T E L K O M NIKA   T elec o mm un ica t io n Co m pu t i ng   E lect ro nics   a nd   Co ntr o l   Vo l.  24 ,   No .   3 J u n e   20 26 ,   p p .   1 027 ~1 0 3 6   I SS N:  1 6 9 3 - 6 9 3 0 ,   DOI : 1 0 . 1 2 9 2 8 / T E L KOM NI K A . v 24 i 3 . 27525          1027     J o ur na l ho m ep a g e h ttp : //jo u r n a l.u a d . a c. id /in d ex . p h p /TELK OM N I K A   Interdig iti zed cap a citive hu m idi ty s enso r using  F R4   printed   circuit  boa rd  m a t eria l w ithout sensitiv e lay er       Set y a wa P urno m o   Sa k t i,  J ess ica   A lf a   Aini,  Sh a nia   Ra h m i,  E ls ha   H edy a   K us u m a ni ng t y a s ,   I r m a   Aziz a h,  T risw a nto ro   P utr o ,   Dew Ang g ra eni   S e n so r   T e c h n o l o g y   L a b o r a t o r y ,   B r a w i j a y a   U n i v e r si t y ,   M a l a n g ,   I n d o n e si a       Art icle  I nfo     AB ST RAC T   A r ticle  his to r y:   R ec eiv ed   Au g   3 1 ,   2 0 2 5   R ev i s ed   Feb   4 ,   2 0 2 6   A cc ep ted   Ma r   2 9 ,   2 0 2 6       Hu m id it y   se n so rs  a re   w id e ly   u se d   a c ro ss   n u m e ro u a p p li c a ti o n s,  in c lu d in g   a g ricu lt u re ,   h e a lt h ,   i n d u stry ,   e n v iro n m e n tal  m o n it o rin g ,   a n d   h ig h - risk   e n v iro n m e n ts  su c h   a c h i p   f a b rica ti o n   ro o m s.  In terd ig it a c a p a c it o rs  (IDCs a re   a m o n g   se v e ra h u m id it y - s e n sin g   d e sig n th a h a v e   b e e n   d e v e lo p e d ,   a n d   th e y   a re   a tt ra c ti v e   d u e   to   sim p le  f a b rica ti o n   a n d   e a sy   in teg ra ti o n   w it h   e lec tro n ic  sy ste m s.  W e   d e v e lo p e d   a n   IDC  h u m id it y   se n so o n   a   g l a ss - e p o x y   su b stra te  (F R 4 u sin g   a   sta n d a r d   c o m m e rc ial  p rin ted   c ircu it   b o a rd   ( P CB )   pr o d u c ti o n   p r o c e ss .   W it h o u a d d i ti o n a l   se n siti v e   lay e r,   th e   se n so r   p ro d u c ti o n   is  sim p le.   T h e   se n so d e sig n   w a e x p lo re d   b y   v a r y in g   e lec tr o d e   w id th .   Ca li b ra ti o n   w a p e rf o r m e d   in   a   se lf - c o n stru c ted   c h a m b e o v e a   re lativ e   h u m id it y   ra n g e   f ro m   1 5 %   to   9 0 % .   T h e   ID s e n so w a s b e n c h m a r k e d   a g a in st   a   sta n d a rd   h u m id it y   m e a su re m e n in stru m e n t.   T h e   IDC  c a p a c it a n c e   sh o w e d   a   li n e a c o rre latio n   w it h   re lativ e   h u m id it y ,   w it h   a   c o rre latio n   c o e ff icie n o f   a lea st  0 . 9 8 .   W it h   t h e   f in e st  trac k   a n d   s p a c in g   siz e   o f   0 . 2 5 4   m m   a c h iev a b le  v ia   c o m m e rc ial  P CB  m a n u f a c tu rin g   a n d   a   se n so f o o t p ri n o f   1 0 × 1 0   m m ,   th e   c a p a c it a n c e   f a ll in   th e   p F   ra n g e ,   c o m p a ti b le  w it h   m o st  a v a il a b le  e lec tro n ic  d e v ice s.  T h e   se n siti v it y   o f   th e   d e v e lo p e d   se n so rs  is   2 . 3 6 1 × 1 0 - 4 ,   2 . 3 6 1 × 1 0 - 4 ,   2 . 3 6 1 × 1 0 - 4   p ico f a ra d f o r   a   trac k   w id th   o f   0 . 2 5 4   m m ,   0 . 3 0 4 8   m m   a n d   0 . 3 5 5 6   m m   r e sp e c ti v e l y .   T h e se   re su lt in d ica te  th a m a ss   p ro d u c ti o n   o f   IDC  h u m id it y   se n so rs  c o u ld   b e   a c h iev e d   a a   l o w   c o st.  T h e   c o m b in a ti o n   o f   sm a ll   f e a tu re   siz e a n d   a   c o m p a c s e n so f o o tp ri n su p p o rt   p ra c ti c a i n teg ra ti o n   i n t o   e x isti n g   e lec tro n ic sy ste m s.   K ey w o r d s :   E p o x y   co atin g   FR 4   m ater ial   Hu m id it y   s en s o r   I m p ed an ce   an al y s er   L o w - co s t I DC   s e n s o r   P r in ted   cir cu it b o ar d - b ased   s en s o r   T h is i a n   o p e n   a c c e ss   a rticle   u n d e r th e   CC B Y - SA   li c e n se .     C o r r e s p o nd ing   A uth o r :   Set y a w a n   P u r n o m o   Sak t i   Sen s o r   T ec h n o lo g y   L ab o r ato r y ,   B r a w ij a y U n iv er s it y   Ma lan g ,   I n d o n esia   E m ail:  s a k ti @ u b . ac . id       1.   I NT RO D UCT I O N   Hu m id it y   is   p h y s ical  p ar a m eter   th at  a f f ec ts   v ar io u s   a s p ec ts   o f   li f a n d   is   o f   p ar ticu lar   co n ce r n   i n   s ev er al  f ield s .   Ho s p ita ls ,   lab o r ato r ies,  m u s e u m s ,   co m p u te r   s er v er   r o o m s ,   elec tr o n ic   d ev ice  s to r ag ar ea s ,   lib r ar ies,  p h ar m ac eu tical  s to r a g ar ea s ,   f o o d   in d u s tr ies,  d o c u m e n s to r ag ar ea s ,   f o o d   w ar eh o u s e s ,   an d   m an y   o th er   f ac i liti es  r eq u ir h u m id i t y   m o n i to r in g .   H u m id it y   is   i m p o r tan b ec au s it  a f f ec ts   b o th   th s to r ed   o b j ec ts   an d   th p r o ce s s es.  Hu m id it y   s en s o r s   h av b ee n   d e v elo p ed   u s i n g   v ar io u s   ap p r o ac h es,  in clu d in g   f ib er - o p tic,   r esis ti v e,   ca p ac itiv e,   p iezo r esis ti v e,   an d   m a g n eto elastic  ap p r o ac h es.  R esis ta n ce - b ased   s en s o r s ,   s u ch   a s   h u m id it y - r e s is tiv s e n s o r s ,   h a v b ee n   d ev elo p ed   b ased   o n   ch an g e s   in   th r esis tan ce   o f   th s en s it iv la y er   o f   th e   s en s o r .   T h s en s iti v la y er   ca n   b co m p o s ed   o f   p o l y m er s ,   s al ts ,   o r   o th er   m ater ial s   th a t a r g en er all y   d ep o s ited   as  th i n   f il m s   [ 1 ] [ 2 ] .   Fo r   ex am p le,   la y er s   co n tai n i n g   p o l y a n ili n as  co n d u cti v m a ter i al  ar o f ten   u s ed   i n   co m b i n atio n   w it h   o th er   m ater i als   [ 3 ] .   Ma ter ials   w it h   s p ec if ic  p o r o s ities ,   s u ch   a s   p o ly m er   m i cr o p o r es,  h av also   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   1 6 9 3 - 6930   T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l ,   Vo l.  24 ,   No .   3 J u n 20 26 1 027 - 1 0 3 6   1028   b ee n   d ev elo p ed   as  h u m id it y - s en s i n g   la y er s   [ 4 ] .   Nan o p ar ticles  ar also   u s ed   as  s en s iti v la y er s   f o r   h u m id it y   s en s o r s   b ased   o n   r esis tiv [ 5 ]   an d   ca p ac itiv p r in cip les   [ 6 ] .   C o n j u g ated   m icr o p o r o u s   p o ly m er s   h av b ee n   d ev elo p ed   as  s en s iti v la y er s   f o r   g as  an d   h u m id it y   s en s in g   [ 7 ] .   A   co m p o s ite  p o l y m er   u s i n g   p o l y v i n y l id en e   f l u o r id e - p o l y tetr a f lu o r o eth y le n ( P VDF - P T FE )   w a s   d ev el o p ed   as  s en s itiv la y er   f o r   an   elec tr o ch e m ica l   h u m id it y   s e n s o r   [ 8 ]   Hu m id it y   s en s o r s   w id el y   a v a ilab le  in   th m ar k et  i n cl u d d ig ital  h u m id it y   a n d   te m p er at u r s en s o r   m o d el   1 1   ( DHT - 11 )   an d   m o d el  2 1   ( DHT - 21 ) ,   as  w e ll  a s   s er ie s   o f   h u m id it y   s e n s o r s   co m b in ed   w it h   te m p er atu r s e n s o r s .   