I n d on e s i an   Jo u r n al   o El e c t r i c al   En gi n e e r i n g   an d   C o m p u te r   S c i e n c e   V o l .   18 ,   N o .   1 A p r i l   20 20 ,   p p.   2 84 ~ 2 9 2   IS S N :   2502 - 4752 ,   D O I :   10. 1 1591 / i j e e c s . v 1 8 .i 1 . pp 284 - 2 9 2             284       Jou r n al   h o m e pa ge ht t p: / / i j e e c s . i a e s c or e . c om   In f l u e n c e   o f   a n n e a l i n g   t e m p e r a t u r e   o n   t h e   s e n si t i v i t y   o f   n i c k e l   o x i d e   n a n o sh e e t   f i l m s i n   h u m i d i t y   s e n si n g   a p p l i c a t i o n s       N .   P ar i m o n 1 ,   M .   H .   M am at 2 ,   A .   S .   I s m ai l 3 I .   B.   S h am e e m   B an u 4 M .   K .   A h m ad 5   A .   B.   S u r i an i 6 ,   M .   R u s o p 7   1 , 2 , 3 , 7 N A N O - E l e c T r o ni c   C e n t r e   ( N E T ) ,   F a c ul t y   o f   E l e c t r i c a l   E ng i ne e r i ng ,   U n i v e r s i t i   T e kno l o g i   M A R A   ( U i T M ) ,   M a l a y s i a   2 ,7 N A N O - S c i T e c C e n t r e   ( N S T ) ,   I ns t i t u t e   o f   S c i e nc e   ( I O S ) ,   U n i v e r s i t i   T e k no l o g i   M A R A   ( U i T M ) ,   M a l a y s i a   1, 3 F a c ul t y   o f   E ng i ne e r i ng ,   U n i v e r s i t i   M a l a y s i a   S a ba ( U M S ) ,   M a l a y s i a   4 D e pa r t m e n t   o f   P hy s i c s ,   B . S .   A bdur   R a hm a n   C r e s c e n t   I ns t i t u t e   o f   S c i e nc e   &   T e c hno l o gy ,   I ndi a   5 M i c r o e l e c t r o ni c   a n N a no t e c hno l o gy - S ha m s uddi n   R e s e a r c C e n t r e   ( M i N T - S R C ) ,     F a c ul t y   o f   E l e c t r i c a l   a nd   E l e c t r o ni c   E ng i ne e r i ng ,   U ni v e r s i t i   T un   H u s s e i n   O nn   M a l a y s i a   ( U T H M ) ,   M a l a y s i a   6 N a no t e c hno l ogy   R e s e a r c h   C e n t r e ,   F a c u l t y   o f   S c i e nc e   a nd   M a t he m a t i c s ,     U ni v e r s i t i   P e n di di k a n   S u l t a I dr i s   ( U P S I ) ,   M a l a y s i a       A r ti c l e   I n fo     A B S TR A C T     Ar t i c l e   h i s t or y :   R e c e i v e A ug   18 ,   201 9   R e v i s e O c t   20 ,   2 019   A c c e pt e N o v   3 ,   201 9       N i c ke l   o xi de   ( N i O )   n a no s he e t   f i l m s   w e r e   s uc c e s s f ul l y   g r o w n   o nt N i O   s e e d - c o a t e g l a s s   s u bs t r a t e s   a t   d i f f e r e n t   a n ne a l i ng   t e m pe r a t ur e s   f o r   hum i di t y   s e ns i ng   a p pl i c a t i o ns .   N i O   s e e d   l a y e r s   a nd  N i O   na no s he e t   f i l m s   w e r e   pr e p a r e u s i ng   a   s o l - g e l   s p i c o a t i ng   a nd   s o ni c a t e s o l - g e l   i m m e r s i o t e c hni que s ,   r e s p e c t i v e l y .   T he   pr o pe r t i e s   o f   N i O   n a no s he e t   f i l m s   a t   a s - de po s i t e d ,   300  ℃,   a nd  50 - a nn e a l e w e r e   e xa m i ne d   by   X - r a y   di f f r a c t i o (X R D ) ,   f i e l e m i s s i o s c a nni ng   e l e c t r o m i c r o s c o p y   ( F E S E M ) ,   u l t r a v i o l e t - v i s i b l e   ( U V - v i s )   s p e c t r o s c o p y ,   a nd  hum i d i t y   s e ns o r   m e a s u r e m e nt   s y s t e m .   T he   X R D   pa t t e r n s   d e m o ns t r a t e   t ha t   t h e   g r o w N i O   f i l m s   ha v e   c r y s t a l l i n e   c ubi c   s t r uc t u r e s   a t   t e m p e r a t u r e   o f   300    a n d   5 00  .   T h e   F E S E M   i m a g e s   s ho w   t ha t   t h e   l a r g e   po r o us   na no s he e t   n e t w o r s pr e a o v e r   t he   l a y e r s   a s   t he   a nne a l i ng   t e m pe r a t ur e   i nc r e a s e d.   T he   U V - v i s   s pe c t r a   r e v e a l e d   t h a t   a l l   t h e   na no s he e t   f i l m s   ha v e   t he   a v e r a g e   t r a n s m i t t a nc e   be l o w   t ha 50 %   i t he   v i s i b l e   r e g i o n,   w i t a bs o r p t i o e dg e s   ~   35 nm .   T he   o pt i c a l   ba nd  g a e ne r g y   w a s   e v a l ua t e i r a ng e s   o f   3. 39  t o   3. 6 e V .   F r o m   t he   o bt a i ne hum i di t y   s e ns i ng   r e s ul t s ,   i t   s ho w s   t ha t   5 00  - a nne a l e f i l m   e xh i b i t e t he   b e s t   s e n s i t i v i t y   of   257,   a s   w e l l   a s   t he   s l o w e s t   r e s po ns e   t i m e ,   a nd  t he   f a s t e s t   r e c ov e r y   t i m e   c om pa r e d   w i t h   o t he r s .   Ke y w or ds :   A nn e a l i n g   t e m pe ra t u r e   H um i di t y   s e n s i n g   N i c ke l   o xi de   S e n s i t i v i t y   S o l - ge l   i m m e r s i o n   C opy r i gh t   ©   2020   I n s t i t ut e   o f   A dv anc e E ng i ne e r i ng   and   S c i e nc e .     A l l   r i gh t s   r e s e r v e d .   Cor r e s pon di n g   Au t h or :   M . H .   M a m a t ,   NANO - E l e c T r o n i c   Ce nt r e   (N E T ) ,     F a c ul t y   of   E l e c t r i c a l   E n g i n e e ri n g,   U n i v e r s i t i   T e kn o l o gi   M A R A   (U i T M ) ,   40450  S ha A l a m ,   S e l a n go r,   M a l a y s i a .   E m a i l :   m hm a m a t @ ui t m . e du. m y       1.   I N TR O D U C TI O N     D ue   t o   t h e   h i g h   de m a n f o r   hi g h l y   s e l e c t i ve ,   s t a b l e ,   a nd  s e ns i t i v e   h um i di t y   s e n s o r s ,   r e s e a r c h   i s   s t i l l   o n go i n t o   f i n n o v e l   m a t e r i a l s   w i t h   o pt i m i z a t i o n   t o   a c hi e v e   t h i s   go a l .   T h e   l a t e s t   i n v e s t i ga t i o n   s h o w s   t h a t   m e t a l   o xi de s   ha v e   a c h i e v e t h e   b e s t   c o n s i de ra t i o n   i n   s e n s i ng   a ppl i c a t i o n s   [1]   i n c l ud i n h u m i di t y   s e n s o r   s i n c e   i t   c a n   b e   s y n t h e s i z e d   wi t h   hi g h   s u r f a c e   a r e a   [2]   a n l a r ge   po r e   vo l um e   [3] Be s i de s ,   t h e   pe r f o r m a n c e   of   t h e   m e t a l   o xi de - b a s e s e n s o r   a l s o   de p e n ds   o n   t h e   t h i c k n e s s   of   t h e   f i l m   a nd  i t s   o pe r a t i n t e m pe ra t u r e   [4,   5]   T h e r e   a r e   o t h e r   a dv a n t a ge s   o f   us i n m e t a l   o xi de s   a s   a   s e ns i ng  m a t e r i a l   s uc a s   l o w - c o s t   pr e pa ra t i o n   [3]   hi g h   s e n s i t i v i t y ,   f a s t   r e s po n s e   a n r e c o ve r y   t i m e   [4] ,   a nd  a l s o   c o n t r o l l a b l e   s y n t h e s i s   [6] .   G e n e r a l l y ,   t h e r e   a r e   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Inf l u e n c e   of   ann e al i ng   t e m pe r a t ur e   on   t h e   s e ns i t i v i t y   o f   ni c k e l   o x i d e   nanos h e e t   f i l m s   i n…   ( N.   P ar i m on )   285   t w ki n ds   o f   m e t a l   o xi de - b a s e s e n s o r s   t ha t   a r e   a l w a y s   i n   us e .   T h e y   a r e   n - t y pe   m e t a l - o xi de s   w h o s e   m a j o r i t y   c a rri e r   i s   a n   e l e c t r o n   a nd  p - t y pe   m e t a l - o xi de s   w h o s e   m a j ori t y   c a rri e r   is   h o l e   [4] .   A l t h o ug h   m o s t   n - t y pe   m e t a l   o xi de s   w e r e   us e i s e n s i ng  a ppl i c a t i o n s ,   t h e   p - t y p e   i s   a l s o   a m o ng  t h e   p r e f e r r e o pt i o n ,   e s pe c i a l l y   ni c ke l   o xi de   (N i O ) .   