  T h m e t hod u s es an el ect ri cal   gene rat i o n de vi ce i n st al l e d beneat h t h e r o ad be d. T h e el ect ri cal   gene rat i o n dev i ce  i n cl u d es  a  press u re pl at e cove re d wi t h   o n or  m o re p r o t ect i on l a y e rs  whi c h l i e   bene at h t h e   surface of  the road.   The ge nerat o rs  are em bedde bet w ee n t h e su perst r uct u re l a y e rs, an d us ual l y  covere d wi t h  an asp h al t   layer.  W h e n  a car dri v es over the box, it takes the ve rtical force and compress es  the pie z oelectric  m a terial,  t h ere b y  gene ra t i ng el ect ri ci t y . The ene r gy - 80  ki l o wat t - h o u rs  per  kilometre of roa d  for car tra ffic  can be   sto r ed  in  a n e arb y   b a ttery or  su per cap acitor, d e p e n d i n g   on  th app lication ,  o r  sen t  d i rectly  to   streetlig hts  an d   ot he r roa d si de  devi ces. T h e ener gy  bei n con v e r t e d i n t o  electricity through piezoel ectric effect is co m i n g   fro m   m o tio n  of  v e h i cle  wh ich   will o t h e rwise b e  wasted   b y  h eat  wh en th e ro ad d e fo rm s u n d e r th weigh t   of  the car. T h e la yer of  piezoele c tric m a terial is stiffer th a n  t h e roa d  m a terial it replaces,  s o  it eve n  sa ves  a tiny  am ount   of e n ergy It s di s p l acem e nt  t o  vo l t a ge gra p h f o r aut o m obi l e  can be a n al y zed by  t h f o l l o wi n g   si m u lated  graph  in Figure  8 .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
I J ECE   I S SN 208 8-8 7 0 8     App lica tio n o f   Piezo e lectric Ma teria l s i n   Sm a r Road and  MEMS, PMPG  Po wer … (Aq s a Ab ba si)  86 2   Fi gu re  8.  Di s p l acem e nt  VS  A ppl i e d  v o l t a ge   gra p h       6.   CO NCL USI O N   At th e tim e wh en   gov ern m e n ts are  find ing it h a rd  to  m a k e  land  av ailab l e fo n e w po wer  p l an ts,  ex tracting   en erg y  wh ile u s in th e v a st  sp read  o f   highways all over the world se e m s no less l u crative   p r op o s ition .   Ho w e v e r, th is i d ea  h a n o t  yet g a in ed  enoug h   groun d  am o n g  t h e po licy m a k e rs ev en  th ou gh   research ers h a v e  sh own  th at  en erg y  cou l d b e  ex tracted   fro m  h i g h w ays b y  fittin g  t h e m  with  p i ezoelectric  devi ces . T h e e n er gy  ge ne rat i ng  r o ad  desi gn s co ul becom e  a st art i ng  p o i nt  fo r a sel f -s ust a i n i n fut u r e W e   th u s  con c lud e   th at th is tho ugh t will b e  a  rev o l u tio n in   p o wer  p r od uction  an d  curb   down  t h e en erg y  co sts  th er eb y i m p r ov ing  ou r  countr y s  eco no m y . Th is en erg y  is p r odu ced   by co n s u m er s’   p a r ticip ation  w ith ou requ iring  an y k i nd  of inp u t  en erg y . In  fu ture, we will  con t in u e  th wo rk   in v e stig ating  t h e En erg y  Harv esting   MEMS Dev i ces th at  wou l d resu lts in  t h b e t t e pr od uct i o o f  wi t h o u t  a n y  u s eful  i n p u t .       REFERE NC ES   [1]   Jacques and  Pierre Curie. “Développeme nt par   compression de  l’électr i cité pol aire d a ns les cr istaux h é mièdres   à  faces  in clin ées .  Developmen t, v i a compr e s s i on, of ele c tr i c  polar iz ation in hemih e dr al cr ys tals  wi th incl ined fa ces ,   Bulle tin  de  la So cié t é  min é rologique de France . 1 880; 3.  [2]   Damjanovic, Dr agan. “Ferroelec tric, dielectr i c an d piezoelect ric p r operties of f e rr oelectri thin f i lms and cer amics”.  Reports on  Progress in Physics 1998; 61(9): 126 7.  [3]   F Yi, SJ Dy ke JM Caicedo, JD  Carlson. “ E xpe rim e ntal ver i fi ca tion of m u lti-in put seism i c cont rol strateg i es for  s m art dam p ers .   [4]   Serge y  V. Bogd anov. “ T he origi n  of Piezoelec tri c  effec t  on Py ro ele c tri c  cr y s tal . IEEE transa ctio ns on ultrasonics,  ferroelectrics, an d frequen c y   control. 2002 ; 49(11) [5]   F a ng, Hua-Bin,  et al . “ F abricat i on and perform ance of M E M S -bas ed piezo ele c t r ic power gener a tor for vibrat io energ y  h a rves t i n g ”.  M i croelectronics Journal . 20 06; 37(11): 1280 -1284.  [6]   AKAI Y. WIPO Patent No. 2004 077652. Gen e va, Switzer land:  World Intellectual  Pr operty  Organization, 2004.  [7]   Crawley ,   Edwar d  F and Javier D e  Luis . “Embedd e d piezoelectric  structure  and  co ntrol”. U.S. Patent No. 4,849 ,668 18 Jul. 1989 [8]   Jeon, Yongbae,  et al. “Energ y   h a rvesti ng MEM S  devices based   on d33 mode piezoel ectric Pb (Zr, Ti) O3 thin f ilm  cant ilev e r” CI RP Seminar on  Micro and Nano  Technology , Cop e n h agen, Denmark .  2003     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.