T h ese  s e n s o r s   ar w id el y   u s ed   b ec au s e   o f   th eir   lo w   co s t,  s m all  s ize,   an d   ea s o f   u s e.   Fo r   ex a m p le,   h u m id it y   s e n s o r s   ar u s ed   in   in ter n et  o f   t h in g s   ( I o T )   s y s te m s   f o r   ag r icu lt u r e   [ 9 ] ,   en v ir o n m e n tal  m o n ito r i n g   [ 1 0 ] ,   an d   r o o m   h u m id it y   [ 1 1 ] ,   an d   ar w id el y   u s e d   in   th in d u s tr y   f o r   v ar io u s   p u r p o s es ,   s u ch   as   f o o d   p r o ce s s in g ,   te x tile d r y i n g ,   an d   s e m ico n d u cto r s   [ 1 2 ]   C ap ac itiv h u m id it y   s en s o r s   h av b ee n   w id el y   d ev e lo p ed   b ec au s o f   t h eir   h i g h   s e n s it i v it y ,   r ap id   r esp o n s ti m es,  a n d   ac cu r ac y .   Fu r t h er m o r e,   th e s s e n s o r s   ar r elativ el y   i n s e n s i tiv e   to   te m p er atu r v ar iatio n s   an d   ex h ib it  g o o d   lin ea r it y   a n d   s tab ilit y .   An o t h er   ad v an ta g is   th ea s o f   m in iatu r izat io n   an d   in teg r atio n   w it h   elec tr o n ic  d ev ices.    T h s tr u ctu r o f   t h in ter - d i g it al  ca p ac ito r   ( I DC )   s en s o r   is   s h o w n   in   F ig u r 1 .   Fig u r 1 ( a)   s h o w s   to p   v ie w   o f   t h s e n s o r ,   w h er   is   th len g t h   o f   t h ad j ac en elec tr o d e,     is   th d is ta n ce   b et w e en   th elec tr o d e s   ( elec tr o d g ap ) ,   an d     is   th d is tan ce   b et w ee n   th elec tr o d ce n ter s .   Fi g u r 1 ( b )   s h o w s   cr o s s - s ec tio n al  v ie o f   th s e n s o r   f r o m   th e   r ea r   s i d e,   w h er   is   t h elec tr o d th i ck n e s s .   A   g a s   o r   liq u id   tar g et   w a s   p lace d   o n   t h s en s o r   s u r f ac e.   T h to tal  ca p ac itan ce   o f   t h I DC   i s :     =   ( 1 )   ( 1 )     w h er   is   t h n u m b er   o f   elec tr o d es a n d     th u n it c ell  ca p ac ita n ce   o f   t h p air ed   elec tr o d e.           ( a)     ( b )     Fig u r e   1 .   I DC   s tr u ct u r e :   ( a)   to p   v ie w   a n d   ( b )   cr o s s   s ec tio n   v i e w s   o f   p air   elec tr o d e       T h ca p ac itan ce   o f   th u n it  ce l p er   len g t h   is   t h s u m   o f   th ca p ac itan ce   ca u s ed   b y   t h g as/l iq u id   tar g e t   w it h   p er m it tiv it y   o f   1   ( 1 ) ,   ca p ac itan ce   f o r m ed   b y   th s u p p o r m ater ial  w it h   p er m itti v it y   o f   2   ( 2 ) ,   an d   p er m i tti v it y   o f   th p ar allel  p lat ca p ac ito r   b etw ee n   ad j ac en t e lectr o d es ( 3 ) ,   ex p r ess ed   as :     = 1 + 2 + 3     ( 2 )     T h v alu es a r e:     1 + 2 = ( 1 + 2 ) 2 0 [ ( 1 ( ) 2 ) ] [ ]   ( 3 )     3 = 1 0   ( 4 )     W h er [ ]   is   t h co m p lete  ell ip tic al  in te g r al  o f   t h f ir s k i n d   [ 1 3 ] [ 1 4 ] .   A s s u m i n g   t h at  t h d i m e n s io n al  v a lu e s   o f   th elec tr o d ar co n s ta n t,  t h ch a n g in   ca p ac ita n ce   f o llo w s   th c h a n g i n   t h g a s /liq u i d   p er m itti v it y .   T h d i m en s io n al  v al u es o f   t h elec tr o d d eter m in it s   s e n s i tiv i t y   to   th tar g et  a n al y te s .     Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l         I n terd ig itiz ed   ca p a citive  h u mid ity  s en s o r   u s in g   F R 4   p r in ted   circu it b o a r d     ( S etya w a n   P u r n o mo   S a kti )   1029   Sen s iti v it y   i s   m aj o r   co n ce r n   in   th d ev elo p m en o f   ca p ac itiv s e n s o r s .   On ap p r o ac h   to   in cr ea s i n g   th s e n s iti v it y   o f   ca p ac itiv h u m id it y   s e n s o r s   i s   to   u s m i x tu r o f   ti tan i u m   d io x id ( T iO 2 )   an d   p o l y m er   a s   th s e n s iti v la y er   in   an   m etal - i n s u lato r - m etal  ( MI M )   s tr u ct u r e,   th er eb y   in cr ea s in g   th ca p ac itan ce   s en s iti v it y   p er   ch an g i n   h u m id it y   [ 1 5 ] .   Ho w e v er ,   th is   tec h n iq u e   in v o lv es   m u l ti - s tep   f ab r icatio n   p r o ce s s .   T h u s o f   th ese  co m p o s ites   is   a ls o   ad v a n tag eo u s   f o r   s ev er al  r ea s o n s .   T h n an o p o r o u s   P VDF - g r ap h e n e   ( P VDFG ) / lith i u m   ch lo r id e   ( L iC l )   co m p o s ite  i m p r o v ed   th ca p ac itan ce   ch a n g o f   th i n ter d ig ital  ca p ac ito r   ( I DC )   s en s o r   w it h   h u m id it y .   T h h y g r o s co p icit y   o f   L i C an d   th p o r o s it y   o f   P VDF  a m p li f y   th ca p ac iti v ef f ec b y   en h an c in g   w ater   ad s o r p tio n .   g r ap h en o x id d o p in g   i n to   P ( VDF - tr i f lu o r o eth y le n e   ( T r FE ) ) /L iC co m p o s ite   [ 1 6 ]   i m p r o v ed   th s en s iti v it y   a n d   r esp o n s ti m o f   th h u m id it y   ca p ac itiv s en s o r .   T h f ab r icatio n   p r o ce s s   is   s i m p le  an d   u s e s   d r o p   ca s tin g .   Ho w ev er ,   s i m p le  d r o p - ca s ti n g   m e th o d s   lack   s u r f ac h o m o g e n eit y   i n   t h s e n s it iv la y er .   Su r f ac h o m o g e n it y   an d   th ic k n es s   ar im p o r tan as  t h e y   s i g n i f ican tl y   a f f ec t h s en s o r   r e s p o n s e.   T h er ef o r e,   ca r ef u l p r ep ar atio n   an d   f ab r ic atio n   ar r eq u ir ed .     C er a m ic s   h a v also   b ee n   u s e d   to   im p r o v th p er f o r m a n ce   o f   ca p ac itiv h u m id it y   s e n s o r s .   C o p p er   o x id e   ( C u O )   ce r a m ic s   e x h ib it   lar g d ielec tr ic  p r o p er ties   [ 1 7 ] ,   w h ic h   ar i n ter esti n g   to   i n v es tig ate.   Gr ap h e n is   s en s i tiv m ater ial  f o r   h u m id i t y   s e n s o r s .   A   lar g s u r f ac p r o v id es  lar g ch a n g in   ca p ac it an ce   w it h   h u m id it y   [ 1 8 ] [ 1 9 ] .   C o m m o n   s u b s tr ate s   f o r   I DC s   in cl u d s ilico n   [ 2 0 ] ,   g lass   ep o x y   ( f la m r etar d an t   4 / FR 4 [ 2 1 ] ,   w o o d   [ 2 2 ] ,   an d   v ar io u s   p o l y m er s   s u ch   as  s ilico n r u b b er s   ( p o l y d i m et h y l s ilo x an e / P DM S,  E co f le x ) ,   p o l y i m id es,  an d   ep o x y   r esi n s   [ 2 3 ] .   T h ch o ice  o f   s u b s tr ate  d ep en d s   o n   t h d es ir ed   ap p licatio n   an d   p r o p er ties ,   s u c h   a s   f lex ib ilit y ,   co s t,  an d   o p er atin g   f r eq u e n c y .   