P r e v i o us l y ,   fe w   r e po r t s   b a s e o n   N i O   a n d   i t s   na n o c o m p o s i t e s   s uc h   a s   N i O / A l 2 O 3   [ 7] ,   CuO - N i O   [8] N i O - S n O 2   [9] ,   a nd  M o O 3 - N i O   [10]   ha v e   b e e n   ut i l i z e d   a s   t h e   m a t e r i a l s   f o r   h u m i d i t y   s e n s o r   a ppl i c a t i o n s .   N e ve r t h e l e s s ,   t h e   h u m i d i t y   s e n s o r s   us i n a   s i n g l e   c o m p o un of   N i O   w i t h o ut   c o m po s i t e   s t r uc t u r e   c o ul a l s b e   f a b r i c a t e d .   N i O   i s   o n e   o f   t h e   m e t a l   o xi de s ,   w h i c h   h a v e   b e e n   ge n e r a l l y   r e po r t e t o   ha v e   a   w i de   b a n dga (3. t o   4. e V b e t w e e n   t h e   v a l e n c e   a n c o n duc t i o n   b a n ds .   N i O   e xhi b i t s   t h e   p - t y pe   c o n duc t i v i t y   a n c a n   b e   c h a ra c t e ri z e d   by   i t s   h i g h   t h e r m a l   s t a b i l i t y   a n go o c h e m i c a l   s t a b i l i t y   [3,   11,   12] .   It   s h o w s   t h e   c h a ra c t e ri s t i c s   of   h i g h   s u r f a c e   t o   vo l um e   r a t i o ,   a n go o o pt i c a l   t ra n s pa r e n c y   a n e l e c t ri c a l   c o n duc t i v i t y   [3,   13] .   B e s i de s ,   t h e   uni que   s t r uc t u r e   o f   n a n o s t r uc t u r e N i O   s ub s t a n c e s   c o ul f a c i l i t a t e   i nt e r e s t i ng  c ha r a c t e r i s t i c s   a n d   pe r f o r m a n c e   o f   t h e   f a b r i c a t e d   s e n s o r.   P r e v i o us   r e s e a r c h e s   ha v e   b e e n   c o n duc t e d   to   i n c r e a s e   t h e   s u r f a c e   pr o pe r t i e s   of   N i O   t hr o ug h   v a r i a t i o of   de p o s i t i o n   t e c hn i que   [12,   14] ,   t y pe   of   pr e c ur s o r   [15] ,   a nd  di f fe r e nt   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e   [16,   17]   s i n c e   t h e   i m p r o v e s ur f a c e   pr o pe r t i e s   c o ul e n ha n c e   t h e   h u m i di t y   r e s po n s e .   T h e   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e   h a s   t y pi c a l l y   i m pa c t e t h e   c r y s t a l   g r o w t h   a s   w e l l   a s   t h e   s u r f a c e   a r e a   o f   t h e   na n o s t ruc t u r e s ,   w h i c h   i n f l ue n c e s   t h e   r e s po n s e   a n d   s e n s i t i v i t y   of   N i O   s ub s t a n c e   duri n t h e   h u m i d i t y   s e n s i n g   a c t i v i t y .   T h e r e f o r e ,   t h e   s t udy   o n   t h e   f a b r i c a t i o n   o f   N i O   a t   v a r y i n a nn e a l i n t e m pe r a t u r e s   c o ul pr o v i de   a n   i nt e r e s t i n t a s t o w a r ds   i m p r o v e m e n t   a n o pt i m i z a t i o n   o h um i di t y   s e n s i n pa rt i c ul a r l y   a t   t e m pe r a t u r e   of   500  ° a n b e l ow .   T h i s   i s   due   t o   t h e   f a c t   t h a t   m o s t   N i O   m a t e r i a l s   a r e   s t udi e d   a t   hi g h   a nn e a l i n g   t e m pe ra t u r e .   A m o n gs t   t h e   c o m m o n   de po s i t i o n   t e c hni que s   o f   N i O   n a n o s t ruc t ur e s ,   t h e   s o l - ge l   m e t h o [18 ,   19 ]   h a s   r e c e i v e w i de   a t t e n t i o n   f o r   t h e   p r e pa ra t i o n   o f   N i O   a t   s pe c i f i c   t e xt ura l   a n m i c r o s t r uc t u ra l   c ha r a c t e r i s t i c s   [7] T h e r e f o r e ,   t h e   de po s i t i o n   p r o c e s s e s   b a s e o n   s o l - ge l   i n c l ud i ng  s pi n   c o a t i n g   a n d   i m m e r s i o m e t h o h a v e   b e e n   us e i n   t h i s   s t udy .   T h e s e   t e c hni que s   s e e m   t o   be   r a t h e r   p r o m i s i ng   a n d   h a v e   b e e n   c o n s i de r e d   a s   f a c i l e   a n f a s t   f a b r i c a t i o n   p r o c e s s e s   c o m pa r e t o   o t h e r   m e t h o ds .   I n   t h e   p re v i o us   r e po r t s ,   r e s e a r c h   ha s   b e e n   c o n duc t e t f a b r i c a t e   N i O   o t h e   s ub s t ra t e ;   h o w e ve r ,   t h e   N i O   f i l m   w a s   gr o w n   o n   t h e   IT O - c o a t e g l a s s   s ub s t ra t e   [3 ,   2 0] Ac c o r di n g l y ,   t h i s   t w o - di m e n s i o na l   (2D N i O   n a n o s h e e t   f i l m s   w e r e   pr e pa r e d   o n   s e e d - c o a t e d   gl a s s   s ub s t r a t e s   a t   d i f fe r e n t   a nn e a l i ng  t e m pe r a t u r e s   a n t h e i r   h u m i d i t y   s e n s i ng  p r o pe r t i e s   w e r e   s t udi e i n   t e rm   o f   t h e i r   s e n s i t i v i t y .       2.   R ES EA R C H   M ET H O D   B e fo r e   t h e   g r o w t h   o f   N i O   na n o s h e e t s   w a s   c a rri e o ut ,   t h e   s e e d   l a y e r s   de po s i t i o n   p r o c e s s   o n   t h e   gl a s s   s ub s t r a t e   w a s   c o n duc t e d.   It   s t a rt e w i t h   t h e   c ut t i n p r o c e s s   of   gl a s s   s u b s t r a t e s   i nt o   2. c m   ×   2. c m   e a c h .   T h e n,   t h e   s ub s t r a t e s   w e r e   c l e a n e i n   a   h y dr o c h l o r i c   a c i s o l ut i o n .   N e xt ,   t h e   s ub s t r a t e s   w e r e   c l e a n e us i n s o l ut i o n s   o f   a c e t o n e ,   e t h a n o l ,   a n de - i o n i z e d   (D I)  w a t e r   i n   t h e   u l t ra s o n i c   b a t h   (H w a s i n   T e c hn o l o g y   P ow e r S o n i c   405,   40k  H z fo r   15  m i n u t e s   e a c h .   F i n a l l y ,   t h e   g l a s s   s ub s t r a t e s   w e r e   b l ow n   us i n n i t r o ge n   ga s   f o r   dr y i n g .   N i O   s e e l a y e r s   w e r e   pr e pa r e us i ng  t h e   s o l - ge l   s pi n - c o a t i ng  m e t h o i n   w h i c h   0. M   n i c ke l   a c e t a t e   (N i (CH 3 CO O ) 2 . 4H 2 O)   (F r i e n de m a nn   S c h m i dt ),   di e t ha n o l a m i n e   (C 4 H 11 NO 2 ),   a nd  e t h y l e n e   gl y c o l   mo n o e t h y l   e t h e r   (C 4 H 10 O 2 w e r e   us e d   a s   t h e   p r e c ur s o r ,   s t a b i l i z e r ,   a nd  s o l ve n t ,   r e s pe c t i v e l y .   T h e   s o l ut i o w a s   p r e pa r e us i n 50   m l   s o l v e n t   a n d   m l   D E A .   T h e   s o l ut i o n   w a s   s t i rr e d   fo r   h o u r s   a t   r o o m   t e m pe ra t u r e .   T h e   s e e l a y e r s   w e r e   de po s i t e o n   t o of   t h e   gl a s s   s ub s t r a t e s   us i ng  t h e   s p i n   c o a t e r   a t   t h e   de po s i t i o n   s pe e of   4000  r p m .     T h e   c o a t i n g   p r o c e s s   w a s   r e pe a t e d   f o r   f i v e   t i m e s .   T h e   s e e d - c oa t e f i l m s   w e r e   d r i e a t   250     f o r   m i nut e s   f o r   e a c h   l a y e r   b e f o r e   a nn e a l e a t   400     f o r   2   h o ur s .   F o r   t h e   de po s i t i o n   o f   N i O   n a n o s h e e t ,   s o n i c a t e s o l - ge l   i m m e r s i o n   t e c hn i que   w a s   a ppl i e d .   T h e   N i O   na n o s h e e t s   w e r e   gr o w n   o nt o   N i O   s e e d - c o a t e gl a s s   s ub s t ra t e s   a t   di f f e r e n t   a nn e a l i ng  t e m pe ra t u r e s   t o   l o o i nt t h e i r   pe r f o r m a n c e   t ow a r ds   h um i di t y   s e n s i n g .   T o   gr o w   N i O   na n o s h e e t   f i l m s ,   a   s o l ut i o n   c o n s i s t i ng  o 0. M   ni c ke l   (II)  ni t ra t e   h e xa h y dr a t e   (N i (N O 3 ) 2 . 6H 2 O)   (F r i e n d e m a nn   S c hm i d t a s   a   p r e c ur s o r   a n 0. M   h e xa m e t h y l e n e t e t ra m i n e   (C 6 H 12 N 4 (S i gm a - A l d ri c h a s   a   s t a b i l i z e r   w a s   p r e pa r e d   i n   a   b e a ke r   f i l l e w i t h   D w a t e r .   