T h I DC   s en s o r   is   ap p licab le  to   h ar d   an d   f lex ib le  m a ter ials   s u c h   as  p o l y i m id e   ( P I ) ,   P DM S,  p o ly e s ter   ( p o l y et h y le n e / P E ) ,   p o ly et h y le n n ap h th a late  ( P E N) ,   PT FE,   p o ly et h y le n ter ep h t h alate   ( P E T ) ,   an d   p ap e r   [ 2 4 ] [ 2 7 ] T h is   p ap er   p r esen ts   t h d e v elo p m en o f   h u m id it y   s en s o r   u s i n g   s ta n d ar d   p r in ted   cir cu it  b o ar d   ( P C B )   f ab r icatio n   tech n iq u e s .   T h s u r f ac o f   t h P C B   w a s   m a s k ed   u s i n g   co m m o n   ep o x y   liq u id   u s ed   i n   P C B   m a n u f ac tu r i n g .   T h s e n s i tiv it y   o f   t h I D C   h u m i d it y   s e n s o r   w as   i m p r o v ed   b y   c o atin g   th p o l y m er   o n   P C B   s u r f ac e.       2.   M E T H O D   T h I DC   s en s o r   w a s   f ab r icate d   u s i n g   P C B   w i th   g la s s   ep o x y   ( FR 4 )   s u b s tr ate.   T h s tr u c tu r is   s h o w n   in   Fi g u r 2 .   Fig u r 2 ( a)   s h o w s   to p   v ie w   o f   th s e n s o r   d esig n .   T h I DC   p atter n   w it h   1 6   elec tr o d es  ( eig h p air s )   w a s   co ated   w it h   ep o x y .   T h elec tr ical  lead   w as  o p en ed   an d   g o ld   p lated   to   f ac ilit ate  th co n n ec tio n   an d   en s u r e   d u r ab ilit y .   Fi g u r 2 ( b )   s h o w s   t h r ea r   v ie w   o f   th s e n s o r ,   w h er th elec tr o d th ick n e s s   i s   s ig n if ican t l y   s m aller   th an   t h at  o f   th F R 4   s u b s tr ate.   T h P C B   th ick n e s s   w a s   1 . 6   m m ,   th u s ed   m ater ial  w as  FR 4 - Sta n d ar d   T 1 3 5 - 1 4 0 ,   t h co p p er   th ic k n e s s   w a s   3 4 . 8   µ m ,   an d   t h Au   s u r f ac p lat in g   w a s   2 5 . 4   n m .   T h r elati v p er m it tiv i t y   o f   FR 4   r an g e s   f r o m   3 . 9   to   4 . 7 .   T h r ee   d if f er en co n f i g u r atio n s   w er cr ea ted   w it h   an   elec tr o d d is tan ce   o f   0 . 2 5 4   m m   an d   elec tr o d w id t h s   o f   0 . 2 5 4 ,   0 . 3 0 5 ,   an d   0 . 3 5 7   m m   ( 1 0 ,   1 2 ,   an d   1 4   m ils ,   r esp ec tiv el y ) .   T h r ee   s e n s o r s   wer u s ed   to   m ea s u r e   ea ch   elec tr o d w id th .   T h s u r f ac o f   th I DC   s e n s o r   w as  co ated   w it h   P C B   m as k   in k   m a ter ial  co m p o s ed   o f   ep o x y   r esi n .           ( a)       ( b )     Fig u r 2 .   I DC   s en s o r   d esig n : ( a)   to p   v ie w   o f   t h I DC   s e n s o r   an d   ( b )   3 r ea r   v ie w   o f   t h I D C   s e n s o r       T h h u m id it y   an d   te m p er at u r w er m ea s u r ed   u s i n g   P C E - HT   3 0 0   tem p er atu r e - h u m id it y   m ea s u r e m e n in s tr u m e n w i th   h u m id it y   ac c u r ac y   o f   ±   2 f o r   h u m id it y   b elo w   8 0 % a n d   ±   2 . 5 % f o r   h u m id it y   ab o v 8 0 %.  T h I DC   ca p ac itan ce   w as  m ea s u r ed   u s i n g   a   B o d 1 0 0   im p ed an ce   a n al y ze r   at  m a x i m u m   f r eq u en c y   o f   5 0   MH z .   T h s en s o r   r esp o n s to   h u m id i t y   w a s   m ea s u r ed   in   s tatic  ch a m b er ,   as  s h o w n   in   Fi g u r 3 .   T h ch a m b er   w a s   m ad o f   g las s   an d   h ad   v o lu m o f   4   L .   I n   Fig u r 3 A   s h o w s   th s ilica  g el  d esiccato r   s to r ag e,   B   is   th P C E - HT   3 0 0   p r o b e,   an d   C   is   t h I D C   s e n s o r   u n d er   te s t.  T h h u m id it y   i n   th e   ch a m b er   w as   c o n tr o lled   ( r ed u ce d )   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   1 6 9 3 - 6930   T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l ,   Vo l.  24 ,   No .   3 J u n 20 26 1 027 - 1 0 3 6   1030   b y   ad d in g   s ilica  g el  d esicca t o r .   T h lab o r ato r y   h u m id it y   d u r in g   th m ea s u r e m e n w as  ap p r o x im a tel y   7 0 %   an d   th te m p er at u r w a s   2 5   °C .   T h m ea s u r e m e n p r o ce d u r w as  as  f o llo w s f ir s t,  t h h u m id it y   s en s o r   p r o b e   an d   I DC   s en s o r   w er in s er ted   in to   th ch a m b er s .   T h h u m id it y   a n d   te m p er at u r o f   th ch a m b er   w er m ea s u r ed   u s i n g   P C E - HT   3 0 0   in s tr u m e n t.  A   s m all  a m o u n o f   w ater   was  in j ec ted   th r o u g h   p i n h o le  t o   ac h iev r elati v e   h u m id it y   o f   9 0   %.  T h i m p ed an ce   an d   ca p ac ita n ce   v al u es o f   t h I DC   s en s o r   w er m ea s u r ed   u s i n g   B o d 1 0 0   w it h   s w ee p   f r eq u e n c y   f r o m   1 0 0   KHz   to   5 0   MH z.   T h h u m id it y   o f   th ch a m b er   w as  r ed u ce d   b y   f illi n g   it w it h   s m a ll  a m o u n o f   s i lica  g el  d esiccato r   u n til  t h tar g et  h u m i d it y   w as   r ea ch ed .   T h i m p ed a n ce   a n d   ca p ac itan ce   o f   th I D C   s en s o r   w er m ea s u r ed .   T h p r o ce d u r w a s   r ep ea ted   u n til  th r elati v h u m id it y   o f   t h c h a m b er   d ec r ea s ed   to   1 5 %.  I is   d if f ic u lt  to   f u r th er   r ed u ce   h u m id it y   b ec au s o f   t h ab s o r b in g   ca p ac it y   o f   s ilica   g el.   Ho w e v er ,   th i s   is   p r o b lem   f o r   g en er al - u s s en s o r s ,   ex ce p f o r   s en s o r s   th a m ea s u r in   e x tr e m el y   d r y   co n d itio n s .           Fig u r e   3 .   Static c h a m b er   f o r   h u m id it y   te s t       3.   RE SU L T S AN D I SCU SS I O   T h ep o x y   w a s   co ated   u s in g   d ip   co atin g   o f   th ep o x y   liq u i d ,   f o llo w ed   b y   cu r i n g .   Dip   co atin g   is   a   s i m p le,   f a s t,  an d   co s t - ef f ec ti v e   m et h o d .   C o m m er cial  P C B   m an u f ac t u r er s   en s u r th q u alit y   o f   ep o x y   co atin g s .   T h s u r f ac p r o f ile  o f   t h I DC   s en s o r   w a s   m ea s u r ed   u s in g   P o ly tech   Mic r o s u r f   T MS - 1 2 0 0 .   Fig u r 4   s h o w s   th r esu lti n g   p r o f ile s   o f   t h I DC   elec tr o d es.    T h b lu co lo r   in d icate s   th s en s o r   s u r f ac e   o n   to p   o f   th e l ec tr o d e,   an d   th r ed   s u r f ac i n d icate s   th e   s u r f ac o f   t h n o n - elec tr o d a r ea .   I ca n   b s ee n   th at ,   o n   t h e   s a m s u r f ac lev el,   t h co ati n g   i s   h o m o g e n eo u s   an d   th er i s   n o   u n co ated   s u r f ac e.   T h e   e l e c t r o d e   a n d   n o n - e l ec t r o d e   a r e a s   w e r e   f l at ;   h o w ev e r ,   a t h e   b o r d e r   b e tw e en   t h e l e ct r o d e   an d   n o n - el e c t r o d a r e a s ,   th e   ch an g e   w as   n o a   s t ep   c h an g e   b u t   a   g r a d u a l   ch an g e .   T h i s   d em o n s t r a t es  t h e   ef f e c t   o f   e p o x y   d i p   c o a tin g   o n   I DC   s u r f ac e s .   T h e   e l e ct r o d e   t h ic k n ess   w as   a p p r o x im a te ly   2 3   µm   c o m p a r e d   w ith   3 5 µm   b a s e d   o n   th e   m an u f a ct u r i n g   s p e c if i c a ti o n s   an d   4 3   µm   f r o m   th e   w o r k   b y   M an s o o r   e t   a l .   [ 2 8 ] .   T h i s   i n d i ca t es   th a t   t h e   e p o x y   c o at in g   w as   th i c k e r   th an   th a t   o n   th e   to p   o f   th e   e l ec t r o d e .               Fig u r e   4 .   C r o s s   s ec tio n   o f   f in i s h ed   I DC ,   elec tr o d th ic k n e s s   is   2 3   m icr o m eter s   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l         I n terd ig itiz ed   ca p a citive  h u mid ity  s en s o r   u s in g   F R 4   p r in ted   circu it b o a r d     ( S etya w a n   P u r n o mo   S a kti )   1031   T h s u r f ac p r o f i le  o f   t h s en s o r   s h o w s   t h at  t h co n d itio n   o f   s h ar p - ed g I DC   s u r f ac i s   n o f u l f illed ;   th er ef o r e   ( 3 )   an d   ( 4 )   ca n n o b e   d ir ec tl y   ap p lied .   T h m ea s u r e d   ca p ac itan ce   o f   th e   I DC   i s   e x p ec ted   to   b h ig h er   th an   t h at  o f   t h m o d el  ca lcu la tio n ,   ass u m in g   th a th er is   n o   ep o x y   co ati n g   o n   t h I DC .   T h ep o x y   co atin g   i s   ass u m ed   to   h a v an   elec tr ical  r elativ p er m itt iv i t y   h i g h er   t h a n   1 .     T h ep o x y   co ati n g   is   an   elec tr ical  in s u lato r t h er ef o r e,   w h en   e x p o s ed   to   h u m id it y ,   t h er is   n o   elec tr ical   co n d u ctio n   b et w ee n   t h elec tr o d es.  T h co m p lete  elec tr ical  m o d el  o f   th I D C   s e n s o r   is   s h o w n   in   Fig u r 5 ( a) .   I n   ad d itio n   to   th ca p ac itan ce   ( C ) ,   th m o d el  h as  r esi s ta n ce   ( R )   an d   in d u cta n ce   ( L )   v a lu e s .   T h in d u cta n ce   is   f o r m ed   b y   t h w ir ed   len g t h   a n d   ca n   u s u all y   b n e g lecte d ,   w h er ea s   t h r esi s tan ce   ar i s es  f r o m   t h elec tr ical   co n d u cti v it y   b et w ee n   t h elec t r o d es.  A s   t h in d u ctan ce   v al u e   is   v er y   s m all,   it c an   b n eg lec ted ,   an d   th m o d el   b ec o m e s   p ar allel  o f   ca p ac itan ce   ( C )   an d   r esis ta n ce   ( R ) ,   as  d ep icted   in   th s i m p li f ied   I DC   s en s o r   m o d el  in   Fig u r 5 ( b ) .   I is   ex p ec ted   th at  th p ar allel  r esis tan ce   o f   th m o d el  w ill  b h i g h   a n d   th at  th I DC   w ill  a ct  clo s to   p u r ca p ac ito r .   B ased   o n   th d i m e n s io n s   o f   t h I DC   s e n s o r ,   th b asic  ca p ac itan ce s   o f   th I DC   s en s o r s   in   d r y   air   w er 1 . 0 5 7 ,   1 . 0 4 9 ,   an d   1 . 0 7 6   p f o r   th I DC   w it h   elec tr o d w id t h s   o f   0 . 2 5 4 ,   0 . 3 0 5 8 ,   an d   0 . 3 5 6   m m ,   r esp ec tiv el y .   B ec au s t h s en s o r   elec tr o d w as  d ep o s ited   o n   th F R 4   m ater ial,   t h r esi s tan ce   b et w ee n   th e   elec tr o d es  w as  v er y   h ig h .   T h i m p ed an ce   m ea s u r e m e n t   r esu lt s   o f   th e   I DC   s en s o r   u s i n g   t h B o d 1 0 0   im p ed an ce   an al y ze r   ar s h o w n   i n   Fi g u r 6 .   I ca n   b s ee n   t h at  th i m p ed an ce   m ea s u r e m e n t,  b o th   in   t h m a g n it u d an d   p h ase,   h as  s m o o th   c u r v ( le s s   f lu c tu at io n )   af ter   t h f r eq u e n c y   o f   2   MH z   o n w ar d .   I ca n   b u n d e r s to o d   th at  th p u r e   ca p ac itan ce   o f   t h I DC   h as  h ig h   r ea cta n ce   v a lu a n d   h e n c i m p e d an ce   v alu a lo w   f r eq u en c y ,   as  e x p r ess ed   b y   = 1  ,   w h er   is   th r ea cta n ce ,     is   th an g u lar   f r eq u e n c y ,   a n d     is   th ca p ac itan ce   i n   f ar ad s .           ( a)     ( b )     Fig u r e   5 .   E lectr ical  m o d el  o f   th s e n s o r :   ( a)   I DC   s en s o r   an d   ( b )   s im p li f ied   I DC   s en s o r           Fig u r e   6 .   I m p ed an ce ,   r ea cta n c e,   p h ase  an d   ca p ac itan ce   v a lu e   o f   I DC   100k 1M 10M 1k 10k 100k 1M -800k -600k -400k -200k -97. 5 -90. 0 -82. 5 -75. 0 100k 1M 10M 1. 44 1. 80 2. 16 2. 52   |Z| ( W ) Fr eque ncy  (Hz)   Re ac tance  ( W )   Phase  ( O )     Ca pac itance (pF) Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   1 6 9 3 - 6930   T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l ,   Vo l.  24 ,   No .   3 J u n 20 26 1 027 - 1 0 3 6   1032   T h r ea ctan ce   an d   p h ase  o f   th m ea s u r ed   s ig n al  w er n eg at i v e,   in d icati n g   t h at  t h d ev ice  u n d er   test   u s i n g   th B o d e - 1 0 0   w as  ca p ac itiv e.   A lo w   f r eq u en c ies  ( 2   MH z) ,   th p h ase  v al u e,   r ea ctan ce ,   an d   ca p ac itan ce   f l u ctu a te  co n s id er ab l y .   T h is   was  ca u s ed   b y   th m ea s u r e m en t   u n ce r tai n t y   o f   th B o d e - 1 0 0   b ec au s th d ev ic e   h ad   v er y   h ig h   i m p ed a n ce   v a lu e.   T h v alu o f   th i m p ed an ce   ( ca p ac itan ce   r ea ctan ce   an d   r esis ta n ce )   w as  to o   h ig h ; t h er ef o r e,   th B o d e - 1 0 0   r esu lt s   h ad   h i g h   u n ce r tai n t y .     As  th f r eq u e n c y   e x ce ed ed   2   MH z,   th m ea s u r ed   r ea ctan ce   an d   p h ase  e x h ib ited   clea r   s ig n al.   Si m u lta n eo u s l y ,   th e   i m p ed a n c v al u f lu c tu ated   le s s   a s   it   d ec r ea s ed .   T h d ec r ea s in g   i m p ed an ce   v alu e   is   d u to   th d ec r ea s i n g   r ea cta n ce   o f   t h e   ca p ac itiv p ar o f   th e   I D C .   A lt h o u g h   th r e s is ta n ce   r e m ai n ed   h ig h ,   t h r ea cta n ce   d ec r ea s ed   as  th f r eq u en c y   in cr ea s ed .   T h m ea s u r ed   ca p ac itan ce   o f   th I DC   s e n s o r   d id   n o f lu ctu ate   s ig n i f ica n tl y   at  f r eq u e n cies a b o v 3   MH z.   B ased   o n   th o b ta in ed   d ata,   w u s ed   th I D C   ca p ac itan ce   v al u at  a   f r eq u en c y   o f   1 0   MH f o r   ca lc u latio n s .   T h is   f r eq u e n c y   w as   t ak en   as  t h p h ase  o f   t h s en s o r   w a s   clo s to   - 90 °   an d   th v al u o f   t h ca p ac ita n ce   w as   r elativ e l y   co n s ta n t,  w h ic h   i n d icate s   t h at  t h d e v ic w a s   clo s to   b ei n g   p u r el y   ca p ac iti v e.     T h r esu lts   s u g g e s t h at  i f   th s en s o r   is   u s ed   i n   th f o r m   o f   s i m p le  o s cil lato r   cir cu it,  th r eso n an c e   f r eq u en c y   o f   t h o s cilla to r   s h o u ld   b s et  to   3   MH o r   h ig h er   to   ac h iev co n s is te n r esp o n s e.   T h is   r eso n an ce   f r eq u en c y   r e g i m is   d i f f er en t f r o m   t h at  in   o t h er   s t u d ies,  w h ic h   ar in   th lo w - f r eq u e n c y   r e g i m e   [ 2 9 ] [ 3 0 ] .   T h ca p ac itan ce   o f   th s e n s o r   as  f u n ctio n   o f   h u m id it y   i s   s h o w n   in   Fi g u r 7 .   