T h e   s o l ut i o w a s   s o n i c a t e us i ng  t h e   u l t ra s o n i c   b a t f o r   30  m i n u t e s .   N e xt ,   t h e   s o l ut i o n   w a s   s t i rr e f o r   45  m i n u t e s   a t   a   c o n s t a nt   s pe e o f   300  r pm   i a m b i e nt .   T h e   s o l ut i o n   t h e w a s   po ur e i n t o   t h e   S c h o t t   b o t t l e s ,   w h e r e   t h e   N i O   s e e d - c o a t e gl a s s   s ub s t r a t e s   w e r e   l oc a t e d   a t   t h e   b o t t o m .   A f t e r w a r ds ,   t h e   b o t t l e s   w e r e   i m m e r s e d   i a   w a t e b a t h   i n s t r u m e n t   f o r   2   h o ur s   a t   a   t e m pe r a t u r e   o f   95  .   A f t e r   t h e   i m m e r s i o p r o c e s s ,     t h e   de pos i t e N i O   n a n o s h e e t   f i l m   s a m p l e s   w e r e   t a ke n   o ut   f r o m   t h e   b o t t l e s   a n ri n s e w i t h   D w a t e r .     T h e   f i l m s   w e r e   f ur t h e r   b l ow n   w i t h   n i t r o ge n   ga s   fo r   dr y i n g .   T h e n,   t h e   s a m p l e s   w e r e   pr e - b a ke fo r   15  m i n u t e s   i n   a   f urna c e   a t   15   f o l l o w e by   t h e   a nn e a l i ng  p r o c e s s   a t   d i f f e r e n t   t e m pe ra t u r e s   o f   300  o a n 500    w i t h i 1   h o u r   f o r   e a c h   s a m p l e .   T h e   a s - de po s i t e s a m pl e   ( n o n - a nn e a l e d)   w a s   a l s o   pr e p a r e d   f o r   r e f e r e n c e .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   18 ,   N o .   1 A p r i l   20 20  :     2 8 4   -   2 9 2   286   T h e   N i O   n a n o s h e e t   f i l m s   t h e n   w e r e   c h a ra c t e ri z e d   us i n f i e l e m i s s i o n   s c a nn i ng  e l e c t r o n   m i c r o s c o p y   (F E S E M ,   J E O L   J S M - 7600F f o r   t h e   s u r f a c e   m o r p h o l o gi c a l   s t udi e s .   T h e   c r y s t a l l i ni t y   w a s   i n v e s t i ga t e us i n g   X - ra y   di ff r a c t i o n   (X R D ,   P A N a l y t i c a l   X ’P e r t   P R O ).   T h e   o pt i c a l   t r a n s m i t t a n c e s   of  t h e   gr o w n   N i O   n a n o s h e e t   f i l m s   w e r e   c h a ra c t e ri z e d   us i ng  u l t ra v i o l e t - v i s i b l e   ( U V v i s s pe c t r o ph o t o m e t e r   (J a s c o / V - 670  E X ).     T h e   h u m i d i t y   s e n s o r   m e a s u r e m e n t s   o t h e   de v i c e s   w e r e   pe r f o r m e us i n a   s e n s o r   m e a s u r e m e n t   s y s t e m   ( K e i t h l e y   2400)  a n d   h u m i d i t y   c h a m b e (E S P E C - S H 261).   F o r   h u m i d i t y   s e n s o r   m e a s u r e m e nt ,   pl a t i n um   (P t )   c o n t a c t s   w e r e   de pos i t e d   o n   t o of   t h e   n a n o s h e e t   f i l m s   by   us i n t h e rm a l   e v a po r a t i o n   s y s t e m   ( U l v a c   V P C   1100)  w i t t h e   t hi c kn e s s   o f   t h e   m e t a l   c o n t a c t   w a s   f i xe a t   60  nm .       3.   R ES U LTS   A N D   A N A L Y S I S   3. 1 .       X - R a D i ffr a c ti o n   P att e r n s   o N i O - N i (O H ) N an o s h e e t   F i l m s   T h e   X R D   pa t t e rn s   o f   N i O   na n o s h e e t   f i l m s   a t   di f f e r e n t   a nn e a l i n g   t e m pe r a t u r e s   i t h e   2 θ  ra n ge s   of  20˚  t o   80˚  a r e   s h o w n   i n   F i gu r e   1 (a ) .   T h e   m e a s u r e m e n t   w a s   c o n duc t e t o   c o n f i rm   t ha t   e a c h   s a m p l e   c o n s i s t e of   c r y s t a l l i n e   N i O   du ri n t h e   i m m e r s i o n   a n a nn e a l i n p r o c e s s e s .   T h e   X R D   pa t t e rn s   i ndi c a t e   t ha t   300  ℃  a n d   500  - a nn e a l e s a m p l e s   di s pl a y   p o l y c r y s t a l l i n e   s t r uc t u r e s ,   w h i c h   c a n   b e   i n de x ed   t o   t h e   c u b i c   t y pe   of  β - N i O   (J CP D S   N O . 47 - 1049 ).   F r o m   t h e   di f f r a c t i o n   p a t t e rn s ,   i t   c a n   b e   c l e a r l y   ob s e r v e d   t ha t   t h e   i nt e n s i t y   o f   t h e   X R D   pe a ks   i n c r e a s e   w h e n   t h e   f i l m s   w e r e   a nn e a l e a t   h i g t e m pe ra t u r e .   F o ur  di f f r a c t i o n   pe a ks   w e r e   r e c o r de d   i t h e   X R D   s pe c t r u m   o f   t h e   N i O   na n o s h e e t   f i l m   a nn e a l e a t   5 00  ℃.   T h e s e   pe a ks   w e r e   i nde xe d   t o   t h e   (111) ,   (20 0),   (220),   a n (222)  c r y s t a l   pl a n e s   of   a ppr o xi m a t e l y   a t   36. ,   4 2. ,   62. 3 ˚  a n 78 . ,   r e s pe c t i v e l y .   T h e   pe a ks   o 500  - a nn e a l e N i O   c a b e   s e e n   n a rr o w e r   t h a 300  - a nne a l e s a m p l e ,   w h i c h   i n di c a t e s   t h a t   t hi s   n a n o s h e e t   f i l m   h a s   t h e   b e s t   c r y s t a l l i n e   qua l i t y .   T h e   300  - a nn e a l e N i O   s h o w s   b r o a de r   d i f f r a c t i o n   pe a ks   t ha n   500  - a nn e a l e N i O .   T h e s e   pe a ks   w e r e   i n de xe d   t o   t hr e e   di f f r a c t i o n   pe a ks   w h i c h   a r e   (111) ,   (200) ,   a nd  (220 o r i e nt a t i o n s   a t   36. 7˚,   43 .   a n d   62 . ,   r e s pe c t i v e l y .           (a )     (b )     F i gu r e   1 .   ( a )   X R D   pa t t e rn s   o f   t h e   a s - de po s i t e d,   300℃ - a nn e a l e a n d   500   - a nn e a l e N i O .   (b T h e   di f f r a c t i o pa t t e rn  o f   a s - de po s i t e N i (O H ) 2       M e a n w hi l e ,   t h e   di f f r a c t i o n   pe a ks   f o r   t h e   a s - de po s i t e s a m pl e   di s pl a y s   w e a ke r   i nt e n s i t y   a s   c o m pa r e w i t h   30 ℃  a n 50 - a nn e a l e s a m p l e s ,   w h e r e   w e   c a n   s e e   t h e   pe a o f   N i O   ha s   n o t   y e t   e xi s t e d.     T h i s   s i t ua t i o n   r e v e a l e t ha t   t h e   c r y s t a l l i ni t y   of   a s - de pos i t e na n o s h e e t   f i l m   i s   po o r   a n t h e   f o r m a t i o n   o f   N i O   s t ruc t u r e   i s   s t i l l   i n c o m pl e t e .   H ow e ve r ,   t h e r e   a r e   t w o   s m a l l   d i f f r a c t i o n   pe a ks   o f   N i (O H ) fo r   t h e   a s - de po s i t e d   f i l m   a s   s h o w n   i n   F i g u r e   1 (b ).   T h e s e   pe a ks   w e r e   i n de xe t o   t h e   (100) ,   a n (1 10)  pl a n e s   of   h e xa go na l     β - N i (O H ) 2   (J CP D S   14 - 0117)  c o r r e s po n t o   3 3. 1˚,   a n 59 . ,   r e s pe c t i v e l y .   A s   m e n t i o n e by   Z h a o   e t   a l .   [21] β - N i (O H ) w a s   r e c o gn i z e a s   i s o s t ruc t u r a l   w i t h   b r uc i t e   a n c o n s i s t s   of   c l o s e l y   s t a c ke 2D   N i (O H ) 2   In   c o n c l us i o n,   n o   pe a ks   a s s o c i a t e w i t h   β - N i (O H ) w e r e   o bs e r v e d   fo r   300  ℃  a n 50 - a nn e a l e s a m p l e s   s h o w i n t h a t   β - N i (O H ) w a s   c o m pl e t e l y   c o n v e r t e t o   N i O   i n   t h e s e   t e m pe ra t u r e s .   M o r e o ve r ,   t h e   d i f f r a c t i o pe a ks   o f   N i O   c r y s t a l s   b e c o m e   s t r o nge r   a n na rr o w e r   w i t h   i n c r e a s i n g   a nn e a l i ng  t e m pe ra t u r e ,   i n d i c a t i n t h a t   t h e   de g r e e   o f   N i O   c r y s t a l l i n i t y   [21] .     3. 2 .       