T h g r ap h   s h o w s   t h at  th ca p ac ita n ce   o f   th e   I DC   s en s o r   ch a n g ed   li n e ar l y   w it h   t h r elati v h u m id it y .   T h lin ea r   co r r elatio n   v al u w a s   0 . 9 8 ,   in d icatin g   v er y   g o o d   r elatio n s h ip   b et w e en   th lo w e s an d   h i g h est  h u m i d it y .   B ased   o n   ( 3 ) ,   w ca n   s ee   th at  th ca p ac itan c e   v alu l in ea r l y   d ep en d en o n   t h 1 ,   th p er m itti v it y   o f   t h air   o n   th s en s o r   s u r f ac e ,   w h ile  t h o th er   p ar a m eter   is   co n s ta n t.  T h s en s it iv i ties   o f   th d ev elo p ed   s en s o r s   w er 2 . 3 6 1 ×1 0 - 4 ,   2 . 3 6 1 ×1 0 - 4 ,   2 . 3 6 1 ×1 0 - 4   f o r   tr ac k   w id th s   o f   0 . 2 5 4 ,   0 . 3 0 4 8 ,   an d   0 . 3 5 5 6   m m ,   r esp ec ti v el y .           Fig u r e   7 .   C ap ac itan ce   ch a n g o f   I DC   s e n s o r   to   h u m id it y       T h li n ea r   r esp o n s o f   t h I D C   ca p ac itan ce   v al u w i th   h i g h   co r r elatio n   in d icate s   t h at  t h s e n s o r   r esp o n s ca n   b ex ten d ed   to   h u m id it y   le v els  b elo w   1 5 %.  T h is   in d icate s   t h at  t h s e n s o r   ca n   f u n ctio n   at  lo h u m id it y   le v el s .   T h er s h o u ld   b n o   lim itatio n   o f   th s en s o r   f o r   r elativ h u m id it y   b elo w   1 5 %.  T h lin ea r   ch an g e   in   ca p ac itan ce   w it h   R u p   to   9 0 s u g g e s ts   t h at  t h s en s o r   ca n   d etec air   h u m id it y   f r o m   d r y   t o   h u m id   co n d itio n s .   T h r an g is   co m p ar ab le  to   o th er   s t u d ies  d ev elo p in g   I DC   u s i n g   g r ap h e n as  t h elec tr o d m ater ial  w i th o u t   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l         I n terd ig itiz ed   ca p a citive  h u mid ity  s en s o r   u s in g   F R 4   p r in ted   circu it b o a r d     ( S etya w a n   P u r n o mo   S a kti )   1033   ad d itio n al  s e n s it iv e   m a ter ial  [ 2 2 ] ,   u s in g   ca r b o n   n a n o tu b c o m p o s i te  m ater ial   [ 3 1 ] ,   p o ly m er - b ased   co m p o s ite   p o ly v i n y alco h o ( P VA ) /g ela tin /c h iti n )   [ 3 2 ] ,   an d   g r ap h en e   m icr o p o r o u s   [ 7 ]   m ater ial s .   T h u n ce r tain t y   o f   d etec tio n   w as a l s o   v er y   lo w   f o r   all  R co n d itio n s .   T h s tan d ar d   d ev iatio n   a m o n g   t h s e n s o r s   f o r   ea ch   r elat iv e   h u m id it y   ( RH )   d etec tio n   w a s   l ess   t h an   0 . 1 %.    T h cu r r en tl y   co m m o n   co m m er cial  s en s o r s   ( SHT 3 1 ,   DHT 2 2 ,   an d   HDC3 0 2 1 )   u s ed   f o r   co m p ar i s o n   s h o w   th at  t h s en s o r   h as  lin ea r   r elatio n s h ip   f o r   h u m id it y   b e lo w   8 0 %,  as  s h o w n   in   Fi g u r 8 .   I n   o u r   ex p er im en t,   th co m m er cial  s en s o r s   w er in s e n s i tiv to   r elativ h u m id it y   v alu es  8 0 %.  T h R m ea s u r ed   b y   th s e n s o r   s h o w ed   s m all  c h an g an d   ev en   co n s tan v al u at  R ab o v 8 0 %.  A s   to   SHT 3 1   th d atash ee t,  th b est  s e n s o r   p er f o r m a n ce   is   ac h ie v ed   at  2 0 % 8 0 R H.   T h HDC3 2 0 1   d atash ee s tates  th at  t h ac cu r ac y   o f   th s e n s o r   ac co r d in g   to   th R r an g f r o m   1 0 to   9 0 R H,   an d   th t y p ical  ac cu r ac y   w a s   1 . 5 %.  A   r ep o r o n   ca lib r atin g   th DHT 2 2   [ 3 3 ]   s h o w ed   th at  t h DHT 2 2   is   in s e n s iti v to   r elativ h u m id it y   c h an g e s   ab o v 8 0 R H.   T h e   r esu lts   d em o n s tr ate  t h at  h u m id it y   s en s o r   ca n   b f ab r icate d   s i m p ly   u s i n g   an   I DC   m ad o n   PC B   w it h   s tan d ar d   m as k i n g   th P C B .   T h is   o p en s   th p o s s ib il it y   o f   v er y   c h ea p   h u m id it y   s e n s o r   t h at  ca n   b e   m a n u f ac t u r ed   at  m as s - p r o d u ctio n   p r ice  f r o m   P C B   m a n u f ac t u r er .             Fig u r e   8 .   Me asu r ed   r elativ h u m id it y   b y   SHT 3 1 ,   DH T   2 2   a n d   HDC3 0 1       4.   CO NCLU SI O N   T h d ev elo p ed   I DC   h u m id it y   s en s o r   ex h ib ited   g o o d   r esp o n s to   h u m id it y .   T h ca p ac itan ce   v al u at   1 0   MH h as  s tr o n g   lin ea r   co r r elatio n   w it h   air   h u m id it y .   T h I DC   f ab r icate d   u s in g   P C B   w it h   an   ep o x y   co atin g   r es u lted   in   s h allo w er   ar ea s   b et w ee n   t h elec tr o d es,  r esu lti n g   in   s m aller   v o l u m o f   air .   T h is   r esu lted   in   s m aller   ca p ac itan ce   v a lu f o r   th I DC   s e n s o r   th a n   t h at  o f   th th eo r etica m o d el.   Ho w ev er ,   th ca p ac itan ce   o f   th I DC   s en s o r   w ith   F R 4   w a s   h ig h l y   lin ea r   w it h   r esp ec to   th h u m id it y .   T h co r r e lati o n   b et w ee n   th e   ca p ac itan ce   an d   r elativ h u m i d it y   w a s   0 . 9 8 .   T h s en s o r s   lin ea r l y   r esp o n d ed   to   r elativ h u m id it y   r a n g i n g   f r o m   1 5 to   9 0 R H.   T h s en s i tiv i t y   o f   th d e v elo p ed   s en s o r   to   R w as  v er y   lo w .   F u r th er   d ev elo p m e n i s   r eq u ir ed   to   en h an ce   t h s en s o r   s en s i tiv it y   an d   o th er   s en s o r   p er f o r m a n ce .   T h m ea s u r ed   ca p ac itan c r an g o f   th I DC   u s i n g   th f in e s r eso lu tio n   o f   co m m er cial  P C B   m a k er   is   f e w   p F,  w h ic h   is   ea s y   to   h a n d le  w it h   co m m o n l y   av ailab le  elec tr o n ic  d ev ices.  T h ese  r esu l ts   d e m o n s tr ate  th p o ten tial  o f   lo w - co s I DC   h u m id it y   s e n s o r   u s in g   P C B   m ater ial s   an d   P C B   m a n u f ac t u r in g   p r o ce s s .         ACK NO WL E D G G M E NT S   T h au th o r s   w o u ld   lik to   th an k   th B r a w ij ay a   U n i v er s it y   f o r   p r o v id in g   f u n d in g   th r o u g h   t h e   P r o f ess o r s h ip   Gr an t ( Hib a h   Gu r u   B esa r )   o f   th B r a w ij a y U n iv er s it y .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   1 6 9 3 - 6930   T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l ,   Vo l.  24 ,   No .   3 J u n 20 26 1 027 - 1 0 3 6   1034   F UNDIN G   I NF O RM AT I O N   T h is   r esear ch   w as  f u n d ed   b y   t h P r o f ess o r s h ip   Gr an t o f   B r aw ij a y U n i v er s it y .       AUTHO CO NT RIB UT I O NS ST A T E M E NT   T h is   jo u r n al   u s e s   th C o n tr ib u to r   R o les  T ax o n o m y   ( C R ed iT )   t o   r ec o g n ize  in d i v id u al  au t h o r   co n tr ib u tio n s ,   r ed u ce   au t h o r s h ip   d is p u tes,  an d   f ac ilit ate  co lla b o r atio n .       