S u r fac e   M o r p h o l o gi c al   C h a r a c te r i z ati o n   T h e   s ur f a c e   m o r p h o l o g y   i m a ge s   of   N i O   n a n o s h e e t   f i l m s   a t   di f fe r e n t   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e s   w e r e   c h a ra c t e ri z e d   us i ng  F E S E M .   T h e   i m a ge s   a s   s h o w n   i n   F i gu re   2   w e r e   a rra n ge d   a c c o r di n t o   t h e   s e que n c e   of    20 30 40 50 60 70 80     Int ensity  (a.u.) 2   ( )   a s -depo s i ted   300  C     500  C   20 30 40 50 60 70   -N i(OH) 2   at a s-deposite d   ( JCPD S   14- 0117 ) 2   ( )   Int ensity  (a.u.)     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Inf l u e n c e   of   ann e al i ng   t e m pe r a t ur e   on   t h e   s e ns i t i v i t y   o f   ni c k e l   o x i d e   nanos h e e t   f i l m s   i n…   ( N.   P ar i m on )   287   t h e i r   a nn e a l i ng  t e m pe r a t u r e   w h i c h   is   (a a s - de po s i t e d,   (b 300  ℃,   a nd  (c 500  ℃  a t   a   m a g ni f i c a t i o n   of  50, 000 × .   T h e   gr o w t h   o N i O   n a n o s h e e t   f i l m s   i s   h e a v i l y   i n f l ue n c e d   by   t h e   N i O   s e e d   l a y e r   a c t i n a s   a   s e e de d   c a t a l y s t .   It   c a n   b e   o bs e r v e d   t h a t   t h e   2D   N i O   na n o s h e e t   f i l m s   uni f o r m l y   gr e w   a n e x h i b i t e a l m o s t   t h e   s a m e   m o r p h o l o g y   o n   t h e   N i O   s e e d - c o a t e gl a s s   s ub s t r a t e s   fo r   a l l   s a m pl e s .   It   i s   a l s o   n o t e d   t h a t   a   l a rge   po r o us   n e t w o r a s s e m b l e by   pl e n t y   of   t w o - di m e n s i o na l   pl a i c ur v i n N i [3]   s p r e a ds   o v e r   t h e   c o a t i ng  l a y e r s .     In  a dd i t i o n ,   t h e   po r o us   c h a nn e l   s t r uc t u r e   w a s   gr o w n   e v e n   f o r   t h e   n o n - a nn e a l e f i l m   a l t h o ug h   t h e   i m a ge   o f   t h e   pe t a l s   i s   n o t   s o   s ha r a n d   c l e a r   a s   c a b e   o b s e r v e i F i gu r e   2 (a ) .     H ow e ve r ,   w h e n   t h e   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e   w a s   a ppl i e d   a t   5 00  ℃,   t h e   n a n o s h e e t   e xh i b i t s   a   h o l l o w   s t ruc t u r e   w i t h   t h e   p r e s e n c e   o t i n y   b l a c s po t s   o n   t h e   n a n o s h e e t   s ur f a c e   a s   r e po r t e by   M a m a t   e t   a l .   [20] T h e y   m e n t i o n e t h a t   t h e   b l a c s po t   w i t h   h i g h   de n s i t y   r e pr e s e n t s   s m a l l   v o i a n o r i g i na t e f r o m   t h e   e v a po r a t i o o f   O H   gr o up  a n i m pu r i t i e s   a t   a   hi g t e m pe ra t u r e .   I n   a dd i t i o n ,   t h e   s t r uc t u r e   o f   500  - a nn e a l e b e c o m e s   s pl i t   a n c o n g l o m e ra t i ng,   w h i c h   i n di c a t e s   t ha t   a   s e ri o us   a gg r e ga t i o p h e n o m e n o o c c ur s   du r i n g   t h e   hi g h e r   a nn e a l i ng  t e m pe ra t u r e ,   r e s ul t i ng  i n   a   s l i g h t l y   c h a nge i n   t h e   s u r f a c e   a r e a   [21] .   T h e r e f o r e ,   t h e   s u r f a c e   a r e a   o f   t h e   n a n o s h e e t s   i s   e xpe c t e t o   pr o v i de   m o r e   a ds o r p t i o n   o f   w a t e r   m o l e c ul e s   w h e n   e xpo s e t o   h u m i d i t y   s e n s i n a c t i v i t y .   A c c o r di n t o   c l a r i f i c a t i o n   f r o m   K e nn e dy   e t   a l .   [13] ,   t h e   e nha n c e m e n t   o f   s e n s i n p r o pe r t i e s   s t r o n gl y   de pe n ds   o n   t h e   s u r f a c e   pr o pe rt i e s   w h i c w o r ks   o n   t h e   p ri n c i p l e   o f   c h e m i c a l   a n p h y s i c a l   a ds o r pt i o of   w a t e r   o n   t h e   s ur f a c e .   F o r   t hi s   r e a s o n,   di f f e r e n t   a nn e a l i ng  t e m pe r a t u r e   pl a y s   a n   i m po rt a nt   r o l e   i de t e r m i n i ng  t h e   m o rp h o l o g y   a n s t r uc t u ra l   p r o pe rt i e s   of   N i O   na n o s h e e t   f i l m s   t h us   de t e r m i n i ng  di f f e r e n t   pe r f o r m a n c e   a ga i n s t   h u m i d i t y   s e n s o r s .   F urt h e r ,   a n   e xpl a n a t i o n   o f   c h e m i c a l   r e a c t i o n s   fo r   t h e   fo r m a t i o n   o f   N i O   na n o s h e e t   f i l m s   c a b e   fo l l ow e d   i o ur  p r e v i o us   w o r [3]               F i gu r e   2 .   T h e   s u r f a c e   m o r p h o l o gi e s   o f   (a a s - de po s i t e d,   (b 3 00  ,   a n d   (c 5 00  - a nn e a l e N i O   na n o s h e e t   f i l m s   a t   a   50, 0000 ×   m a g n i f i c a t i o n       3. 3 .       O p ti c al   T r an s m i ttan c e ,   A b s o r p ti o n   C o e ffi c i e n t,   an d   En e r gy   B an d   G ap   T h e   t r a n s m i t t a n c e   m e a s u r e m e nt   o f   N i O   n a n o s h e e t   f i l m s   a s   a   f un c t i o n   o f   a nn e a l i ng  t e m pe ra t u r e   w e r e   c a rri e o ut   i n   t h e   w a v e l e n gt h   ra n ge s   b e t w e e n   300   n m   t o   800   n m   a s   s h o w n   i n   F i gu r e   3 ( a ).   T h e   t ra n s m i t t a n c e s   i n   t h e   v i s i b l e   r e gi o n   (40   800  nm w e r e   e s t i m a t e t o   b e   a ppr o xi m a t e l y   38%,   14%,   a n 45 f o r   a s - de p o s i t e d,   300  ,   a n 500  - a nn e a l e N i O   n a n o s h e e t   f i l m s ,   r e s pe c t i v e l y .   T h e s e   r e s ul t s   s h o w   t ha t   a l l   t h e   t r a n s m i t t a n c e   pe r c e nt a ge s   a r e   l e s s   t ha n   50% .   T h e   l o w e s t   t r a n s m i t t a n c e   pe r c e nt a ge   w a s   i de n t i f i e d   a t   300  - a nn e a l e f i l m .   It   c a n   b e   s ugge s t e t h a t   t h e   t ra n s m i t t a n c e   pe r c e n t a ge s   a n t h e   pr o pe rt i e s   of   N i O   n a n o s h e e t   f i l m s   a r e   c h a ngi n g   a c c o r di n g   t o   t h e   a nn e a l i n t e m pe r a t u r e T hi s   c o n di t i o m a y   b e   due   t o   t h e   v a ri a t i o o f   N i O   na n o s h e e t   f i l m   t hi c k n e s s   w h e n   a nn e a l e a t   di f f e r e n t   t e m pe ra t u r e s .   G e n e r a l l y ,   l ow   t r a n s m i t t a n c e   pe r c e n t a ge   i s   due   t o   t h e   hi g h   t h i c k n e s s   o f   t h e   n a n o s h e e t   f i l m   a s   m e n t i o n e d   by   M a l l i ga   e t   a l .   [22] I n   a dd i t i o n ,   t h e   v a r i a t i o n   of   f i l m   c o l o ur s   a l s o   r e s ul t i ng  i n   t h e   v a r i a t i o n   o f   t r a n s m i t t a n c e   pe r c e n t a ge s .   F o r   300  - a nn e a l e s a m p l e   t h e   f i l m   c o l o ur   i s   b l a c ki s h   a n s l i g ht l y   da r ke r   c o m pa re t t h e   o t h e r   na n o s h e e t   f i l m s   c a us i n t h e   t r a n s m i t t a n c e   pe r c e nt a ge   t o   b e   t h e   l o w e s t .   T h e   a b s o r pt i o n   c o e ff i c i e n t s   s pe c t r a   o f   N i O   n a n o s h e e t   f i l m s   pr o duc e a t   v a ri o us   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e s   a r e   p r e s e n t e i n   F i gu r e   3 (b ).   T h e   s pe c t r a   r e v e a l   t h a t   t h e   3 00  - a nn e a l e d   N i O   e x h i b i t s   t h e   hi g h e s t   U V   a b s o r pt i o n   p r o pe r t i e s   a t   w a v e l e n gt h   b e l o w   t h a 3 40  nm ,   w h i l e   a s - de po s i t e d   s h o w i n g   t h e   l o w e s t .   T o   de t e r m i n e   t h e   o pt i c a l   b a n dga ( E g of   N i O   n a n o s h e e t   f i l m s ,   t h e   T a uc ’s   pl o t   w a s   c o n s t r uc t e a nd  pr e s e nt e i F i g u r e   4.   T h e   E g   w e r e   de t e r m i n e d   f r o m   t h e   e xt ra po l a t e l i n e a l i n e   o f   t h e   g r a p o f   ( αhν ) 2   v e r s us   ph o t o e n e r gy   w i t h   e s t i m a t e v a l ue   a r e   3. 3 9,   3. 6 2,   a n d   3 . 53  e V   f o r   a s - de po s i t e d,   300   ℃,   a nd  50 - a nn e a l e d ,   r e s pe c t i v e l y .   It   s h ow s   t h a t   t h e   a nn e a l i n t e m pe ra t ur e   a f f e c t s   s t r o n gl y   o n   t h e   b a n dga e n e rgi e s   a s   m e nt i o n e by   Y a z da ni   e t   a l .   [23 ] .   F r o m   t h e   r e s ul t s ,   t h e   a s - de po s i t e a n 500  - a nn e a l e s a m pl e s   a r e   s l i g h t l y   m i s s e f r o m   t h e   e s t i m a t e v a l ue   t h a t   r e po r t e w h i c h   i s   w i t hi n   3 . t o   4. e V .   H ow e v e r ,   s o m e   r e po r t e t h a t   t h e   ( c )   500   o Ϲ   ( b )   300   o Ϲ   ( a)   a s - d e p os it e d   P o r ou s   c h an n e l   s t r u c tu r e   Ti n b l ac k   s p o ts   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   18 ,   N o .   1 A p r i l   20 20  :     2 8 4   -   2 9 2   288   N i O   b a n g a w a s   b e t w e e n   3 . a n 3. 8   [21] .   F o r   t h e   c a s e   o f   500  - a nn e a l e s a m p l e ,   t hi s   r e s ul t   m a y   be   c a us e by   t h e   i n c r e a s e   o f   l a t t i c e   di s o r de a n d   de f e c t   s t a t e s   upo n   t h e   a pp l i c a t i o n   o f   hi g h   a nn e a l i n g   t e m pe ra t u r e .   F o r   t h e   a s - de po s i t e s a m pl e ,   t h e   l o w e s t   E g   va l ue   m a y   b e   du e   t t h e   t h i c k n e s s   of   t h e   f i l m ,     w h i c h   i s   a b o ut   882  n m   a n s m a l l e r   c o m pa r e t o   o t h e r   s a m p l e s .   T h e   t h i c k n e s s e s   of   o t h e r   s a m pl e s   a r e   a pp r o xi m a t e l y   751  nm   a n 7 87  n m   f o r   300  ℃  a n 5 00  - a nn e a l e d,   r e s pe c t i v e l y .   T h e   w i dt h   o f   t h e   E of   t h e   f i l m s   c a b e   de t e r m i n e f r o m   t h e   f o l l o w i n (1)   [2 0,   24] :     ( ) 2 = ( )   (1)     w h e r e   E g ,   α,   A ,   a n h ν   i s   t h e   o pt i c a l   b a n dg a p ,   a b s o r pt i o n   c o e f f i c i e n t ,   c o n s t a n t ,   a n p h o t o e n e r gy ,   r e s pe c t i v e l y .         (a )     (b )     F i gu r e   3 .   T h e   ( a t r a n s m i t t a n c e   s pe c t ra ,   a nd  (b a b s o r pt i o c o e ff i c i e n t   o f   t h e   na n o s h e e t   f i l m s       3.0 3.2 3.4 3.6 3.8 4.0 4.2 4.4 0 2 4 6 8  (a ) a s- d e p o si ted  (b ) 3 0 0   C  (c ) 5 0 0   C E g 3 .39  e V E g 3 .62  e V E g 3 .53  e V     P hot o n Energy  (eV ) hv ) 2 ( 10 14 eV 2 m -2 )     F i gu r e   4 .   T h e   T a uc ’s   p l o t   f o r   o pt i c a l   b a n dg a p   e s t i m a t i o o f   N i O   na n o s h e e t   f i l m s       3. 4 .       H u m i d i ty  S e n s i n g   P e r fo r m an c e   F i gu r e   5 (a r e p r e s e nt s   t h e   c h a n ge s   i t h e   c u rr e n t   s i g na l   o f   N i O   n a n o s h e e t   f i l m s - b a s e h u m i di t y   s e n s o r s   a t   di f f e r e n t   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e s .   T h e   c o n duc t e ra n ge s   o f   t h e   h u m i d i t y   s e n s i n g   m e a s u r e m e n t   a r e   b e t w e e n   40%R H   t 90%RH .   D ur i n t h e   m e a s u r e m e nt ,   t he   a m b i e n t   t e m pe r a t u r e   w a s   s e t   t o   25  ℃,   a n a   vo l t a ge   s o ur c e   of   V   w a s   a ppl i e d   a c r o s s   t h e   e l e c t r o de s .   B a s e o n   t h e   r e s ul t s ,   i t   c a b e   obs e r v e d   t h a t   a l l   na n o s h e e t   f i l m s   p r o duc e   goo c ur r e n t   r e s po n s e s   w i t e xpo n e n t   c u r v e   t o   t h e   i n c r e a s e h u m i di t y .     T h e   m e a s u r e m e nt   r e s ul t s   s h o w   a   s t a b l e   c urr e n t   v a l ue   a t   4 0% RH .   W h e n   t h e   h u m i d i t y   i s   i n c r e a s e d   t o   90%R H ,   t h e   c urr e nt   i n c r e a s e s   ra pi d l y .   M e a n w h i l e ,   t h e   c urr e nt   v a l ue   de c r e a s e s   a s   t h e   h u m i d i t y   l e v e l   a r e   r e duc e t 40%R H   a ga i n.   F r o m   t h e   hum i di t y   s e n s i n g   p l o t ,   t h e   s e n s i t i v i t y ,   S   w a s   c a l c ul a t e d   by   (2):     =   (2)     300 400 500 600 700 800 0 10 20 30 40 50 60 70 80     (c) (b ) Wa v e leng th  (n m ) Tr a ns mit tan c e  (%)  (a ) a s- d e p o si ted  (b ) 3 0 0   C  (c ) 5 0 0   C (a )   300 400 500 600 700 800 1 2 3 4 5 6 7 (b ) (a ) (c)  (a ) a s- d e p o si ted  (b ) 3 0 0   C  (c ) 5 0 0   C   Ab s o r ption  C o e ff icie nt  ( 10 6 m -1 ) Wa v e leng th  (n m ) Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Inf l u e n c e   of   ann e al i ng   t e m pe r a t ur e   on   t h e   s e ns i t i v i t y   o f   ni c k e l   o x i d e   nanos h e e t   f i l m s   i n…   ( N.   P ar i m on )   289   w h e r e   I max   a n d   I m i n   a r e   t h e   c u rr e n t   v a l ue s   a t   90 %R H   a n 40 %RH ,   r e s pe c t i v e l y .   T h e   v a l ue   o f   t h e   s e n s i t i v i t y   a t   di f fe r e nt   a nn e a l i n t e m pe r a t u r e s   i s   pr e s e nt e d   i n   T a b l e   1.   T h e   r e s ul t s   r e v e a l e t h a t   t h e   N i O   n a n o s h e e t   f i l m   w h i c a nn e a l e a t   5 00  ℃  s h o w   t h e   h i g h e s t   s e n s i t i v i t y   of   257.   H ow e v e r ,   t h e   a s - de po s i t e n a n o s h e e t   f i l m   s h o w s   t h e   l ow e s t   s e n s i t i v i t y   a t   154,   w h i l e   t h e   a nn e a l e f i l m   a t   300  ℃  s h o w s   t h e   s e n s i t i v i t y   of   195.     T h e   hi g h e s t   s e n s i t i v i t y   pr o duc e by   500  - a nn e a l e N i O   m a y   b e   c a us e d   by   a   h o l l ow   s t r uc t u r e   w i t h   h i g h l y   po r o us   a s   w e l l   a s   v o i de n s i t y   o n   t h e   na n o s h e e t   s u r f a c e .   T h e   po r o us   s ur f a c e   o f   N i O   pl a y s   a n   i m po r t a n t   r o l e   i e nh a n c e t h e   hum i di t y   r e s po n s e .   B e s i de s ,   s pe c i f i c   s ur f a c e   a r e a   i n   500  - a nn e a l e na n o s h e e t   f i l m   w o ul be   m o r e   s e n s i t i v e   t ha n   o t h e r s .   I n   a d di t i o n ,   t h e   hi g h   s e n s i t i v i t y   of  500  - a nn e a l e s a m pl e   c a n   b e   a t t r i b ut e t o   t h e   ra n do m   d i s t r i b ut i o n   i n   t h e   na n o s h e e t   s i z e ,   h i g h   h e t e r o ge n e i t y   a n d   s pe c i f i c   s ur f a c e   a r e a   a v a i l a b l e   f o r   a ds o r pt i o n   o f   w a t e r   v a po ur G e n e ra l l y ,   t h e   h u m i di t y   s e n s i n m e c h a ni s m   b a s e o n   N i O   m a t e r i a l   c a n   b e   fo l l ow e d   t hr o ug h   t h e   de s c r i pt i o n   by   M a m a t   e t   a l .   [20] .   T h e y   m e n t i o n e t h a t   t h e   qua n t i t y   of   w a t e r   m o l e c ul e s   a v a i l a b l e   i s   v e r y   s m a l l   a t   a   l o w   h u m i d i t y   l e ve l   of   40%RH .   A t   f i r s t ,   t h e   w a t e m o l e c ul e s   a r e   a ds o r b e o n   t h e   na n o s h e e t   s u r f a c e   t o   fo r m   t h e   c h e m i s o r b e l a y e r .   