Na m o f   Aut ho r   C   M   So   Va   Fo   I   R   D   O   E   Vi   Su   P   Fu   Set y a w a n   P u r n o m o   Sak ti                               J ess ica  Alf Ain i                               Sh a n ia  R a h m i                               E ls h Hed y a   Ku s u m an in g t y as                               I r m A ziza h                               T r is w a n to r o   P u tr o                               De w A n g g r ae n i                                 C     C o n c e p t u a l i z a t i o n   M     M e t h o d o l o g y   So     So f t w a r e   Va     Va l i d a t i o n   Fo     Fo r mal   a n a l y si s   I     I n v e st i g a t i o n   R     R e so u r c e s   D   :   D a t a   C u r a t i o n   O   :   W r i t i n g   -   O r i g i n a l   D r a f t   E   :   W r i t i n g   -   R e v i e w   &   E d i t i n g   Vi     Vi su a l i z a t i o n   Su     Su p e r v i si o n   P     P r o j e c t   a d mi n i st r a t i o n   Fu     Fu n d i n g   a c q u i si t i o n         CO NF L I C T   O F   I N T E R E S T   ST A T E M E NT     Au t h o r s   s tate  n o   co n f lic t o f   i n t er est.       DATA AV AI L AB I L I T   T h au th o r s   co n f ir m   t h at  t h d ata  s u p p o r tin g   t h f i n d in g s   o f   th is   s t u d y   ar av ailab le  i n   th i s   ar ticle.       RE F E R E NC E S   [ 1 ]   V .   S a k t h i v e l p a t h i ,   T .   L i ,   Z .   Q i a n ,   C .   L e e ,   Z .   T a y l o r ,   a n d   J. - H .   C h u n g ,   A d v a n c e me n t a n d   a p p l i c a t i o n o f   mi c r o   a n d   n a n o s t r u c t u r e d   c a p a c i t i v e   se n so r s:   a   r e v i e w ,   S e n s o rs   a n d   Ac t u a t o rs   A:   P h y si c a l ,   v o l .   3 7 7 ,   p .   1 1 5 7 0 1 ,   O c t .   2 0 2 4 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . s n a . 2 0 2 4 . 1 1 5 7 0 1 .   [ 2 ]   J.  I l o a b u c h i   O b i a n y o ,   H u mi d i t y   se n so r s,  maj o r   t y p e a n d   a p p l i c a t i o n s,”   i n   H u m i d i t y   S e n s o rs  -   T y p e a n d   Ap p l i c a t i o n s ,   I n t e c h O p e n ,   2 0 2 3 ,   d o i :   1 0 . 5 7 7 2 / i n t e c h o p e n . 9 7 8 2 9 .   [ 3 ]   I .   R a g a z z i n i   e t   a l . ,   A   r e si st i v e   se n so r   f o r   h u mi d i t y   d e t e c t i o n   b a se d   o n   c e l l u l o se / p o l y a n i l i n e ,   R S C   Ad v a n c e s ,   v o l .   1 2 ,   n o .   4 3 ,     p p .   2 8 2 1 7 2 8 2 2 6 ,   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 0 3 9 / d 2 r a 0 3 9 8 2 f .   [ 4 ]   W .   H e   e t   a l . ,   C o n j u g a t e d   m i c r o p o r o u p o l y m e r f o r   a d v a n c e d   c h e mi c a l   s e n si n g   a p p l i c a t i o n s ,   Pr o g r e ss   i n   P o l y m e S c i e n c e ,   v o l .   1 4 8 ,   p .   1 0 1 7 7 0 ,   Ja n .   2 0 2 4 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . p r o g p o l y msci . 2 0 2 3 . 1 0 1 7 7 0 .   [ 5 ]   G .   C h a l o e i p o t e ,   J.   S a m a r n w o n g ,   P .   T r a i w a t c h a r a n o n ,   T .   K e r d c h a r o e n ,   a n d   C .   W o n g c h o o su k ,   H i g h - p e r f o r man c e   r e si st i v e   h u m i d i t y   se n so r   b a se d   o n   A g   n a n o p a r t i c l e d e c o r a t e d   w i t h   g r a p h e n e   q u a n t u d o t s,   Ro y a l   S o c i e t y   O p e n   S c i e n c e ,   v o l .   8 ,   n o .   7 ,   p .   2 1 0 4 0 7 ,   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 0 9 8 / r so s.2 1 0 4 0 7 .   [ 6 ]   P. - G .   S u   a n d   C . - C .   H s u ,   F l e x i b l e   h u mi d i t y   se n so r   b a se d   o n   a u   n a n o p a r t i c l e s/ o r g a n o si l i c a - c o n t a i n i n g   p o l y e l e c t r o l y t e   c o mp o si t e ,   C h e m o s e n s o rs ,   v o l .   1 1 ,   n o .   5 ,   p .   2 9 1 ,   M a y   2 0 2 3 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / c h e mo se n so r s1 1 0 5 0 2 9 1 .   [ 7 ]   T. - F .   C h o o ,   N .   U .   S a i d i n ,   N .   M .   Z a l i ,   a n d   K . - Y .   K o k ,   H y d r o g e n   a n d   h u m i d i t y   se n si n g   c h a r a c t e r i s t i c s o f   N a f i o n ,   N a f i o n / g r a p h e n e ,   a n d   N a f i o n / c a r b o n   n a n o t u b e   r e si st i v i t y   se n so r s,”   J o u r n a l   o f   N a n o p a rt i c l e   R e se a rc h ,   v o l .   2 4 ,   n o .   7 ,   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 0 0 7 / s1 1 0 5 1 - 022 - 0 5 5 3 6 - x.   [ 8 ]   J. - Y .   Q i a o   e t   a l . ,   P V D F - P TF c o m p o si t e - b a se d   e l e c t r o c h e mi c a l   se n so r   f o r   mo n i t o r i n g   h u m i d i t y   d u r i n g   h u m a n   p h y si o l o g i c a l   mo v e m e n t s,”   S e n s o rs   a n d   A c t u a t o r B:   C h e m i c a l ,   v o l .   4 1 5 ,   p .   1 3 6 0 0 1 ,   2 0 2 4 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . sn b . 2 0 2 4 . 1 3 6 0 0 1 .   [ 9 ]   G .   R o u t i s   a n d   I .   R o u ssa k i ,   L o w   p o w e r   I o T   e l e c t r o n i c i n   p r e c i s i o n   i r r i g a t i o n ,   S m a rt   Ag r i c u l t u r a l   T e c h n o l o g y ,   v o l .   5 ,   p .   1 0 0 3 1 0 ,   O c t .   2 0 2 3 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . a t e c h . 2 0 2 3 . 1 0 0 3 1 0 .   [ 1 0 ]   T .   L .   N a r a y a n a   e t   a l . ,   A d v a n c e i n   r e a l   t i me   smar t   mo n i t o r i n g   o f   e n v i r o n me n t a l   p a r a me t e r u si n g   I o T   a n d   se n so r s,”   H e l i y o n   v o l .   1 0 ,   n o .   7 ,   p .   e 2 8 1 9 5 ,   A p r .   2 0 2 4 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . h e l i y o n . 2 0 2 4 . e 2 8 1 9 5 .   [ 1 1 ]   P .   T r a i w a t c h a r a n o n ,   K .   T i mso r n ,   a n d   C .   W o n g c h o o su k ,   F l e x i b l e   r o o m - t e mp e r a t u r e   r e si s t i v e   h u mi d i t y   se n so r   b a se d   o n   si l v e r   n a n o p a r t i c l e s,”   M a t e ri a l s   Re s e a rc h   E x p r e ss ,   v o l .   4 ,   n o .   8 ,   p .   8 5 0 3 8 ,   A u g .   2 0 1 7 ,   d o i :   1 0 . 1 0 8 8 / 2 0 5 3 - 1 5 9 1 / a a 8 5 b 6 .   [ 1 2 ]   B .   A r man   K u z u b a so g l u ,   R e c e n t   s t u d i e s   o n   t h e   h u mi d i t y   se n so r :   a   mi n i   r e v i e w ,   AC S   Ap p l i e d   El e c t ro n i c   Ma t e r i a l s ,   v o l .   4 ,   n o .   1 0 ,   p p .   4 7 9 7 4 8 0 7 ,   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 0 2 1 / a c sae l m.2 c 0 0 7 2 1 .   [ 1 3 ]   H. - E.   E n d r e a n d   S .   D r o st ,   O p t i mi z a t i o n   o f   t h e   g e o me t r y   o f   g a s - s e n si t i v e   i n t e r d i g i t a l   c a p a c i t o r s,”   S e n s o rs  a n d   Ac t u a t o rs  B:   C h e m i c a l ,   v o l .   4 ,   n o .   1 2 ,   p p .   9 5 9 8 ,   M a y   1 9 9 1 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / 0 9 2 5 - 4 0 0 5 ( 9 1 ) 8 0 1 8 2 - j.   [ 1 4 ]   A .   S .   A b u - A b e d   a n d   R .   G .   