T h e s e   w a t e r   m o l e c ul e s   fo r m e t h e   c h e m i s o r b e m o n o l a y e r   o n   t h e   n a n o s h e e t   s u r f a c e   by   e l e c t r o s t a t i c a l l y   a t t a c h e s   b e t w e e N i 2+   a nd  O H -   a s   de s c r i b e i n   (3) .       Ni 2+   +   H 2 O     N i   -   O H   +   H +   (3)     T h e   r e a c t i o n   l e a v e s   H +   i o n s ,   w hi c j um p   f r o m   o n e   s i t e   t o   a n o t h e r   t o   c o n t r i b ut e   t o   t h e   f l o w   of  e l e c t r i c i t y .   A t   t h i s   s t a ge ,   t h e   v a l ue   o f   t h e   c u rr e n t   o f   t h e   s e n s o i n c r e a s e s   due   t o   p r o t o ni c   c o n duc t i o n.   W h e t h e   h u m i di t y   l e v e l   i n c r e a s e s ,   m o r e   w a t e r   m o l e c ul e s   a r e   a ds o r b e o n   t h e   na n o s h e e t   s u r f a c e .   T h e   a ds o r b e w a t e r   m o l e c ul e s   c a n   fo r m   h y dr o ge n   b o n ds   b e t w e e n   t h e m   t ha t   i s   b e t w e e n   t h e   c h e m i s o r b e O H -   l a y e r   a n o x y ge n   a t o m   O   o f   w a t e r   m o l e c ul e s .   T h e r e f o r e ,   t h e   ph y s i s o r b e w a t e r   l a y e r   i s   f o r m e d   o n   t o of   c h e m i s o r b e w a t e m o n o l a y e r .   T h e   t hi c k n e s s   of   t h e   ph y s i s o r b e w a t e r   l a y e r   c ha n ge s   de pe n di ng  o n   t h e   hum i di t y   l e ve l   of   RH .     In  ge n e ra l ,   i f   t h e   R H   l e v e l   i s   i n c r e a s e d ,   t h e   t hi c k n e s s   of   t h e   ph y s i s o r be w a t e r   l a y e r   i n c r e a s e .   T hus ,   m o r e   H +   i o n s   a r e   p r o duc e du r i ng  t h e   p r o t o ni c   c o n duc t i o n   a t   h i g R H   l e v e l s   t o   c o n t r i b ut e   h i g h   c u rr e n t   s i g na l s .   T o   c o n f i r m   t h e   s t a b i l i t y   a n t e s t   t h e   r e pe a t a b i l i t y   be h a v i o ur   of   t h e   h u m i di t y   s e n s o r ,   t h e   r e s po n s e   o 500  - a nn e a l e d   w a s   m e a s u r e f o r   f i v e   c y c l e s   a s   s h ow n   i F i gu r e   5 (b ).   T h e   i de nt i c a l   c ur v e s   of   f i v e   c y c l e s   w e r e   o b s e r v e n e a rl y   t h e   s a m e   i ndi c a t i n g   t ha t   t h e   s a m pl e   o f   500  - a nn e a l e d   w a s   v e r y   s t a b l e   [25] .   T h e   r e s po n s e ,   T r   a n r e c o ve r y ,   T c   t i m e   w e r e   c a l c ul a t e f r o m   t h e   hum i di t y   s e n s i n r e s po n s e   pl o t s .   T h e s e   T r   a n T c   v a l ue s   a l s o   a r e   r e c o r de i n   T a b l e   1.   A s   s t a t e d ,   t h e   a s - de po s i t e f i l m   e x h i b i t s   t h e   f a s t e s t   r e s po n s e   t i m e   w i t h   367  s ,   w h i l e   t h e   500  - a nn e a l e f i l m   s how s   t h e   f a s t e s t   r e c ov e r y   t i m e   w i t h   167  s   t o w a r ds   h u m i di t y .   T hi s   r e s po n s e   a n d   r e c ov e r y   t i m e   r e s ul t s   m a y   b e   c a us e by   i t s   s pe c i f i c   s ur f a c e   a r e a   i a s - de po s i t e d,   300  ,   a n 50 - a nn e a l e f i l m s   l e a t o   a   s pe c i f i c   pe r i o o f   a ds o r pt i o ( r e s po n s e a n d   d e s o r pt i o n   (r e c o ve r y w h i c i s   w i t h i 40%R H   t o   90%R H . `       0 200 400 600 800 1000 1200 0 10 20 30 40 50 9 0 % RH 4 0 % RH 4 0 % RH (a)  a s -de p o s it e d (b)  3 0 0   C (c 5 0 0   C C urrent  (nA ) Tim (s)   (a)  a s -de p o s it e d   (b)  3 0 0   C   (c 5 0 0   C   (a )   0 1000 2000 3000 4000 5000 0 10 20 30 40 50 60 70 80 90 % RH 90 % RH 90 % RH 90 % RH 90 % RH 40 % RH 40 % RH 40 % RH 40 % RH 40 % RH   NiO a 5 0 0   C-a n n e a le d     Tim e  (s ) Cu rr ent (n A)   (b )     F i gu r e   5 .   ( a )   H um i di t y   r e s po n s e s   a t   di f f e r e n t   a nn e a l i ng  t e m p e r a t u r e s ,   a n d   (b r e pe a t a b i l i t y   b e h a v i o ur   o f   N i O - b a s e h u m i d i t y   s e n s o r   a t   a nn e a l i ng  t e m pe r a t u r e   o f   500        T a b l e   1 .   H um i d i t y   S e n s i n g   P r o pe r t i e s   o f   N i O   a t   D i f f e r e n t   A n n e a l i n g   T e m pe ra t u r e s   S a m p l e s   T r   ( s )   T c   ( s )   S   as - d e p o s i t e d   367   174   154   3 0 0     401   180   195   5 0 0     403   167   257   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   18 ,   N o .   1 A p r i l   20 20  :     2 8 4   -   2 9 2   290   4.   C O N C LU S I O N   In   s u m m a r y ,   t h e   2D   N i O   na n o s h e e t   f i l m s   w e r e   s uc c e s s f ul l y   s y n t h e s i z e d   us i n a   f a c i l e   s o n i c a t e s o l - ge l   i m m e r s i o m e t h o a t   t hr e e   di f f e r e n t   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e s .   T h e r e   w e r e   s i g n i f i c a nt   c h a n ge s   i n   f i l m s   upo n   a nn e a l i ng.   T h e   X R D   pa t t e rn s   s h o w   t ha t   N i O   na n o s h e e t   f i l m s   a t   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e   o f   300  ℃  a n 500  ℃  ha v e   a   pur e   po l y c r y s t a l l i n e   s t ruc t u r e ,   w h i l e   t h e   a s - de po s i t e r e v e a l e t h a t   t h e   d i f f r a c t i o n   pe a a s   N i (O H ) 2 .   T h e   F E S E M   i m a ge s   o b s e r v a t i o n   c o n f i r m s   t h a t   a l l   n a n o s h e e t   f i l m s   e x hi b i t e a   h i g hl y   po r o us   na n o s t ruc t u r e .   T h e   N i O   na n o s h e e t   f i l m   a nn e a l e a t   50 0   ℃  ha s   t h e   hi g h e s t   t ra n s m i t t a n c e   pe r c e n t a ge .   Co n s e que n t l y ,   i t s   a b s o r pt i o n   c oe f f i c i e n t   e xpe ri e n c e a   r e du c t i o n .   T h e   di f f e r e n t   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e s   a l s o   c a us e t h e   b a n dga e n e r gy   c h a nge s .   T h e   e ff e c t s   of   a nn e a l i n t e m pe ra t u r e   t o   hum i di t y   s e n s i n p r o pe rt i e s   w e r e   i n v e s t i ga t e d,   a n d   t h e i s e n s i t i v i t i e s   w e r e   c a l c ul a t e d .   F r o m   t h i s   s t udy ,   t h e   b e s t   s e n s i t i v i t y   h um i di t y   s e n s o r   pr o duc e by   t h e   s a m pl e   a nn e a l e a t   500  ℃  w i t h   a   v a l ue   o f   257,   w h i l e   t h e   a s - de po s i t e s a m pl e   s h o w s   t h e   f a s t e s t   r e s po n s e   a nd  r e c o ve r y   t i m e .         A C K N O WL ED G E M EN TS   T h i s   w o r i s   f i n a n c i a l l y   s uppo r t e d   by   t h e   R E I   g r a nt   ( 600 - I R M I/ R E 5/ ( 017/ 2018)) .   T h e   w o r i s   a l s o   s uppo r t e d   by   t h e   A S E A N - I n di a   R e s e a r c h   &   T ra i ni ng  F e l l o w s h i (IM R C/ A IS T D F / R & D / P - 1/ 201 7)   T h e   a u t h o r s   w o ul l i ke   t o   t h a nk  M i ni s t r y   of   E duc a t i o n   M a l a y s i a   (H i gh e r   E duc a t i o n )   a n d   F a c ul t y   of   E l e c t ri c a l   E n gi n e e r i n g ,   U i T M   S ha h   A l a m   f o r   t h e i c o n t r i b ut i o n   o f   t h i s   r e s e a r c h.       R EF ER EN C ES   [ 1]   A .   K um a r ,   M .   K um a r ,   R .   K um a r ,   R .   S i ng h ,   B .   P r a s a d,   a nd   D .   K um a r ,   " N um e r i c a l   m o de l   f or   t he   c he m i c a l   ads o r pt i o o f   o x y ge a nd  r e duc i ng  gas   m ol e c u l e s   i p r e s e nc e   of   hum i d i t y   o t he   s u r f a c e   of   s e m i c o ndu c t o r   m e t a l   ox i de   f o r   gas   s e ns or s   ap pl i c at i on s , "   M a t e r i a l s   S c i e nc e   i n   S e m i c o nduc t o r   P r o c e s s i ng v o l .   