L i n d q u i s t ,   C a p a c i t i v e   i n t e r d i g i t a l   se n so r   w i t h   i n h o mo g e n e o u n e mat i c   l i q u i d   c r y st a l   f i l m,”   Pro g ress  I n   El e c t r o m a g n e t i c s   Re s e a r c h   B ,   v o l .   7 ,   p p .   7 5 8 7 ,   2 0 0 8 ,   d o i :   1 0 . 2 5 2 8 / p i e r b 0 8 0 2 2 9 0 1 .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l         I n terd ig itiz ed   ca p a citive  h u mid ity  s en s o r   u s in g   F R 4   p r in ted   circu it b o a r d     ( S etya w a n   P u r n o mo   S a kti )   1035   [ 1 5 ]   M. - Q .   L i u ,   C .   W a n g ,   a n d   N . - Y .   K i m ,   H i g h - se n si t i v i t y   a n d   l o w - h y st e r e si p o r o u s   M I M Ty p e   c a p a c i t i v e   h u m i d i t y   se n so r   u s i n g   f u n c t i o n a l   p o l y me r   mi x e d   w i t h   T i O 2   mi c r o p a r t i c l e s,”   S e n so rs ,   v o l .   1 7 ,   n o .   2 ,   p .   2 8 4 ,   F e b .   2 0 1 7 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / s1 7 0 2 0 2 8 4 .   [ 1 6 ]   E.   G a n b o l d ,   P .   K .   S h a r m a ,   E . - S .   K i m,  D . - N .   L e e ,   a n d   N . - Y .   K i m,  C a p a c i t i v e   h u m i d i t y   se n so r   w i t h   a   r a p i d   r e sp o n s e   t i me   o n   a   G O - D o p e d   P ( V D F - T r F E) / L i C l   c o mp o si t e   f o r   n o n c o n t a c t   se n si n g   a p p l i c a t i o n s,”   C h e m o s e n s o rs ,   v o l .   1 1 ,   n o .   2 ,   p .   1 2 2 ,   F e b .   2 0 2 3 ,     d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / c h e mo se n so r s1 1 0 2 0 1 2 2 .   [ 1 7 ]   K .   S r e e j i v u n g sa ,   N .   T h a n a mo o n ,   N .   P h r o mv i y o ,   W .   Jare r n b o o n ,   M .   T a k e sad a ,   a n d   P .   T h o n g b a i ,   A d v a n c e d   h u mi d i t y   se n si n g   p r o p e r t i e s o f   C u O   c e r a m i c s,   S c i e n t i f i c   Re p o rt s ,   v o l .   1 4 ,   n o .   1 ,   A p r .   2 0 2 4 ,   d o i :   1 0 . 1 0 3 8 / s4 1 5 9 8 - 0 2 4 - 6 0 4 2 1 - y.   [ 1 8 ]   R .   L i a n g ,   A .   L u o ,   Z .   Z h a n g ,   Z .   L i ,   C .   H a n ,   a n d   W .   W u ,   R e se a r c h   p r o g r e ss  o f   g r a p h e n e - b a se d   f l e x i b l e   h u mi d i t y   se n so r ,   S e n so rs v o l .   2 0 ,   n o .   1 9 ,   p .   5 6 0 1 ,   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / s 2 0 1 9 5 6 0 1 .   [ 1 9 ]   G .   P a t e r a k i s   e t   a l . ,   H i g h l y   se n si t i v e   a n d   u l t r a - r e sp o n si v e   h u mi d i t y   se n so r s b a se d   o n   g r a p h e n e   o x i d e   a c t i v e   l a y e r s   a n d   h i g h   s u r f a c e   a r e a   l a se r - i n d u c e d   g r a p h e n e   e l e c t r o d e s,”   N a n o m a t e r i a l s ,   v o l .   1 2 ,   n o .   1 5 ,   p .   2 6 8 4 ,   A u g .   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / n a n o 1 2 1 5 2 6 8 4 .   [ 2 0 ]   G .   G o n z á l e z ,   E.   K o l o so v a s - M a c h u c a ,   E .   L ó p e z - L u n a ,   H .   H e r n á n d e z - A r r i a g a ,   a n d   F .   G o n z á l e z ,   D e si g n   a n d   f a b r i c a t i o n   o f   i n t e r d i g i t a l   n a n o c a p a c i t o r c o a t e d   w i t h   H f O 2 ,   S e n s o rs ,   v o l .   1 5 ,   n o .   1 ,   p p .   1 9 9 8 2 0 0 5 ,   Ja n .   2 0 1 5 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / s 1 5 0 1 0 1 9 9 8 .   [ 2 1 ]   J.  P a u l   a n d   J .   P h i l i p ,   I n t e r - d i g i t a l   c a p a c i t i v e   e t h a n o l   se n so r   c o a t e d   w i t h   c o b a l t   f e r r i t e   n a n o   c o m p o si t e   a s   g a s e n si n g   m a t e r i a l ,   Ma t e r i a l s T o d a y :   Pr o c e e d i n g s ,   v o l .   2 5 ,   p p .   1 4 8 1 5 0 ,   2 0 2 0 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . mat p r . 2 0 1 9 . 1 2 . 2 4 7 .   [ 2 2 ]   A .   S .   T h a k u r ,   V .   S r i v a st a v a ,   a n d   R .   V a i sh ,   P e n c i l   d r a w n   i n t e r d i g i t a t e d   c a p a c i t i v e   se n so r o n   w o o d   su b st r a t e ,   Ad v a n c e d   S e n s o r   a n d   En e rg y   Ma t e r i a l s ,   v o l .   3 ,   n o .   4 ,   p .   1 0 0 1 0 3 ,   D e c .   2 0 2 4 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . a s e ms.2 0 2 4 . 1 0 0 1 0 3 .   [ 2 3 ]   E.   R .   C h o l l e t i ,   J.   S t r i n g e r ,   P .   K e l l y ,   C .   B o w e n ,   a n d   K .   A w ,   M e c h a n i c a l   b e h a v i o u r   o f   l a r g e   st r a i n   c a p a c i t i v e   s e n so r   w i t h   b a r i u m   t i t a n a t e   E c o f l e x   c o mp o si t e   u se d   t o   d e t e c t   h u m a n   mo t i o n ,   R o b o t i c s ,   v o l .   1 0 ,   n o .   2 ,   p .   6 9 ,   M a y   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / r o b o t i c s 1 0 0 2 0 0 6 9 .   [ 2 4 ]   G .   K o r o t c e n k o v ,   P a p e r - b a se d   h u m i d i t y   se n so r a p r o mi s i n g   f l e x i b l e   d e v i c e s:   st a t e   o f   t h e   a r t :   p a r t   1 .   g e n e r a l   c o n si d e r a t i o n ,   N a n o m a t e ri a l s ,   v o l .   1 3 ,   n o .   6 ,   p .   1 1 1 0 ,   M a r .   2 0 2 3 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / n a n o 1 3 0 6 1 1 1 0 .   [ 2 5 ]   V .   S r i v a st a v a ,   W .   K .   B a j r e ,   R .   V a i s h ,   a n d   B .   S .   R a j p u r o h i t ,   T u n a b l e   a n d   f a c i l e   f a b r i c a t i o n   o f   f l e x i b l e   i n t e r d i g i t a t e d   c a p a c i t o r o n   B u t t e r   P a p e r   u s i n g   so l v e n t - f r e e   m e t h o d ,   e - Pri m e   -   Ad v a n c e i n   E l e c t r i c a l   E n g i n e e r i n g ,   El e c t ro n i c a n d   E n e r g y ,   v o l .   2 ,   p .   1 0 0 0 8 8 ,   2 0 2 2 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . p r i me . 2 0 2 2 . 1 0 0 0 8 8 .   [ 2 6 ]   A .   O p r e a ,   N .   B a r sa n ,   U .   W e i mar,   M .   B a u e r sf e l d ,   D .   E b l i n g ,   a n d   J.   W o l l e n st e i n ,   C a p a c i t i v e   h u m i d i t y   se n so r o n   f l e x i b l e   R F I D   l a b e l s,”   S e n s o rs  a n d   Ac t u a t o r s B :   C h e m i c a l ,   v o l .   1 3 2 ,   n o .   2 ,   p p .   4 0 4 4 1 0 ,   2 0 0 8 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . s n b . 2 0 0 7 . 1 0 . 0 1 0 .   [ 2 7 ]   M .   A l - R u mo n   a n d   H .   S h a h a r i a r ,   F a b r i c a t i o n   o f   i n t e r d i g i t a t e d   c a p a c i t o r   o n   f a b r i c   a s   t a c t i l e   se n so r ,   S e n so rs  I n t e r n a t i o n a l ,   v o l .   2 ,   p .   1 0 0 0 8 6 ,   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . si n t l . 2 0 2 1 . 1 0 0 0 8 6 .   [ 2 8 ]   A .   F .   M .   M a n so r   e t   a l . ,   G o l d - c o a t e d   i mp e d a n c e   b i o se n so r o n   P C B   a n d   P E T   f o r   r e a l - t i me   mo n i t o r i n g   o f   c a n c e r   c e l l s,”   EC S   S e n so rs   Pl u s ,   v o l .   