90 ,   pp .   2 36 - 244 ,   201 9.   [ 2]   A .   P .   D r a l   a n J .   E .   t e E l s ho f ,   " 2D   m e t a l   o xi d e   na no f l a ke s   f o r   s e ns i ng   a pp l i c a t i o ns :   R e v i e w   a nd  pe r s pe c t i v e , "   Se ns or s   an A c t uat or s   B :   C he m i c a l ,   v o l .   272 ,   pp.   3 69 - 392 ,   2018 .   [ 3]   N .   P a r i m o n,   M .   H .   M a m a t ,   M .   A .   R .   A bdul l a h ,   A .   S .   I s m a i l ,   W .   R .   W .   A hm a d,   I .   B .   S .   B a nu ,   a nd   M .   R u s o p,   " N a no c a r na t i o n - l i ke   N i c ke l   O x i de   T h i F i l m :   S t r uc t ur a l   a nd   O pt i c a l   P r o pe r t i e s , "   I n t e r na t i ona l   J our n al   of   E ngi ne e r i n &   T e c hno l og y ,   v o l .   7,   no .   4 . 18 ,   pp.   1 03 - 106 ,   2018 .   [ 4]   K .   W e t c ha k un,   T .   S a m e r j a i ,   N .   T a m a e ko ng ,   C .   L i e w h i r a n ,   C .   S i r i w o ng ,   V .   K r ue f u,   A .   W i s i t s o r a a t ,   A .   T ua n t r a no nt ,   a nd  S .   P ha ni c hph a nt ,   " S e m i c o nduc t i ng   M e t a l   O xi de s   a s   S e ns o r s   f o r   E nv i r o nm e nt a l l y   H a z a r do us   G a s e s , "   Se ns or s   and  A c t ua t or s   B :   C he m i c a l ,   v o l .   160 ,   no .   1 ,   pp .   580 - 591 ,   201 1.   [ 5]   C .   W a ng ,   L .   Y i n,   L .   Z h a ng ,   D .   X i a ng ,   a n R .   G a o ,   "   M e t a l   o xi d e   g a s   s e ns o r s :   s e ns i t i v i t y   a nd  i nf l ue nc i ng   f a c t o r s , "   Se ns or s ,   v o l .   10 ,   no .   3,   pp .   208 8 - 2106 ,   201 0.   [ 6]   M .   J .   L a w r e nc e ,   A .   K o l o dz i e j ,   a nd   P .   R o dr i g ue z ,   " C o nt r o l l a b l e   S y nt he s i s   o f   N a no s t r uc t ur e M e t a l   O x i de   a n d   O x y h y dr o xi de   M a t e r i a l s   v i a   E l e c t r o c he m i c a l   M e t ho ds , "   C ur r e nt   O p i ni on  i E l e c t r oc he m i s t r y ,   v o l .   10 ,     pp.   7 - 15 ,   2018 .   [ 7]   S .   A .   M a kh l o uf   a nd  K .   M .   S .   K ha l i l ,   " H um i d i t y   S e ns i ng   P r o pe r t i e s   of   N i O / A l 2 O 3   N a noc o m po s i t e   M a t e r i a l s , "   So l i d   St a t e   I o ni c s ,   v o l .   164 ,   no .   1 - 2,   pp .   97 - 106 ,   2003 .   [ 8]   V .   J e s e e n t h a r a n i ,   B .   J e y a r a j ,   J .   P r a g a s a m ,   A .   D a y a l a n,   a n K .   S .   N a g a r a j a ,   " H um i d i t y   S e ns i ng   P r o pe r t i e s   o f   C uO ,   Z nO   a nd  N i O   C o m po s i t e s , "   Se ns or s   &   T r ans d uc e r s   J our n al ,   v o l .   1 13,   no .   2,   p p.   48 - 55 ,   201 0.   [ 9]   P .   P a s c a r i u,   A .   A i r i n e i ,   N .   O l a r u ,   I .   P e t r i l a ,   V .   N i c a ,   L .   S a c a r e s c u,   a nd  F .   T u do r a c he ,   " M i c r o s t r uc t u r e ,   E l e c t r i c a l   a nd  H um i d i t y   S e ns o r   P r o pe r t i e s   o f   E l e c t r o s pun  N i O S nO 2   N a no f i be r s , "   Se ns or s   and  A c t ua t o r s   B :   C he m i c a l ,   v o l .   222,   p p.   10 24 - 1031 ,   201 6.   [ 10]   D .   L i ,   Y .   L i ,   F .   L i ,   J .   Z ha n g ,   X .   Z h u ,   S .   W e n,   a nd  S .   R ua n ,   " H um i d i t y   S e ns i ng   P r o pe r t i e s   o f   M o O 3 - N i O   N a no c o m po s i t e   M a t e r i a l s , "   C e r am i c s   I n t e r na t i ona l ,   v o l .   41,   no .   3 ,   pp.   43 48 - 4353 ,   201 5.   [ 11]   S .   K .   K ua n r ,   G .   V i no t hkum a r ,   a nd  K .   S .   B a bu ,   " S ubs t r a t e   T e m pe r a t u r e   D e pe nde nt   S t r uc t u r a l   O r i e n t a t i o o f   E B P V D   D e po s i t e N i O   F i l m s   a nd  i t s   I nf l ue nc e   o O pt i c a l ,   E l e c t r i c a l   P r o pe r t y , "   M at e r i al s   Sc i e nc e   i n   Se m i c ondu c t or   P r oc e s s i ng ,   v o l .   75 ,   pp .   2 6 - 30,   20 18 .   [ 12]   M .   R .   D a s ,   A .   M uk h e r j e e ,   a n P .   M i t ra ,   "   S t r uc t u r a l ,   o pt i c a l   a n a c   e l e c t r i c a l   c ha r a c t e r i z a t i o o f   C B D   s y nt he s i z e N i O   t h i f i l m s :   I n f l ue nc e   o f   t hi c kne s s , "   P hy s i c E :   L o w - di m e ns i on al   S y s t e m s   and  N an os t r u c t u r e s ,   v o l .   93,   pp .   243 - 25 1,   20 17.   [ 13]   L .   J o hn  K e nne dy ,   P .   M a g e s a n ,   J .   J u di t V i j a y a ,   M .   J .   U m a pa t hy ,   a nd  U .   A r ul do s s ,   " B i o m i ne r a l s   do pe na no c r y s t a l l i ne   n i c ke l   o xi d e   a s   e f f i c i e n t   h um i d i t y   s e ns o r :   A   g r e e n   a pp r o a c h, "   M a t e r i al s   Sc i e nc e   and   E ng i ne e r i ng   B :   S ol i d - S t at e   M a t e r i al s   f or   A d v an c e T e c hno l o gy ,   A r t i c l e   v o l .   1 90 ,   pp.   1 3 - 20,   20 14.   [ 14]   K .   O .   U ko ba ,   A .   C .   E l o ka - E bo ka ,   a n F .   L .   I na m ba o ,   " R e v i e w   o f   na no s t r uc t ur e N i O   t hi f i l m   d e po s i t i o u s i ng   t he   s pr a y   p y r o l y s i s   t e c hn i qu e , "   R e ne w abl e   and  Sus t a i nab l e   E ne r g y   R e v i e w s ,   v o l .   82 ,   pp .   2900 - 29 15 ,   2 018 .   [ 15]   M .   M .   G o m a a ,   G .   R .   Y a z di ,   S .   S c hm i dt ,   M .   B o s ht a ,   V .   K h r a no v s ky y ,   F .   E r i ks s o n,   B .   S .   F a r a g ,   M .   B .   S .   O s m a n ,   a nd  R .   Y a k i m o v a ,   " E f f e c t   o f   pr e c ur s o r   s o l u t i o ns   o t he   s t r uc t ur a l   a nd  o pt i c a l   pr o pe r t i e s   o f   s pr a y e N i O   t h i f i l m s , "   M a t e r i a l s   Sc i e nc e   i Se m i c on duc t o r   P r oc e s s i n g,   v o l .   6 4,   pp .   32 - 38 ,   2017 .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i     IS S N :   2502 - 4752       Inf l u e n c e   of   ann e al i ng   t e m pe r a t ur e   on   t h e   s e ns i t i v i t y   o f   ni c k e l   o x i d e   nanos h e e t   f i l m s   i n…   ( N.   P ar i m on )   291   [ 16]   P .   A .   S he e n a ,   K .   P .   P r i y a nka ,   N .   A .   S a b u,   B .   S a b u,   a nd  T .   V a r g h e s e ,   " E f f e c t   of   C a l c i na t i o T e m pe r a t ur e   o t he   S t r uc t ur a l   a nd  O pt i c a l   P r o pe r t i e s   o f   N i c ke l   O xi d e   N a no pa r t i c l e s , "   N anos y s t e m s :   P hy s i c s ,   C he m i s t r y ,   M at he m at i c s ,   v o l .   5,   no .   3,   p p.   44 1 - 449 ,   2 014 .   [ 17]   Z .   E l   kh a l i d i ,   B .   H a r t i t i ,   S .   F a d i l i ,   a nd  P .   T h e v e ni n,   " N i c ke l   O xi de   O pt i m i z a t i o u s i ng   T a g uc hi   D e s i g f o r   H y dr og e D e t e c t i o n , "   I nt e r n at i ona l   J o ur na l   of   H y dr o ge E ne r g y ,   v o l .   4 3,   no .   27 ,   pp.   1 2574 - 12 583 ,   2018 .   [ 18]   L .   G .   T e o a n K . - D .   L i ,   " S y nt he s i s   a nd  C h a r a c t e r i z a t i o o f   N i O   N a n o pa r t i c l e s   by   S o l - G e l   M e t ho d, "   M a t e r i a l s   T r ans ac t i ons ,   v o l .   53 ,   no .   12,   p p.   21 35 - 2140 ,   201 2.   [ 19]   L .   S .   N a i r ,   D .   C ha n dr a n,   V .   M .   