3 ,   n o .   4 ,   p .   4 2 4 0 1 ,   N o v .   2 0 2 4 ,   d o i :   1 0 . 1 1 4 9 / 2 7 5 4 - 2 7 2 6 / a d 8 c c 7 .   [ 2 9 ]   Z .   S o n g ,   S .   L i ,   B .   H o u ,   Z .   C h e n g ,   Y .   X u e ,   a n d   B .   C h e n ,   H i g h - se n si t i v i t y   p a p e r - b a se d   c a p a c i t i v e   h u m i d i t y   se n so r f o r   r e sp i r a t o r y   mo n i t o r i n g ,   I EEE   S e n so rs   J o u r n a l ,   v o l .   2 3 ,   n o .   3 ,   p p .   2 2 9 1 2 3 0 2 ,   F e b .   2 0 2 3 ,   d o i :   1 0 . 1 1 0 9 / j se n . 2 0 2 2 . 3 2 2 8 5 4 0 .   [ 3 0 ]   M .   F .   H a ss a n ,   P .   K .   G i e sb r e c h t ,   a n d   M .   S .   F r e u n d ,   C a p a c i t i v e   p o l y me r   se n so r s:   f a c t o r i n f l u e n c i n g   p e r f o r m a n c e   a n d   d e si g n   p r i n c i p l e s,”   S e n s o rs  a n d   Ac t u a t o rs  B:   C h e m i c a l ,   v o l .   3 9 3 ,   p .   1 3 4 2 1 1 ,   O c t .   2 0 2 3 ,   d o i :   1 0 . 1 0 1 6 / j . s n b . 2 0 2 3 . 1 3 4 2 1 1 .   [ 3 1 ]   W .   A h mad   e t   a l . ,   H i g h l y   se n si t i v e   h u mi d i t y   se n so r s b a s e d   o n   p o l y e t h y l e n e   O x i d e / C u O / m u l t i   w a l l e d   c a r b o n   n a n o t u b e s c o m p o si t e   n a n o f i b e r s,”   M a t e ri a l s ,   v o l .   1 4 ,   n o .   4 ,   p .   1 0 3 7 ,   F e b .   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 3 3 9 0 / m a 1 4 0 4 1 0 3 7 .   [ 3 2 ]   V .   M .   A f n a s,  G .   U n n i k r i sh n a n ,   S .   B u d h e ,   O .   M a n a f ,   a n d   J.  A me e n ,   P V A / g e l a t i n / c h i t i n   t e r n a r y   b l e n d   a a   h u m i d i t y   se n si n g   mat e r i a l ,   J o u r n a l   o f   M a t e ri a l s S c i e n c e :   M a t e ri a l i n   El e c t r o n i c s ,   v o l .   3 3 ,   n o .   4 ,   p p .   2 0 3 1 2 0 4 3 ,   N o v .   2 0 2 1 ,   d o i :   1 0 . 1 0 0 7 / s1 0 8 5 4 - 0 2 1 - 0 7 4 0 6 - z.   [ 3 3 ]   R .   A .   K o e st o e r ,   N .   P a n c a sa p u t r a ,   I .   R o i h a n ,   a n d   H a r i n a l d i ,   A   si mp l e   c a l i b r a t i o n   me t h o d o f   r e l a t i v e   h u mi d i t y   se n so r   D H T 2 2   f o r   t r o p i c a l   c l i m a t e b a se d   o n   A r d u i n o   d a t a   a c q u i si t i o n   sy st e m,”   i n   AI C o n f e r e n c e   P ro c e e d i n g s ,   2 0 1 9 ,   d o i :   1 0 . 1 0 6 3 / 1 . 5 0 8 6 5 5 6 .       B I O G RAP H I E S O F   AUTH O RS       S e ty a w a n   Pu r n o m o   S a k ti          re c e iv e d   th e   B. S c .   d e g re e   in   P h y sic f ro m   G a d jah   M a d a   Un iv e rsity ,   In d o n e sia ,   in   1 9 8 9 .   He   g o h is  M . En g .   d e g re e   in   El e c tri c a a n d   El e c tro n ics   En g in e e rin g   f ro m   Un iv e rsit y   o f   S o u t h   A u stra li a   in   1 9 9 4 .   In   2 0 0 0 ,   h e   g o h is  Dr. - In g .   f ro m   th e   Otto   v o n   G u e rick e   Un i v e rsität ,   M a g d e b u rg ,   G e r m a n y .   Cu rre n tl y ,   h e   is  a   P ro f e ss o a th e   De p a rtme n o f   P h y sic s,  Bra w ij a y a   Un iv e rsit y .   His  re se a r c h   i n tere sts  in c lu d e   se n so r   tec h n o l o g y ,   in tern e o f   th in g s ,   m e d ica tec h n o lo g y ,   ra p id   d e tec ti o n ,   e m b e d d e d   s y ste m ,   m icro c o n tro ll e r,   b i o s e n so r,   a n d   c h e m i c a se n so r.   He   c a n   b e   c o n tac ted   a e m a il sa k ti @u b . a c . id .         J e ss ica   Alfa   Ain         re c e iv e d   a   B. S c .   d e g re e   in   In str u m e n tatio n   P h y sic f ro m   Bra w ij a y a   Un iv e rsit y ,   In d o n e sia   i n   2 0 2 4 .   He   is  c u rre n tl y   stu d y in g   f o a   M a ste r d e g re e   in   P h y sic a Bra w ij a y a   Un iv e rsit y ,   I n d o n e sia .   He re se a rc h   in tere sts  in c lu d e   se n so r   tec h n o lo g y   a n d   Io T .   S h e   c a n   b e   c o n tac ted   a t   e m a il jes sic a a l fa @s tu d e n t. u b . a c . i d .   Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.
                      I SS N :   1 6 9 3 - 6930   T E L KOM NI K A   T elec o m m u n   C o m p u t E C o n tr o l ,   Vo l.  24 ,   No .   3 J u n 20 26 1 027 - 1 0 3 6   1036     S h a n ia   Ra c h m i           re c e iv e d   a   B. S c .   d e g re e   in   In str u m e n tatio n   P h y sic f ro m   Bra w ij a y a   Un iv e rsit y ,   In d o n e sia   i n   2 0 2 4 .   S h e   is  c u rre n tl y   stu d y in g   f o a   M a ste r d e g re e   in   P h y sic a Bra w ij a y a   Un iv e rsity ,   In d o n e sia .   He re se a rc h   i n tere sts  in c lu d e   se n so r   tec h n o l o g y ,   a n d   u lt ra so n ic.  S h e   c a n   b e   c o n tac ted   a e m a il sh a n iara c h m i@stu d e n t. u b . a c . id .         Elsa   H e d y a   K u su m a n in g ty a s           re c e iv e d   a   B. S c .   d e g re e   in   I n stru m e n tatio n   P h y sic f ro m   Br a w ij a y a   Un iv e r sity ,   In d o n e sia   in   2 0 2 5 .   He re se a rc h   in tere sts  in c lu d e   c a p a c it iv e   se n so tec h n o l o g y .   S h e   c a n   b e   c o n tac ted   a e m a il h d y e ls a @s tu d e n t. u b . a c . i d .           Ir m a   Az iz a h           re c e iv e d   a   B. S c .   d e g re e   in   In str u m e n tatio n   P h y sic fro m   Bra w ij a y a   Un iv e rsit y ,   In d o n e sia   in   2 0 2 5 .   H e re se a rc h   in tere sts  in c lu d e   c a p a c it iv e   se n so tec h n o l o g y S h e   c a n   b e   c o n tac ted   a e m a il irma a z iz a h @s tu d e n t. u b . a c . id .           Tr isw a n to r o   Pu tr o           in   2 0 0 3 ,   re c e iv e d   B a c h e lo r d e g re e   in   P h y sic s   D e p a rtme n a In stit u T e k n o lo g S e p u l u h   No v e m b e a n d   th e n   a   M a ste r stu d y   in   th e   sa m e   d e p a rtm e n in   2 0 1 1 .   He   b e c a m e   a   lec tu re in   th e   in str u m e n tatio n   stu d y   p ro g ra m ,   P h y sic De p a rt m e n o f   Bra w ij a y a   Un iv e rs it y   w it h   a   re se a rc h   f o c u o n   in str u m e n tatio n   o f   p las m a .   H e   c a n   b e   c o n tac ted   a e m a il tri s w a n to ro @ u b . a c . i d .           De w An g g r a e n i           is  a   re s e a rc h e a n d   lec tu re a In stru m e n tatio n   S tu d y   P ro g ra m ,   De p a rtme n o f   P h y sic s,  F a c u lt y   o f   S c ien c e ,   Br a w ij a y a   Un iv e rsit y .   S h e   c o m p lete d   h e B. S .   d e g re e f ro m   Bra w ij a y a   Un iv e rsit y   a n d   M . S .   d e g re e f ro m   d o u b le d e g re e   p ro g ra m   b e tw e e n   Bra w ij a y a   Un iv e rsi t y   (In d o n e sia a n d   Na ti o n a Ce n tral  Un iv e rsity   (Tai w a n ).   S h e   c a n   b e   c o n tac ted   a e m a il d e w ian g g ra e n i. x @u b . a c . id .         Evaluation Warning : The document was created with Spire.PDF for Python.