A na nda k um a r ,   a nd  K .   R a j e ndr a   B a bu ,   " S t r uc t u r e   a nd  R o o m - t e m pe r a t u r e   F e r r o m a g ne t i s m   E v o l ut i o o f   S a nd  M n - do pe N i O   S y nt he s i z e d   by   a   S o l - g e l   P r o c e s s , "   C e r am i c s   I nt e r na t i ona l ,   v o l .   43,   no .   14 ,   pp .   1109 0 - 11096 ,   201 7.   [ 20]   M .   H .   M a m a t ,   N .   P a r i m o n,   M .   A .   R .   A bdu l l a h,   A .   S .   I s m a i l ,   M .   F .   M a l e k ,   W .   R .   W .   A hm a d,   A .   S .   Z o o l f a ka r ,   A .   B .   S ur i a n i ,   M .   K .   A hm a d ,   N .   N a y a n,   I .   B .   S .   B a nu ,   R .   A m i r udd i n ,   a nd   M .   R us o p,   " F a br i c a t i o o f   N i c ke l   O xi de   N a no w a l l   N e t w o r F i l m s   a t   D i f f e r e n t   A nne a l i ng   T e m pe r a t u r e s   f o r   H um i di t y   S e ns i ng   A ppl i c a t i o ns , "   I nt e r n at i on al   J our nal   o f   E ng i ne e r i ng   &   T e c hnol ogy ,   v o l .   7 ,   no .   4 . 1 8,   pp .   277 - 28 2 ,   2018 .   [ 21]   J .   Z h a o ,   H .   L i u,   a nd  Q .   Z ha ng ,   " P r e pa r a t i o o f   N i O   N a no f l a ke s   unde r   D i f f e r e n t   C a l c i na t i o T e m p e r a t u r e s   a nd   T he i r   S upe r c a pa c i t i v e   a nd   O p t i c a l   P r o pe r t i e s , "   A ppl i e Sur f ac e   Sc i e nc e ,   v o l .   392 ,   pp .   1097 - 11 06,   2 017 .   [ 22]   P .   M a l l i g a ,   J .   P a nd i a r a j a n ,   N .   P r i t hi v i kum a r a n ,   a nd  K .   N e y v a s a g a m ,   " I nf l ue nc e   o f   F i l m   T hi c kne s s   o S t r uc t u r a l   a nd   O pt i c a l   P r o pe r t i e s   o f   S o l - G e l   S pi C o a t e T i O 2   T h i F i l m , "   I O SR   J ou r na l   of   A pp l i e P hy s i c s ,   v o l .   6,   no .   1,     pp.   22 - 28 ,   201 4.   [ 23]   A .   Y a z da ni ,   H .   Z a f a r ki s h,   a nd  K .   R a h i m i ,   "   T he   v a r i a t i o o f   E   g   - s ha pe   de pe nd e nc e   o f   N i O   na no pa r t i c l e s   by   t he   v a r i a t i o o f   a n ne a l i ng   t e m pe r a t ur e , "   M at e r i al s   Sc i e nc e   i n   Se m i c ond uc t o r   P r o c e s s i ng,   v o l .   74 ,   p p.   22 5 - 231 ,   2 018 .   [ 24]   W .   R .   W .   A hm a d,   M .   H .   M a m a t ,   Z .   K hus a i m i ,   A .   S .   I s m a i l ,   a nd  M .   R u s o p,   " I m pa c t   of   A nne a l i ng   T e m pe r a t ur e   t o   t he   P e r f o r m a nc e   o f   H e m a t i t e - ba s e d   H um i d i t y   S e ns o r , "   I ndone s i an   J our nal   o f   E l e c t r i c al   E ng i ne e r i ng  and   C om pu t e r   Sc i e nc e ,   v o l .   1 3,   pp .   107 9 - 1086 ,   2019 .   [ 25]   A .   S .   I s m a i l ,   M .   H .   M a m a t ,   M .   F .   M a l e k,   M .   M .   Y us o f f ,   R .   M o ha m e d,   N .   D .   M .   S i n ,   A .   B .   S ur i a ni ,   a nd  M .   R us o p ,   " H e t e r o g e ne o us   S nO 2 / Z n O   na no pa r t i c ul a t e   f i l m :   F a c i l e   s y nt he s i s   a nd  hum i di t y   s e ns i ng   c a pa bi l i t y , "   M at e r i a l s   Sc i e nc e   i n   Se m i c o nduc t o r   P r oc e s s i n g,   v o l .   81,   p p.   12 7 - 138,   2 018 .       B I O G R A P H I ES   O F   A U T H O R S       N .   P a r i m o n   r e c e i v e he r   B a c he l o r   a n M a s t e r   de g r e e s   i e l e c t r i c a l   &   e l e c t r o ni c   e ng i ne e r i ng ,   a nd  e l e c t r i c a l   e ng i ne e r i ng ,   r e s p e c t i v e l y   f r o m   U ni v e r s i t i   T e k no l o g i   M a l a y s i a   ( U T M ) .   S h e   i s   a   L e c t ur e r   a t   U n i v e r s i t i   M a l a y s i a   S a ba a n d   c ur r e n t l y   pur s u i ng   he r   P h . D .   a t   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M A R A ,   M a l a y s i a   w h e r e   s he   i s   w o r k i ng   o t he   f a b r i c a t i o o f   m e t a l   o xi d e - ba s e d   hum i di t y   s e ns o r s         M .   H .   M a m a t   r e c e i v e hi s   B a c he l o r   de g r e e   i e l e c t r i c a l   &   e l e c t r o n i c   e ng i ne e r i ng   a nd  i nf o r m a t i o e ng i ne e r i ng   f r o m   N a goy a   U ni v e r s i t y ,   J a pa n   a n bo t o f   hi s   P h . D .   a nd  M a s t e r   d e g r e e s   i e l e c t r i c a l   e ng i ne e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M A R A ,   M a l a y s i a .   H e   i s   c ur r e n t l y   a   S e ni o r   L e c t ur e r   a t   U ni v e r s i t i   T e k no l o g i   M A R A .   H i s   r e s e a r c i nt e r e s t s   r a ng e   o v e r   m e t a l   o xi de   s e m i c o nduc t o r s   a nd   na no de v i c e s         A .   S .   I s m a i l   r e c e i v e hi s   B a c he l o r   a nd  M a s t e r   de g r e e   i e l e c t r i c a l   e ng i n e e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M A R A .   H e   i s   c ur r e n t l y   pur s u i ng   hi s   P h . D .   a t   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M A R A ,   M a l a y s i a   w he r e   he   i s   w o r k i ng   o t he   f a br i c a t i o o f   m e t a l   o xi d e   n a no s e ns o r s   us i ng   t h e   s o l ut i o n - ba s e d   m e t ho d.         I .   B .   S ha m e e m   B a nu  r e c e i v e he r   f i r s t   P h . D .   i phy s i c s   f r o m   M a du r a i   K a m a r a j   U ni v e r s i t y .     S he   r e c e i v e h e r   s e c o nd  P h. D .   i c o nde ns e m a t e r i a l   phy s i c s   f r o m   A nna   U ni v e r s i t y ,   C he n na i .     S he   i s   c ur r e n t l y   a   pr of e s s o r   a t   B . S .   A bdur   R a hm a C r e s c e nt   I ns t i t ut e   o f   S c i e nc e   a nd  T e c hno l o gy ,   I ndi a .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                                IS S N :   2502 - 4752   In do n e s i a J   E l e c   E ng  &   Co m S c i ,   V o l .   18 ,   N o .   1 A p r i l   20 20  :     2 8 4   -   2 9 2   292     M .   K .   A hm a r e c e i v e h i s   B a c he l o r   i e l e c t r i c a l   e ng i n e e r i ng   f r o m   G unm a   U ni v e r s i t y ,   J a p a n .     H e   r e c e i v e hi s   M a s t e r   de g r e e   i e l e c t r i c a l   e ng i n e e r i ng   f r o m   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M A R A ,   M a l a y s i a .   H e   r e c e i v e h i s   P h . D .   f r o m   S ho z u o ka   U ni v e r s i t y ,   J a p a n.   H e   i s   c ur r e n t l y   a A s s oc .   P r o f e s s o r   a t   U ni v e r s i t y   T un  H u s s e i n   O nn ,   M a l a y s i a .         A .   B .   S ur i a ni   r e c e i v e he r   B a c he l o r   a nd  M a s t e r   de g r e e   i phy s i c s   f r o m   U ni v e r s i t i   T e k no l o g i   M a l a y s i a   ( U T M ) .   S he   r e c e i v e h e r   P h. D .   i phy s i c s   a t   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M A R A .   S he   i s   c ur r e n t l y   a   pr o f e s s o r   a t   U n i v e r s i t i   P e r g ur ua S ul t a n   I dr i s ,   M a l a y s i a .         M .   R u s o p   r e c e i v e hi s   B a c he l o r   i e ng i ne e r i ng   f r o m   N a goy a   U ni v e r s i t y ,   J a pa n.   H e   r e c e i v e h i s   M a s t e r   a nd  P h. D .   i e ng i ne e r i ng   f r o m   N a goy a   I ns t i t u t e   o f   T e c hn o l ogy ,   J a pa n .   H e   i s   c ur r e nt l y   a   pr o f e s s o r   i n   U ni v e r s i t i   T e kno l o g i   M A R A ,   M a l a y s i a .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.